JP6058980B2 - 半導体発光素子及びその電極の形成方法 - Google Patents
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Description
第2の半導体層上に形成された導電性金属酸化物からなる透明電極と、
透明電極上に形成された反射層と、を有し、
透明電極は、第2の半導体層との界面から反射層に向かって酸素含有量が増加している第1層と、第1層との界面の酸素含有量から酸素含有量が反射層に向かって第1層よりも緩やかに増加している第2層と、第2層との界面の酸素含有量から酸素含有量が反射層との界面まで減少している第3層と、からなり、
第2層は、第1層との界面から酸素含有量が一定な酸素一定層と、酸素一定層との界面から第3層との界面まで酸素含有量が増加している酸素リッチ層と、からなる。
半導体層との界面から酸素含有量が増加するように金属酸化物を堆積して第1領域を形成するステップと、
第1領域との界面の酸素含有量から酸素含有量が第1領域よりも緩やかに増加するように金属酸化物を堆積して第2領域を形成するステップと、
第2領域との界面の酸素含有量から酸素含有量を第2領域よりも急峻に増加させ、表面が粗面形状を呈するように金属酸化物を堆積して第3領域を形成するステップと、
第3領域の還元処理を行って、粗面形状を維持しつつ第3領域の表面層の酸素含有量を低減するステップと、を有することを特徴としている。
透明電極30は、スパッタ法により、ITOを堆積して形成される。より詳細には、ITO層(I)31、ITO層(II)32、ITO層(III)33を順次堆積して形成される。このとき、基板温度は150℃〜300℃に加熱されている。具体的には、透明電極30のITO層(I)31、ITO層(II)32、ITO層(III)33は、スパッタ装置内への導入酸素流量をマスフローコントローラー(MFC)により制御して形成される。
次に、図3を参照して透明電極30の各ITO層31、32、33A、33Bの酸素含有量の深さ方向のプロファイルについて説明する。すなわち、図3において、縦軸は酸素含有量を示し、横軸は透明電極30と反射層40との界面RIを起点としたときの透明電極30の深さ方向、すなわち、界面RIからITO層(I)31とp型半導体層22との界面SIに向かった方向を示す。
上記したように、ITO層(III)33の形成時の導入酸素流量は、ITO層(I)31及びITO層(II)32の形成時よりも多い。すなわち、ITO層(III)33は、その表面を還元する前において、ITO層(II)32との界面からITO層(II)32よりも急峻に酸素含有量(膜中酸素濃度)が増加するように形成される。従って、ITO層(III)33においては、ITOの結晶化に伴い、グレイン及びドメイン構造のサイズが大きくなり、表面に凹凸を有する粗面形状が形成される。そして、当該粗面形状によって、ITO層(III)33は、平坦形状よりも大きな表面積を有する。
以下に、透明電極30を有する半導体発光素子10を形成し、その特性について評価を行った結果について説明する。半導体発光素子10に波長450nmの光を入射させた場合において、透明電極30を介した反射層40からの反射率は80%以上であった。また、透明電極30の表面(すなわち、ITO層(III-B)33Bの表面)の二乗平均粗さ(RMS)は0.1〜4.0nmの範囲内であった。また、透明電極30とp型半導体層22との間における接触抵抗は1x10-4Ωcm2〜7x10-3Ωcm2と良好なコンタクト特性が得られた。また、反射層40との密着性も良好であった。
上記実施例1の改変例について図4を参照して以下に説明する。実施例1においては、ITO層(II)32を導入酸素流量が一定の層、ITO層(III-A)33Aが導入酸素流量を増加させた層として形成した場合について説明したが、これに限らない。例えば、図4に示すように、ITO層(II)32及びITO層(III-A)33Aは、ITO層(I)31とITO層(II)32との界面(ITO層(II)32の始端)からITO層(III-A)33AとITO層(III-B)33Bとの界面(ITO層(III-A)33Aの終端)まで酸素含有量がITO層(I)31よりも緩やかな傾斜で増加している1つの層(ITO層(II)32及びITO層(III-A)33Aが1つに結合された層、すなわち第2層)として形成されていても良い。
図7(b)に示すように、ITO層(I-B)91B及びITO層(II)92は、ITO層(I-A)91AとITO層(I-B)91Bとの界面(ITO層(I-B)91Bの始端)からITO層(II)92とITO層(III)93との界面(ITO層(II)92の終端)まで酸素含有量がITO層(III)93よりも緩やかに減少している1つの層(ITO層(I-B)91B及びITO層(II)92が1つに結合された層)として構成されていても良い。
20 半導体膜
21 第1の半導体層
22 第2の半導体層
23 発光層
30 第2の電極
31 ITO層(I)
32 ITO層(II)
33 ITO層(III)
33A ITO層(III-A)
33B ITO層(III-B)
40 反射層
50 接合層
60 支持基板
70 裏面電極
Claims (5)
- 第1導電型の第1の半導体層、第2導電型の第2の半導体層、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に設けられた発光層からなる半導体構造層と、
前記第2の半導体層上に形成された導電性金属酸化物からなる透明電極と、
前記透明電極上に形成された反射層と、を有し、
前記透明電極は、前記第2の半導体層との界面から前記反射層に向かって酸素含有量が増加している第1層と、前記第1層との界面の酸素含有量から酸素含有量が前記反射層に向かって前記第1層よりも緩やかに増加している第2層と、前記第2層との界面の酸素含有量から酸素含有量が前記反射層との界面まで減少している第3層と、からなり、
前記第2層は、前記第1層との界面から酸素含有量が一定な酸素一定層と、前記酸素一定層との界面から前記第3層との界面まで酸素含有量が増加している酸素リッチ層と、からなることを特徴とする半導体発光素子。 - 第1導電型の第1の半導体層、第2導電型の第2の半導体層、前記第1の半導体層と前記第2の半導体層との間に設けられた発光層からなる半導体構造層と、
前記第2の半導体層上に形成された導電性金属酸化物からなる透明電極と、
前記透明電極上に形成された反射層と、を有し、
前記透明電極は、前記第2の半導体層との界面から前記反射層に向かって酸素含有量が増加している第1層と、前記第1層との界面の酸素含有量から酸素含有量が前記反射層に向かって前記第1層よりも緩やかに増加している第2層と、前記第2層との界面の酸素含有量から酸素含有量が前記反射層との界面まで減少している第3層と、からなり、
前記第3層と前記反射層との界面の酸素含有量は、前記第2の半導体層と前記第1層との界面の酸素含有量よりも少ないことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記透明電極内において、前記酸素リッチ層と前記第3層との界面の酸素含有量が最大であることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記透明電極の表面の二乗平均粗さ(RMS)は0.1〜4.0nmの範囲内であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 半導体層上に導電性の金属酸化物からなる透明電極を形成する方法であって、
前記半導体層との界面から酸素含有量が増加するように前記金属酸化物を堆積して第1領域を形成するステップと、
前記第1領域との界面の酸素含有量から酸素含有量が前記第1領域よりも緩やかに増加するように前記金属酸化物を堆積して第2領域を形成するステップと、
前記第2領域との界面の酸素含有量から酸素含有量を前記第2領域よりも急峻に増加させ、表面が粗面形状を呈するように前記金属酸化物を堆積して第3領域を形成するステップと、
前記第3領域の還元処理を行って、前記粗面形状を維持しつつ前記第3領域の表面層の酸素含有量を低減するステップと、
を有することを特徴とする方法。
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