JP6054249B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
成膜装置1は、成膜対象物11の板厚方向が水平方向(図1ではX軸方向)となるように、成膜対象物11を直立又は直立させた状態から傾斜した状態で、成膜対象物11が真空チャンバー10内に配置されて搬送される、いわゆる縦型の成膜装置である。この場合には、X軸方向は水平方向且つ成膜対象物11の板厚方向であり、Y軸方向は水平方向であり、Z軸方向は鉛直方向となる。一方、本発明による成膜装置の一実施形態では、成膜対象物の板厚方向が略鉛直方向となるように成膜対象物が真空チャンバー内に配置されて搬送されるいわゆる横型の成膜装置であってもよい。この場合には、Z軸及びY軸方向は水平方向であり、X軸方向は鉛直方向且つ板厚方向となる。なお、以下の実施形態では、縦型の場合を例に、本発明の成膜装置の一実施形態を説明する。
成膜材料Maから蒸発した成膜材料粒子Mbは、蒸発源から所定の角度で広がり拡散する。ハースコイル電源部22は、コイル9に流す電流を周期的に切り替えることができるので、主ハース17近傍の磁場を調整して成膜材料粒子Mbの向きを変化させる。
第2実施形態に係る成膜装置が上記の第1実施形態に係る成膜装置1と異なる点は、蒸発方向調整部40の構成が違う点であり、主に輪ハース41の構成が異なっている。なお、第1実施形態と同様の説明は省略する。蒸発方向調整部40は、蒸発源から蒸発する成膜材料粒子Mbの拡散中心の向きを周期的に振ることができる。輪ハース41は、図4及び図5に示されるように、環状の永久磁石20に重畳された補助コイル46を備えている。補助コイル46は、一対の内コイル42,43と、一対の外コイル44,45とを有する。なお、図5では、輪ハース41のケース12の図示を省略している。輪ハース41は、ケース12内に、コイル9、永久磁石20及び補助コイル46を有する。
Claims (4)
- 真空チャンバー内でプラズマビームによって成膜材料を加熱して蒸発させ、前記成膜材料の蒸発粒子を成膜対象物に付着させる成膜装置であって、
前記真空チャンバー内で前記プラズマビームを生成するプラズマ源と、
蒸発源となる前記成膜材料が充填されると共に、前記プラズマビームを前記成膜材料へ導く、または前記プラズマビームが導かれる主陽極である主ハースと、
前記主ハースの周囲に配置されると共に、前記プラズマビームを誘導する補助陽極である輪ハースと、
前記蒸発源から蒸発する前記蒸発粒子の向きを所定時間ごとに変化させる蒸発方向調整部と、を含み、
前記プラズマ源、前記主ハース及び前記輪ハースを複数組備え、
前記蒸発方向調整部は、前記蒸発源から蒸発する前記蒸発粒子の広がり幅を周期的に調整し、隣接する前記蒸発源における前記広がり幅の変化の位相をずらすことを特徴とする成膜装置。 - 真空チャンバー内でプラズマビームによって成膜材料を加熱して蒸発させ、前記成膜材料の蒸発粒子を成膜対象物に付着させる成膜装置であって、
前記真空チャンバー内で前記プラズマビームを生成するプラズマ源と、
蒸発源となる前記成膜材料が充填されると共に、前記プラズマビームを前記成膜材料へ導く、または前記プラズマビームが導かれる主陽極である主ハースと、
前記主ハースの周囲に配置されると共に、前記プラズマビームを誘導する補助陽極である輪ハースと、
前記蒸発源から蒸発する前記蒸発粒子の向きを所定時間ごとに変化させる蒸発方向調整部と、を備え、
前記蒸発方向調整部は、前記輪ハースの磁石に重畳された補助コイルを有し、
前記補助コイルにより形成される磁場を変えることで、前記蒸発源から蒸発する前記蒸発粒子の拡散中心の向きを変えることを特徴とする成膜装置。 - 前記プラズマ源、前記主ハース及び前記輪ハースを複数組備え、
前記蒸発方向調整部は、前記拡散中心の向きを周期的に変化させ、隣接する前記蒸発源における前記拡散中心の向きの変化の位相を同一にすることを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。 - 前記補助コイルは、前記輪ハースの軸線方向から見て、前記蒸発源を挟んで両側に配置された一対の内コイルと、前記一対の内コイルの外側に配置された一対の外コイルとを備え、
前記一対の内コイルによる磁場の向きと、前記一対の外コイルによる磁場の向きとを逆向きにすることを特徴とする請求項2または3に記載の成膜装置。
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