CN100465333C - 化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，它属于一种壁冷式化学气相沉积高温炉用的夹套式水冷炉壁。本发明主要是解决现有炉壁存在的冷却效果差、容易造成局部过热、温度不均匀的技术难点。本发明为解决上述技术难点而采用的技术方案是：化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体和内壳体构成的夹套炉壁，其中：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有若干条隔板，隔板的间距为50～100mm；两隔板间上下相错50～100mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。本发明具有冷却效果好、炉壁温度均匀和能防止冷却水倒流等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，它属于一种壁冷式化学气相沉积高温炉用的夹套式水冷炉壁。
背景技术
化学气相沉积工艺和在真空或惰性气体保护下的高温热处理工艺等都要用到高温炉，而壁冷式高温炉是最常用的高温炉。特别是近年来，热梯度化学气相沉积工艺和化学液汽相沉积工艺在陶瓷基复合材料制备领域的广泛应用，对高温炉的炉壁冷却提出了更高的要求，不仅要求冷却效率高，而且要求炉壁的温度均匀。现有的高温炉对炉壁的冷却是如图1所示的套筒式的结构。该种结构的水冷炉壁，不但容易造成局部过热，易发生事故，而且冷却效果差，能源消耗大。此外在突然停水的状态下，炉壁夹层内的冷却水会倒流，容易发生事故。化学气相沉积工艺不但在陶瓷材料的制备，而且在纳米材料的制备领域日益显示出它的重要性，所以化学气相沉积工艺是世界各国研究的焦点，因此对化学气相沉积高温炉的炉壁结构的改进研究具有十分重要的意义。
发明内容
本发明的目的是解决现有炉壁存在的冷却效果差、容易造成局部过热、温度不均匀的技术难点并提供一种冷却效果好、炉壁温度均匀和能防止冷却水倒流的化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁。
本发明为解决上述技术难点而采用的技术方案是：化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体和内壳体构成的夹套炉壁，其中：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有若干条隔板，隔板的间距为50～100mm；两隔板间上下相错50～100mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。
对于大型的化学气相沉积高温炉，将夹套炉壁的夹层分割成多个区域，每个区域分别设置进水口和出水口，以降低炉壁的温度。
在所述夹套炉壁的进水口位置设置单向门，以便于在突然停水的情况下防止炉壁夹层内的冷却水倒流；在所述夹套炉壁的出水口处设置一个温度传感器，以便于根据出水口的水温来调节进水口冷却水的流速，同时当停水时立即报警。
由于本发明采用了上述技术方案，冷却水在夹套炉壁隔板组成的通道内流动，冷却效率高，炉壁各处的温度均匀，在突然停水时可以防止冷却水倒流，可以根据流出水的温度来调节水温。因此与背景技术相比，本发明的优点在于：冷却效果好、炉壁温度均匀和能防止冷却水倒流。
附图说明
图1是现有的高温炉炉壁的结构示意图；
图2是本发明的结构示意图；
图3是图2中的A——A剖面图；
图4是本发明的工作原理图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细描述。
实施例1
如图2和图3所示，本实施例中的化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体2和内壳体5构成的夹套炉壁，其中：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有16条隔板4，隔板4的间距为50mm；两隔板4间上下相错50mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。图中1为进水口，3为出水口。
如图4所示，在所述夹套炉壁的进水口位置可设置单向门6，以便于在突然停水的情况下防止炉壁夹层内的冷却水倒流；在所述夹套炉壁的出水口处设置一个温度传感器7，以便于根据出水口的水温来调节进水口冷却水的流速，同时当停水时立即报警。
实施例2
如图2和图3所示，本实施例中的化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体2和内壳体5构成的夹套炉壁，其中：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有24条隔板4，隔板4的间距为70mm；两隔板4间上下相错70mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。图中1为进水口，3为出水口。
其余结构与实施例1中的相同。
实施例3
如图2和图3所示，本实施例中的化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体2和内壳体5构成的夹套炉壁，其中：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有30条隔板4，隔板4的间距为100mm；两隔板4间上下相错100mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。图中1为进水口，3为出水口。
其余结构与实施例1中的相同。
上述实施例中的隔板数量可以根据化学气相沉积高温炉的大小来确定。
对于大型的化学气相沉积炉，可以将上述实施例中的夹套炉壁的夹层分割成多个区域，每个区域分别设置进水口和出水口，以降低炉壁的温度。
Claims (3)
1、一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，包括一由外壳体和内壳体构成的夹套炉壁，其特征是：在夹套炉壁的夹层内的垂直方向上设有若干条隔板，隔板的间距为50～100mm；两隔板间上下相错50～100mm，使冷却水沿着隔板规划的路径在夹套炉壁内有序流动，以降低炉壁的温度。
2、根据权利要求1所述的一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，其特征是：对于大型的化学气相沉积高温炉，将夹套炉壁的夹层分割成多个区域，每个区域分别设置进水口和出水口，以降低炉壁的温度。
3、根据权利要求1或2所述的一种化学气相沉积高温炉用的水冷却炉壁，其特征是：在所述夹套炉壁的进水口位置设置单向门，以便于在突然停水的情况下防止炉壁夹层内的冷却水倒流；在所述夹套炉壁的出水口处设置一个温度传感器，以便于根据出水口的水温来调节进水口冷却水的流速，同时当停水时立即报警。
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