JP6122070B2 - 電気音響デバイス及び電気音響デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
第二反射層は、電気的に絶縁されてもよい。
を評価することで、推定値を得ることができる。これらのパラメタから、以下のように定義される音響基準パラメタを導出することができる。
により、電気抵抗を定めることができる。ここで(elは導電率、Aは例えば電極の面積、d1=lは長さ、d2は幅、tは厚みである。グラフェンの導電率は例えば108S/mにもなり得るもので、従ってグラフェンは例えば銀よりも高い導電率をもつ。電極の厚さtが200μmで面積Aが200μm×200μmである場合、選択された材料については、例えば以下の抵抗値となる。
このように設けられた反射層は長手方向の波に対しても剪断波に対しても高い反射率をもつ。こうして、これらの波は圧電層に戻されるように反射される。
反射層51,52から成る層配列は、平坦な分散が得られるような寸法で形成されていてもよい。
20 第二電極
30 圧電層
40 基板
51 第一反射層
52 第二反射層
t 厚み
DS 応力分布
d1 長さ
d2 幅
v 速度
D 密度
E 電極の領域
P 圧電層の領域
fR 周波数
kx 波数
TE モード
TS モード
Claims (5)
- 少なくとも
第一電極(10)と、
第二電極(20)と、
前記第一電極(10)および前記第二電極(20)と電気的にカップリングされた活性領域(30)であって、前記第一電極(10)および前記第二電極(20)が前記活性領域(30)の1つの面上に配設されている活性領域とを含む層配列を備えた電気音響デバイスであって、
前記第一電極(10)および/または前記第二電極(20)は、グラーフェンからなる層を含み、
前記活性領域(30)は、圧電層を備える電気音響デバイス。 - 請求項1に記載の電気音響デバイスにおいて、
前記第一電極(10)及び/または前記第二電極(20)が、複数の上下に重なった層を備え、そのうちの少なくとも一つの層がグラーフェンからなる層を含んでいる電気音響デバイス。 - 請求項2に記載の電気音響デバイスにおいて、
前記第一電極(10)及び/または前記第二電極(20)の、グラーフェンからなる層を少なくとも1つ含む層が、Ti,Mo,TiとMoの混合物,Ru,Pt,W,Al,Cu,AlとCuの混合物、を含む群から選ばれた材料を含む少なくとも一つの層と組み合わされている電気音響デバイス。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電気音響デバイスにおいて、
前記電気音響デバイスは、表面波デバイスとして形成されている電気音響デバイス。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電気音響デバイスの製造方法であって、
グラーフェンが、化学気相成長、物理気相成長、溶液塗布及び表面化学反応を含む群から選ばれた一つの方法を用いて設けられる電気音響デバイスの製造方法。
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