JP4368417B2 - プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法並びに成膜装置 - Google Patents
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Description
LCDやPDPなどのディスプレイ用の大面積基板への透明導電膜ITOや、前面板電極保護層であるMgO等の薄膜形成にあたっては、生産量の増加、高精細パネル化に伴い、EB蒸着法やスパッタリング法に代わる成膜法としてイオンプレーティング法が注目されている。イオンプレーティング法は、高成膜レート、高密度な膜質の形成、大きいプロセスマージンといった様々な長所を有し、また、プラズマビームを磁場で制御することにより大面積基板への成膜が可能になるからである。この中で、特に、ホローカソード式イオンプレーティング法がディスプレイ用の大面積基板への成膜用として期待されている。
このホローカソード式イオンプレーティング法ではプラズマ源に浦本上進氏が開発したUR式プラズマガンを用いているものがある(日本国特許第1755055号公報)。このUR式プラズマガンは、ホローカソードと複数の電極で構成されており、Arガスを導入して高密度のプラズマを生成し、異なる4種類の磁場でプラズマビームの形状、軌道を変化させて成膜室に導いている。すなわち、プラズマガンで生成されたプラズマビームを、当該プラズマビームの進行方向に対して直交する方向に延び、対向して互いに平行に配置されて対になっている永久磁石からなるマグネットによって形成されている磁場の中に通過させる。これにより、当該プラズマビームを変形させ、扁平に広がったプラズマビームとするものである。
このプラズマビームを、蒸発材料受け皿上の蒸発材料に広範囲にわたって照射する技術も開発されている(日本国特開平9−78230号公報)。これによれば、プラズマビームにより、プラズマが蒸発材料受け皿上の蒸発材料、例えば、MgOに広範囲にわたって照射されるため、蒸発源を幅広くでき、幅広な基板上に成膜することが可能になるとされている。
このような従来の成膜装置100による成膜方法の一例を第11図、第12図を用いて説明する。第11図は従来の成膜装置の一例を説明する概略側面図、第12図この概略平面図である。第11図中、矢印X方向から見たものが第12図図示の状態で、第12図中、矢印Y方向から見たものが第11図図示の状態である。
成膜装置100の真空排気可能な成膜室30内の下部に、蒸発材料(例えばMgO)31を収容した蒸発材料受け皿32が配備されている。成膜処理される基板33(例えば、ディスプレイ用大型基板)は、成膜室30内の上部に、蒸発材料受け皿32と対向するように配置される。そして、基板33に、連続的に透明導電性膜ITOやMgO膜を成膜する際に、基板33は不図示の基板ホルダーによって、所定の距離をあけて矢印43のように連続的に搬送される。
第11図、第12図図示の実施形態では成膜室30の外側に配置されているプラズマガン20は、ホローカソード21と、電極マグネット22および電極コイル23で構成され、これらが第11図図示のように、略水平の軸に沿って同軸で配置されている。なお、プラズマガン20が成膜室30内に設置されている場合もある。
プラズマビーム25を成膜室30内へ引き出すための収束コイル26が電極コイル23より下流側(プラズマビームが進行する方向)に設置されている。
収束コイル26の更に下流側には、プラズマビーム25の進行方向に対して交さする方向に延び、対向して互いに対に配置されている永久磁石からなるマグネットが配置されている。前記のように成膜室30に向けて進行するプラズマビーム25は、このマグネットによって形成される磁場の中を通過して、プラズマビーム28になる。マグネットは1組、または複数組配置される。第11図、第12図図示の従来例では、2組のマグネット29、29が配置されている。
なお、第11図、第12図図示の従来例ではマグネット29が成膜室30の内部に配置されているが、マグネット29が成膜室30の外部に配置されることもある。
基板33への成膜を行う場合には、蒸発材料受け皿32に蒸発材料31を配置する。また、成膜処理される基板33を不図示の基板ホルダーに保持する。真空室30内部を矢印42のように排気して所定の真空度にするとともに、矢印41のように反応ガスを真空室30内に供給する。
この状態で、アルゴン(Ar)等のプラズマ用ガスを矢印40のように、プラズマガン20に導入する。プラズマガン20で生成されたプラズマビーム25は、収束コイル26により形成される磁界によって収束され、特定の範囲で広がりを持ちながら、ビーム断面が略円形の特定の径を有する円柱状に広がりながら真空室30内に引き出される。そして、2組のマグネット29、29によってそれぞれ形成されている磁場の中をそれぞれ通過する。各組のマグネット29、29を通過するときに、それぞれ、そのビーム断面が略矩形又は楕円状に変形された偏平のプラズマビーム28となる。
このプラズマビーム28は、蒸発材料受け皿32の下方のアノードマグネット34が作る磁界によって偏向されて蒸発材料31上に引き込まれ、蒸発材料31を加熱する。その結果、加熱された部分の蒸発材料31は蒸発し、不図示の基板ホルダーに保持されて矢印43方向に移動している基板33に到達して基板33の表面に膜を形成する。
かかる従来のプラズマ発生装置、成膜装置100を用いた従来の方法によれば、成膜面積を広げることは可能になったが、膜厚の均一性に関しては改善すべき点が残っていた。
すなわち、発明者等の実験によれば、前記のような従来の方法では、蒸発材料表面におけるプラズマビームの分散度合を示すイオンフラックス分布が第10図図示のようになっていることが認められた。なお、第10図において、縦軸はイオン強度(任意平均)を表し、横軸はプラズマビーム28の中心を原点(0)としたときのプラズマビームの広がり方向(第12図中の矢印x方向)の距離(mm)を表す。
これに対応して、基板表面に成膜される膜のプロファイルも同様の形状となり、中央側で厚く、1つの山のピークを形成し、外縁側(両サイド側)に向かって膜厚が次第に薄くなっていく形状となって、広い面積の基板に成膜した場合の膜厚分布の均一化において不十分であることが認められた。これは、プラズマガンで生成された、特定の範囲で広がりを持ちながら、例えば、特定の径を有する円柱状のようになって成膜室方向に進行するプラズマビームにおいて、プラズマが、プラズマビームの外縁側に比較してプラズマビームの中心側に集中するためと考えられる。これによって、プラズマビームの中心側部分が照射された蒸発材料の蒸発レートが、当該中心側部分の両側にあたる外縁側部分に比較して高くなるものと考えられる。この結果、膜厚分布が中央側で厚く、外縁側(両サイド側)で薄くなり、広い面積の基板への均一な膜厚分布の成膜が不十分になっているものと考えられた。
この発明は上記の如くの問題点に鑑みてなされたもので、成膜面積の拡大を可能とし、かつ、成膜された膜の膜厚分布をより均一化できるプラズマ発生装置と、これを用いた成膜装置及び成膜装置を提供することを目的としている。
前記目的を達成するため、この発明は、プラズマガンから収束コイルにより引き出され、特定の範囲で広がりを持ちながら、例えば、特定の径を有する円柱状のようになって進行するプラズマビームを、当該プラズマビームの進行方向に対して直交する方向に延び、対向して互いに平行に配置されて対になっている永久磁石からなるマグネットによって形成されている磁場の中に通過させて変形させたプラズマ発生装置において、以下の提案を行うものである。
本発明に従うプラズマ装置は、プラズマガン、プラズマガンからのプラズマビームに磁界を適用して、プラズマビームのビーム断面を略長方形又は楕円形状に変形させる磁石、及びビーム断面の変形されたプラズマビームを照射させる被照射体を設置する手段とからなり、ビーム断面の変形されたプラズマビームの、被照射体面上での略長方形又は楕円形状のビーム断面強度分布は、ビーム断面形状の長手方向の幅をWt、被照射体面上の最大イオン強度(Imax)に対して長手方向においてイオン強度が半減する幅をWiとしたとき、0.4≦Wi/Wtである。本発明のプラズマ装置のイオン強度分布の幅WtとWiの関係は、実施例では0.7≦Wi/Wtである。
なお、本願発明内容を規定するプラズマビームのイオン強度分布は、プラズマ装置のプラズマビーム被照射面に平坦表面のMgO試料プレートを配置して、プラズマビームを照射したときにMgO材料の蒸発によって生ずるMgO試料プレート表面の照射痕の深さから間接的に決定されたものとして、定義されるものである。照射痕の深さは実質的にプラズマビームのイオン強度に比例しているとみなされ得る。イオン強度値は、照射痕の深さとの関係で推定された。そして、照射痕の最大深さ位置のイオン強度をImaxとし、Imaxの半減値幅をWiとしている。ビーム断面形状の長手方向のビーム幅Wtは、照射痕の深さがImaxの1%になった位置を実質上のビーム幅として本発明では定義される。
次に、前記目的を達成するためこの発明が提案する成膜装置は、真空排気可能な成膜室内に配置されている蒸発材料受け皿に収容されている蒸発材料に対して、前述した本発明のいずれかのプラズマ発生装置で生成されたプラズマを入射して蒸発材料を蒸発させ、前記成膜室内で前記蒸発材料受け皿に対して所定の間隔を空けて、前記蒸発材料受け皿に対向する位置に配置されている基板に成膜するものである。
この場合、成膜される基板は前記蒸発材料受け皿に並行して前記成膜室内を移動するようにすることができる。これによって移動している基板に連続的に成膜するものである。
また、前記目的を達成するためこの発明が提案する成膜方法は、真空排気可能な成膜室内に配置されている蒸発材料受け皿に収容されている蒸発材料に対して、前述した本発明のいずれかのプラズマ発生装置で生成されたプラズマを入射して蒸発材料を蒸発させ、前記成膜室内で前記蒸発材料受け皿に対して所定の間隔を空けて、前記蒸発材料受け皿に対向する位置に配置されている基板に成膜するものである。
この場合、成膜される基板は前記蒸発材料受け皿に並行して前記成膜室内を移動し、当該移動する基板に連続的に成膜するようにすることができる。なお、前記本発明の成膜装置、成膜方法において使用される本発明のプラズマ発生装置では、プラズマガンが成膜室の外部に配置され、マグネットが成膜室の内部に配置されている形態、プラズマガン及びマグネットの双方が成膜室の外部に配置されている形態のいずれをも採用することができる。
発明の効果
本発明のプラズマ発生装置によれば、蒸発材料表面におけるイオンフラックス分布を第10図図示のような、ビーム断面形状の長手方向に1つのピークを有する急峻な山形から、より平坦な分布へと変化させることにより、基板上に成膜される膜のプロファイルを平坦化させ、広い面積にわたって、均一な膜厚分布の成膜を可能とすることができる。
本発明の成膜装置及び成膜方法によれば、基板上に成膜される膜のプロファイルを平坦化させ、広い面積にわたって、均一な膜厚分布の成膜を可能とすることができる。
第1図は、この発明のプラズマ発生装置及びこれを利用した成膜装置10の一例の概略構成を示す側面図である。第2図は、第1図図示の成膜装置10の概略構成を示す平面図である。第1図中、矢印X方向から見たものが第2図図示の状態で、第2図中、矢印Y方向から見たものが第1図図示の状態である。
本発明の特徴は後述するマグネット27の形態にあり、それ以外の、プラズマ発生装置、成膜装置10の構成は、第11図、第12図を用いて背景技術の欄で説明した従来のプラズマ発生装置、成膜装置100と同様であるので、第11図、第12図を用いて背景技術の欄で説明した従来のプラズマ発生装置、成膜装置100と共通する部分には共通する符号をつけてその説明は省略する。
プラズマガン20から収束コイル26によりプラズマビーム25が引き出される。このプラズマビーム25は、これが成膜室30に向かって進行する方向に対して直交する方向に延び、対向して互いに平行に配置されて対になっている永久磁石からなるマグネット29、27によって形成されている磁場の中を通過する。これによって、プラズマビーム25は、第1図、第2図図示のようなプラズマビーム28となる。
本発明のプラズマ発生装置でも、第11図、第12図を用いて背景技術の欄で説明した従来のプラズマ発生装置と同じく、特定の範囲で広がりを持ちながら、例えば、特定の径を有する円柱状のようになって進行するプラズマビーム25がマグネットによってビーム断面が略矩形又は楕円形状の偏平プラズマビーム28に変形される。
本発明のプラズマ発生装置においては、このマグネットの中に、例えば、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いマグネット27が少なくとも一つ含まれている。
第1図〜第3C図図示の実施形態においては、符号27で示されているマグネットが、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いマグネットになっている。一方、第1図〜第3C図において、符号29で示されているマグネットは、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度と、外縁側に対応する部分の反発磁場強度との間に相違がない、従来のプラズマ発生装置に採用されているマグネットである。なお、第1図〜第3C図の実施形態では、プラズマガン20から発生されたプラズマビーム25が成膜室30に向かって進行する方向に2組のマグネット27、29が配置されているが、本発明は、かかる形態に限られるものではない。2組以上の複数のマグネットが配置されている場合でも、その中に、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いマグネット27が少なくとも一つ含まれていればよい。また、複数のマグネットが配置されていて、その中の少なくとも一つが前述したマグネット27であるときに、マグネット27は、第1図、第2図図示のように成膜室30の蒸発材料31に近い方に配備されている形態、第3B図図示のように成膜室30の蒸発材料31から遠い方に配備されている形態のいずれも選択できる。
また、図示していないが、プラズマビーム25が成膜室30に向かって進行する方向に1組のマグネット27のみが配置されていて、このマグネット27が、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いものになっている形態にすることもできる。
プラズマビーム25は磁石27、29でビーム断面が偏平に変形されて偏平ビーム28となり、成膜室30内の蒸発材料設置台(受け皿)32上のプラズマビーム被照射材料(蒸発材料)31に照射され、材料31を蒸発させ、蒸発材料を基板33に成膜する。
更に、第1図、第2図図示の実施形態でも、第11図、第12図図示の従来例の場合と同じく、マグネット29、27が成膜室30の内部に配置されている構成で説明しているが、マグネット27、29が成膜室30の外部に配置される形態にすることも可能である。
いずれにしても、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いマグネット27が少なくとも一つ含まれていることにより、マグネット27の中心側部分を通過するプラズマの密度を外縁側に分散させることができる。こうして、プラズマビーム28が成膜室30内に配置されている蒸発材料31に照射されるときに、外縁側に比べて中心側にプラズマが集中することを防止できる。これに従って、基板33上に成膜される膜のプロファイルを平坦化させ、広い面積にわたって、均一な膜厚分布の成膜を可能にできる。
本発明のプラズマ発生装置において、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における反発磁場強度より強いマグネット27は、プラズマビーム25に対して直交する方向において複数に分割されている形態にすることができる。
このようにすることによって、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における反発磁場強度の方を、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における反発磁場強度より強くすることが、以下に説明するように容易になる。
第3A図は、第1図、第2図図示の実施形態における本発明のプラズマ発生装置において、マグネット27が、プラズマビーム25に対して直交する方向において3個に分割されている例を説明するものである。
第3C図は、第3B図図示の実施形態における本発明のプラズマ発生装置において、マグネット27が、プラズマビーム25に対して直交する方向において3個に分割されている例を説明するものである。
以下、マグネット27が、プラズマビーム25に対して直交する方向において複数個に分割されている場合の好ましい配置例、構成例を、第4A図〜第4B図、第5A図〜第5C図を参照して説明する。
第4A図〜第4E図、第5A図〜第5C図とも、第2図中、矢印Z方向から見た状態の、従来のプラズマ発生装置に採用されているマグネット29と、本発明のプラズマ発生装置に採用されているマグネット27の配置形態、構成形態を説明する図である。第4A図は、マグネット29の配置を示す。
プラズマビーム25の中心側に対応する部分における反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における反発磁場強度より強いマグネット27が、プラズマビーム25に対して直交する方向において複数に分割されている場合、次のような形態を採用することができる。例えば、複数に分割されているマグネット27は、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における永久磁石が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における永久磁石よりもプラズマビーム25に対して近接して配置されている。そして、前記中心側に対応する部分で互いに対向する永久磁石同士の間隔の方が、前記外縁側に対応する部分において互いに対向する永久磁石同士の間隔よりも狭くなっているものである。
マグネット27をプラズマビーム25に対して直交する方向において複数に分割した上でこのようにすれば、以下に説明するように、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における反発磁場強度の方を、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における反発磁場強度より強くすることを容易に行うことができる。
第4B図、4C図は、マグネット27をプラズマビーム25に対して直交する方向において3個に分割した上で、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における永久磁石27a、27aが、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における永久磁石27b、27b、27c、27cよりもプラズマビーム25に対して近接して配置されている例を説明するものである。これによって、中心側に対応する部分で互いに対向する永久磁石27a、27a同士の間隔Aの方が、外縁側に対応する部分において互いに対向する永久磁石27b、27b同士の間隔B、27c、27c同士の間隔Bよりも狭くなっている。
第4A図は、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度と、外縁側に対応する部分の反発磁場強度との間に相違がない、従来のプラズマ発生装置に採用されているマグネット29を説明するものである。対向して対になっている永久磁石同士の間隔は、プラズマビーム25の中心側に対応する部分においても、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分においても同一で、また、どの位置においても、互いに対向する永久磁石同士による反発磁場強度が同一になっている。
第6図は、第4A図図示の形態の従来の形態のマグネット29のみが採用されていた従来のプラズマ発生装置と、当該従来のプラズマ発生装置において、マグネット29を第4B図図示の形態のマグネット27に変更した本発明のプラズマ発生装置について、設定条件を同一にして、生成されたプラズマビーム28によって、蒸発材料31の表面に形成されるイオンフラックス分布(イオン強度分布)を示したものである。
発明者等の実験によれば、第4A図図示の形態の従来のマグネット29のみが採用されていた従来のプラズマ発生装置の場合、第6図に(1)で示したように、1つの高いピークを有する急峻な山形形状を呈するイオンフラックス分布となった。一方、本発明のプラズマ発生装置によれば、第6図に(2)で示すように、低くなったピークが複数存在するなだらかな山形形状のイオンフラックス分布となった。
この結果、蒸発材料31を蒸発させるプラズマの分布も同様になだらかな山形形状に改善することができ、本発明のプラズマ発生装置を使用している本発明の成膜装置10によれば、基板33の表面に成膜される膜の膜厚分布を平坦化し、広い面積にわたって均一な膜厚分布の成膜を行うことができる。
なお、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いマグネット27を、プラズマビーム25に対して直交する方向において複数に分割する場合、複数個に分割する数は、第3A図、3C図、第4B図、4C図などに例示されているように、プラズマビーム25に対して直交する方向において3個に分割するものに限られない。プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強くなるようにすれば、プラズマビーム25に対して直交する方向において任意の数に分割できる。
第4D図、4E図は、プラズマビーム25の中心側に対応する部分の反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分の反発磁場強度より強いマグネット27が、プラズマビーム25に対して直交する方向において、27a〜27eの5個に分割されている例を説明するものである。第4B図、4C図の実施形態と同じく、中心側に対応する部分で互いに対向する永久磁石27a、27a同士の間隔より、外縁側に対応する部分において互いに対向する永久磁石27b、27b同士の間隔、27c、27c同士の間隔の方が広く、更に外縁側で互いに対向する永久磁石27d、27d同士の間隔、27e、27e同士の間隔の方が更に広くなっている。
また、前述したように、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における反発磁場強度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における反発磁場強度より強いマグネット27が、プラズマビーム25に対して直交する方向において複数に分割されている場合、次のような形態も採用することができる。例えば、複数に分割されているシート化マグネット27は、プラズマビーム25の中心側に対応する部分における永久磁石の残留磁束密度の方が、プラズマビーム25の外縁側に対応する部分における永久磁石の残留磁束密度よりも大きくなっている。そして、前記中心側に対応する部分で互いに対向する永久磁石同士による反発磁場強度の方が、前記外縁側に対応する部分において互いに対向する永久磁石同士による反発磁場強度よりも強くなるようになっているものである。
マグネット27のこのような形態を説明しているものが、第5B図、5C図である。
本発明のプラズマ発生装置に採用されているマグネット27においては、例えば、第5B図、5C図図示のように、プラズマビーム25に対して直交する方向において3個に分割されているマグネット27(27a、27b、27c)のうち、中央の永久磁石27aを、例えば、強磁場をネオジウム系磁石(Nd・Fe・B)で形成したり、サマリウム・コバルト系磁石(Sm・Co)で形成することができる。これによって、中心側に対応する部分で互いに対向する永久磁石27a、27a同士による反発磁場強度の方を、外縁側に対応する部分において互いに対向する永久磁石27b、27b同士による反発磁場強度や、27c、27c同士による反発磁場強度よりも強くすることができる。
また、図示していないが、中央の永久磁石27aのプラズマビーム25と対向する面の面積や、その体積を外側の永久磁石27b、27cのものよりも大きくすることでも、中心側に対応する部分で互いに対向する永久磁石27a、27a同士による反発磁場強度の方を、外縁側に対応する部分において互いに対向する永久磁石27b、27b同士による反発磁場強度や、27c、27c同士による反発磁場強度よりも強くすることができる。第7図、第8図は、3分割したマグネット27における永久磁石27a、27b、27cの材質を変化させた場合のイオンフラックス分布を示している。
第7図において、(3)は、第6図の(1)と同じく、従来技術におけるイオンフラックス分布であり、第7図における(4)、(5)が中央の永久磁石27aをネオジウム系磁石とした実施形態のイオンフラックス分布である。第7図中、(5)は(4)に比べて中央の永久磁石27aの長さを長くした。従って、(5)の場合に比べて、(4)では、外側の永久磁石27b、27cが短くなっている。第6図で説明すると、(1)では、Imax=765(a.u)であるため半減値は382.5であり、このときのWiは156mmとなる。また、(2)では、Imax=425(a.u)となり、半減値は212.5であり、このときのWiは316mmとなる。
従って、全照射面におけるプラズマビームの全幅(Wt=400mm)に対する(Wi/Wt)の値は、第6図の(1)では、Wi/Wt=156/400=0.39、(2)では、Wi/Wt=316/400=0.79となる。即ち、従来はWi/Wtが0.4より小さかったが、本発明ではWi/Wtが0.4以上となり、第6図から示されるようにプラズマビームの中心に見られていた1つの高いピークは減少し、その結果、基板の広い面積にわたって、均一な膜厚分布の成膜を可能とする。又、第7図の(4)ではWi/Wt=0.71、(5)ではWi/Wt=0.85となっている。これらから、本発明実施例では、いずれもWi/Wtは0.7以上である。
尚、第6図、第7図、第8図のプラズマビームのイオン強度分布は、プラズマ装置のプラズマビーム被照射面に平坦表面のMgO試料プレートを配置して、プラズマビームを照射したときにMgO材料の蒸発によって生ずるMgO試料プレート表面の照射痕の深さから間接的に決定されたものとして、定義されるものである。照射痕の深さは実質的にプラズマビームのイオン強度に比例しているとみなされ得る。イオン強度値は照射痕の深さとの関係で推定された。そして、照射痕の最大深さ位置のイオン強度をImaxとし、Imaxの半減値幅をWiとしている。ビーム断面形状の長手方向のビーム幅(ビーム全体)Wtは、照射痕の深さがImaxの1%になった位置を実質上のビーム幅として本発明では定義される。
また、第8図において、(6)は第6図の(1)と同じく、従来技術におけるイオンフラックス分布であり、第8図中、(7)が中央の永久磁石27aをサマリウム・コバルト系磁石とした実施形態のイオンフラックス分布である。
中央の永久磁石27aを残留磁束密度が強い材質とした何れの場合も、第4A図、第5A図図示の形態の従来のマグネット29が採用されていた従来のシート状プラズマ発生装置における第6図に(1)で示したような1つの高いピークを有する急峻な山形形状を呈するイオンフラックス分布に比較して、なだらかな山形形状のイオンフラックス分布となった。
この結果、蒸発材料31を蒸発させるプラズマの分布も同様になだらかな山形形状に改善することができ、本発明のプラズマ発生装置を使用している本発明の成膜装置10によれば、基板33の表面に成膜される膜の膜厚分布を平坦化し、広い面積にわたって均一な膜厚分布の成膜を行うことができる。
プラズマ用ガスとしてアルゴンガスを矢印40のようにプラズマガン20に導入し、酸素を矢印41のように成膜室30に導入した以外は、第11図、第12図を用いて背景技術の欄で説明した従来のプラズマ発生装置、成膜装置100と同じようにし、以下の条件で、基板33への成膜を行った。
材質:酸化マグネシウム(MgO)
膜厚(目標):12000Å
放電圧力:0.1Pa
基板温度:200℃
Ar流量:30sccm(0.5ml/sec)
O2流量:400sccm(6.7ml/sec)
成膜速度:175Å/sec
次に、2組のマグネットをどちらも第4A図図示の従来のマグネット29とし、その他の条件は同一にして、他の基板33に成膜を行った。
第9図は、本発明のプラズマ発生装置、成膜装置10によって成膜を行った場合と、前記のように、2組のマグネットをどちらも第4A図図示の従来のマグネット29として成膜を行った場合について、膜厚分布を測定したものである。なお、第9図において、縦軸は膜厚(Å)を表し、横軸はプラズマビーム28の中心を原点(0)としたときのプラズマビームの広がり方向(第2図中の矢印x方向)の距離(mm)を表す。
第9図図示の通り、本発明のプラズマ発生装置、成膜装置10によって成膜を行った場合の方が、膜厚分布が平坦になっていた。
以上、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態、実施例を説明したが、本発明はかかる実施形態、実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載から把握される技術的範囲において種々の形態に変更可能である。
Claims (6)
- プラズマガン、該プラズマガンからのプラズマビームに磁場を適用して、該プラズマビームの円形ビーム断面を偏平化させる磁石、及び該ビーム断面の変形されたプラズマビームを照射させる被照射体を設置する手段とからなるプラズマ発生装置において、
該ビーム断面の偏平化されたプラズマビームの、被照射体面上でのビーム断面強度分布は、
該ビーム断面形状の長手方向の幅をWt、該被照射体面上での最大イオン強度(Imax)に対して該長手方向においてイオン強度が半減する幅をWiとしたとき、0.4≦Wi/Wt≦1であり、
該磁石はビームを挟んで対向して配置された対の磁石からなる第1の磁石対と第2の磁石対とを含み、該第1と第2の磁石対はビーム進行方向に並置され、そして該第1と第2の磁石対の少なくとも一方で生ずる反発磁場強度は、プラズマビーム断面の中心側の反発磁場強度の方が、該プラズマビームの外側の反発磁場強度より強い磁場を該プラズマビームに適用しているプラズマ装置。 - 前記Wiと前記Wtの関係は、0.7≦Wi/Wtである請求項1記載のプラズマ装置。
- 真空排気可能な成膜室内に配置されている該照射体設置手段である蒸発材料受け皿に収容されている蒸発材料に対して、請求項1記載のプラズマ発生装置で生成されたプラズマを入射して蒸発材料を蒸発させ、前記成膜室内で前記蒸発材料受け皿に対して所定の間隔を空けて、前記蒸発材料受け皿に対向する位置に配置されている基板に成膜することを特徴とする成膜装置。
- 成膜される基板は前記蒸発材料受け皿に並行して前記成膜室内を移動することを特徴とする請求項3記載の成膜装置。
- 真空排気可能な成膜室内に配置されている蒸発材料受け皿に収容されている蒸発材料に対して、請求項4記載のプラズマ発生装置で生成されたプラズマを入射して蒸発材料を蒸発させ、前記成膜室内で前記蒸発材料受け皿に対して所定の間隔を空けて、前記蒸発材料受け皿に対向する位置に配置されている基板に成膜することを特徴とする成膜方法。
- 成膜される基板は前記蒸発材料受け皿に並行して前記成膜室内を移動し、当該移動する基板に連続的に成膜することを特徴とする請求項5記載の成膜方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2007/059339 WO2008136130A1 (ja) | 2007-04-24 | 2007-04-24 | プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法並びに成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4368417B2 true JP4368417B2 (ja) | 2009-11-18 |
JPWO2008136130A1 JPWO2008136130A1 (ja) | 2010-07-29 |
Family
ID=39943252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009512858A Active JP4368417B2 (ja) | 2007-04-24 | 2007-04-24 | プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法並びに成膜装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100003423A1 (ja) |
JP (1) | JP4368417B2 (ja) |
CN (1) | CN101652498B (ja) |
WO (1) | WO2008136130A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5700695B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2015-04-15 | 中外炉工業株式会社 | プラズマ発生装置および蒸着装置並びにプラズマ発生方法 |
JP6054249B2 (ja) * | 2013-05-27 | 2016-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | 成膜装置 |
CN105568258A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-05-11 | 陈奋策 | 采用等离子体射流以及外加力场制备的高阻隔薄膜及其制备方法和镀膜装置 |
US10128083B2 (en) * | 2016-06-01 | 2018-11-13 | Vebco Instruments Inc. | Ion sources and methods for generating ion beams with controllable ion current density distributions over large treatment areas |
CN113808898B (zh) * | 2020-06-16 | 2023-12-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5927499A (ja) * | 1982-04-12 | 1984-02-13 | 浦本 上進 | 簡単で高能率なシ−トプラズマの生成法 |
US4780591A (en) * | 1986-06-13 | 1988-10-25 | The Perkin-Elmer Corporation | Plasma gun with adjustable cathode |
JPH02185966A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-07-20 | Kawasaki Steel Corp | 幅方向に均一なシートプラズマ流の発生方法 |
JPH0772341B2 (ja) * | 1991-02-21 | 1995-08-02 | 中外炉工業株式会社 | 圧力勾配型プラズマガンによるプラズマ発生装置 |
US5400661A (en) * | 1993-05-20 | 1995-03-28 | Advanced Mechanical Technology, Inc. | Multi-axis force platform |
JP2909694B2 (ja) * | 1993-06-07 | 1999-06-23 | 住友重機械工業株式会社 | シートプラズマ生成方法及びその装置 |
CN1067118C (zh) * | 1994-07-08 | 2001-06-13 | 松下电器产业株式会社 | 磁控管溅射装置 |
JPH0978230A (ja) * | 1995-09-19 | 1997-03-25 | Chugai Ro Co Ltd | シート状プラズマ発生装置 |
CN1800441B (zh) * | 2005-01-05 | 2010-09-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 等离子体增强薄膜沉积方法及装置 |
JP4728089B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2011-07-20 | キヤノンアネルバ株式会社 | シート状プラズマ発生装置および成膜装置 |
KR101043166B1 (ko) * | 2006-07-07 | 2011-06-20 | 캐논 아네르바 가부시키가이샤 | 플라즈마 성막 장치 및 막의 제조법 |
JP4901696B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2012-03-21 | キヤノンアネルバ株式会社 | 成膜装置 |
-
2007
- 2007-04-24 WO PCT/JP2007/059339 patent/WO2008136130A1/ja active Search and Examination
- 2007-04-24 CN CN2007800522048A patent/CN101652498B/zh active Active
- 2007-04-24 JP JP2009512858A patent/JP4368417B2/ja active Active
-
2009
- 2009-08-13 US US12/541,002 patent/US20100003423A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101652498B (zh) | 2011-06-15 |
CN101652498A (zh) | 2010-02-17 |
US20100003423A1 (en) | 2010-01-07 |
JPWO2008136130A1 (ja) | 2010-07-29 |
WO2008136130A1 (ja) | 2008-11-13 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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