JP6087212B2 - 蒸発装置 - Google Patents
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- 反応性プラズマ蒸着法において蒸発材料を蒸発させる際に用いられる蒸発炉と、
前記蒸発材料または前記蒸発炉の少なくとも一方と当接するハース機構と、を備え、
前記蒸発炉は、
前記蒸発材料が挿入される挿入部と、
前記挿入部を画成する本体部と、を備え、
前記本体部の電気伝導率は、前記蒸発材料の電気伝導率よりも高くされ、
前記本体部の融点は、前記蒸発材料の蒸発温度よりも高くされ、
前記本体部は、前記蒸発材料の挿入方向から見て前記挿入部よりも内側に位置する部分を有し、
前記挿入部は、前記挿入方向に沿って貫通する少なくとも一つの貫通孔を有し、
前記蒸発材料は、前記貫通孔の形状に倣って形成された固体物であり、
前記貫通孔は、ハース機構を前記挿入方向に沿って貫通するように設けられている、ことを特徴とする蒸発装置。 - 前記本体部は、前記挿入方向から見て前記挿入部よりも外側に位置する部分をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の蒸発装置。
- 前記貫通孔は、複数形成されていると共に、前記挿入方向から見て前記本体部の中心周りに並設されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の蒸発装置。
- 前記本体部は、前記挿入方向に沿って延在する第1柱状部を有し、
前記挿入部は、前記第1柱状部と同軸の筒孔を有することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の蒸発装置。 - 前記本体部は、前記蒸発材料の挿入方向に沿って延在する複数の第2柱状部を有し、
前記挿入部は、前記複数の第2柱状部の周囲空間として画成されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の蒸発装置。
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