CN201485281U - 多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置，该炉内喷氩气装置由炉壁喷气管(2)和炉底喷气管(3)两部分管路组成，炉壁喷气管(2)沿炉内壁(9)设置，其顶端封闭，其管壁从上至下朝向炉中央的方向设置有喷气口(4)，炉底喷气管(3)沿炉底(5)设置，其顶端封闭，其管壁两侧均设有喷气口(4)，炉壁喷气管(2)与炉底喷气管(3)在炉底(5)处与进气管(1)连通，喷气口(4)横向螺接有喷气嘴(6)。本实用新型的喷氩气装置多点布局，有利于氩气的均匀、快速分布，有利于对铸锭炉的全方位保护。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置。
背景技术
传统的多晶硅铸锭有三种方式：直接浇铸法、定向凝固法和热交换法；而最常用的多晶硅铸锭炉一般是采用直熔炉，炉子下部有很强的水冷系统，氩气从炉子的上部通入。在使用直熔炉的现有技术当中，由于多晶硅铸锭炉炉内温度和压力均较高，所以，对多晶硅铸锭炉的保护始终是一个重要的环节；而传统的送气管进入炉内后往往是采用单一的喷气嘴，而且还是集中在炉内的上方喷气；这种技术方案既不符合氩气的自上而下的分散原理，也不利于氩气在铸锭炉炉内均匀快速扩散，不利于对铸锭炉的保护。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服上述现有技术的不足，提供了多点布局，接触面广，保护性强，有利于氩气在炉内均匀快速扩散的一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置。
为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置，该炉内喷氩气装置由炉壁喷气管和炉底喷气管两部分管路组成，所述炉壁喷气管沿炉内壁设置，其顶端封闭，其管壁从上至下朝向炉中央的方向设置有喷气口，所述炉底喷气管沿炉底设置，其顶端封闭，其管壁两侧均设有喷气口，炉壁喷气管与炉底喷气管在炉底处与进气管连通，所述喷气口横向螺接有喷气嘴。
优选地，所述炉壁喷气管至少沿炉内壁设置有两路。
通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型的炉内喷氩气装置采用的多层布局，多点布局，有利于氩气在炉内均匀快速扩散；
2、本实用新型的多点式自上而下的喷氩气设置，而且，喷嘴是横卧式设置，大大地减少了喷嘴堵塞的概率，有利于安全送气。
附图说明
图1是本实用新型一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置的结构示意图；
图2是本实用新型安装在多晶硅铸锭炉炉内的结构示意图；
图中：进气管1，炉壁喷气管2，炉底喷气管3，所述喷气口4，炉底5，喷气嘴6，视镜7，冷却水进水管8，炉内壁9，冷却水出水管10。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1，图2所示，一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置，该炉内喷氩气装置由炉壁喷气管2和炉底喷气管3两部分管路组成，所述炉壁喷气管2沿炉内壁9设置，其顶端封闭，其管壁从上至下朝向炉中央的方向设置有喷气口4，所述炉底喷气管3沿炉底5设置，其顶端封闭，其管壁两侧均设有喷气口4，炉壁喷气管2与炉底喷气管3在炉底5处与进气管1连通，所述喷气口4横向螺接有喷气嘴6。
优选地，所述炉壁喷气管2至少沿炉内壁9设置有两路。
气体是选用惰性气体氩气，这样可以起到保护作用。当输送的氩气从进气管1进入后，分两路分别进入炉壁喷气管2和炉底喷气管3，炉壁喷气管2内气体会从喷嘴4中喷出，这样，铸锭炉内的四周壁部就会马上快速地充满氩气；而炉底喷气管3内的氩气也会从喷嘴4中出来，喷向炉内中央，致使喷出的氩气覆盖整个真空铸锭炉的炉内空间。
与此同时，真空铸锭炉内的温度也会逐渐升高，还需要不定期地使用视镜7对炉内的温度进行监测；而且还要打开冷却水出水管8和进气管1，冷却水在冷却系统内循环，最后让冷却水从出水管10中出来，以保证还原炉的正常工作环境。
本实用新型的多点式自上而下的喷氩气设置，多层布局，多点布局，有利于氩气在炉内均匀快速扩散；而且，喷嘴是横卧式设置，大大地减少了喷嘴堵塞的概率。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (2)
1.一种多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置，其特征在于：该炉内喷氩气装置由炉壁喷气管(2)和炉底喷气管(3)两部分管路组成，所述炉壁喷气管(2)沿炉内壁(9)设置，其顶端封闭，其管壁从上至下朝向炉中央的方向设置有喷气口(4)，所述炉底喷气管(3)沿炉底(5)设置，其顶端封闭，其管壁两侧均设有喷气口(4)，炉壁喷气管(2)与炉底喷气管(3)在炉底(5)处与进气管(1)连通，所述喷气口(4)横向螺接有喷气嘴(6)。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置，其特征在于：所述炉壁喷气管(2)至少沿炉内壁(9)设置有两路。
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