JP5700550B2 - 荷電粒子線照射装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る荷電粒子線照射装置によれば、偏向手段により発生させる磁場を調整することで荷電粒子線の照射位置のずれを調整するため、調整用の大型部品を追加する必要が無く、架台の大型化を避けることができる。また、磁場の補正により照射位置の調整を実現するので、荷電粒子線を走査するスキャニング方式における照射精度の低下を効果的に抑制することができる。
本発明に係る荷電粒子線照射装置によれば、走査手段による走査量を調整することで荷電粒子線の照射位置のずれを調整するため、調整用の大型部品を追加する必要が無く、架台の大型化を避けることができる。また、磁場の補正により照射位置の調整を実現するので、荷電粒子線を走査するスキャニング方式における照射精度の低下を効果的に抑制することができる。
Claims (3)
- 荷電粒子線を被照射体へ照射する荷電粒子線照射装置であって、
荷電粒子を加速して前記荷電粒子線を出射する加速器と、
前記荷電粒子線を走査する走査手段を有し、走査された前記荷電粒子線をスキャニング方式で被照射体へ照射する照射部と、
前記加速器より送られてきた前記荷電粒子線を前記照射部へ向けて偏向させる偏向手段と、
前記照射部と前記偏向手段とが配置され、回転軸を中心に回転又は揺動が可能な架台と、
三次元空間内の位置を検出可能な3Dセンサーを有すると共に、前記照射部から照射される前記荷電粒子線の三次元空間内の照射位置を検出し、前記回転軸と前記照射部から照射される前記荷電粒子線の照射位置との三次元の位置関係を検出する検出手段と、
前記架台の回転角度又は揺動角度に対応する前記検出手段の検出結果を利用して、前記照射部から照射される前記荷電粒子線の照射位置を調整する制御装置と、を備えることを特徴とする荷電粒子線照射装置。 - 前記制御装置は、前記架台の回転角度又は揺動角度に対する前記検出手段の検出結果を利用して、前記偏向手段により発生させる磁場を調整することで、前記照射部から照射される前記荷電粒子線の照射位置を調整することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線照射装置。
- 前記制御装置は、前記架台の回転角度又は揺動角度に対する前記検出手段の検出結果を利用して、前記走査手段による前記荷電粒子線の走査量を調整することで、前記照射部から照射される前記荷電粒子線の照射位置を調整することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線照射装置。
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