JP6100651B2 - 樹脂製モールドおよび樹脂製モールドをインプリントして得られる光学素子の製造方法 - Google Patents
樹脂製モールドおよび樹脂製モールドをインプリントして得られる光学素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6100651B2 JP6100651B2 JP2013178995A JP2013178995A JP6100651B2 JP 6100651 B2 JP6100651 B2 JP 6100651B2 JP 2013178995 A JP2013178995 A JP 2013178995A JP 2013178995 A JP2013178995 A JP 2013178995A JP 6100651 B2 JP6100651 B2 JP 6100651B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- mold
- resin mold
- connecting portion
- inclined surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/02—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
- B29C59/022—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing characterised by the disposition or the configuration, e.g. dimensions, of the embossments or the shaping tools therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/00317—Production of lenses with markings or patterns
- B29D11/00326—Production of lenses with markings or patterns having particular surface properties, e.g. a micropattern
- B29D11/00336—Production of lenses with markings or patterns having particular surface properties, e.g. a micropattern by making depressions in the lens surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/0048—Moulds for lenses
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Description
すなわち、図8に示したように、小さなマスターモールド2(例えば、300mm×300mm)から、4個のレプリカモールド4を形成するとともに、これら同形状のレプリカモールド4を、例えば、樹脂、ゴムなどからなる基材6上に並べて配置し、互いに隣接し合うレプリカモールド4間の隙間10に、例えば光硬化性樹脂を充填し、光照射により隙間10に硬化層を形成することにより、大面積モールド18を作製することができる。
また、本発明は、1つの樹脂製モールドから大面積モールドを形成するにあたり、接合した部分が離反したり美観あるいは機能を損ねたりすることがない樹脂製モールドを提供することを目的としている。
表面に微細な凹凸パターンが転写して形成された樹脂製モールドの一方の側のモールド構成要素と、他方の側のモールド構成要素と、
前記一方の側のモールド構成要素と前記他方の側のモールド構成要素との間の連結部分とを有し、
前記連結部分は傾斜面で構成されており、前記連結部分の高さは100nm〜100μmの範囲であり、
前記傾斜面は、前記一方の側のモールド構成要素を含む平面に対して傾斜しており、
前記一方の側のモールド構成要素を含む平面と、前記他方の側のモールド構成要素を含む平面とが、互いに平行であることを特徴とする。
また、大面積モールドを形成する場合であっても、連結するモールドの端部同士を突き合わせてその上に傾斜面を形成するので、空気の巻き込みに起因する剥離が生じ難い。さらに、大面積モールドを形成する場合に、接合樹脂の硬化した部分が目立ってしまうことがない。さらに、大面積モールドを形成するにあたり連結部分を全て傾斜面とすることにより、大型化した場合の全体的な光学特性が損なわれることがない。
このような傾斜角θを有する傾斜面が形成されていれば、転写材料にインプリントした場合に、微細な凹凸を正確に転写することができ、良好なパターンの転写を行うことが可能であった。
また、本発明に係る樹脂製モールドは、半導体材料、光学材料、記憶メディア、マイクロマシン、バイオテクノロジー分野および環境分野等に使用される光学素子として好適に使用することができる。
特に本発明の光学素子は、反射防止板、光拡散板、接触防止板などとして有用性が高い。
図1は本発明の一実施例に係る樹脂製モールド20を模式的に示す概略斜視図で、図2は図1のA−A線方向の概略断面図である。
すなわち、この樹脂製モールド20には、図2に拡大して示したように、必要により樹脂層24から剥離される樹脂、ガラス、シリコンなどからなる基板22上に、微細な凹凸パターン21を有する樹脂層24が具備されている。
Y3-n(CH3)nSiAX (1)
上記樹脂層の厚さは、通常50nm〜1mm、好ましくは、500nm〜500μmである。このような厚さであるとインプリント加工が行い易いからである。
剥離層(図示せず)を形成する離型剤としては、好ましくはフッ素系シランカップリング剤、アミノ基又はカルボキシル基を有するパーフルオロ化合物およびアミノ基又はカルボキシル基を有するパーフルオロエーテル化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種からなる層であることが好ましく、より好ましくは、フッ素系シランカップリング剤、片末端アミン化パーフルオロ(パーフルオロエーテル)化合物ならびに片末端カルボキシル化パーフルオロ(パーフルオロエーテル)化合物の単体または複合体からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物からなる層であることが好適である。
剥離層(図示せず)の厚さは、好ましくは、0.5〜20nm、より好ましくは0.5〜10nm、最も好ましくは、0.5〜5nmの範囲内である。
上記の樹脂製モールド20は、どのような方法で形成しても良く、特に限定されるものではない。
その結果、樹脂製モールド20に部分的に力が強く作用しながら転写ロール体25が回転することにより、傾斜部αが平坦化され転写材料26に対して良好な転写が行われると考えられる。
図4は、複数個の樹脂製モールド20を、例えば、樹脂フィルム60の上面に平面的に並べた例を示したものである。
なお、図4では、複数個の樹脂製モールド20が、樹脂フィルム60の長さ方向に並行して配置されているが、幅方向と組み合わせて配置し、互いの突き合わせ部15に、図1に示した連結部分20Cの場合と同様に傾斜面αを有する連結部分30Cを形成してもよい。
また、連結部分30Cの形成方法は、特に限定されないが、例えば、スピンコートなどで形成することができる。スピンコートなどにより傾斜面αを有する連結部分30Cを形成すれば、空気の巻き込みが生じ難い。また、断面三角形状の連結部分30Cは、両側のモールドの端部間に跨っているので、剥離などが生じることもない。また、樹脂が硬化した部分を上方から視認した場合に、目立ってしまうことがない。
図5の場合は、樹脂製モールド20、20間に、高さdの段差を形成する例である。
この高さdは、連結部分20Cの傾斜面αの高さtと同じであることが好ましい(t=d)。すなわち、小形の樹脂製モールド20の連結部分20Cと、小型の樹脂製モールド20を連結していく場合の連結部分30Cの形状は、同じであることが好ましい。このように形成すれば、大面積化する場合であっても、全体の光学特性を均一にすることができる。
15 突き合わせ部
18 大面積モールド
20 樹脂製モールド
20A 一方の側のモールド構成要素
20B 他方の側のモールド構成要素
20C 連結部分
21 微細な凹凸パターン
22 基板
24 樹脂層
25 転写ロール体
26 転写材料
30C 連結部分
32 大面積のモールド
60 樹脂フィルム
θ 傾斜面の傾斜角
d 段差の高さ
t 傾斜面の高
Claims (6)
- 表面に微細な凹凸パターンが転写して形成された樹脂製モールドの一方の側のモールド構成要素と、他方の側のモールド構成要素と、
前記一方の側のモールド構成要素と前記他方の側のモールド構成要素との間の連結部分とを有し、
前記連結部分は傾斜面で構成されており、前記連結部分の高さは100nm〜100μmの範囲であり、
前記傾斜面は、前記一方の側のモールド構成要素を含む平面に対して傾斜しており、
前記一方の側のモールド構成要素を含む平面と、前記他方の側のモールド構成要素を含む平面とが、互いに平行であることを特徴とする樹脂製モールド。 - 前記傾斜面の傾斜角θが、0°<θ≦89°の範囲としたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂製モールド。
- 前記傾斜面の傾斜角θが、0°<θ≦75°の範囲としたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂製モールド。
- 前記傾斜面の傾斜角θが、0°<θ≦60°の範囲としたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂製モールド。
- 前記傾斜面の傾斜角θが、0°<θ≦45°の範囲としたことを特徴とする請求項1に記載の樹脂製モールド。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の樹脂製モールドをインプリントして得られることを特徴とする光学素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013178995A JP6100651B2 (ja) | 2012-09-28 | 2013-08-30 | 樹脂製モールドおよび樹脂製モールドをインプリントして得られる光学素子の製造方法 |
US14/015,090 US20140093692A1 (en) | 2012-09-28 | 2013-08-30 | Resin Mold, Production Process Therefor and Uses Thereof |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012217164 | 2012-09-28 | ||
JP2012217164 | 2012-09-28 | ||
JP2013178995A JP6100651B2 (ja) | 2012-09-28 | 2013-08-30 | 樹脂製モールドおよび樹脂製モールドをインプリントして得られる光学素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014080017A JP2014080017A (ja) | 2014-05-08 |
JP6100651B2 true JP6100651B2 (ja) | 2017-03-22 |
Family
ID=50385497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013178995A Expired - Fee Related JP6100651B2 (ja) | 2012-09-28 | 2013-08-30 | 樹脂製モールドおよび樹脂製モールドをインプリントして得られる光学素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140093692A1 (ja) |
JP (1) | JP6100651B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150059494A (ko) * | 2013-11-22 | 2015-06-01 | 삼성전자주식회사 | 색변화 저감용 광학 필름의 제조방법, 색변화 저감용 광학필름이 적용된 유기발광 표시장치 및 이의 제조방법 |
JP6252769B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2017-12-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インプリント転写物、インプリント転写型、およびインプリント転写方法 |
KR102279239B1 (ko) | 2014-07-25 | 2021-07-19 | 삼성전자주식회사 | 임프린트 공정을 이용한 역상 패턴 전사방법 |
KR102336499B1 (ko) * | 2014-08-04 | 2021-12-07 | 삼성전자주식회사 | 패턴 구조체 및 그 제조방법과, 금속 와이어 그리드 편광판을 채용한 액정 표시장치 |
KR20160024410A (ko) | 2014-08-25 | 2016-03-07 | 삼성전자주식회사 | 패턴 구조체 및 그 제조방법 |
KR102319347B1 (ko) | 2014-09-01 | 2021-10-29 | 삼성전자주식회사 | 대면적 마스터 웨이퍼, 대면적 마스터 웨이퍼의 제조 방법 및 대면적 마스터웨이퍼를 이용한 광학 소자 제조 방법 |
JP6317247B2 (ja) | 2014-12-22 | 2018-04-25 | 富士フイルム株式会社 | インプリント用モールド |
KR20160098898A (ko) * | 2015-02-11 | 2016-08-19 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이패널 및 디스플레이장치 |
JP6484505B2 (ja) * | 2015-06-12 | 2019-03-13 | Jxtgエネルギー株式会社 | 凹凸パターンを転写するための転写ロール、及びその転写ロールを有するフィルム部材の製造装置 |
KR102526751B1 (ko) | 2016-01-25 | 2023-04-27 | 삼성전자주식회사 | 지향성 백라이트 유닛, 3차원 영상 디스플레이 장치, 및 3차원 영상 디스플레이 방법 |
KR20180044744A (ko) | 2016-10-24 | 2018-05-03 | 삼성전자주식회사 | 패턴 구조체 및 그 제조방법 |
KR102654863B1 (ko) | 2016-11-08 | 2024-04-05 | 삼성전자주식회사 | 지향성 백라이트 유닛 및 이를 포함하는 영상 표시 장치 |
JP7326876B2 (ja) * | 2018-05-28 | 2023-08-16 | 大日本印刷株式会社 | 樹脂製モールド、レプリカモールドの製造方法、及び光学素子の製造方法 |
KR20220079547A (ko) * | 2019-10-09 | 2022-06-13 | 모포토닉스 홀딩 비.브이. | 타일링된 가요성 스탬프 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5629804A (en) * | 1993-01-18 | 1997-05-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffraction grating |
US6322652B1 (en) * | 1998-09-04 | 2001-11-27 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a patterned surface articles |
JP2000280257A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-10 | Kuraray Co Ltd | フレネルレンズシートの製造方法 |
JP4411026B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2010-02-10 | キヤノン株式会社 | 光学材料及び、光学素子、回折光学素子、積層型回折光学素子、光学系 |
JP2004271777A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 光学部材 |
JP2006098912A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Sumitomo Chemical Co Ltd | ポリカーボネート樹脂製直下型バックライト用光拡散板 |
KR20060105193A (ko) * | 2005-04-01 | 2006-10-11 | 삼성전자주식회사 | 하이브리드-확산판과, 이를 갖는 백라이트 어셈블리 및표시장치 |
JP4957139B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-06-20 | 大日本印刷株式会社 | モールドの製造方法 |
JP4815464B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2011-11-16 | 株式会社日立製作所 | 微細構造転写スタンパ及び微細構造転写装置 |
JP5737184B2 (ja) * | 2009-10-21 | 2015-06-17 | 旭硝子株式会社 | インプリント用モールド、その製造方法、インプリント装置およびインプリント方法 |
-
2013
- 2013-08-30 US US14/015,090 patent/US20140093692A1/en not_active Abandoned
- 2013-08-30 JP JP2013178995A patent/JP6100651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014080017A (ja) | 2014-05-08 |
US20140093692A1 (en) | 2014-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6100651B2 (ja) | 樹脂製モールドおよび樹脂製モールドをインプリントして得られる光学素子の製造方法 | |
KR102208719B1 (ko) | 패턴화되고 구조화된 전사 테이프 | |
KR102307788B1 (ko) | Oled 디바이스용 나노구조체 | |
US9114592B2 (en) | Method for manufacturing fine concave-convex pattern and sheet for manufacturing fine concave-convex pattern | |
JP6275048B2 (ja) | インプリント用モールドの製造方法、インプリント用モールド、インプリント用モールド製造キット | |
JP5768133B2 (ja) | 樹脂製モールドの接合方法およびこの接合方法で製造されたロールトゥーロール用連続モールド構成体 | |
JP6173354B2 (ja) | 光透過型インプリント用モールド、大面積モールドの製造方法 | |
KR20150099814A (ko) | 나노구조화된 전사 테이프의 사용방법 및 그로부터 제조된 제품 | |
EP3237971B1 (en) | Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp and imprinting method | |
KR20130094800A (ko) | 수지제 몰드, 그 제조 방법 및 그 사용 방법 | |
JP2011112964A5 (ja) | ||
KR20170028365A (ko) | 스텝 앤드 리피트용 임프린트용 몰드 및 그 제조 방법 | |
JP6603218B2 (ja) | 微細構造体の製造方法 | |
JP2010523378A5 (ja) | ||
KR20120020012A (ko) | 유기-무기 복합체 및 이로부터 제조된 나노임프린트용 스탬프 | |
WO2017047635A1 (ja) | インプリント用モールドの製造方法 | |
WO2017126589A1 (ja) | 細胞培養基板及びその製造方法 | |
US9855703B2 (en) | Method of forming aligned pattern in pattern formation region by using imprint process | |
JP2007503604A5 (ja) | ||
JP6509976B2 (ja) | 樹脂製シートおよびチューブ | |
TWI375819B (en) | Method of manufacturing thin film pattern layer | |
JP2008040415A5 (ja) | ||
JPH0327913A (ja) | 樹脂成形用型 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170223 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6100651 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |