JP6083315B2 - 物理量センサの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、圧力を検出するセンシング部が形成されたセンサチップを備える物理量センサについて説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。以下、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。以下、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
なお、上記実施形態では、圧力を検出するセンシング部21が形成されたセンサチップ20を備える物理量センサについて説明したが、例えば、加速度や角速度を検出するセンシング部21が形成されたセンサチップ20を備える物理量センサに本発明を適用することも可能である。
21 センシング部
40 封止部材
60 マスク
61 電極穴開口部
62 係合穴開口部
76 係合穴
75a 貫通電極穴
75c 貫通電極
Claims (4)
- 物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部(21)が形成されたセンサチップ(20)と、
前記センシング部を露出させつつ前記センサチップの一部を封止することによって前記センサチップを片持ち支持する封止部材(40)とを備え、
前記センサチップは、貫通電極(75c)が挿入される貫通電極穴(75a)、および前記センシング部と前記貫通電極穴との間に位置して前記封止部材が係合される係合穴(76)を備え、
前記貫通電極穴が形成される部位の電極穴開口部(61)および前記係合穴が形成される部位の係合穴開口部(62)を有するマスク(60)を前記センサチップに施して、前記貫通電極穴および前記係合穴をエッチングにより形成する物理量センサの製造方法であって、
前記電極穴開口部および前記係合穴開口部は、円形もしくは矩形であって、前記係合穴開口部の最も狭い部位の寸法(B)を前記電極穴開口部の最も狭い部位の寸法(A)よりも小さくした前記マスクを前記センサチップに施した後に、前記貫通電極穴および前記係合穴をエッチングにより同時に形成することを特徴とする物理量センサの製造方法。 - 前記電極穴開口部は円形であり、前記係合穴開口部は矩形であることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサの製造方法。
- 前記マスクは、前記係合穴開口部を複数個有することを特徴とする請求項1または2に記載の物理量センサの製造方法。
- 前記エッチングはドライエッチングであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の物理量センサの製造方法。
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