JP2007335733A - ステージの平面度計測方法とそれを用いた部品装着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ステージの平面度を計測して無駄な待ち時間なく精度のよい部品の装着が行えるようにする。
【解決手段】ステージ1に支持した半導体ウエハなどの基板2に、部品3を移載ヘッド4により移載し所定の荷重値を荷重センサ5が検出するまで押圧して装着するのに、移載ヘッド4をステージ1上の平面度計測点に順次に当接させたときの当りを、前記荷重センサ5が検出する荷重値によって検出し、各平面度計測点での当りが検出されたときの移載ヘッド4の当り高さ位置のバラツキの分布からステージ1の平面度を計測することにより、上記の目的を達することができる。
【選択図】図2
【解決手段】ステージ1に支持した半導体ウエハなどの基板2に、部品3を移載ヘッド4により移載し所定の荷重値を荷重センサ5が検出するまで押圧して装着するのに、移載ヘッド4をステージ1上の平面度計測点に順次に当接させたときの当りを、前記荷重センサ5が検出する荷重値によって検出し、各平面度計測点での当りが検出されたときの移載ヘッド4の当り高さ位置のバラツキの分布からステージ1の平面度を計測することにより、上記の目的を達することができる。
【選択図】図2
Description
本発明は部品のステージの平面度計測方法とそれを用いた部品装着装置に関し、例えば、ヒータで加熱するステージに支持した半導体ウエハを始めとする電気配線といった電気、電子構造を担持した各種基板に電子部品などを装着する場合の部品の装着方法と装着装置に関するものである。
従来、図4に示すようなヒータaで加熱されるステージbの上に半導体ウエハcを支持し、移載ヘッドdにより部品fを保持して移載し装着するのに、移載ヘッドdをサーボモータgにて下降させて部品fを半導体ウエハcに所定の荷重値となるまで押し付けて装着することが行なわれている。荷重値は例えば移載ヘッドdのばねhで連結したヘッド上部d1とヘッド下部d2との間に設けられた荷重センサjによって検出され、この検出値を制御手段kが取り込み部品fを押圧する荷重を制御している。
このような部品装着装置でのステージbは石材などからなるが、一般に、加熱初期ではヒータaからの熱の伝熱差が大きいために不均一に熱膨張することが影響して上面の平面度は低くなるのに、その上面に半導体ウエハcが沿って形状を倣うために装着する部品fと片当りなどして接触不良、圧着不良となって装着精度が低下する。このため、部品fの装着はステージbへの熱の飽和が進んで平面度が安定するのを待って開始することが行われている。
一方、ボンディング装置においてステージとツールとの平行度を確保するのに、ステージの傾き検出手段とステージの傾きを互いに直角なX方向とY方向との垂直面上で調整する手段とを設けたものが知られているし(例えば、特許文献1、2参照。)、ツールの側の傾きを検出する手段とツールの傾きを互いに直角なX方向とY方向との垂直面上で調整する手段とを設けたものも知られている(特許文献3参照。)。
特開平4−94553号公報
特開平4−223349号公報
特開平3−32039号公報
ところで、ステージb上の半導体ウエハcに部品fを加熱と加圧を伴い装着するのに、従来、ステージbの表面の形状や平面度を計測することなく、経験から安全な待ち時間を設定しており、凡そ30分程度と長い時間が見込まれている。
近時では、特に、取り扱う半導体ウエハcは厚さが0.3mm〜0.5mm程度と薄くなり、また、直径が4吋から6吋と大型化する中、ステージbの上面の平面度が影響しやすくなっている上、半導体ウエハcに装着する部品fは0.3mm角程度と微細化する一方、1〜2mm程度と大きなものもあり、本発明者の経験では小型化と大型化の双方が進み大型な部品fになる程、装着不良が発生しやすくなる。そこで、装着精度の確保のために大型な部品fに合わせた待ち時間を一律に設定するのでは、大半の部品fについては待ち時間に無駄が生じることになり、生産性に大きく影響する。逆に、小さい部品fに合わせた待ち時間の設定では大半の部品fについては待ち時間が不足することになる。
特許文献1〜3に記載の傾き検出技術は、いずれも、3点または4点のステージ表面の高さをツールによる押圧ないしは当接高さ、つまり当接高さ位置の違いから傾きを計測するもので、図4に示す部品装着装置に適用してもステージ表面の経時的な形状や平面度の変化は計測できないし、特許文献1〜3に記載のステージにおいてもヒータによる加熱方式を採用すれば同様の問題が生じ解消できない。
そこで、本発明者は、ステージbの上面の経時的な形状、平行度の変化に対処するのに、ステージbの加熱による上面の形状、特に、平面度の経時的な変化を計測する技術を案出して、部品fの装着精度との関係を見出した。例えば、ステージbを300℃程度に昇温させて半導体ウエハcを支持し部品fの装着に供するのに、熱膨張による中央部の盛り上がりが最大で100μm程度にも達し、これが5〜10μm程度以下に収まらないと0.3mm〜1mm、2mm程度のサイズの部品fの装着は精度よく行えない。また、0.3mm程度のサイズの部品fではステージbの盛上がりが10μmでも精度よく装着できたが、2mm程度のサイズの部品fではステージbの盛上がりが5μm以下でないと装着不良が生じる。これは、ステージbの同じ盛り上がりに対する部品fの装着面の面積に対する半導体ウエハcに対する接触面積の割合が大きなサイズの部品fであるほど低くなり、シェア強度の不足度が高まる結果であると考えられる。また、ステージbの上面の経時的な形状や平面度の変化は、ステージbへのヒータaの設け方や、ヒータaを設ける本数などによって異なり、場合によって単純な中央部の盛上がり形状でなく2つのピークや凹部と凸部とが併存する形状となることもある。また、停電や何らかの理由でヒータaの通電が中断したような場合の部品装着の停止条件や再立ち上げ時にどの程度の待ち時間を設定してよいのか検討がつきにくい。これらに対し、平面度の計測によって的確に対応できる。
本発明はそのような新たな知見に基づきなされたもので、その目的は、ステージの平面度を計測して無駄な待ち時間なく精度のよい部品の装着が行えるようにするステージの平面度計測方法とそれを用いた部品装着装置を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明のステージの平面度計測方法は、ステージに支持した半導体ウエハなどの基板に、部品を移載ヘッドにより移載し所定の荷重値を荷重センサが検出するまで押圧して装着する場合のステージの平面度計測方法であって移載ヘッドを装着用ステージ上の平面度計測点に順次に当接させたときの当りを、前記荷重センサが検出する荷重値によって検出し、各平面度計測点での当りが検出されたときの移載ヘッドの当り高さ位置のバラツキの分布からステージの平面度を計測することを特徴としている。
このような構成によれば、ステージの上面に設定する平面度計測点に対し、部品の装着を行う移載ヘッドを当接させてステージへの当りを荷重センサが示す荷重値から検出したときの、移載ヘッドの当り高さ位置が、ステージ上面の各平面度計測点の表面高さを示しているのを利用して、各平面度計測点での移載ヘッドのステージへの当り高さ位置のバラツキの分布からその時々のステージの上面の形状が反映した平面度を計測することができる。
各平面度計測点への移載ヘッドによる当り検出位置の移動は、ステージと移載ヘッドとの部品移載のための相対移動機能を利用して行う、さらなる構成によれば、
ステージと移載ヘッドとの部品装着のための相対移動機能により各平面度計測点への移載ヘッドによる当り検出位置を移動させるので、特別な移動機構が不要であるし、部品装着のための位置合わせ精度をそのまま反映した計測が行える。
ステージと移載ヘッドとの部品装着のための相対移動機能により各平面度計測点への移載ヘッドによる当り検出位置を移動させるので、特別な移動機構が不要であるし、部品装着のための位置合わせ精度をそのまま反映した計測が行える。
相対移動方向は互いに直交するXY2方向であり、平面度計測点はステージの有効支持域におけるX方向に設定する3本以上の列とY方向に設定する3本以上の行との交点とする、さらなる構成によれば、
相対移動方向が互いに直交するXY2方向であることにより、平面度の計測が現状のままの実機のステージと移載ヘッドとの相対移動動作で実行することができ、平面度計測点がステージの有効支持域に及んでステージの平面度計測域が不足することはなく、平面度計測点がX方向に設定する3本以上の列とY方向に設定する3本以上の行との交点であることにより、平面度計測点が3本以上の列と3本以上の行とに3点以上が直線上に並ぶのに加え、XYに対する斜めになる2つ以上の向きにも3点以上が直線上に並び、それらの多くの方向にてステージの上面が熱などにより変形する極く緩やかな立体形状を類推でき、平面度を精度よく計測することができる。
相対移動方向が互いに直交するXY2方向であることにより、平面度の計測が現状のままの実機のステージと移載ヘッドとの相対移動動作で実行することができ、平面度計測点がステージの有効支持域に及んでステージの平面度計測域が不足することはなく、平面度計測点がX方向に設定する3本以上の列とY方向に設定する3本以上の行との交点であることにより、平面度計測点が3本以上の列と3本以上の行とに3点以上が直線上に並ぶのに加え、XYに対する斜めになる2つ以上の向きにも3点以上が直線上に並び、それらの多くの方向にてステージの上面が熱などにより変形する極く緩やかな立体形状を類推でき、平面度を精度よく計測することができる。
平面度の計測結果は、装着する部品の種類との組み合わせによって装着を行なうか否かの判定に供する、さらなる構成によれば、
同じ平面度でも部品の種類、例えばサイズや面積の違いによって部品の装着精度に違いがあるのを、計測された平面度と装着する部品の種類とに応じて装着を行うか否か判定することで、過不足のない判定ができる。
同じ平面度でも部品の種類、例えばサイズや面積の違いによって部品の装着精度に違いがあるのを、計測された平面度と装着する部品の種類とに応じて装着を行うか否か判定することで、過不足のない判定ができる。
本発明の部品装着装置は、半導体ウエハなどの基板を支持するステージと、このステージとの相対移動により部品を基板の上に移載し押圧して装着する移載ヘッドと、移載ヘッドにより部品を基板に装着するときの荷重値を検出して押圧の制御に供する荷重センサとを備えた部品装着装置であって、ステージと移載ヘッドとの相対移動を伴い移載ヘッドを装着用ステージ上に設定した平面度計測点に順次に当接させ、各平面度計測点に移載ヘッドが当接したときの当りを前記荷重センサの荷重値によって検出し、各平面度計測点の当り検出時の移載ヘッドの当り高さ位置のバラツキの分布からステージの平面度を演算により計測し、平面度が許容範囲を超えていると部品の装着を行なわない制御手段を備えたことを特徴としている。
このような構成では、ステージに支持した半導体ウエハなどの基板に部品移載ヘッドにより部品を移載し所定の荷重が荷重センサによって検出されるまで押しつけて装着するのに、ステージが加熱により膨張するなどして上面が経時的に変形して平面度が変化するのを、予め設定したタイミングや作業者の入力などに基づく制御手段の働きによって、ステージと移載ヘッドの相対移動を伴い、移載ヘッドをステージ上に設定している各平面度計測点に順次に移動させながら各平面度計測点に移載ヘッドを当接させたときの当りを荷重センサによって検出し、各検出時の移載ヘッドの当り高さ位置のバラツキの分布からステージの平面度を計測し、計測した平面度が許容範囲を超えていると部品の装着を行わない制御が自動的に行える。
平面度が許容範囲を超えていると、平面度の計測を繰り返しながら平面度が許容範囲内になると部品の装着を開始する、さらなる構成によれば、
許容範囲を超える平面度が計測されると部品の装着を行わず待機するのに、この待機中も平面度の計測を繰り返すことで、平面度が許容範囲内になると即時に部品の装着を開始できる。
許容範囲を超える平面度が計測されると部品の装着を行わず待機するのに、この待機中も平面度の計測を繰り返すことで、平面度が許容範囲内になると即時に部品の装着を開始できる。
平面度の計測は、当り高さ位置のバラツキの分布を3次曲面に近似演算して行う、さらなる構成によれば、
平面度の計測を当り高さ位置のバラツキの分布から近似演算した3次曲面データとすることで、少ないデータ数にて全体の形状を精度よく反映できる。特に、ステージの変形形状が緩やかな曲面であることに対応して、検出される当り高さ位置のバラツキの分布におけるイレギュラーな検出値を除外して実際の形状との相関性を高められる。
平面度の計測を当り高さ位置のバラツキの分布から近似演算した3次曲面データとすることで、少ないデータ数にて全体の形状を精度よく反映できる。特に、ステージの変形形状が緩やかな曲面であることに対応して、検出される当り高さ位置のバラツキの分布におけるイレギュラーな検出値を除外して実際の形状との相関性を高められる。
平面度の計測はある時間ごとに行い、先の計測結果と比較してその差が許容範囲を超えていると異常と判定する、さらなる構成によれば、
計測する平面度に許容範囲を超える所定の時間幅での急激な変化を異常と検出して、そのような変化をもたらす何らかの異常に対応できる。
計測する平面度に許容範囲を超える所定の時間幅での急激な変化を異常と検出して、そのような変化をもたらす何らかの異常に対応できる。
異常の判定結果によって部品の装着を停止する、さらなる構成によれば、
ステージの平面度が異常に変化したままで部品の装着を継続するのを防止することができる。
ステージの平面度が異常に変化したままで部品の装着を継続するのを防止することができる。
移載ヘッドの当り高さ位置の計測は、移載ヘッドと昇降ガイド部との間に設けたリニアスケールによって行う、さらなる構成では、
リニアスケールの高精度なスケール読取によって、移載ヘッドの微細な当り高さ位置の違いが正確に反映した計測ができる。
リニアスケールの高精度なスケール読取によって、移載ヘッドの微細な当り高さ位置の違いが正確に反映した計測ができる。
本発明のステージの平面度計測方法によれば、ステージの上面に設定する平面度計測点での移載ヘッドを当接させたときの当り高さ位置のバラツキの分布からその時々のステージの上面の形状が反映した平面度を計測して、部品の装着が精度よく行えるか否かなどの判断に供することができる。
また、ステージと移載ヘッドとの部品装着のための相対移動機能により、特別な移動機構なしに部品装着のための位置合わせ精度をそのまま反映した計測が行える。
また、相対移動方向が互いに直交するXY2方向で現状の実機で実行でき、平面度計測点がステージの有効支持域に及んで不足なく、X方向の3本以上の列とY方向の3本以上の行との交点であって3点以上並ぶ多くの方向にてステージの上面が変形する極く緩やかな立体形状を類推でき、平面度を精度よく計測することができる。
また、同じ平面度でも部品の種類によって部品の装着精度に違いがあるのを、平面度と部品の種類とに応じて装着を行うか否かを過不足なく判定ができる。
本発明の部品装着装置によれば、ステージの上面が経時的に変形して平面度が変化するのを、予め設定したタイミングや作業者の入力などに基づく制御手段の働きによって、部品装着時の相対移動動作を利用した高い位置精度にて自動的に計測し、計測した平面度が許容範囲を超えていると部品の装着を行わなず、部品の装着が不良となるのを防止することができる。
また、部品の装着を行わない待機中も平面度の計測を繰り返すことで、平面度が許容範囲内となると即時に部品の装着を開始でき、時間ロスがなくなる。
また、平面度を当り高さ位置のバラツキの分布から近似演算した3次曲面データとして計測することにより、少ないデータ数にて全体の形状を精度よく反映でき、曲面上の急な高さ変化の判定に有効である。また、緩やかな曲面となる変形に対応して、イレギュラーな当り検出値を除外して実際の形状との相関性を高められる。
また、計測する平面度の許容範囲を超える所定時間幅での急激な変化を異常と判定して何らかの異常に対応できる。
また、ステージの平面度が所定の時間幅で異常に変化したままで部品の装着を継続するのを防止することができる。
また、リニアスケールによって移載ヘッドの微細な当り高さ位置を正確に検出して高精度な計測ができる。
以下、本実施の形態に係るステージの平面度計測方法とそれを用いた部品の装着装置について、図1〜図3を参照しながら説明し本発明の理解に供する。
本実施の形態のステージの平面度計測方法は、図1に示す部品装着装置10を参照して、ステージ1に支持した半導体ウエハなどの基板2に、電子部品などの部品3を移載ヘッド4により移載し所定の荷重値を荷重センサ5によって検出するまで押圧し、例えば部品3のバンプ3aを基板2上の電極に金属接合させるなどして装着するのに、ステージ1がヒータ6によって加熱されるのに熱膨張によって上面が膨らむといった変形が経時的に生じるときのステージ1の平面度の変化を計測し、部品3の装着ができるか否かといった判定をする場合の平面度計測方法の一例である。しかし、本発明はこれに限られることはなく上面が経時的に変形することが問題となる各種のステージ一般に適用して有効である。
本実施の形態では、移載ヘッド4をステージ1上の図2に示すような平面度計測点P1〜P9・・に順次に当接させたときの当りを、前記荷重センサ5が検出する荷重値によって検出し、各平面度計測点P1〜P9・・での当りが検出されたときの移載ヘッド4の当り高さ位置Z1〜Z9・・などのバラツキの分布からステージ1の平面度を計測することを基本的な特徴としている。このように、ステージ1の上面に設定する平面度計測点P1〜P9・・に対し、部品3の装着を行う移載ヘッド4を当接させてステージ1への当りを荷重センサ5が示す荷重値から検出したときの、移載ヘッド4の当り高さ位置Z1〜Z9・・が、ステージ1上面の各平面度計測点P1〜P9・・の表面高さを示してステージ1上面の形状を予測できる程度であるのを利用して、各平面度計測点での移載ヘッド4のステージ1への当り高さ位置Z1〜Z9・・のバラツキの分布からその時々のステージ1の上面の形状が反映した平面度を計測することができる。
この結果、ステージ1の上面に設定する平面度計測点P1〜P9・・での移載ヘッド4を当接させたときの当り高さ位置Z1〜Z9・・のバラツキの分布からその時々のステージ1の上面の形状が反映した平面度を計測して、部品3の装着が精度よく行えるか否かなどの判断に供することができる。
このような平面度計測点P1〜P9・・と当り高さ位置Z1〜Z9・・とは、移載ヘッド4をステージ1との間で相対位相させて部品3の装着を行うときの、図2に示すX、Y、Zの座標上のX方向位置、Y方向位置、Z方向位置に対応させて取り扱うことで、計測のための演算が簡略化する。このとき、正常なステージ1の上面をZ=0とするのが好適である。これらに対応して、各平面度計測点P1〜P9・・への移載ヘッド4による当り検出位置の移動は、部品装着装置10におけるステージ1と移載ヘッド4との部品移載のための相対移動機能を利用して行うのがよく、これにより、ステージ1と移載ヘッド4との部品装着のための相対移動機能により各平面度計測点P1〜P9・・への当り検出位置を移動させるので、特別な移動機構が不要であるし、部品装着のための位置合わせ精度をそのまま反映した計測が行える。図1に示す部品装着装置10はステージ1を固定し、移載ヘッド4の側を互いに直交するXY2方向に移動させてステージ1に対し相対移動させる。このために移載ヘッド4は図1に模式的に示すXY移動テーブル20に支持して、XY2方向の移動により供給される部品3を吸着ノズル7により吸着するなどして保持し、ステージ1上に支持された基板2の所定の位置に部品3を移載し押圧して装着する。この押圧のために移載ヘッド4はサーボモータ11によってねじ軸12を介し昇降されるようになっている。また、移載ヘッド4はばね13により連結された上部ヘッド4aと下部ヘッド4bとに分かれ、これら上下部ヘッド4a、4b間に前記の荷重センサ5を設けて移載ヘッド4が部品3を基板2に押し付け加圧するときの荷重を検出するようになっている。しかし、荷重センサ5は移載ヘッド4により部品3に与える荷重を検出できればどのような位置にどのように設けられてもよい。場合によってステージ1の側に設けてもよいし、複数の位置に設けて互いの検出値によって検出値を調整したりすることもできる。
このように、ステージ1と移載ヘッド4との相対移動方向は互いに直交するXY2方向であるとき、図2に示すように平面度計測点P1〜P9・・はステージ1の有効支持域におけるX方向に設定する3本以上の列X1−X1〜X3−X3・・と、Y方向に設定する3本以上の行Y1−Y1〜Y3−Y3・・との交点とする。このように、相対移動方向が互いに直交するXY2方向であることにより、計測を現状のままの実機のステージ1と移載ヘッド4との相対移動動作で実行することができる。また、平面度計測点P1〜P9・・がステージ1の有効支持域に及んでいることにより、ステージ1の平面度計測域が不足することはない。しかも、平面度計測点P1〜P9・・がX方向に設定する3本以上の列X1−X1〜X3−X3・・とY方向に設定する3本以上の行Y1−Y1〜Y3−Y3・・との交点であることにより、平面度計測点P1〜P9・・が3本以上の列X1−X1〜X3−X3・・と3本以上の行Y1−Y1〜Y3−Y3・・とに3点以上が直線に並ぶのに加え、XY方向に対する斜めになる2つ以上のX1Y1−Y3X3、Y1X3−X1Y3・・の向きにも3点以上が直線上に並び、それらの方向にてステージの上面が熱などにより変形する極く緩やかな立体形状を類推でき、平面度を精度よく計測することができる。
図2に模式的に示しているステージ1の上面の全域に緩やかな変化で変形した凸曲面であれば、平面度は単純に当り高さ位置Z1〜Z9・・間の最大高低差として単純に判定することができる。しかし、複数のピーク、または凸部と凹部とを持ったうねり形状になるような場合、距離に対する急な高さ変化が生じやすく、同じ最大高低差でも部品3の装着時の片当り度が高くなり装着不良率が高くなる。したがって、このような急激な高さ変化を持つ形状かどうかを平面度の判定要素に加味する必要もある。これには、距離の変化と高さの変化との関係、例えば短いある単位距離に対する高さ変化比の最大値を平面度とすることがよい。
そこで、平面度の計測を当り高さ位置Z1〜Z9・・のバラツキの分布から3次曲面の近似演算にて行えば、少ない当り高さ検出データから計測した3次曲面データによって実測の当り高さ位置のデータがないか揃っていないところでの単位距離に対する高さ変化を判定することができ、判定した最大変化値を最終的な平面度の計測データとして、部品3を装着するかどうかの判定に供することができる。また、うねり形状となるような変形に対しては、例えば図2に示す各平面度計測点P1〜P9における中間位置に平面度計測点を増加すれば、複数のピークがあったり、凹部と凸部とが複合するような形状でも精度よく類推し、また3次曲面への近似が高精度に達成できる。また、ステージ1の変形形状が緩やかな曲面であることに対応して、検出される当り高さ位置Z1〜Z9・・のバラツキの分布におけるイレギュラーな検出値を除外して実際の形状との相関性を高められる。
また、計測結果が同じ平面度であっても、ステージ1の上面が湾曲していることに対する片当りによる接触率、接触面積率は、サイズや面積の小さな部品3よりもサイズや面積の大きな部品3の方が低く、その分だけ部品装着時のシェア力が小さくなって装着不良を生じやすい。このため、平面度の計測結果は、装着する部品3の種類との組み合わせによって装着を行なうか否かの判定に供するのが望ましい。これにより、同じ平面度でも部品3の種類、例えばサイズや面積の違いによって部品3の装着精度に違いがあるのを、計測された平面度と装着する部品3の種類とに応じて装着を行うか否か判定することで、過不足のない判定ができる。
このような平面度の計測や判定を行うのに図1に示す部品装着装置10は、既述したように、半導体ウエハなどの基板2を支持するステージ1と、このステージ1との相対移動により部品3を基板2の上に移載し押圧して装着する移載ヘッド4と、移載ヘッド4により部品3を基板2に装着するときの荷重値を検出して押圧の制御に供する荷重センサ5とを備えているのに加え、ステージ1と移載ヘッド4との相対移動を伴い移載ヘッド4を装着用ステージ1上に設定した平面度計測点P1〜P9・・に順次に当接させ、各平面度計測点P1〜P9・・に移載ヘッド4が当接したときの当りを前記荷重センサ5の荷重値によって検出し、各平面度計測点P1〜P9・・の当り検出時の移載ヘッド4の当り高さ位置Z1〜Z9・・のバラツキの分布からステージ1の平面度を演算により計測し、平面度が許容範囲を超えていると部品3の装着を行なわない制御手段21を備えたものとしている。ここで、制御手段21は部品装着装置10の部品装着動作を制御するものを共用しており、前記平面度計測とそれによる制御のために制御手段21は前記当り検出を行う当り検出部22と、当り検出部22による当り検出結果から変面度を演算し計測する平面度演算部23と、演算部23による平面度の計測結果から平面度が図3に示すような許容範囲SZを外れているかどうか判定し、外れていると部品3の装着を行わないように制御手段21を働かせる部品の装着判定部24とを内部機能として備えている。しかし、これに限られない。
これにより、ステージ1に支持した半導体ウエハなどの基板2に部品移載ヘッド4により部品3を移載し所定の荷重が荷重センサ5によって検出されるまで押しつけて装着するのに、ステージ1が加熱により膨張するなどして上面が経時的に変形して平面度が変化するのを、予め設定したタイミングや作業者による操作パネル25などからの入力などに基づく制御手段21の働きによって、ステージ1と移載ヘッド4の相対移動を伴い、移載ヘッド4をステージ1上に設定している各平面度計測点P1〜P9・・に順次に移動させながら各平面度計測点P1〜P9に移載ヘッド4を当接させたときの当りを荷重センサ5によって検出したときの移載ヘッド4の当り高さ位置Z1〜Z9・・のバラツキの分布からステージ1の平面度を計測し、計測した平面度が許容範囲SZを超えていると部品3の装着を行わない制御が自動的に行える。
また、このような制御において、制御手段21は、平面度が許容範囲を超えていると、平面度の計測を繰り返しながら平面度が許容範囲SZ内となるまで部品3の装着を待機するようにすれば、許容範囲SZを超える平面度が計測されると部品3の装着をせず待機し、部品の装着不良が生じないようにしながら、この待機中も、平面度の計測を繰り返すことで、平面度が許容範囲SZ内になると即時に部品の装着を開始できる。
また、平面度の計測はある時間ごとに行い、異常判定部26などにより直近または所定時間前となる先の計測結果と比較して変化量ΔZが所定の時間幅でのある許容範囲SΔZを超えていると異常と判定するようにすると、計測する平面度に許容範囲を超える急激な変化を異常と検出して、そのような変化をもたらす何らかの異常に対応できる。具体的には部品装着装置10を停止してその旨警告をし、作業者に対応を要求することができる。このように、異常の判定結果によって部品の装着を停止すると、ステージ1の平面度が異常に変化したままで部品3の装着を継続し装着不良や故障の原因になるのを防止することができる。
なお、移載ヘッド4の当り高さ位置Zの計測は、移載ヘッド4とその昇降ガイド部31との間に設けたリニアスケール32によって行うようにしている。具体的には、昇降ガイド部31に設けたリニアスケール体32aと移載ヘッド4側に設けた読み取りヘッド32bとによって移載ヘッド4のZ方向位置を磁気的、光学的に読み取るものとしている。これにより、サーボモータ11に連結したエンコーダによる場合などに比しリニアスケール32の高精度なスケール読取によって、移載ヘッド4の微細な当り高さ位置の違いが正確に反映した計測ができる。
図3に示す制御手段21による装着制御の1つの具体例について説明すると、制御は電源オンにてスタートし、ステップS1にてステージ1の平面度の演算、計測を行い、許容範囲SZ内でなければステップS12に移行して部品の装着は行わず待機することを繰り返す。この繰り返し時間はタイマ設定によって所定時間間隔とすることができる。ステップS2にて許容範囲SZ内になっていると、その時の計測値を記憶し、比較する先の記憶値があるかどうか判定し、なければステップS7に移行してタイマをスタートさせた後、ステップS8にて部品の装着を行う。ステップS4にて先の記憶値があると、ステップS5にて現記憶値の先の記憶値との差ΔZを演算し、ステップS6にてこれが許容範囲SΔZ内かどうか判定する。範囲SΔZ内でなければステップS10aに移行してその旨告知した後、ステップS12に移行して部品の装着を停止し、待機する。ステップS6で許容範囲SΔZ内であるとステップS7にてタイマをスタートさせてステップS8にて部品の装着を続行する。ステップS8での部品の装着はタイマがアップするまで継続し、タイマがアップすると、ステップS9に移行して装着動作途中でのステージ1の平面度の演算、計測を行い、ステップS10にて許容範囲SZ内かどうか判定する。範囲SZ内であればステップS11にてタイマをリセットしてステップS3以下の制御を繰り返す。ステップS10で範囲SZ外であると部品装着途中のことであるので、ステップS10aにてその旨の告知をしてステップS12での部品の装着停止、待機に移行し、リターンする。
本発明は部品をステージ上の基板に装着するのに、ステージの上面が変形することに対応して部品の装着、装着停止が的確に行える。
1 ステージ
2 基板
3 部品
4 移載ヘッド
4a 上部ヘッド
4b 下部ヘッド
5 荷重センサ
6 ヒータ
7 吸着ノズル
8 制御装置
10 部品装着装置
11 サーボモータ
12 ねじ軸
13 ばね
20 XY移動テーブル
21 制御手段
22 当り検出部
23 演算部
24 装着判定部
25 操作パネル
26 異常判定部
31 昇降ガイド部
32 リニアスケール
2 基板
3 部品
4 移載ヘッド
4a 上部ヘッド
4b 下部ヘッド
5 荷重センサ
6 ヒータ
7 吸着ノズル
8 制御装置
10 部品装着装置
11 サーボモータ
12 ねじ軸
13 ばね
20 XY移動テーブル
21 制御手段
22 当り検出部
23 演算部
24 装着判定部
25 操作パネル
26 異常判定部
31 昇降ガイド部
32 リニアスケール
Claims (12)
- ステージに支持した半導体ウエハなどの基板に、部品を移載ヘッドにより移載し所定の荷重値を荷重センサが検出するまで押圧して装着する場合のステージの平面度計測方法であって、
移載ヘッドを装着用ステージ上の平面度計測点に順次に当接させたときの当りを、前記荷重センサが検出する荷重値によって検出し、各平面度計測点での当りが検出されたときの移載ヘッドの当り高さ位置のバラツキの分布からステージの平面度を計測することを特徴とするステージの平面度計測方法。 - 各平面度計測点への移載ヘッドによる当り検出位置の移動は、ステージと移載ヘッドとの部品移載のための相対移動機能を利用して行う請求項1に記載のステージの平面度計測方法。
- 相対移動方向は互いに直交するXY2方向であり、平面度計測点はステージの有効支持域におけるX方向に設定する3本以上の列とY方向に設定する3本以上の行との交点とする請求項2に記載のステージの平面度計測方法。
- 平面度の計測結果は、装着する部品の種類との組み合わせによって装着を行なうか否かの判定に供する請求項1〜3のいずれか1項に記載のステージの平面度計測方法。
- 半導体ウエハなどの基板を支持するステージと、このステージとの相対移動により部品を基板の上に移載し押圧して装着する移載ヘッドと、移載ヘッドにより部品を基板に装着するときの荷重値を検出して押圧の制御に供する荷重センサとを備えた部品装着装置であって、
ステージと移載ヘッドとの相対移動を伴い移載ヘッドを装着用ステージ上に設定した平面度計測点に順次に当接させ、各平面度計測点に移載ヘッドが当接したときの当りを前記荷重センサの荷重値によって検出し、各平面度計測点の当り検出時の移載ヘッドの当り高さ位置のバラツキの分布からステージの平面度を演算により計測し、平面度が許容範囲を超えていると部品の装着を行なわない制御手段を備えたことを特徴とする部品装着装置。 - 平面度が許容範囲を超えていると、平面度の計測を繰り返しながら平面度が許容範囲内になると部品の装着を開始する請求項5に記載の部品装着装置。
- 許容範囲は、部品の種類の違いに応じて設定する請求項5に記載の部品装着装置。
- 部品の種類は、サイズあるいは面積である請求項7に記載の部品装着装置。
- 平面度の計測は、当り高さ位置のバラツキの分布を3次曲面に近似演算して行う請求項5〜8のいずれか1項に記載の部品装着装置。
- 平面度の計測はある時間ごとに行い、先の計測結果と比較してその差が許容範囲を超えていると異常と判定する請求項5〜9のいずれか1項に記載の部品装着装置。
- 異常の判定結果によって部品の装着を停止する請求項10に記載の部品装着装置。
- 移載ヘッドの当り高さ位置の計測は、移載ヘッドとその昇降ガイド部との間に設けたリニアスケールによって行う請求項5〜11のいずれか1項に記載の部品装着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006167503A JP2007335733A (ja) | 2006-06-16 | 2006-06-16 | ステージの平面度計測方法とそれを用いた部品装着装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009277850A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Shibaura Mechatronics Corp | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
JP2015118971A (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 実装装置及び実装方法 |
KR20200060500A (ko) * | 2017-10-09 | 2020-05-29 | 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 | 결합 헤드 장치, 결합 방법 및 결합 기계 |
CN114364940A (zh) * | 2020-07-30 | 2022-04-15 | 株式会社新川 | 安装装置以及安装装置中的平行度检测方法 |
-
2006
- 2006-06-16 JP JP2006167503A patent/JP2007335733A/ja active Pending
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