JP2012094812A - Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サファイア基板1上にSiO2 からなる第1絶縁膜2、反射膜3を順に形成した試料Aと、サファイア基板1上にSiO2 からなる第1絶縁膜2、反射膜3、SiO2 からなる第2絶縁膜4を順に形成した試料Bを作製し、試料A、Bそれぞれにおいて熱処理前、熱処理後の反射膜3の波長450nmにおける反射率を測定した。熱処理は600℃で3分間行った。図1のように、Alの厚さが1〜30ÅのAl/Ag/Al、Alの厚さが20ÅのAg/Al、Alの厚さが20ÅのAl/Ag/Al/Ag/Alでは、熱処理後も反射率が95%以上であり、Agと同等のもしくはそれ以上の反射率であった。
【選択図】図1
Description
そこで本発明の目的は、反射膜を有したIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、反射膜の耐熱性および反射率を向上させることである。
また、第5の発明は、第4の発明において、熱処理は、反射膜を形成した後に、反射膜の上面が露出した状態で行われ、コンタクト電極のn型層及び拡散電極に対するオーミックコンタクト、拡散電極のp型層に対するオーミックコンタクトを得るための熱処理をかねることを特徴とする。反射膜の上面が露出した状態で、熱処理する方が、第2の絶縁体で上部を覆って熱処理するよりは、反射膜の反射率の増加率が大きい。よって、この状態で熱処理することは、反射率の改善に効果が高い。
また、第6の発明は、第1の発明から第4の発明において、反射膜上に接して第2の絶縁体を形成し、熱処理は、第2の絶縁体の形成後に行う、ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法である。
第8の発明は、第6の発明において、III 族窒化物半導体発光素子は、第2の絶縁体上に配線状に電極が形成され、電極側を光取り出し側とするフェイスアップ型であり、反射膜は、平面視で電極に対向する領域(電極により遮光される領域)に形成することを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法である。この場合には、配線状の電極により光の出力が遮られるが、この光は反射膜により反射されて、多重反射により配線状の電極の存在しない位置から出力されるので、出力効率が向上する。
図1のように、反射膜として単層のAgや単層のAlを用いた場合は、試料A、Bのいずれの場合であっても、熱処理後は熱処理前に比べて反射率が低下していることがわかる。単層のAgを用いた試料Aの場合には、熱処理により、反射膜の反射率の減少率は47%であり、単層のAlを用いた試料Bの場合には、熱処理により、反射膜の反射率の減少率は40%であり、ともに、大きく減少している。また、試料Aでは熱処理中雰囲気に晒されるが、試料Bでは雰囲気に晒されないことから、熱処理による反射率の低下は、熱処理中の雰囲気が原因ではないことがわかる。
図4のように、実施例2のIII 族窒化物半導体発光素子は、サファイア基板10と、サファイア基板10上に順に形成されたn−GaN層11、発光層12、p−GaN層13を有している。p−GaN層13表面の中央部には、そのp−GaN層13表面からn−GaN層11に達する深さの孔14が直線状に複数設けられている。また、p−GaN層13表面の孔14が設けられた領域以外のほぼ全面に、ITO電極15が設けられている。さらに、ITO電極15の表面、孔14の側面および底面、p−GaN層13表面のうちITO電極15が形成されていない領域、に連続してSiO2 からなる絶縁膜16が設けられている。
まず、サファイア基板10上に、MOCVD法によって、n−GaN層11、発光層12、p−GaN層13を順に形成する。原料ガスには、Ga源としてTMG(トリメチルガリウム)、In源としてTMI(トリメチルインジウム)、Al源としてTMA(トリメチルアルミニウム)、窒素源としてアンモニア、n型ドーピングガスとして、シラン、p型ドーピングガスとしてシクロペンタジエニルマグネシウム、キャリアガスには水素または窒素を用いる。そして、p−GaN層13上の一部領域に、蒸着によってITO電極15を形成する(図6.A)。
なお、先に孔14を形成した後にITO電極15を形成してもよい。
11:n−GaN層
12:発光層
13:p−GaN層
14、20、21:孔
15:ITO電極
16、120:絶縁膜
17:n電極
18:p電極
30:バリアメタル層
31,32:コンタクト電極
19、119:反射膜
121:はんだ層
Claims (11)
- 第1の絶縁体上に接して位置する反射膜を有したIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記反射膜は、Agからなる第1層を形成した後、前記第1層上に厚さ1〜30ÅのAlからなる第2層を最上層として形成して少なくとも2層構造とし、
前記反射膜の形成後、300〜700℃の温度で熱処理を行う、
ことを特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記反射膜は、厚さ1〜30ÅのAlからなる第3層を形成し、前記第3層上に前記第1層、前記第2層を順に形成して3層構造とする、
ことを特徴とする請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記熱処理は、III 族窒化物半導体発光素子の電極がオーミックコンタクトをとるための熱処理を兼ねるものである、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- III 族窒化物半導体発光素子は、n型層、発光層、p型層、該p型層に対して電流を拡散するための拡散電極を有し、
前記反射膜を形成する前に、前記n型層、前記拡散電極に、それぞれ接合するコンタクト電極を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記熱処理は、前記反射膜を形成した後に、前記反射膜の上面が露出した状態で行われ、前記コンタクト電極の前記n型層及び前記拡散電極に対するオーミックコンタクト、前記拡散電極の前記p型層に対するオーミックコンタクトを得るための熱処理をかねることを特徴とする請求項4に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記反射膜上に接して第2の絶縁体を形成し、前記熱処理は、前記第2の絶縁体の形成後に行う、ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記反射膜の上にAgの拡散を防止するバリアメタル層を形成することを特徴とする請求項1ないし請求項6の何れか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体発光素子は、前記第2の絶縁体上に配線状に電極が形成され、前記電極側を光取り出し側とするフェイスアップ型であり、
前記反射膜は、平面視で前記電極に対向する領域に形成する、
ことを特徴とする請求項6に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記III 族窒化物半導体発光素子は、基板を前記第1の絶縁体とし、その基板上に素子構造が形成されたフェイスアップ型であり、
前記反射膜は、前記基板の前記素子構造形成側とは反対側の面上に形成する、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 前記III 族窒化物半導体発光素子は、基板上に素子構造が形成され、前記素子構造上に前記第1の絶縁体を介して前記反射膜が形成されたフリップチップ型である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記III 族窒化物半導体発光素子の発光波長のピークは、400nm以上であることを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
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