JP5989601B2 - プラズマ蒸発装置 - Google Patents
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Description
φs×1.1 < D < φs×2.0 …(1)
但し、
φs:ステアリングコイルの直径
D:複数のプラズマガン間の距離
φs×1.1 < D < φs×2.0 …(1)
但し、
φs:ステアリングコイル48の直径
D:複数のプラズマガン7間の距離。
dZ=(R×r)0.5×α (α:係数) …(2)
次に、参考実施例に係るプラズマ蒸発装置について、図5を参照して説明する。なお、以下においては、上記成膜装置1と異なる点について主に説明する。
Claims (3)
- チャンバ内において蒸発材料を蒸発させるプラズマ蒸発装置であって、
前記蒸発材料を蒸発させるための複数のプラズマガンを具備し、
前記複数のプラズマガンは、
プラズマビームの出射方向に磁力線の向きを有する第1プラズマガンと、
プラズマビームの出射方向とは反対方向に磁力線の向きを有する第2プラズマガンと、を含み、
前記蒸発材料と対向する方向から見て、前記チャンバに並設されていると共に、前記第1プラズマガンに対し前記出射方向を前方とした場合の右側に前記第2プラズマガンが並ばないように配置され、
前記複数のプラズマガンは、そのプラズマビームの出射方向を制御するステアリングコイルに係る下式(1)の関係式を満たすように並設されている、プラズマ蒸発装置。
φs×1.1 < D < φs×2.0 …(1)
但し、
φs:前記ステアリングコイルの直径
D:前記複数のプラズマガン間の距離 - 前記プラズマガン及び前記蒸発材料の少なくとも一方は、プラズマビームの出射軸上から前記蒸発材料の中心位置がずれるように配置されている、請求項1記載のプラズマ蒸発装置。
- 前記プラズマガン及び前記蒸発材料の少なくとも一方は、プラズマビームの出射軸に対して前記蒸発材料の中心位置がずれるように相対移動可能に設けられている、請求項1又は2記載のプラズマ蒸発装置。
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