KR20220079547A - 타일링된 가요성 스탬프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마이크로 및 나노 구조의 임프린팅을 위한 확대 마스터에 관한 것이며, 마스터는 복수의 타일 형상 마스터 유닛으로 만들어지며, 마스터를 만드는 복수의 타일 형상 마스터 유닛은 비육각형 형상을 가지는 타일 형상 마스터 유닛들을 포함하며, 이웃하는 마스터 유닛의 인접한 모서리들은 서로 평행하고, 마스터를 형성하는 마스터 유닛들은 마스터 유닛들 사이의 접속 라인만이 마스터 유닛들 사이의 접합 지점을 가지도록 배열되며, 접합 지점에서, 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개의 모서리가 함께 모인다. 본 발명은 또한 마이크로 및 나노 구조를 임프린팅하기 위한 가요성 스탬프에 관한 것이며, 가요성 스탬프는 이러한 확대 마스터로부터 복사된다. 또한 가요성 스탬프에서 복사되는 임프린팅된 제품이 청구된다.

Description

타일링된 가요성 스탬프

본 발명은 마이크로 및 나노 구조의 임프린팅을 위한 확대 마스터(scaled-up master)에 관한 것으로, 마스터는 타일 형상 마스터 유닛들로 만들어진다. 본 발명은 또한 확대 마스터를 제조하기 위한 스탬프 타일의 조립체 및 확대 마스터로부터 복사된 가요성 스탬프에 관한 것이다.

마이크로 및 나노 구조는 제품의 성능을 향상시키기 위해 사용된다. 이러한 것은 반사 방지 구조를 사용하여 태양 전지판의 효율성, 또는 마이크로 렌즈 또는 나노 격자의 사용에 의해 디스플레이에 대해 광학 3D 효과의 생성을 향상시킬 수 있다.

구조는 임프린팅 기술(imprint technology)의 사용에 의해 제품에 추가될 수 있다. 예를 들어 웨이퍼 스케일 UV-NIL, 롤-투-롤 임프린팅 또는 롤 투 플레이트 임프린팅과 같은 다양한 임프린팅 기술이 있다. 각각의 경우에, 제품에 요구되는 바와 같은 역 구조(inverse structure)를 가지는 마스터 구조는 UV 또는 열 경화성 수지를 사이에 두고 제품에 프레싱된다. 경화 후에, 수지는 응고되고, 마스터는 제품으로부터 제거된다.

임프린팅 기술을 위해, 대면적 임프린팅으로 갈 필요가 있다. 이러한 것은 두 가지 이유 때문이다.

1) 대형 제품(예를 들어, 태양 전지판 또는 대형 디스플레이)에 텍스처(texture)를 임프린팅할 수 있는 기회를 가지는 것.

2) 하나의 복제 사이클에서 다수의 제품을 복제하는 것. 이로써, 처리량이 크게 증가한다.

대면적 복제는 대면적 마스터를 필요로 한다. 마스터 가격은 제조 시간, 이에 의해 마스터의 크기에 의존한다. 대면적 마스터는 비싸다. 롤-투-롤 임프린팅 기술에서, 이러한 문제는 예를 들어 WO 2017/032758 A1에 개시된 바와 같이 무이음매 드럼을 사용하여 해결되었다. 이러한 경우에, 드럼의 직경은 연속 영역이 봉합선(stitch line) 없이 존재하는 것을 보장하도록 신중하게 선택된다. 그러나, 모든 텍스처가 저렴한 가격에 이런 방식으로 만들어질 수 있는 것은 아니다.

다른 해결책은 소형 기본 마스터로부터 대형 확대 마스터를 만드는 것이다. 단계적이고 반복적인 방식을 사용하여, 마스터 구조는 매트릭스 구조에서 여러 번 복사된다. 복제된 영역들 사이에 봉합선 또는 접합 라인(splice line)이 있다. 공정을 최적화하는 것에 의해, 봉합 또는 접합 폭을 가능한 한 작게 하는 것이 가능하다. 단계적이고 반복된 방법의 예가, 예를 들어 웨이퍼 스테퍼를 사용하는 US2004/0124566 A1, US 7 077 992 B2, 및 롤러를 사용하는 KR 1017807289 B1에서 설명된다. KR 1017807289 B1은 심지어 디스플레이 제품에서 경계선으로 보일 수 있는 어떠한 봉합선도 피하는 것을 목표로 한다. 이 문헌에 따르면, 복제된 영역이 인접한 가장자리에서 중첩되기 위해 복제된 영역이 배열되도록 타일링 기술이 적용된다(또한, 비특허문헌인 Jong G. Ok 외, "A step toward next-generation nanoimprint lithography: extending productivity and applicability"; Appl. Phys. A (2015) 121:343-356 참조).

마스터를 확장하는 더욱 저렴한 방법은 여러 마스터 유닛들을 물리적으로 함께 타일링하는 것이다. 이러한 것은 예를 들어 특허 US 8 027 086 B2에서 수행된다. 이로써, 가요성 플라스틱 마스터 타일은 둘러싸여 스테인리스강 롤러의 직경에 고정된다. 이러한 경우에, 봉합 영역은 단계적이고 반복된 방법에 비해 더 커진다. 상이한 마스터 유닛 타일을 함께 프레싱하는 것에 의해, 마스터 유닛들 사이의 봉합 영역 또는 이음매를 가능한 한 작게 유지한다. 특정 텍스처에 대해, 획득된 더 큰 봉합 또는 접합 폭 또는 이음매 폭이 허용될 수 있다. 더욱이, 이러한 것은 제2 가능성, 즉 하나의 확대 마스터 상의 다수의 제품의 타일링을 가능하게 한다. CN 105911815 A는 타일 패턴을 형성하기 위해 복수의 마스터 타일 또는 템플릿 유닛을 함께 접합하는 것을 개시한다. 템플릿 유닛은 정렬 마크를 따라서 기판에 배열된다.

다수의 마스터를 타일링하는 것에 의해 만들어지거나 또는 임프린팅 공정에서 복수의 나노 임프린팅 템플릿 유닛으로 만들어진 확대 마스터의 사용은 봉합의 품질이 양호하게 제어되는 경우에만 양호하게 작업할 것이다. 대형 이음매는 임프린팅 공정을 방해할 수 있고, 임프린팅의 외관을 저하시킬 수 있다. 그리고 함께 타일링하는 동안, 위치 정확도는 양호하게 제어되어야 한다. 양호하게 제어된 위치 정확도를 이용하여서만, 확대 마스터로 만들어진 임프린팅된 샘플들의 다수의 활성 영역은 직선으로 절단될 수 있다. 타일링된 마스터 유닛들 사이의 이음매 외관과 타일링된 마스터 유닛들 사이의 이음매 폭은 때때로 폭이 너무 크거나 타일링된 마스터 유닛들이 오정렬 및/또는 회전된다는 점에서 품질이 불충분하다.

그러므로, 본 발명의 목적은 확대 마스터가 복수의 마스터 유닛으로부터 용이하게 확대될 수 있는 마이크로 및 나노 구조의 임프린팅을 위한 확대 마스터를 이용 가능하게 만드는 것이며, 마스터 유닛은 높은 위치 정확도, 결과적으로 개선된 이음매 외관을 가지며, 확대 마스터는 비용 효율적인 방식으로 만들어질 수 있다.

이러한 문제는 마이크로 및 나노 구조를 임프린팅하기 위한 확대 마스터에 의해 해결되며, 마스터는 복수의 타일 형상 마스터 유닛으로 만들어지며, 마스터를 형성하는 복수의 타일 형상 마스터 유닛은 비육각형 형상을 가지는 타일 형상 마스터 유닛을 포함하며, 이웃하는 마스터 유닛들의 인접한 가장자리는 서로 평행하고, 마스터를 형성하는 마스터 유닛들은 마스터 유닛들 사이의 접합 라인만이 마스터 유닛 사이의 접합 지점들을 가지도록 배열되며, 접합 지점들에서, 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개의 모서리가 함께 모인다.

본 발명의 대면적 확대 마스터의 제조 공정에서, 마스터 유닛을 위한 템플릿으로서 역할을 하는 복수의 스탬프 타일이 배열되고, 마스터 유닛을 위한 템플릿으로서 역할을 하는 복수의 스탬프 타일은 비육각형 형상(non-hexagonal shape)을 가지는 스탬프 타일을 포함한다. 이들 스탬프 타일로부터, 확대 마스터를 구축하는 마스터 유닛들은 임프린팅 기술을 통해 형성된다. 동시에, 확대 마스터는 임프린팅 기술을 통해 복수의 스탬프 타일로 형성된다. 본 발명의 대면적 확대 마스터는 그런 다음 웨이퍼 스케일 UV-NIL, 롤-투-롤 임프린팅 또는 롤-투-플레이트 임프린팅과 같은 임프린팅 기술을 통해 마스터의 구조를 다수 재생하기 위한 마스터로서 사용된다.

본 발명에 따르면, 복수의 마스터 유닛이 비육각형 형상을 가지는 마스터 유닛을 포함하는 것이 요구된다. 확대 마스터의 실시예에서, 복수의 마스터 유닛은 비육각형 형상을 가지는 마스터 유닛에 더하여 육각형 형상을 가지는 마스터 유닛을 또한 포함할 수 있다. 어떤 경우에도, 마스터 유닛들의 형상과 마스터 유닛들의 배열은 이웃하는 마스터 유닛의 인접한 가장자리들이 서로 평행하도록 하여야만 하고, 마스터를 형성하는 마스터 유닛은 마스터 유닛들 사이의 접합 라인들만이 마스터 유닛들 사이의 접합 지점들을 가지도록 배열되며, 접합 지점들에서, 다음에 추가로 설명되는 바와 같이 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개의 모서리가 함께 모인다.

확대 마스터의 유리한 실시예에서, 마스터는 비육각형 형상을 가지는 타일 형상 마스터 유닛들로 형성되며, 즉 확대 마스터는 육각형 형상을 가지는 마스터 유닛들을 포함하지 않는다.

비육각형 형상을 가지는 마스터 유닛들은 다양한 형상을 가질 수 있으며, 상이한 형상을 가지는 마스터 유닛들은 마스터 유닛의 배열이 본 발명에 따른 요구 사항을 충족시키는 한 확대 마스터를 구축하도록 조합될 수 있다. 바람직하게, 비육각형 형상을 가지는 마스터 유닛들은 정사각형, 직사각형 또는 삼각형 형상 또는 사다리꼴 형상, 직각 밑각(base angle)을 가지는 축 대칭 오각형 또는 내각이 90°가 아닌 평행사변형을 가지거나, 또는 진동 곡선(oscillating curve)의 형태를 가지는 곡선 가장자리를 가진다.

유사한 방식으로 마스터 유닛과 관련하여 만들어진 이러한 설명은 마스터 유닛들을 위한 템플릿으로서 역할을 하는 스탬프 타일들에 적용된다. 추가의 바람직한 실시예에서, 스탬프 타일들은 평면의 평평한 형태를 가지며, 즉 이러한 것들은 예를 들어 원통형으로 곡선화되지 않는다. 마찬가지로 바람직한 실시예에서, 확대 마스터의 마스터 유닛들 및 확대 마스터는 평면의 평평한 형태를 가지며, 즉 이러한 것들은 원통형으로 곡선화되지 않는다.

스탬프 타일들로 마스터를 형성하는 공정은 일반적으로 공지되어 있지만, 앞서 언급한 바와 같이, 종래 기술의 공정에서, 종래 기술의 확대 마스터의 타일링된 마스터 유닛들 사이의 이음매 외관 및 타일링된 마스터 유닛들 사이의 이음매 폭은 때때로 품질이 불충분하다. 확대 마스터들이 4개의 마스터 유닛, 또는 정사각형 또는 직사각형 형상을 갖고 중심점에서 모서리와 만나는, 그러므로 교차 접합부를 형성하는 타일들로 만들어지는 스탬프 타일의 종래 기술의 타일링을 이용하는 것으로, 위치 정확도의 제어가 달성되기 어렵다는 것이 알려졌다. 운반을 위해, 즉 확대 마스터를 만들기 위해 다수의 스탬프 타일의 패턴을 임프린팅하기 위해 임프린팅 스테이션으로 이송될 때 종래 기술에 따른 스탬프 타일이 함께 밀리거나 이동될 때, 마지막 스탬프 타일이 다른 스탬프 타일을 옆으로 밀어, 오정렬되고 회전된 타일링(rotated tiling)을 초래할 수 있다. 더욱이, 모서리들은 정렬 힘이 약한 모서리에 가해지기 때문에 쉽게 손상될 수 있다. 이러한 것은 특히 부서지기 쉽고, 부서지기 쉬운 타일이 사용되면, 칩이나 모서리가 옆으로 부서지지 않아야 함에 따라서 어려운 일이다. 오정렬 및 회전된 타일링이 또한 각각 확대 마스터 및 확대 마스터 유닛의 타일링 마스터 유닛들에 전사되는 것은 물론이다.

본 확대 마스터의 발명자들은, 비육각형 형상을 가지는 스탬프 타일을 포함하는 복수의 스탬프 타일이 조립되어서, 조립된 스탬프 타일들 사이의 접합 라인만이, 이웃하는 스탬프 타일들의 최대 3개의 모서리가 함께 모이는 스탬프 타일들 사이의 접합 지점들, 즉 최대 3개의 스탬프 타일의 꼭지점들이 만나는 접합 지점들을 가지면, 스탬프 타일들의 오정렬 및 회전된 타일링이 감소되거나 심지어 피할 수 있다는 것을 발견했다. 이러한 타일링을 가지는 스탬프 타일을 이송할 때, 접합 지점들에서, 낮은 변형이 스탬프 타일의 모서리 또는 꼭지점에 발생하여, 스탬프 타일의 옆으로의 밀림이 발생하지 않고, 높은 정렬 정확도가 얻어진다. 동시에, 이러한 이점은 본 발명에 따라서, 타일 형상의 마스터 유닛들로부터 설정되는 확대 마스터로 전사되며, 이웃하는 마스터 유닛들의 인접한 가장자리들은 서로 평행하고, 마스터 유닛들은 마스터 유닛들 사이의 접합 라인만이, 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개 모서리가 함께 모이는 마스터 유닛들 사이의 접합 지점, 즉, 최대 3개의 마스터 유닛의 꼭지점이 만나는 접합 지점만을 가지도록 배열된다. 그 결과, 확대 마스터 유닛들에서, 마스터 유닛들은 높은 위치 정확도를 가져서, 개선된 이음매 외관을 초래한다.

그러므로, 본 발명에 따르면, 확대 마스터 및 확대 마스터를 형성하는 스탬프 타일들의 조립체가 필수적이며, 조립된 마스터 유닛들과 조립된 스탬프 타일들 사이의 접합 라인들은 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개 모서리와 조립된 스탬프 타일이 각각 모이는, 즉 서로 마주치는 접합 지점을 가진다. 더욱이, 마스터 유닛과 스탬프 타일에 대해, 이웃하는 마스터 유닛들과 스탬프 타일의 인접한 가장자리가 서로 평행한 것이 필요하다.

마스터 유닛의 가장자리는 직선일 수 있고, 돌출부, 노치 등을 가질 수 있거나 곡선화될 수 있다. 어느 한 경우에, 이웃하는 마스터 유닛들과 스탬프 타일들의 인접한 가장자리들은 서로 평행하다. 비육각형 형상을 가지는 마스터 유닛들은 진동 곡선의 형태를 가지는 곡선 가장자리를 가지지 않고, 바람직하게 어떠한 돌출부, 노치 등도 없는 직선 가장자리들을 가진다.

곡선 가장자리들의 경우에, 가장자리들은 바람직한 실시예에서 진동 곡선의 형태를 가질 수 있고, 더욱 바람직한 실시예에서 사인파 형상을 가질 수 있다. 이러한 경우에, 마스터 유닛들은 4개의 가장자리를 가질 수 있고, 서로 반대로 있는 가장자리들은 진동 형상을 가질 수 있으며, 바람직한 예로서 사인파 형상일 수 있다. 또한 서로 반대로 있는 한 쌍의 가장자리만이 사인파 형상을 가지지만, 다른 두 가장자리는 직선인 것이 가능하다. 곡선 가장자리를 가지는 마스터 유닛들은 확대 마스터의 길이 연장의 방향으로 열로 배열되거나 또는 길이 방향에 직각인 방향으로 행으로 배열될 수 있으며, 하나의 열 또는 하나의 행의 마스터 유닛들은 이웃하는 열 및 행의 마스터 유닛들로부터의 오프셋을 보인다. 이를 통해, 교차 접합 지점들이 방지되고, 마스터 유닛들 사이의 접합 지점만이 얻어지는 것이 달성되며, 접합 지점에서, 본 발명에 따라 요구되는 바와 같이, 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개의 모서리가 함께 모인다.

바람직한 실시예에서, 마스터 유닛들, 및 마스터 유닛들을 형성하는 스탬프 타일들은 정사각형 또는 직사각형 형상 및 직선 가장자리를 가질 수 있다. 이러한 경우에, 이웃하는 마스터 유닛들 및 조립된 스탬프 타일들의 최대 3개의 모서리가 각각 만나는 접합 지점들은 T-형상을 가진다. 바람직한 경우에, 마스터 유닛들은 정사각형 또는 직사각형 형상을 가지며, 확대 마스터는 길이 연장부를 가질 수 있고, 마스터 유닛들은 바람직하게 행 내에서 바람직하게 동일한 크기의 마스터 유닛들과 함께 길이 연장부에서 행으로 배열될 수 있으며, 하나의 행의 마스터 유닛들은 이웃하는 행의 마스터 유닛들로부터의 오프셋을 보인다.

마찬가지로 바람직한 실시예에서, 확대 마스터는 길이 연장부를 가지며, 마스터 유닛들은 바람직하게 행 내에서 동일한 크기의 마스터 유닛이 있는 행들로 배열될 수 있으며, 이러한 행은 길이 연장부에 직각으로 연장되며, 하나의 행의 마스터 유닛들은 이웃하는 행의 마스터 유닛들로부터의 오프셋을 보인다.

마스터 유닛들이 확대 마스터의 길이 연장부에서 열로 배열되거나 또는 길이 연장부에 직각인 방향으로 행으로 배열되는 바람직한 실시예에서, 하나의 행의 마스터 유닛들은 이웃하는 행의 마스터 유닛들로부터 오프셋을 보이며, 오프셋은 접합 라인들을 따라서, 접합 지점들이 서로로부터 적어도 10 mm의 거리를 가지도록 하는 것이 더 바람직하다.

마스터 유닛들은 바람직하게 릴리프 구조가 있는 활성 영역을 가질 수 있다. 바람직한 실시예에서, 활성 영역은 각각의 마스터 유닛의 전체 표면에 걸쳐서 연장될 수 있고, 결과적으로, 확대 마스터 유닛의 전체 영역을 덮을 수 있고, 따라서 확대형 또는 광범위한 활성 영역을 형성할 수 있다. 그 결과, 또한 가요성 스탬프에 대하여, 바람직한 실시예에서, 가요성 스탬프의 전체 영역은 릴리프 구조가 있는 활성 영역으로 덮인다. 이러한 경우에, 가요성 스탬프는 전체 활성 영역으로부터 광범위한 세그먼트를 절단하는 것에 의해 필요한 크기로 만들어질 수 있다. 대안적으로, 마이크로 및/또는 나노 구조를 가지는 임프린팅된 제품을 생산하기 위해 완전한 가요성 스탬프를 사용할 때, 광범위한 활성 영역으로 덮인 광범위한 세그먼트가 임프린팅된 제품으로부터 절단될 수 있다.

추가의 바람직한 실시예에서, 활성 영역은 각각의 마스터 유닛의 표면의 일부에 걸쳐서만 연장될 수 있다. 이러한 경우에, 활성 영역은 다양한 형상을 가질 수 있다. 이것은 예를 들어 정사각형 또는 직사각형 형상을 가질 수 있거나, 또는 원형 또는 타원형일 수 있다. 최종 확대 임프린팅된 제품으로부터 다수의 타일링된 제품의 용이한 절단을 보장하기 위해, 각각의 마스터 유닛이 각각의 마스터 유닛의 표면의 일부에 걸쳐서만 연장되는 릴리프 구조가 있는 활성 영역을 가진 상태에서, 마스터 유닛이 확대 마스터의 길이 연장부에서 열로 배열되거나 또는 길이 연장부에 직각인 방향으로 행으로 배열되는 바람직한 실시예에서, 활성 영역은 확대 마스터 내에서 직선 행 및/또는 직선 열에 배치해야 한다. 이러한 경우에, 활성 영역은 바람직하게 대응하는 마스터 유닛들 내에 배열되어서, 이웃하는 행 및/또는 열의 마스터 유닛들 사이의 오프셋은 이웃하는 마스터 유닛들의 활성 영역이 +/- 1mm 미만의 정렬 정확도로 직선 행 및/또는 직선 열에 정렬되도록 한다. 보다 바람직하게, 활성 영역은 이웃하는 마스터 유닛들의 활성 영역들이 +/- 100 ㎛ 미만의 정렬 정확도, 가장 바람직하게 +/- 20 ㎛ 미만의 정렬 정확도로 정렬되도록 대응하는 마스터 유닛들 및 이웃하는 행의 마스터 유닛들 사이의 오프셋 내에 배열된다.

추가의 바람직한 실시예에서, 마스터 유닛들은 삼각형 형상 또는 사다리꼴 형상을 가질 수 있고, 확대 마스터는 Y-형상을 가지는 마스터 유닛들 사이의 접합 지점들을 가진다. 마찬가지로, 추가의 바람직한 실시예에서, 스탬프 타일들은 삼각형 형상 또는 사다리꼴 형상을 가질 수 있고, 스탬프 타일들의 조립체는 Y-형상을 가지는 타일링된 스탬프들 사이의 접합 지점들을 가진다.

본 발명의 확대 마스터는, 마스터 유닛들 사이에, 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개의 모서리가 함께 모이는 접합 지점을 마스터 유닛들 사이의 접합 라인들이 가지는 한, 상이한 비육각형 형상들을 가지는 마스터 유닛들을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 확대 마스터는 바람직하게 사다리꼴 형상을 가지는 마스터 유닛들과 함께 삼각형 형상을 가지는 마스터 유닛들로 구축될 수 있다. 이러한 경우에, 바람직한 실시예에서, 확대 마스터는 이등변 삼각형의 형상을 가지는 마스터 유닛들 및 이등변 사다리꼴의 형상을 가지는 마스터 유닛들을 포함할 수 있으며, 이등변 삼각형 및 이등변 사다리꼴은 동일한 밑각을 갖고, 마스터 유닛들은 확대 마스터의 길이 연장부의 방향 또는 이러한 길이 연장부에 직각인 방향으로 행으로 배열되고, 이등변 삼각형과 이등변 사다리꼴은 교번적인 순서로 행 내에 배열된다.

추가의 바람직한 실시예에서, 확대 마스터는 삼각형 형상을 가지는 마스터 유닛들 및 사다리꼴 형상을 가지는 마스터 유닛들로부터 구성될 수 있고, 스탬프 타일 조립체는 각각 삼각형 형상을 가지는 스탬프 타일 및 사다리꼴 형상을 가지는 스탬프 타일로부터 구성될 수 있다. 이러한 경우에, 바람직하게, 확대 마스터 및 스탬프 타일의 조립체는 각각 바람직하게 2개의 동일한 크기의 직각 사다리꼴 및 하나의 이등변 삼각형으로 형성된 적어도 하나의 정사각형 또는 직사각형 요소로 만들어질 수 있으며, 이등변 삼각형의 밑각과 이등변 삼각형의 밑각에 인접한 직각 사다리꼴의 밑각은 함께 직각을 형성한다.

추가 실시예에서, 확대 마스터는 정육각형 또는 하나의 대칭 방향을 따라 늘어나는 육각형의 형상을 가지는 마스터 유닛들과, 직각 밑각을 가지는 축 대칭 오각형의 형상을 가지는 마스터 유닛 및 직각 사다리꼴의 조합으로부터 구축된다. 육각형, 오각형 및 직각 사다리꼴은 바람직하게 그 크기 및 윤곽과 관련하여 일치되고, 직사각형 형태를 가지는 확대 마스터를 초래하도록 배열된다.

본 발명의 확대 마스터는 특히 마이크로 및 나노 구조를 임프린팅하는데 사용되는 가요성 스탬프의 제조에 매우 적합하다. 그러므로, 본 발명은 또한 본 발명에 따른 확대 마스터로부터 복사된 가요성 스탬프에 관한 것이다. 가요성 스탬프는확대 마스터의 마스터 유닛들과 동일한 타일링된 패턴을 가진 타일링된 서브 유닛을 가진다. 그러므로, 본 발명은 또한 마이크로 및 나노 구조를 임프린팅하기 위한 가요성 스탬프에 관한 것이며, 가요성 스탬프는 복수의 타일 형상 서브 유닛으로 만들어지고, 복수의 타일 형상 서브 유닛은 비육각형 형상을 가지는 타일 형상 서브 유닛들을 포함하며, 이웃하는 서브 유닛들의 인접한 가장자리들은 서로 평행하고, 서브 유닛들은, 이웃하는 서브 유닛의 최대 3개의 모서리가 함께 모이는 서브 유닛들 사이의 접합 지점들을 서브 유닛들 사이의 접합 라인이 가지도록 가요성 스탬프로 배열된다. 본 발명의 가요성 스탬프의 바람직한 실시예에 대하여, 본 발명의 확대 마스터에 대해 동일하게 적용되며, 대응하여, 언급된 바와 같이, 가요성 스탬프의 서브 유닛들은 기본적으로 확대 마스터의 마스터 유닛들에 대응한다.

본 발명은 또한 본 발명에 따른 가요성 스탬프로부터 복제된 임프린팅 제품에 관한 것이다. 임프린팅된 제품이 타일링과 관련하여 그 표면에서, 복사 또는 복제되는 가요성 스탬프와 동일한 구조를 가질 수 있다는 것은 물론이다. 그러므로, 본 발명에 따른 임프린팅된 제품에 대한 본 발명의 임프린팅된 제품의 바람직한 실시예와 관련하여, 본 발명의 가요성 스탬프 및 본 발명의 확대 마스터에 대해 각각 동일하게 적용된다. 이러한 것은 확대 마스터의 마스터 유닛들에 대응하는 가요성 스탬프의 서브 유닛들이 가요성 스탬프의 서브 유닛들과 동일한 형상 및 배열을 가지는 임프린팅된 제품에서 세그먼트를 생성하기 때문이다.

본 발명의 가요성 스탬프의 디자인과 관련하여, 종래 기술에 개시된 그 구성 실시예가 사용될 수 있다. 이와 관련하여, 예를 들어 US 7 824 519 B1, WO 2016/128494 또는 미공개 유럽 특허 출원 EP18200147.9에서의 예에 대해 예시화된 바와 같은 가요성 스탬프가 참조된다.

본 발명은 이제 다음의 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명되며, 여기에서, 본 발명의 범위는 도면에 의해 제한되지 않는다:
도 1은 4개의 모서리 접합 지점이 있는 스탬프 타일의 조립체(종래 기술)를 도시한다.
도 2는 임프린팅 스테이션(종래 기술)으로 이송될 때 함께 이동된 후 4개의 모서리 접합 지점이 있는 스탬프 타일의 조립을 도시한다.
도 3은 직사각형 형상 및 직선 가장자리를 가지는 4개의 마스터 유닛으로 구성된 본 발명에 따른 확대 마스터를 도시한다.
도 4는 직사각형 형상과 직선 가장자리 및 정렬된 활성 영역을 가지는 4개의 마스터 유닛으로 구성된 본 발명에 따른 확대 마스터를 도시한다.
도 5는 이등변 삼각형의 형태를 가지는 3개의 동일한 크기의 마스터 유닛으로 구성된 본 발명에 따른 확대 마스터를 도시한다.
도 6은 동일한 크기의 2개의 직각 사다리꼴 및 하나의 이등변 삼각형으로 형성된 확대 마스터를 도시한다.
도 7은 하나의 대칭 방향을 따라서 늘어나는 정육각형의 형상의 마스터 유닛들, 축 대칭 오각형의 형상을 가지는 마스터 유닛들, 직각 사다리꼴의 형태를 가지는 마스터 유닛들, 및 이등변 사다리꼴의 형태를 가지는 마스터 유닛들의 조합으로 형성된 확대 마스터를 도시한다.
도 8은 임프린팅된 제품으로부터 광범위한 임프린팅된 구조가 절단되는, 도 7에 도시된 확대 마스터로 차례로 제조되는 가요성 스탬프로부터 얻어질 수 있는 임프린팅된 제품을 도시한다.
도 9는 임프린팅된 제품으로부터 다수의 소형의 임프린팅된 구조가 절단되는, 도 7에 도시된 확대 마스터로 차례로 제조되는 가요성 스탬프로부터 얻어질 수 있는 임프린팅된 제품을 도시한다.
도 10은 임프린팅된 제품으로부터 다수의 소형의 임프린팅된 구조가 세그먼트화된 활성 영역과 함께 절단되는, 도 7에 도시된 것과 유사한 확대 마스터로 차례로 제조되는 가요성 스탬프로부터 얻어질 수 있는 임프린팅된 제품을 도시한다.
도 11은 곡선형 상부 및 하부 가장자리를 가지는 확대 마스터를 도시하며, 확대 마스터는 행으로 배열된 타일링된 마스터 유닛들로 구성되고, 마스터 유닛들은 2개의 반대 측면 상의 사인 곡선 형태의 가장자리를 가진다.

도 1은 확대 마스터가 만들어질 수 있는 스탬프 타일(1)들의 종래 기술의 조립체를 도시한다. 이 예에서, 직사각형 형상을 가지는 4개의 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)이 중심점에서 모서리와 만나도록 배열되어, 교차 접합부 또는 교차 접합 지점(6)을 형성한다. 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)들은 릴리프 구조가 있는 활성 영역(7)들을 가질 수 있으며, 릴리프 구조는 본 경우에 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)들의 표면의 일부를 덮고, 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)들의 가장자리(8A)들에 평행한 가장자리를 가진다. 처음에, 4개의 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)은 이웃하는 스탬프 타일의 인접한 가장자리(8A)들이 서로 평행하도록 배열되고, 스탬프 타일들의 인접한 가장자리(8A)들 사이에 형성된 접합 라인(8B)(봉합선 또는 이음매라고도 함)들은 균일하고 양호하게 제어된다.

도 1의 스탬프 타일(1)들의 종래 기술 조립체의 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)들이 전사, 즉 확대 마스터를 만들도록 다수의 스탬프 타일의 패턴을 임프린팅을 위해 임프린팅 스테이션으로 이송될 때 함께 밀리거나 이동될 때, 마지막 스탬프 타일(4 및 5)들은 다른 스탬프 타일(2, 3)들을 옆으로 밀어, 오정렬 및 회전된 타일링을 초래할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같은 스탬프 타일의 이러한 조립체에 대해, 오정렬 및 회전된 타일링은 타일링 공정 자체 동안, 즉 스탬프 타일들이 서로 이웃하여 배열될 때 이미 생성될 수 있다는 점이 언급되어야 한다. 이러한 것은 도 2에 도시된 바와 같이, 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)들 사이의 불균일한 갭(9, 10)들과 교차 접합 지점(6)에 있는 모서리들에서 높은 변형 레벨로 이어진다. 오정렬 및 회전된 타일링 및 불균일한 갭들을 가지는 스탬프 타일(1)들의 이러한 조립체로 대면적 확대 마스터를 제조할 때, 또한 확대 마스터는 동일한 결함을 보일 것이다.

도 3은 직사각형 형상 및 직선 가장자리를 가지는 4개의 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)으로 구성된 본 발명에 따른 확대 마스터(11)를 도시한다. 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들은 이웃하는 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들의 인접한 가장자리들이 서로 평행하도록 열들로 배열된다. 확대 마스터(11)를 형성하는 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들은, 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들 사이의 접합 라인(18B)들만이 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들 사이의 접합 지점(16, 17)들을 가지도록 배열되며, 접합 지점들에서, 이웃하는 마스터 유닛들의 3개의 모서리가 함께 모여, 접합 지점(16, 17)들이 T-형상을 가진다. 이러한 것은 하나의 행의 마스터 유닛(12, 14)들이 이웃하는 행의 마스터 유닛(13, 15)들로부터 오프셋을 보이도록 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들의 배열에 의해 도 3의 확대 마스터(11)에 대해 달성된다. 이러한 오프셋에 의해, 접합 라인(18B)을 따라서, 접합 지점(16, 17)들이 서로로부터 거리(A)를 가지는 것이 또한 달성된다.

도 3의 확대 마스터를 제조하는 공정에서, 확대 마스터(11)의 마스터 유닛들과 동일한 구성 또는 텍스처의 음수를 가지는 역 구성을 가지는 스탬프 타일들로부터 구축되는 스탬프 타일의 조립체가 사용된다. 이러한 것은 도 3의 확대 마스터(11)가 만들어지는 스탬프 타일들의 조립체가 또한 직사각형 형상을 가지며, 길이 연장부에서 행으로 배열되는 것을 의미하며, 하나의 행의 조립된 스탬프 타일들은 이웃하는 행의 조립된 스탬프 타일들로부터의 오프셋을 보여, 이웃하는 스탬프 타일들의 3개의 모서리만이 만나는 접합 지점들을 초래하고, T-형상을 가지는 접합 지점을 초래한다. 이러한 조립체의 스탬프 타일들이 전사를 위해 임프린팅 스테이션으로 이송될 때 함께 밀리거나 이동되면, 즉 접합 지점에서 확대 마스터를 만들기 위해 다수의 스탬프 타일의 패턴을 임프린팅하면, 더 낮은 변형률이 스탬프 타일의 모서리 또는 꼭지점에서 생성되며, 스탬프 타일을 옆으로 밀림이 발생하고, 높은 정렬 정확도가 얻어질 수 있다.

동시에, 이러한 이점은 확대 마스터(11)로 전달된다. 그러므로, 도 3의 확대 마스터의 4개의 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)은 이웃하는 스탬프 타일의 인접한 가장자리(18A)들이 서로 평행하도록 배열되며, 그러므로 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들 사이에 형성된 접합 라인(18B)들(봉합선 또는 이음매로 또한 명명됨)은 균일하고 양호하게 제어된다.

도 1 및 도 2의 스탬프 타일(2, 3, 4, 5)들에 대해 도시된 바와 같이, 도 3의 확대 마스터(11)의 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들이 또한 릴리프 구조가 있는 활성 영역(20)들을 가질 수 있으며, 활성 영역들은 이 경우에 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들의 표면의 일부를 덮고, 마스터 유닛(12, 13, 14, 15)들의 가장자리와 평행한 가장자리를 가진다.

도 4는 본 발명의 다른 확대 마스터(11')를 도시한다. 도 3의 확대 마스터(11)와 같이, 도 4의 확대 마스터(11')는 직사각형 형상과 직선 가장자리를 가지는 4개의 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')으로 구성된다. 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들 역시 릴리프 구조가 있는 활성 영역(20', 20", 20"', 20"")들을 가지며, 활성 영역들은 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들의 표면의 일부를 덮고 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들의 가장자리에 평행한 가장자리들을 가진다. 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들은 이웃하는 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들의 인접한 가장자리(18A')들이 서로 평행하도록 열로 배열된다. 확대 마스터(11')를 형성하는 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들은 마스터 유닛(12', 13', 14', 15') 사이의 접합 라인(18B')들만이 접합 지점(16', 17')들을 가지도록 배열되며, 접합 지점들에서, 이웃하는 마스터 유닛들의 3개의 모서리가 함께 모여서, 접합 지점(16', 17')들이 T-형상을 가진다.

도 11의 확대 마스터를 형성하는 마스터 유닛과 다르게, 도 4의 확대 마스터(11')의 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들은 크기가 다르지만, 마스터 유닛(12', 13', 14', 15')들에서의 활성 영역들의 크기는 모든 마스터 유닛에 대해 동일하다. 최종의 확대형 임프린팅된 제품으로부터 다수의 타일링된 제품의 용이한 절단을 보장하기 위하여, 활성 영역(20', 20", 20"', 20"")들은 확대 마스터(11') 내에서 직선 행 및/또는 직선 열로 배치되며, 활성 영역(20', 20", 20"', 20"")들은 대응하는 마스터 유닛들 내에 배열되고, 이웃하는 행들 및/또는 열들의 마스터 유닛들 사이의 오프셋은 거리(B 및 C)로서 도 4에 도시된 필요한 정렬 정확도로 직선 행 및/또는 직선 열로 정렬되도록 한다. 본 발명에 따르면, 정렬 정확도는 바람직하게 +/- 1 mm 미만이다.

도 5는 이등변 삼각형의 형태를 가지는 3개의 동일한 크기의 마스터 유닛(101, 102, 103)으로 구성된 본 발명에 따른 확장형 마스터(100)의 실시예를 도시하고, 확장형 마스터(100)는 Y-형상을 가지는, 마스터 유닛(101, 102, 103) 사이의 접합 지점(104)를 가진다. 확대 마스터(100)의 마스터 유닛(101, 102, 103)은 이등변 삼각형의 다리들이 서로 부착되도록 확대 마스터(100)를 형성하기 위해 배열된다.

도 5의 확대 마스터(100)는 확대 마스터(100)의 전체 표면을 덮는 활성 영역을 가진다.

도 6에서, 직사각형 형상을 갖고 2개의 동일한 크기의 직각 사다리꼴(201, 202)과 하나의 이등변 삼각형(203)으로 형성되는 본 발명에 따른 확대 마스터(200)가 도시되어 있으며, 이등변 삼각형(203)의 밑각(α₁, α₂)들과, 이등변 삼각형(203)의 밑각(α₁, α₂)들에 인접한 직각 사다리꼴(201, 202)의 밑각(β₁, β₂)들은 함께 직각을 형성한다. 도 6의 확대 마스터(200) 역시 확대 마스터(200)의 전체 표면을 덮는 활성 영역을 가진다.

도 7에서, 하나의 대칭 방향으로 늘어난 정육각형 형상의 마스터 유닛(301)들과, 직각 밑각을 가지는 축대칭 오각형의 형상을 가지는 마스터 유닛(302)들, 직각 사다리꼴 형태를 가지는 마스터 유닛(303)들, 및 마지막으로 이등변 사다리꼴 형태를 가지는 마스터 유닛(304)의 조합으로 형성된 확대 마스터(300)가 도시되어 있다. 육각형, 오각형, 직각 사다리꼴 및 이등변 사다리꼴들은 크기와 윤곽과 관련하여 일치되고, 직사각형 형태를 초래하도록 배열된다. 도 7의 확대 마스터 유닛을 위하여, 마스터 유닛(301, 302, 303, 304)들 사이의 접합 라인(305)들만이 이웃하는 마스터 유닛들의 3개의 모서리가 함께 모이는 접합 지점(306)을 가지며, 접합 지점들은 Y-형상을 가진다.

또한, 도 7의 확대 마스터(300)는 점선으로 표시된 바와 같이 확대 마스터(300)의 전체 표면을 덮는 활성 영역을 가진다.

도 8에서, 차례로 도 7에 도시된 확대 마스터로 제조되는 가요성 스탬프로부터 얻어질 수 있는 임프린팅된 제품(400)을 개략적으로 도시한다. 임프린팅된 제품(400)은 그 전체 표면에 걸쳐 활성 영역을 가진다. 도 7의 확대 마스터를 위해 존재하는 마스터 유닛들 사이의 접합 라인(305)들은 또한 최종 임프린팅된 제품(400) 상의 이음매, 경계선 또는 봉합선(401)으로서 보일 수 있다.

도 8에서 점선(402)으로 표시된 바와 같이, 대형 임프린팅 구조(402)는 점선(403)을 따라서 임프린팅된 제품(400)으로부터 절단될 수 있다.

도 9에 도시된 추가 실시예에서, 다수의 더 작은 임프린팅된 구조(502)는 도 8에 도시된 임프린팅된 제품(400)에 대응하는 임프린팅된 제품(500)으로부터 얻어질 수 있다. 다시, 도 9에서 점선(503, 504)으로 표시된 바와 같이, 세그먼트(502)들은 임프린팅된 제품(500)으로부터 절단될 수 있으며, 세그먼트들은 확대 마스터의 마스터 유닛들로부터 유래하는 타일들보다 크기가 더 작으며, 임프린팅된 구조가 세그먼트들로부터 최종적으로 유래하고, 세그먼트들은 봉합선(501)에 의해 둘러싸인 타일로서 보인다. 임프린팅된 구조(502)들은 먼저 라인(503)들을 따라서 임프린팅된 제품(500)을 절단하고, 그 후 라인(504)들을 따라서 절단하는 것에 의해 얻어질 수 있다. 그러므로, 도 9에 도시된 바와 같이, 도 7에 도시된 바와 같은 확대 마스터는 하나의 복제 사이클에서 다수의 제품, 즉 다수의 보다 작은 임프린팅된 구조가 복제될 수 있는 제조 공정을 위해 사용될 수 있다.

도 10은 도 7에 도시된 것과 유사한 확대 마스터로부터 유래하는 임프린팅된 제품(600)의 실시예를 도시한다. 도 7에 도시된 확대 마스터와 대조적으로, 도 10에서의 임프린팅된 제품(600)의 기초를 형성하는 확대 마스터에서, 마스터 유닛들의 각각은 마스터 유닛들의 표면의 일부만을 덮는 직사각형 활성 영역을 가진다. 그 결과, 도 10에 도시된 임프린팅된 제품(600)은 또한 봉합선(602)에 의해 둘러싸인 타일들 내의 활성 영역의 직사각형 세그먼트(601)들을 가진다. 임프린팅된 구조(603)들은 먼저 라인(604)들을 따라서 임프린팅된 제품(600)을 절단하고, 그 후 라인(605)들을 따라서 절단하는 것에 의해 얻어질 수 있다. 그러므로, 도 10에서 또한 도시된 바와 같이, 도 7에 도시된 것과 유사한 확대 마스터는 하나의 복제 사이클에서 다수의 제품, 즉 다수의 보다 작은 임프린팅된 구조가 복제될 수 있는 제조 공정을 위해 사용될 수 있다.

도 11은 곡선화된 상부 및 하부 가장자리(701, 702)를 가지는 확대 마스터(700)의 예를 도시하며, 확대 마스터(700)는 행으로 배열된 타일링된 마스터 유닛(703)들로부터 구성된다. 마스터 유닛(703)들은 진동 또는 사인 곡선 형태의 2개의 반대로 있는 측면 가장자리(704, 705)를 가진다. 마스터 유닛(703)들의 다른 2개의 가장자리(706, 707) 및 확대 마스터(700)의 다른 2개의 가장자리(708, 709)는 직선이다. 한 행의 마스터 유닛들의 사인파 가장자리(704, 705)들로 형성된 사인 곡선은 이웃하는 행의 마스터 유닛들의 사인파 가장자리(704, 705)들로 형성된 사인 곡선과 평행하게 진행된다. 한 행의 마스터 유닛(703)들의 직선 가장자리(706, 707)들은 이웃하는 행의 마스터 유닛(703)들의 직선 가장자리(706, 707)에 대한 오프셋을 가진다. 이에 의해, 마스터 유닛(703)들 사이의 사인 곡선 접합 라인들을 따라서, 이웃하는 마스터 유닛(703)들의 2개의 모서리가 함께 모이고 제3 마스터 유닛의 연속 사인파 가장자리(704, 705)들과 만나는, 마스터 유닛(703)들 사이의 접합 지점(710)만이 존재한다. 도 11의 확대 마스터(703)에서, 마스터 유닛(703)들은 활성 영역(711)의 직사각형 섹션들을 가진다.

Claims (15)

1. 마이크로 및 나노 구조를 임프린팅하기 위한 확대 마스터로서,
   상기 마스터는 복수의 타일 형상 마스터 유닛으로 만들어지며, 상기 마스터를 만드는 상기 복수의 타일 형상 마스터 유닛은 비육각형 형상을 가지는 타일 형상 마스터 유닛을 포함하며, 이웃하는 마스터 유닛들의 인접한 가장자리는 서로 평행하고, 상기 마스터를 형성하는 마스터 유닛들은 상기 마스터 유닛들 사이의 접합 라인들만이 상기 마스터 유닛들 사이의 접합 지점들을 가지도록 배열되며, 상기 접합 지점들에서, 이웃하는 마스터 유닛들의 최대 3개의 모서리가 함께 모이는, 확대 마스터.
2. 제1항에 있어서, 상기 마스터는 비육각형 형상을 가지는 타일 형상 마스터 유닛들로 만들어지는, 확대 마스터.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 비육각형 형상을 가지는 마스터 유닛들은,
   - 정사각형, 직사각형, 또는 삼각형 형상을 가지거나,
   - 사다리꼴 형상, 직각 밑각(base angle)을 가지는 축 대칭 오각형, 또는 내각이 90°가 아닌 평행사변형을 가지거나, 또는
   - 진동 곡선(oscillating curve)의 형태를 가지는 곡선 가장자리를 가지는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
4. 제1항 내지 제3항 중 하나 이상의 항에 있어서, 각각의 마스터 유닛은 릴리프 구조가 있는 활성 영역을 가지는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
5. 제4항에 있어서, 상기 마스터 유닛들의 활성 영역은 전체 확대 마스터에 걸쳐서 연장되고, 그러므로 확대 활성 영역(scaled-up active area)을 형성하는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
6. 제1항에 있어서, 상기 확대 마스터는 길이 방향을 가지며, 상기 마스터 유닛들은 상기 길이 방향으로 행들로 배열되며, 하나의 행의 마스터 유닛들은 이웃하는 행의 마스터 유닛들로부터 오프셋을 보이는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
7. 제1항에 있어서, 상기 마스터는 길이 방향을 가지며, 상기 마스터 유닛들은 상기 길이 방향에 직각인 행들로 배열되며, 하나의 행의 마스터 유닛들은 이웃하는 행의 마스터 유닛들로부터 오프셋을 보이는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
8. 제2항에 있어서, 상기 마스터 유닛들은 정사각형 또는 직사각형 형상 및 직선 가장자리들을 가지며, 상기 접합 지점들은 T-형상을 가지는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
9. 제8항에 있어서, 행 내에서의 상기 마스터 유닛들은 등동한 크기인 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
10. 제6항 내지 제9항 중 하나 이상의 항에 있어서, 각각의 마스터 유닛은 릴리프 구조가 있는 활성 영역을 가지며, 상기 활성 영역은 대응하는 마스터 유닛의 가장자리들과 평행한 가장자리들을 가지며, 상기 활성 영역은 상기 대응하는 마스터 유닛들 내에 배열되고, 이웃하는 행들의 마스터 유닛들 사이의 오프셋은 이웃하는 마스터 유닛들의 활성 영역들이 +/- 1 mm 미만의 정렬 정확도로 정렬되도록 하는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 확대 마스터는 삼각형 형상 또는 사다리꼴의 형상 또는 직각 밑각을 가지는 축 대칭 오각형을 가지는 마스터 유닛들로 구축되며, 상기 확대 마스터는 Y-형상을 가진 마스터 유닛들 사이의 접합 지점들을 가지는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
12. 제11항에 있어서, 상기 확대 마스터는 삼각형 형상을 가지는 마스터 유닛들과, 사다리꼴의 형상을 가지는 마스터 유닛들로 구축되는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
13. 제1항에 있어서, 상기 마스터 유닛들은 진동 곡선의 형태를 가지는 곡선 가장자리들을 가지는 것을 특징으로 하는, 확대 마스터.
14. 제1항 내지 제12항 중 하나 이상의 항에 따른 확대 마스터로부터 복사된 가요성 스탬프.
15. 제13항에 따른 가요성 스탬프로부터 복사된 임프린팅된 제품.

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