JP6077386B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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2 金属蓋
3 ケース
5 接合層
6 接合用金属膜
7 仮止め位置
9 電極ローラー
10 音叉型水晶振動子
Claims (3)
- 接合材料として機能する接合層を備える金属蓋と、圧電振動片を収容する収容凹部を備え、該収容凹部の開口端部に前記金属蓋との接合用金属膜を備えるケースとからなるパッケージに、圧電振動片を気密に封止する圧電振動子の製造方法において、
前記ケースに前記金属蓋を仮配置する蓋搭載工程と、
前記金属蓋の一辺の両端部を仮止めする仮止め工程と、
前記仮止めした後、真空雰囲気で熱処理し、脱ガスする熱処理工程と、
前記仮止め工程で両端部を仮止めした一辺と、該一辺と対向する辺とをシーム溶接する第一接合工程と、
前記仮止め工程で仮止めした両端部から、前記第一接合工程で接合されていない前記金属蓋の対向する辺を、シーム溶接する第二接合工程と、
を備えることを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記パッケージは矩形であり、前記仮止め工程で仮止めする前記金属蓋の一辺が、前記金属蓋の長辺部であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の製造方法。
- 前記金属蓋の少なくとも一主面には、厚さが12μm以下のクラッド層で前記接合層が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子の製造方法。
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