JP2001188010A - スケール読み取り装置 - Google Patents

スケール読み取り装置

Info

Publication number
JP2001188010A
JP2001188010A JP2000342487A JP2000342487A JP2001188010A JP 2001188010 A JP2001188010 A JP 2001188010A JP 2000342487 A JP2000342487 A JP 2000342487A JP 2000342487 A JP2000342487 A JP 2000342487A JP 2001188010 A JP2001188010 A JP 2001188010A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scale
read head
jig
end parts
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000342487A
Other languages
English (en)
Inventor
James Reynolds Henshaw
レイノルズ ヘンショウ ジェームズ
Thomas John Stickland
ジョン スチックランド トーマス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renishaw PLC
Original Assignee
Renishaw PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GBGB9926572.0A external-priority patent/GB9926572D0/en
Application filed by Renishaw PLC filed Critical Renishaw PLC
Publication of JP2001188010A publication Critical patent/JP2001188010A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders
    • G01D5/34753Carriages; Driving or coupling means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スケールの接続端部の位相が一致していない
場合、読み取りヘッドに組み込まれたセンサが正常に読
み取り動作を行うことができなくなる可能性がある。 【解決手段】 回転エンコーダの回転リング12の表面
にスケール1を固定し、このスケール1の両端部の位相
が合うまでこれらを調整する方法であって、スケール1
の両端部の位相整合は、読み取りヘッドを使用すること
により検査可能である。治具は、回転リング12を保持
する支持体14を持った中央部を有する支持ブロック1
3と、撓み弔盤18を介して中央部に連結される2つの
側方アーム19とを具え、側方アーム19のそれぞれ
は、これら側方アーム19に取り付けられてスケール1
の両端部を把持する把持手段5を有する。ばね20が側
方アーム19を相互に付勢するのに対し、調整ねじ21
はスケール1の両端部の間の間隙の位相が合うまで調整
されることを可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スケール読み取り
装置、特にこのスケール読み取り装置で使用する部材の
表面にスケールを固定して使用するための治具に関す
る。
【0002】
【従来の技術】2つの部材の相対的な変位を測定する光
−電子スケール読み取り装置の既知の形態は、一方の部
材にあって周期的なパターンを画成するスケール指標を
有するスケールと、他方の部材に装備される読み取りヘ
ッドと、スケールを照明する手段と、読み取りヘッドに
対して相対移動し、光と相互作用してスケール指標から
干渉縞を生じさせる周期的回折手段と、干渉縞に応じて
変位の測定を生じさせる読み取りヘッド内の検出手段と
を具えている。
【0003】このような装置の一例が欧州特許出願公開
第0 207 121号および米国特許第4,974,96
2号に開示されており、これらは照明手段と読み取りヘ
ッド内の周期的回折手段とをそれぞれ教示している。米
国特許第4,926,566号は、圧延によって作られ、
スケール指標のピッチが例えば20μmまたは40μm
である柔軟なテープの形態のスケールを製造する方法を
開示している。照明手段,回折手段および干渉縞に応答
する検出手段は、米国特許第5,302,820号に記載
された方法で読み取りヘッドと一体化されることができ
る。
【0004】上述した装置の形態は、基本的に直線状の
変位を測定するものである。しかしながら、回転変位の
測定のため、前記スケールは読み取りヘッドに対して軸
または他の回転部品と共に使用中に回転する円筒状表面
の周りに保持される必要があり、例えばドイツ国特許出
願公開第197 51 019を参照されたい。このよう
な装置は、例えば回転または角度または軸エンコーダと
一般に呼ばれている。
【0005】図11を参照すると、周期的パターンを画
成したスケール指標を有する環状のスケール1が概略的
に示されており、この環状のスケール1は、回転リング
(図11に図示せず)の外周面に例えば接着剤によって
固定される。参照符号2は、スケール指標を照明する手
段と、光と相互作用してスケール指標から干渉縞を生じ
させる周期的回折手段と、回転リングが使用中に装着さ
れる軸または他の回転部品の回転変位の測定を干渉縞に
応じて生じさせる検出手段とがある読み取りヘッドを示
している。周期的回折手段は、読み取りヘッド2に対し
て相対移動し、検出手段は読み取りヘッド2内にある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した種類の一般的
な回転エンコーダにおいて、読み取りヘッド2はスケー
ル1の対向する両端部が向かい合う間隙に跨がってうま
く読み取ることが可能である。その理由は、読み取りヘ
ッドの光学系が例えばほぼ2mm四方のスケールの領域を
観察するのに対し、間隙がこれよりも一般的にずっと小
さい(例えば100μm未満)ためであり、図12を参
照されたい。図12における参照符号3は、線の形態の
スケール指標を示しており、参照符号4は読み取りヘッ
ドの2mm四方の観察領域を示している。スケール1の対
向する両端部の間の間隙が単なる欠損した線として読み
取りヘッド2に生ずる場合、その場合には欠損した線の
ために信号強度がわずかしか低下せず、読み取りヘッド
の操作を妨げるような不具合は生じない。しかしなが
ら、2つの端部の位相が実質的に一致していない、すな
わち間隙の一方側にある最後のスケール指標から間隙の
反対側にある最初のスケール指標までの距離dがスケー
ルピッチの整数倍ではない場合、その場合には間隙に亙
って検出される一方側に起因した信号を相殺する他方側
に起因した信号により、読み取りヘッド内のセンサにも
たらされる信号低下が生じよう。これは、読み取りヘッ
ドの許容し得る操作を妨げる可能性がある。
【0007】測定誤差は、欠陥のある位相整合の結果と
して生ずる。この場合、間隙の一方側にある最後のスケ
ール指標から間隙の反対側にある最初のスケール指標ま
での距離dは、スケールピッチの整数倍ではなく、ある
距離eによって最も近い整数倍d′と相違することとな
る。読み取りヘッドがスケール1の一端を完全に読み取
る点から、これが完全に他端を読み取る点までの移動に
おいて、読み取りヘッドによって検出される距離は、値
e(他のすべての誤差を無視する)のために真の距離と
は相違することとなる。この誤差ステップは、図13に
示すように、読み取りヘッドがその2mm四方の観察領域
4に亙って平均化する方法のため、ほぼ2mmの距離に亙
って平滑化されよう。
【0008】
【発明の目的】本発明の目的は、スケールの接続端部に
形成される間隙の位相整合誤差を最小にし得る方法およ
びこれに用いる治具を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明が提供する1つの
形態は、スケール読み取り装置で使用する部材の表面に
スケールを固定する方法であり、スケールは周期的パタ
ーンを画成したスケール指標を有すると共に前記スケー
ル読み取り装置の読み取りヘッドによって読み取り可能
であり、この方法は、前記スケールの両端部が隣接する
するように、このスケールを前記部材の表面に設置する
ステップと、スケール指標の位相がほぼ合致するまで、
この両端部の位置を調整するステップとを具えている。
【0010】本発明が提供する他の形態は、スケール読
み取り装置で使用する部材の表面にスケールを固定して
使用する治具にあり、この治具は、前記部材を保持する
手段と、第1および第2のスケール端部把持手段と、こ
れら第1および第2のスケール端部把持手段を相互に相
対的に移動する手段とを具えている。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の1つの形態における方法
において、スケールは、例えば直線状の構成における2
本のスケールの隣接する2つの端部であってよい。
【0012】あるいは、本発明方法はスケール読み取り
装置で使用する回転部材の外周面に1本の前記スケール
を固定するための方法であってよく、この方法は、1本
のスケールの反対側にある2つの端部が対向するよう
に、これを回転部材の外周面に設置するステップと、こ
れら両端部の位相がほぼ合致するまで、1本のスケール
の両端部の位置を調整するステップとを具える。
【0013】回転部材が回転リングであってよい。この
場合、回転部材の外周面は回転リングの外周面であって
よい。
【0014】回転部材および1本のスケールは、回折手
段がスケール指標から光と相互作用する光−電子スケー
ル読み取り装置で使用するためのものであってよい。
【0015】本発明の他の形態における治具において、
この治具は、スケール読み取り装置で使用する回転部材
の外周面に1本のスケールを固定して使用するためのも
のであってよく、保持手段は前記回転部材を保持できる
ようになっており、第1および第2のスケール端部把持
手段は1本のスケールの反対側に位置する2つの端部を
把持するようになっている。
【0016】第1および第2のスケール端部把持手段
は、スケールのそれぞれ端部と係合することによってこ
れを把持する比較的鋭利な部分を有することができる。
【0017】
【実施例】本発明による治具の一実施例について、図1
〜図10を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこ
のような実施例に限らず、これらをさらに組み合わせた
り、この明細書の特許請求の範囲に記載された本発明の
概念に包含されるべき他の技術にも応用することができ
る。
【0018】本発明の以下の実施例における位相調整治
具は、スケール1の2つの端部が良好な位相整合が得ら
れるまで相互に相対的に動かされ、正しい位置に保持さ
れることを可能とする。このように、治具はスケールを
正しい位置に保持する一方、スケールは、例えば硬化接
着剤によってその正しい位置に固定される。
【0019】位相整合の状態は、読み取りヘッドをスケ
ール1の接続端部の間に形成される間隙に跨がって走行
させ、その信号強度を観察することによって検査するこ
とが可能である。これは、間隙中央Cに関し、変位に対
する信号強度のグラフである図1を参照されたい。図1
において、Bは悪い位相整合の結果として生じる曲線で
あり、Gは良好な位相整合に起因する曲線である。20
μmのピッチスケールに対し、位相整合誤差を±2μm
(ピッチの10%)以下に調整することが望ましい。こ
のレベルにおいては、誤差を表すグラフ(図13参照)
において位相整合誤差を認識することはできない。
【0020】図2〜図8を参照すると、本実施例による
治具は、対象となるリング12を保持する手段と、二対
のスケール把持ピン5と、これらスケール把持ピン5を
相互に相対的に動かす手段とからなる。
【0021】より詳細には、スケール1の端部のそれぞ
れは、一対のスケール把持ピン5によってその読み取り
面に把持され、それぞれの端部に1つのスケール把持ピ
ン5が配置されている。それぞれの対のスケール把持ピ
ン5は、支持ブロック6のそれぞれに保持され、これら
が一緒に動くようになっている。
【0022】スケール把持ピン5のそれぞれは、スケー
ル1の表面に食い込む硬化先端部7を有し、これらはそ
の裏側に突設されている。この硬化先端部7は、その目
的のためにスケール把持ピン5に残っている金属の部分
を研削することにより形成された三角錐体からなること
ができる。それぞれの対のスケール把持ピン5に対して
下向きの力を加えることにより、これらはスケール1の
端部を何れの方向においてもこれに関連付けて引っ張る
ために使用可能である。
【0023】スケール把持ピン5の各支持ブロック6
は、それぞれ穴9および溝10(以下、これらを一括し
て台座9,10と呼称する場合がある)に運動学的な台
座をもたらす先端が尖った2つのねじ8に支えられてい
る。支持ブロック6のそれぞれは、一対のばね11によ
ってその台座9,10に押し付けられ、さらにこれら一
対のばね11は、スケール1の表面にスケール把持ピン
5を押し付ける。先端の尖ったねじ8を穴9および溝1
0に対して使用することは、このシステムからあらゆる
遊びを実質的に取り除くことができる単純な取り付け手
段を提供する。
【0024】回転エンコーダ用のリング12は、スケー
ル1を支え、治具の主たる調整ブロック13に置かれて
2本のだぼ14の上に載置される。次に、リング12
は、調整ブロック13の把持ジョー16を閉じるための
ねじ15を締め付けることにより把持される。把持ジョ
ー16は、撓み蝶番17の弾性変形を伴ってこれを中心
に傾動する。次に、支持ブロック6は、調整ブロック1
3の上端に配置されるこれらの台座9,10に置かれ、
ばね11は支持ブロック6を正しい位置に保持する。
【0025】支持ブロック13は、この支持ブロック1
3の中央部に対して支持ブロック13の側方アーム19
が曲げることを可能にする2つの撓み蝶番18を有す
る。ばね20は、側方アーム19をその基部において相
互に押し拡げる。調整ねじ21は、ばね20に抗して作
用し、側方アーム19の相対的な位置が変えられること
を可能にする。調整ねじ21を時計回りに回転すると、
まずスケール1の弛みが取られてスケール1がピンと張
られ、そしてスケール1の対向する両端部が相互に近づ
くようにスケール1が引っ張られる。これと反対方向に
調整ねじ21を回すと、スケール1の両端部の間隙が拡
げられる。つまり、スケール1がリング12に固定され
る前に、スケール1の両端部の間隙を調整ねじ21を回
すことによって任意に制御することが可能である。
【0026】この間隙の位相整合は、間隙の両側の信号
強度に対し、この間隙を跨がる信号強度を監視すること
によって検査することができる。単一の読み取りヘッド
2がこの間隙を越えて通過し、中央ピボット軸23(図
9参照)回りにアーム22上を走行するか、あるいはリ
ング12の外縁部を走行する1組のローラ24(図10
参照)に対して走行する。調整ねじ21は、間隙全体に
亙って信号低下ができるだけ小さくなるまで調整回転さ
れる。この位相整合は、リング12にスケール1を固定
する前(例えば接着剤の硬化が始まる前)に、顕微鏡の
下で検査することも可能である。
【0027】
【発明の効果】本発明によると、スケールの接続部分に
形成される間隙の位相整合誤差を最小にすることがで
き、特に回転エンコーダ用のスケールに対して好適な高
精度のスケール読み取り装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の対象となった一般的な回転エンコーダ
の概念図である。
【図2】スケールの2つの端部の間に形成される間隙に
対し、一般的な読み取りヘッドの観察領域を示す概念図
である。
【図3】位相整合誤差の発生原因を説明するための概念
図である。
【図4】変位と位相整合状態に応じた信号強度との関係
を表すグラフである。
【図5】本発明の一実施例による治具の一部を示す破断
斜視図である。
【図6】図5に示した治具の把持ピンの一部を示す破断
斜視図である。
【図7】回転エンコーダの回転リングを受け入れた状態
を表す本実施例における治具の斜視図である。
【図8】図6に示した治具の一部を抽出拡大した斜視図
である。
【図9】図6に示した治具の正面図であり、その可動部
品の移動方向を示す。
【図10】図6に示した治具の破断斜視図である。
【図11】図6に示した治具の破断斜視図である。
【図12】スケールの両端部の間の間隙に跨がって走行
する読み取りヘッドの使用方法を説明するための概念図
である。
【図13】スケールの両端部の間の間隙に跨がって走行
する読み取りヘッドの使用方法を説明するための概念図
である。
【符号の説明】
1 スケール 2 読み取りヘッド 5 ピン 6 支持ブロック 7 硬化先端部 8 ねじ 9 穴(台座) 10 溝(台座) 11 ばね 12 リング 13 調整ブロック 14 だぼ 15 ねじ 16 把持ジョー 17 撓み蝶番 18 撓み蝶番 19 側方アーム 20 ばね 21 調整ねじ 23 中央ピボット軸 24 ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トーマス ジョン スチックランド イギリス ジーエル2 4ピーエヌ グロ スターシャ クイッジレイ ザ レクトリ ー (番地なし)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スケール読み取り装置で使用する部材の
    表面にスケールを固定して使用するための治具であっ
    て、保持手段と、第1および第2のスケール端部把持手
    段と、これら第1および第2のスケール端部把持手段を
    相互に相対的に移動する手段とを具えたことを特徴とす
    る治具。
  2. 【請求項2】 前記部材は、回転部材の外周面と、この
    回転部材を保持する前記保持手段と、前記スケールの対
    向する両端部を把持する前記第1および第2のスケール
    端部把持手段とを具えたことを特徴とする請求項1に記
    載の治具。
  3. 【請求項3】 前記第1および第2のスケール端部把持
    手段は、スケール端部のそれぞれと係合してこれを把持
    するための比較的鋭利な部分をそれぞれ有することを特
    徴とする請求項1または請求項2に記載の治具。
  4. 【請求項4】 前記第1および第2のスケール端部把持
    手段は、第1および第2の支持ブロックに支持され、こ
    れら支持ブロックは、前記保持手段の運動学的な台座に
    着座する位置決め部材と、前記支持ブロックを前記台座
    に押し付けると共に前記スケール端部把持手段を前記ス
    ケールの表面に押し付ける付勢手段とを有することを特
    徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載の治具。
  5. 【請求項5】 前記保持手段は、前記回転部材を支持す
    る支持手段を持った中央部と、2つの撓み蝶番によって
    前記中央部に連結された2つの側方アームと、これら第
    1および第2の側方アームに取り付けられる前記第1お
    よび第2のスケール端部把持手段と、さらに前記側方ア
    ームを相互に付勢するばねと、このばねと反対に作用す
    る調整ねじとを具え、前記調整ねじを回すことによって
    前記スケールの両端部の間の間隙が調整されるようにな
    っていることを特徴とする請求項2から請求項4の何れ
    かに記載の治具。
JP2000342487A 1999-11-11 2000-11-09 スケール読み取り装置 Pending JP2001188010A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9926572.0 1999-11-11
GBGB9926572.0A GB9926572D0 (en) 1999-10-15 1999-11-11 Scale reading apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001188010A true JP2001188010A (ja) 2001-07-10

Family

ID=10864251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000342487A Pending JP2001188010A (ja) 1999-11-11 2000-11-09 スケール読み取り装置

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP1099937A1 (ja)
JP (1) JP2001188010A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106017381A (zh) * 2016-06-28 2016-10-12 上海大众祥源动力供应有限公司 一种读数头位置调整固定装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10046818B4 (de) 2000-09-20 2008-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4569137A (en) * 1983-06-07 1986-02-11 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Linear scale type displacement measuring device and main scale attaching method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106017381A (zh) * 2016-06-28 2016-10-12 上海大众祥源动力供应有限公司 一种读数头位置调整固定装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1099937A1 (en) 2001-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4902971A (en) Magnetic head and disc tester employing pivot arm on linearly movable slide
JPH02213738A (ja) タイヤユニフォーミティ測定装置
JP3887188B2 (ja) プローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法
JP2001188010A (ja) スケール読み取り装置
JP2598579Y2 (ja) 平行度測定装置
US4614038A (en) Head for measuring diameters of cylindrical parts
JPH08338708A (ja) 測定手段
JPH01259211A (ja) 真円度測定機の直径測定装置
CN213812183U (zh) 光学镜片偏心检测装置
JP2696106B2 (ja) 走査型トンネル顕微鏡
JPH0663721B2 (ja) ゴルフクラブゲージ
JPS6110703A (ja) ホイ−ル・アラインメント・ゲ−ジ
US20020018215A1 (en) Surface profile measurement apparatus
JP4111888B2 (ja) 摩擦試験装置
JP2576884B2 (ja) 伸び測定方法
JP2007033399A (ja) マグネットロールの磁力測定装置及びその調整方法
JP2855394B2 (ja) 回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保持装置
JPS5825284Y2 (ja) ナイソクソクテイキ
GB2317453A (en) Measurement of irregularity and/or misalignment of a video drum assembly
JP2000292109A (ja) 側面形状測定方法及びその装置
JP3335098B2 (ja) 形状測定機の位置精度検査装置
JP4119097B2 (ja) 薄円板の支持方法および薄円板の支持構造
JPS61108951A (ja) X線ゴニオメ−タ
JPS598161Y2 (ja) マイクロメ−タヘツドの送り誤差測定装置
JPH08159916A (ja) 変位付与試料ホルダ