JP6064596B2 - 鋳造装置及び鋳造方法 - Google Patents
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Description
シリコンウェハは、例えば太陽電池用基板の素材として利用される。ここで、太陽電池においては、変換効率等の性能が、太陽電池用基板の素材となるシリコンインゴットの特性に大きく影響される。
特に、シリコンインゴットでは、内部に含有される不純物量が多いと太陽電池の変換効率が大幅に低下することから、変換効率を上げるためには不純物量を低減する必要がある。
すなわち、アルゴンガスが溶湯面に対し垂直方向に向けて吹き付けられて衝突噴流を形成するため、アルゴンガスの吹き付け位置及びその近傍で溶湯温度が降下してしまい、そこから凝固が開始する。この結果、前述した所望の一方向凝固が行なえなくなるとともに、特に、シリコンインゴットの上部で低ライフタイム領域が増えてしまう。
また、上記のようにアルゴンガスが衝突噴流を形成するため、坩堝内のアルゴンガスの流れが均一ではなくなり、坩堝内での酸化シリコンガス等の不純物の排斥を十分に行うことができない。
さらに、衝突噴流によって溶湯面が波打つため坩堝の侵食が促進されてしまい、坩堝の内面から生じる不純物の混入や鋳付きの問題が生じていた。
この結果、坩堝内の溶湯面には温度降下を起こすような箇所が生じにくく、凝固界面が平滑となる坩堝の底部からの理想的な一方向凝固が行なえる。このため、低ライフタイム領域が少なくなり、不純物のインゴットへの混入も少なくなる。
さらに、坩堝内の溶湯面が平滑となるため、溶湯面による坩堝の侵食が抑制され、坩堝の内面からの漏れ出る不純物のインゴットへの混入や、鋳付きの問題も生じにくくなる。
この場合、ガス供給枝管の本数や径並びに延在方向を適宜設定することよって、坩堝内において溶湯面に平行となる理想的な不活性ガス流を任意に形成することができる。
この場合、ガス供給枝管の本数や径並びに延在方向を適宜設定することよって、坩堝内において溶湯面に所定角度を有して傾斜する理想的な不活性ガス流の流れを任意に形成することができる。
また、本発明は、各種シリコンパーツ部材(半導体製造装置用部材、液晶成膜用ターゲット材、熱処理炉の均熱板)を製造する場合にも有効であり、インゴット中の異物、不純物の低減とるつぼとインゴットの鋳付きによる歩留まりの低下を防止することができる。
図1〜図5は本発明に係る鋳造装置の第1実施形態を示す。図1は第1実施形態の概略断面説明図である。本実施形態である鋳造装置10は、内部を気密状態に保持するチャンバ11と、シリコン融液3が貯留される坩堝20と、この坩堝20が載置されるチルプレート31と、このチルプレート31の下方に位置する下部ヒータ33と、坩堝20の上方に位置する上部ヒータ43と、坩堝20の上端に載置された蓋部50と、坩堝20と蓋部50との間の空間に不活性ガス(例えばアルゴンガス)を導入するガス供給管42と、を備えている。
また、坩堝20の外周側には、断熱壁12が配設されており、上部ヒータ43の上方に断熱天井13が配設され、下部ヒータ33の下方に断熱床14が配設されている。すなわち、本実施形態である鋳造装置10は、坩堝20、上部ヒータ43、下部ヒータ33等を囲繞するように、断熱材(断熱壁12、断熱天井13、断熱床14)が配設されている。また、断熱床14には排気孔15が設けられている。
上部ヒータ43に接続される電極棒44は、断熱天井13を貫通して坩堝20の上部近傍まで延びている。下部ヒータ33に接続される電極棒34は、断熱床14を貫通して坩堝20の底部近傍まで延びている。
坩堝20が載置されるチルプレート31は、下部ヒータ33に挿通された支持部32の上端に設置されている。このチルプレート31は、中空構造とされており、支持部32の内部に設けられた供給路(図示なし)を介して内部にアルゴンガスが供給される構成とされている。
なお、蓋部50にガス排出用の開口部を形成する代わりに、蓋部50自体を、坩堝20の側壁部22から隙間をあけて配置し、この隙間を坩堝20内のガス排出用に利用してもよい。
この蓋部50は炭素系材料で構成されるのが好ましいが、本実施形態では炭化ケイ素で構成されている。
また、ガス吐出口42Aは、図2(a)に示すように開口の正面からみて円形状をなすように形成され、また周方向に等間隔をあけて合計6個形成されている。なお、ガス供給管42の先端は図示せぬ蓋によって閉塞されている。
図3に示すものは、ガス吐出口42Bが開口の正面からみて正方形状に形成され、図4に示すものは、ガス吐出口42Cが開口の正面からみて横長の長方形状に形成されている。また、図5に示すものは、ガス吐出口42Dが上下3段形成され、それぞれの段には、ガス吐出口42Dが複数形成されている。各段に形成されるガス吐出口42Dの具体的形状は、開口の正面からみて円形状であっても、方形状であっても、あるいは横長の長方形状であってもよく、さらに図示はしていないが、開口の正面からみて楕円形状であってもよい。
まず、坩堝20内にシリコン原料を装入する。ここで、シリコン原料としては、11N(純度99.999999999)の高純度シリコンを砕いて得られた「チャンク」と呼ばれる塊状のものが使用される。この塊状のシリコン原料の粒径は、例えば、30mmから100mmとされている。
図6〜図8は本発明に係る鋳造装置の第2実施形態を示す。図6は、本発明の鋳造装置の第2実施形態の要部を示すものであり、(a)はガス流路の側面図、(b)はガス流路の上面図である。
第2実施形態が前記第1実施形態と異なるところは、ガス流路のみであり、他の構成は第1実施形態と共通する。ここでは共通部分の説明は省略する。
ガス供給主管61は、鉛直方向に延在するように配置されていて、図1に示すチャンバ11の天井部を貫通しさらに蓋部50の挿入孔を通って、その先端が坩堝20内の上部、つまり、坩堝20内に貯留されるシリコン融液3の液面近傍まで延びるように配置される。
ガス供給主管61及びガス供給枝管62は、断面形状が円形状とされているが、これに限られることなく、断面楕円状としても、あるいは断面正方形状としてもよい。また、ガス供給枝管62はガス供給主管61より小径のものを用いているが、これに限られることなく、ガス供給主管61と同じ径のものを用いても良い。
図7に示すものは、ガス供給主管65の先端に複数のガス供給枝管66が接続され、それらガス供給枝管66は、ガス供給主管65に直交するようにかつ周方向45°置きに合計8本接続されている。ガス供給枝管66の先端は開口されてガス吐出口66Aとされている。
そして、ガス吐出口66Aからは、不活性ガスがガス供給枝管66の軸線上に沿ってシリコン融液の液面と平行となるように供給される。
そして、ガス吐出口68Aからは、不活性ガスがガス供給主管67に直交するように、つまり、シリコン融液の液面と平行となるように供給される。
図9、図10は本発明に係る鋳造装置の第3実施形態を示す。図9は、本発明の鋳造装置の第3実施形態の要部を示す斜視図である。
この実施形態でも、第2実施形態と同様、特徴部分であるガス流路以外の構成は前記第1実施形態と共通しており、それらの説明は省略する。
ガス供給主管71は、鉛直方向に延在するように配置されていて、図1に示すチャンバ11の天井部を貫通しさらに蓋部50の挿入孔53を通って、その先端が坩堝20内の上部、つまり、坩堝20内に貯留されるシリコン融液3の液面近傍まで延びるように配置される。
なお、所定角度θaは、ガス吐出口72Aからシリコン融液の液面との距離や、坩堝上部の空間容量等によって適宜設定される。
ガス供給主管71及びガス供給枝管72は、断面形状が円形状とされているが、これに限られることなく、断面楕円状としても、あるいは断面正方形状としてもよい。また、ガス供給枝管72はガス供給主管71より小径のものを用いているが、これに限られることなく、ガス供給主管71と同じ径のものを用いても良い。
図10に示すものは、ガス供給枝管74が、ガス供給主管73の先端に、同ガス供給主管73の軸線Lに直交する面、つまり水平面Hに対して所定角度θb(例えば0°<θb<45°、好ましくは0°<θa<35°、より好ましくは0°<θa<25°)となるように斜め上方に傾斜して、かつ周方向へ90°置きに合計4本接続されている。ガス供給枝管74の先端が開口されてガス吐出口74Aとされている。そして、ガス吐出口74Aからは、不活性ガスがガス供給枝管74の軸線上に沿って、シリコン融液の液面に対し所定の角度を有するように斜め上方へ傾斜して供給される。
図11は本発明に係る鋳造装置の第4実施形態を示す側面図である。
この実施形態でも、第2実施形態と同様、特徴部分であるガス流路以外の構成は前記第1実施形態と共通しており、それらの説明は省略する。
すなわち、このガス流路80は、基端側をガス供給部に接続されるとともに先端を坩堝の上部空間に向けて配置されたガス供給主管81と、ガス供給主管81の先端から枝分かれした複数のガス供給枝管82とを備える。
ガス供給枝管82は、ガス供給主管81に直交するようにかつ周方向へ90°置きに合計4本接続され、それぞれの先端が開口されてガス吐出口82Aとされている。
例えば、前記各実施形態では、不活性ガスを供給するガス流路が1本の場合を例に挙げて説明したが、これに限られることなく、ガス流路は複数本あってもよい。
また、第1〜4実施形態に示した形態の異なるガス流路を、それぞれ適宜組み合わせて全体として一つのガス流路を構成することも可能である。
また、坩堝内に供給する不活性ガスは、勿論アルゴンガスに限定されることなく、他の不活性ガスであってもよい。
また、本鋳造装置及び鋳造方法は、シリコン以外の材料を鋳造する場合に適用可能である。
まず、シリコンインゴットを製造する際に、アクセプタとしてB(ホウ素)を添加して、抵抗値1〜2Ω・cm程度のP型シリコンウェハを製造した。このP型シリコンウェハにP(リン)のドーパントを用いて、850℃×30分の熱処理を実施し、P型シリコン層の上にN型シリコン層を形成した。
次に、反射率を低下させるために、シリコンウェハの表面にエッチングした。エッチングには、KOH水溶液を用いた。
ここで、Alペーストの塗布厚さは20μmとした。
また、シリコンウェハの表面に反射防止膜としてSiNxを、プラズマ化学気相法(CVD)を用いて形成した。株式会社島津製作所製の太陽電池反射防止膜製造用装置(SLPC)を用い、厚さを100nmとした。
本実施例1では、株式会社三永電機製作所製のXES−155S1を用いて、1000W/m2、AM1.5、25℃、の条件で実施した。
評価結果を図12、図13に示す。
図12が本発明に係る実施例1の結果、図13が比較例1の結果である。
一方、比較例1のものは、0mm〜200mmの高さ位置では実施例1のものに比べ、変換効率が低く、かつばらつきも大であった。また、平均の変換効率は15.9%であった。
測定結果を図14、図15に示す。
図14が本発明に係る実施例1の結果、図15が比較例1の結果である。
本実施例1のものでは、ライフタイムの短い領域S(例えば2μs以下の領域)が、上端からせいぜい5mm程度まであった。これに対し、比較例1のものでは、中央部に上端から25mm程度に至る箇所にまで、ライフタイムの短い領域Sが計測された。上端のライフタイムが短い領域Sは、アルゴンガスの吹き付けによって溶湯温度が降下してしまい、そこから凝固が開始されたため生じたものと推測される。
以上のことから、本発明によれば、低ライフタイム領域及び不純物量がともに少なく、かつ、結晶の成長方向が安定したシリコンインゴットを製造することができることが確認された。
測定結果を表1に示す。
一方、比較例1のシリコンウェハは、酸素濃度及び炭素濃度ともに本実施例1〜3のシリコンウェハに比べ、不純物濃度が高い。
10 鋳造装置
20 坩堝
22 側壁部
33 下部ヒータ
43 上部ヒータ
42 ガス供給管(不活性ガス供給手段、ガス流路)
42A、42B、42C、42D ガス吐出口
50 蓋部
60、70 ガス流路
61、65、67、71、73 81 ガス供給主管
62、66、68、72、74 82 ガス供給枝管
62A、66A、68A、72A、74A 、82Aガス吐出口
Claims (5)
- 溶湯を収容し上部に開口部を有する坩堝と、該坩堝を加熱するヒータと、前記坩堝内の上部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、を備えた鋳造装置であって、
前記坩堝の上部には、挿入孔を備えた蓋部が配設されており、
前記不活性ガス供給手段は、前記蓋部の前記挿入孔を通って前記坩堝内の上部にまで延びて先端部にガス吐出口が設けられたガス流路を備え、
前記ガス吐出口は、そこから吐出される不活性ガスの流れが前記坩堝内の溶湯面に平行となるように、または前記坩堝内の溶湯面に対し所定の角度を有して傾斜するように設けられており、前記不活性ガスの流れが放射状に拡がりながら前記溶湯面上を通過するように構成されていることを特徴とする鋳造装置。 - 前記ガス流路は前記坩堝内の上部に向けて配置されたガス供給管を有し、
前記ガス供給管の先端部側面に前記ガス吐出口が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の鋳造装置。 - 前記ガス流路は前記坩堝内の上部に向けて配置されたガス供給主管と、該ガス供給主管の先端から枝分かれした複数のガス供給枝管を備え、
前記ガス供給枝管が前記坩堝内の溶湯面に平行に配置され、
前記ガス供給枝管の先端に前記ガス吐出口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の鋳造装置。 - 前記ガス流路は前記坩堝内の上部に向けて配置されたガス供給主管と、該ガス供給主管の先端から枝分かれした複数のガス供給枝管を備え、
前記ガス供給枝管が溶湯面に対して前記所定の角度を有するように傾斜して配置され、
前記ガス供給枝管の先端に前記ガス吐出口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の鋳造装置。 - 溶湯を収容し上部に開口部を有する坩堝と、該坩堝を加熱するヒータと、前記坩堝内の上部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、を備える鋳造装置を用いた鋳造方法であって、
前記坩堝の上部に、挿入孔を備えた蓋部を配設し、
前記不活性ガス供給手段は、前記蓋部の前記挿入孔を通って前記坩堝内の上部にまで延びて先端部にガス吐出口が設けられたガス流路を備え、
前記ガス吐出口からは、流れが前記坩堝内の溶湯面に平行となるようにまたは前記坩堝内の溶湯面に対し所定の角度を有して傾斜するように、かつ、放射状に拡がりながら前記溶湯面上を通過するように、不活性ガスを供給することを特徴とする鋳造方法。
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