JP6084290B2 - 光学アッセンブリ、光学モジュール及びハウジング内で光学モジュールを正しい位置に位置決めする方法 - Google Patents
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Description
本発明の課題は、ハウジング内での光学モジュールの光学要素の正しい位置での位置決めを容易にする、光学モジュールとハウジングとを備える光学アッセンブリ、光学モジュール及び方法を提供することである。
この課題は、第1の支持体本体を有する光学モジュールであって、第1の支持体本体に、少なくとも1つの特に反射性の光学要素と、複数の第1の支承要素とが設けられている光学モジュールと、ハウジング、特に真空ハウジングであって、少なくとも1つの別の特に反射性の光学要素のための第2の支持体本体を有し、第2の支持体本体に複数の第2の支承要素が設けられているハウジングと、運動装置であって、第1の支持体本体を第2の支持体本体に対して相対的に、特に鉛直の運動方向に沿って、光学モジュールをハウジングから取り出し可能な取り出し位置と、運動装置が第1の支承要素を第2の支承要素に圧着させる支承位置との間で移動させる運動装置と、を備える本発明に係る光学アッセンブリにより解決される。
Claims (13)
- 光学アッセンブリ(12)であって、
第1の支持体本体(4)を有する光学モジュール(1)であって、前記第1の支持体本体(4)に、レーザビーム(2)を案内する少なくとも1つの光学要素(9,10,11)と、複数の第1の支承要素(7a〜c)とが設けられている光学モジュール(1)と、
ハウジング(8)であって、少なくとも1つの別の光学要素(16)のための第2の支持体本体(19)を有し、該第2の支持体本体(19)に複数の第2の支承要素(18a〜c)が設けられているハウジング(8)と、
運動装置(21)であって、前記第1の支持体本体(4)を前記第2の支持体本体(19)に対して相対的に、前記光学モジュール(1)を前記ハウジング(8)から取り出し可能な取り出し位置(E)と、前記運動装置(21)が前記第1の支承要素(7a〜c)を前記第2の支承要素(18a〜c)に圧着させる支承位置(G)との間で移動させる運動装置(21)と、
を備え、
前記第1の支持体本体(4)は、支持体キャリッジ(5)を有し、該支持体キャリッジ(5)は、複数のロール(6)及び/又は滑動要素を有し、
前記ロール(6)及び/又は前記滑動要素は、取り出し位置(E)で前記ハウジング(8)の載置面(17)に載着され、支承位置(G)で前記載置面(17)から離間していることを特徴とする、光学アッセンブリ。 - 前記光学モジュール(1)は、前記真空ハウジング(8)に前記光学モジュール(1)を真空漏れのないように固定する真空ハウジング構成部材(13)を有する、請求項1記載の光学アッセンブリ。
- 前記真空ハウジング構成部材(13)は、弾性的な真空構成要素(14)を介して前記第1の支持体本体(4)に結合されている、請求項2記載の光学アッセンブリ。
- 前記第1の支承要素(7a〜c)は、少なくとも1つの平らな支承面(24)を有し、前記第2の支承要素(18a〜c)は、少なくとも1つの湾曲した支承面(26)を有するか、又は反対に前記第1の支承要素(7a〜c)は、少なくとも1つの湾曲した支承面を有し、前記第2の支承要素(18a〜c)は、少なくとも1つの平らな支承面を有する、請求項1から3までのいずれか1項記載の光学アッセンブリ。
- 前記運動装置(21)は、それぞれ1つの第1の支承要素(7a〜c)を、該第1の支承要素(7a〜c)に対応する第2の支承要素(18a〜c)に圧着する少なくとも1つ、好ましくは複数の行程装置(22a〜c)を有する、請求項1から4までのいずれか1項記載の光学アッセンブリ。
- 少なくとも1つの行程装置(22a〜c)は、予め付勢されてプリロードが加えられた少なくとも1つのばね要素(29)を有する、請求項5記載の光学アッセンブリ。
- 少なくとも1つの行程装置(22a〜c)は、前記少なくとも1つのばね要素(29)のプリロードとは逆向きの力を発生させるように圧力媒体を供給可能な圧力室(31)を有する、請求項6記載の光学アッセンブリ。
- 前記光学モジュール(1)の前記少なくとも1つの光学要素(9,10,11)は、レーザ放射を反射するように形成されている、請求項1から7までのいずれか1項記載の光学アッセンブリ。
- 前記少なくとも1つの別の光学要素(16)は、EUV放射を反射するように形成されている、請求項1から8までのいずれか1項記載の光学アッセンブリ。
- 請求項1から9までのいずれか1項記載の光学アッセンブリ(12)用の光学モジュール(1)であって、
支持体本体(4)を備え、該支持体本体(4)に少なくとも1つの光学要素(9,10,11)と、複数の第1の支承要素(7a〜c)とが設けられており、前記支持体本体(4)は、前記光学モジュール(1)をハウジング(8)から取り出すために、複数のロール(6)及び/又は滑動要素を有する支持体キャリッジ(5)を有することを特徴とする光学モジュール。 - 前記支持体本体(4)に弾性的な真空構成要素(14)を介して結合されている真空ハウジング構成部材(13)をさらに備える、請求項10記載の光学モジュール。
- 請求項1から9までのいずれか1項記載の光学アッセンブリ(12)のハウジング(8)内で光学モジュール(1)を正しい位置に位置決めする方法であって、
準備位置(B)から前記ハウジング(8)内の取り出し位置(E)に前記光学モジュール(1)の支持体本体(4)を動かす工程と、
取り出し位置(E)から、第1の支承要素(7a〜c)が第2の支承要素(18a〜c)に圧着される支承位置(G)に、前記光学モジュール(1)の支持体本体(4)を動かす工程と、
を備える、ハウジング内で光学モジュールを正しい位置に位置決めする方法。 - 準備位置(B)から取り出し位置(E)に前記支持体本体(4)を動かすために、前記光学モジュール(1)の支持体キャリッジ(5)を前記ハウジング(8)の載置面(17)に沿って移動させる、請求項12記載の方法。
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