JP6115257B2 - 真空バルブ - Google Patents
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Description
図1から図4に、この発明の実施の形態1に係る真空バルブの形状を示す。図1はこの発明の実施の形態1による真空バルブの電極の断面図であり、図2は真空バルブの電極の要部断面図であり、図3は真空バルブの電極の分解斜視図であり、図4は真空バルブの全体を示す断面図である。
図6、図7はこの発明を実施するための実施の形態2による真空バルブ構造を説明するための図である。図6は、この発明の実施の形態2による真空バルブの電極の断面図であり、図7は、真空バルブの電極の要部断面図である。
1a、3a 突出部
1b スリット
1c 突起
2 固定側コイル
2a、4a 溝
3 可動側接点
4 可動側コイル
12、14 係止部
Claims (4)
- 円盤形状であり対向面を有する一対の接点と、
前記接点の前記対向面の裏側にそれぞれろう付けされ、前記接点間に軸方向の磁界を発生させる一対のコイルと、
少なくとも一方の前記接点は、前記対向面の裏側に、前記コイルの内周側面又は外周側面に沿って前記コイルの軸方向に延在するとともに前記コイルの内周側面又は外周側面に沿った周方向に配置した突出部を有し、
前記コイルは、前記突出部の内周側面又は外周側面に対向する溝を備え、
前記突出部は前記溝に向かって折曲し、前記突出部と前記溝とで係止部を構成する
ことを特徴とする真空バルブ。 - 前記突出部は、少なくとも一対のスリットを有し、前記スリット間に突起を設けた
ことを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ。 - 前記突出部及び前記コイルは、はめあわせ交差になる
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の真空バルブ。 - 前記係止部は、前記突出部と前記溝とが前記接点の対向面に対して平行に係合する
ことを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ。
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