JP6082521B2 - 半導体素子 - Google Patents
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Description
厚さ0.63mmの半絶縁性GaAs単結晶基板に、加速電圧250keVトでSiイオン注入を行って半導体層1である導電層となる部分を形成後、注入したイオンの活性化のためのアニールを行った。このときのシート抵抗は400Ω/□であった。
保護膜3を形成する際の基板4の温度を300℃としたこと以外実施例1と同様に磁電変換素子を作成した。保護膜3の窒化シリコンの膜応力は182MPa程度となった。得られた膜密度は2.32g/cm3であった。121℃99%200時間の信頼性評価を22個のサンプル素子について行った結果、その特性変動は、定電流感度は5mA印加で平均0.3%、2σで0.2%、オフセット電圧は2σで0.25mVと非常に小さな値が得られた。
保護膜3を形成する際の基板4の温度を280℃とし、原料ガスにおけるSiH4とNH3の比率を1.4:1としたこと以外実施例1と同様に磁電変換素子を作成した。保護膜3の窒化シリコンの膜応力は274MPa程度となった。このときの保護膜3の膜密度は2.8g/cm3であった。121℃99%200時間の信頼性評価を22個のサンプル素子について行った結果、その特性変動は、定電流感度は5mA印加で平均0.3%、2σで0.28%、オフセット電圧は2σで0.44mVと非常に小さな値が得られた。
保護膜3を形成する際の基板4の温度を240℃とし、膜密度を2.28g/cm3としたこと以外は、実施例1と同様に磁電変換素子を作成した。保護膜3の窒化シリコンの膜応力は205MPa程度となった。121℃99%200時間の信頼性評価を22個のサンプル素子について行った結果、その特性変動は、定電流感度は5mA印加で平均0.4%、2σで1.7%、オフセット電圧は2σで0.8mVと非常に大きな値であった。
2 電極
3 保護膜
4 基板
5 パッケージ
6 リードフレーム
7 金属線
Claims (12)
- 基板、
該基板上に形成されたメサ形状の感磁部、及び、
該感磁部上に形成された保護膜であって、膜密度が2.29g/cm3以上、2.90g/cm3以下となる保護膜を備え、
前記保護膜の引張応力が160MPa以上、274MPa以下である
ことを特徴とする磁気センサー。 - 前記感磁部を構成する半導体層が、InSb、InAs、GaAs、InaAlbGa(1−a−b)AsxSb(1−x)(0≦a+b≦1、0≦x≦1)からなることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサー。
- 前記保護膜の膜厚が100nm以上、400nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気センサー。
- 前記感磁部を構成する半導体層に不純物がドープされており、該不純物は、Si、Sn、S、Se、Te、Ge、Cの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気センサー。
- 前記感磁部を構成する半導体層がGaAsからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気センサー。
- 前記保護膜が窒化シリコンからなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の磁気センサー。
- 前記保護膜が窒化シリコンからなり、シリコンに対する窒素の組成比が0.89以上、1.03以下であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気センサー。
- 前記保護膜が窒化シリコンからなり、屈折率が2.07乃至2.22であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気センサー。
- 前記感磁部を構成する半導体層のシート抵抗が600Ω/□以上、2000Ω/□以下であることを特徴とする請求項1乃至8に記載の磁気センサー。
- 半導体素子の製造方法であって、
基板上に半導体層を形成するステップ、及び、該半導体層上に、高周波プラズマCVD法により保護膜を形成するステップを有し、
該保護膜を形成するステップにおいて、13.56MHz以上、2.45GHz以下の高周波を印加し、260℃以上、300℃以下で、かつ原料ガスにおける、NH3に対するSiH4の流量の比率を1.4乃至2.5として保護膜を形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 基板上に感磁部を形成するステップと、
前記感磁部上に、プラズマCVD法で保護膜を形成するステップと、
前記感磁部上に電極を形成して磁電変換素子を作製するステップと、を備え、
該保護膜を形成するステップにおいて、13.56MHz以上2.45GHz以下の高周波を印加し、260℃以上300℃以下で、かつ原料ガスにおける、NH3に対するSiH4の流量の比率を1.4乃至2.5として保護膜を形成することを特徴とする磁気センサーの製造方法。 - 前記磁電変換素子をリードフレーム上に接着するステップと、
前記電極と前記リードフレームとを金属線で接合するステップと、
前記感磁部、前記保護膜および前記電極を、モールド樹脂で封止するステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載の磁気センサーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012008042A JP6082521B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | 半導体素子 |
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JP2013149727A JP2013149727A (ja) | 2013-08-01 |
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ID=49046961
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012008042A Active JP6082521B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-01-18 | 半導体素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6082521B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2732134B2 (ja) * | 1989-10-11 | 1998-03-25 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | GaAs半導体の保護膜の形成方法 |
JP2793440B2 (ja) * | 1991-07-16 | 1998-09-03 | 旭化成工業株式会社 | 磁気センサおよびその製造方法 |
JPH0629222A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-04 | Nippondenso Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP3547234B2 (ja) * | 1995-10-18 | 2004-07-28 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | ホール素子とその製造方法 |
EP1598876A4 (en) * | 2003-02-26 | 2008-04-30 | Asahi Kasei Denshi Kk | SEMICONDUCTOR DETECTOR AND METHOD FOR PRODUCING SAME |
JP4118187B2 (ja) * | 2003-05-09 | 2008-07-16 | 信越半導体株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
US7993700B2 (en) * | 2007-03-01 | 2011-08-09 | Applied Materials, Inc. | Silicon nitride passivation for a solar cell |
-
2012
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013149727A (ja) | 2013-08-01 |
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