JP6033799B2 - Ｎｉ含有三元合金を含むバリア層、バリア層を包含する被覆物品及びそれらの製造方法 - Google Patents

Description

本出願は、米国出願番号13/064,065、発明の名称「Ｎｉ及び／又はＴｉを含むバリア層、バリア層を包含する被覆物品及びそれらの製造方法（Barrier Layers Comprising Ni and/or Ti, Coated Articles Including Barrier Layers, and Methods of Making the Same）」、並びに米国出願番号13/064,066、発明の名称「低放射コーティングを包含する被覆物品、被覆物品を包含する断熱ガラスユニット及び／又はそれらの製造方法（Coated Article Including Low-Emissivity Coating, Insulating Glass Unit Including Coated article, and/or Methods of Making the Same）」の内容を全て参照として組み込む。

本発明の特定の実施態様例は、例えば低放射（low-E）コーティング内に銀等の材料からなる少なくとも１層の赤外線（infrared、ＩＲ）反射層を包含する被覆物品に関する。特定の実施例では、Ｎｉ含有三元合金はコーティング内の少なくとも１層として使用されてよい。特定の実施例では、前記Ｎｉ含有三元合金を、銀等を含むＩＲ反射層のためのバリア層として供給してもよい。他の実施態様例では、Ｎｉ含有三元合金はニッケル、クロム及び／又はモリブデン（例えば、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ等）を包含する。特定の実施態様例では、ニッケル、クロム及び／若しくはモリブデン並びに／又はこれらの酸化物を含む層を供給することで、改善された耐食性だけでなく、改善された化学的及び力学的な耐久性をも有する層が使用可能となる。特定の実施態様例では、Ｎｉ含有三元合金はさらにＴｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｏ及び／又はこれらの組み合わせをも包含していてもよい。追加実施例では、銀を含む層の少なくとも片側にバリア層を２層以上使用してもよい。銀を含む層に隣接してＮｉを包含する層を供給してもよく、そしてＮｉを包含する層に隣接して第２の金属をベースとする層を供給してもよい。他の実施例では、第２の金属をベースとするバリア層に隣接して金属酸化物を含む第３バリア層を供給してもよい。

本発明の特定の実施態様例はまた、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚをベースとする層をコーティング中で、バリア層としてよりも又はバリア層に加えて、機能層として使用することにも関する。本明細書における被覆物品例は、断熱ガラス（insulating glass、ＩＧ）窓ユニット、自動車の窓、又は単枚ガラス窓用途及び／若しくは積層窓等のような他の好適な用途に使用することができる。

断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、自動車の窓、単枚ガラス窓等のような窓用途に使用するための被覆物品は当該技術分野において公知である。特定の実施例では、被覆物品の設計者は多くの場合、高い可視透過率、低放射（又は低放射率）及び／又は低いシート抵抗（Ｒ_Ｓ）の組み合わせを得ようと努力している。高い可視透過率は、例えば建築用又は自動車の窓用途のような前記特性が求められる用途において被覆物品を使用可能にするのに対し、低放射（低Ｅ）と低いシート抵抗特性は、例えば自動車又は建物内部の望ましくない加熱を抑制するように前記被覆物品がかなりの量のＩＲ放射を遮断するのを可能にする。したがって、一般に、かなりの量のＩＲ放射を遮断する建築用ガラスに使用されるコーティングには、高い可視スペクトル透過率が求められることが多い。

低Ｅコーティング中のＩＲ反射層はコーティング全体に影響を及ぼすものであり、また、場合により、ＩＲ反射層はスタック中で最も感度の高い層である。残念なことに、銀を含むＩＲ反射層は堆積プロセスやその後の大気中でのプロセス、熱処理、化学的浸食によって及び／又は過酷な環境が原因で損傷を受ける可能性がある。場合により、低Ｅコーティング中の銀をベースとする層を、酸素から、酸性溶液及び／若しくはアルカリ性溶液、熱酸化、腐食等の化学的浸食から、並びに酸素、塩素、硫黄、酸及び／又は塩基等の汚染物質を包含する水分が原因で生じる損傷から保護しなければならないこともある。コーティング中のＩＲ反射層が十分に保護されていないと、被覆物品の耐久性、可視透過率及び／又は他の光学特性が影響を受ける可能性がある。

したがって、高い耐久性と高い光学特性又は実質上不変の光学特性とを併せ持つ低Ｅコーティングが必要であることが当業者には分かるであろう。

本発明の特定の実施態様例は、銀を含むＩＲ反射層に関連して使用されるＮｉ含有三元合金を含む改善されたバリア層材料に関する。場合により、改善されたバリア層材料は、被覆物品の耐久性を改善できる可能性がある。また一方、他の実施態様例は、Ｎｉ含有三元合金（例えば、ニッケル、クロム及び／又はモリブデン）を含むＩＲ反射層に関する。この場合、Ｎｉ含有三元合金を含むＩＲ反射層を使用することで、化学的及び力学的な耐久性が改善された被覆物品が得られる可能性がある。

本発明の特定の実施態様例は、ガラス基板で支持されたコーティングを包含する被覆物品の製造方法にも関する。特定の実施態様例では、前記方法は、ガラス基板の上に誘電体層を配置する工程と、誘電体層の上にＮｉ含有三元合金を含む第１バリア層を配置する工程と、前記Ｎｉ含有三元合金の上に銀を含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にＮｉ含有三元合金を含む第２バリア層を配置する工程と、を含み、コーティングは低Ｅコーティングとして使用される。

他の実施態様例は、被覆物品の製造方法であって、前記方法が、ガラス基板の上に誘電体層を配置する工程と、誘電体層の上に第１バリア層を配置する工程と、前記Ｎｉ含有三元合金の上に銀を含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上に第２バリア層を配置する工程と、を含み、コーティングが低Ｅコーティングとして使用され、そして第１バリア層及び第２バリア層がＮｉを５４〜５８重量％、Ｃｒを２０〜２２．５重量％及びＭｏを１２．５〜１４．５重量％含む、前記方法に関する。

また更なる実施態様例は、被覆物品に関する。場合により、被覆物品は低Ｅコーティングを支持する基板を備えている。低Ｅコーティングは、基板から順に、第１誘電体層と、第１バリア層と、第１バリア層の上にそれと接触させて供給された銀を含む第１ＩＲ反射層と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させて供給された第２バリア層と、第２バリア層の上に供給された第２誘電体層と、を備えていてよく、第１バリア層及び第２バリア層は、Ｎｉを５４〜５８重量％、Ｃｒを２０〜２２．５重量％及びＭｏを１２．５〜１４．５重量％含む。

本発明の他の実施態様は、ガラス基板で支持されたコーティングを包含する被覆物品の製造方法であって、前記方法が、基板の上に誘電体層を配置する工程と、誘電体層の上にＮｂ、Ｔｉ、Ｃｒ及びＺｒのうち１種以上を含む第１サブバリア層を配置する工程と、第１サブバリア層の上にそれと接触させてＮｉ含有合金を含む第１バリア層を配置する工程と、Ｎｉ含有合金を含む第１バリア層の上にそれと接触させて銀を含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させてＮｉ含有合金を含む第２バリア層を配置する工程と、Ｎｉ含有バリア層の上にそれと接触させてＮｂ、Ｔｉ、Ｃｒ及びＺｒのうち１種以上を含む第２サブバリア層を配置する工程と、を含む、前記方法に関する。

また更なる実施態様例は、ガラス基板で支持されたコーティングを包含する被覆物品の製造方法に関する。場合により、前記方法は、基板の上に誘電体層を配置する工程と、誘電体層の上にＮｂ、Ｔｉ、Ｃｒ及びＺｒのうち１種以上を含む第１サブバリア層を配置する工程と、第１サブバリア層の上にそれと接触させてＮｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む第１バリア層を配置する工程と、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む第１バリア層の上にそれと接触させて銀を含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させてＮｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む第２バリア層を配置する工程と、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む前記層の上にそれと接触させてＮｂ、Ｔｉ、Ｃｒ及びＺｒのうち１種以上を含む第２サブバリア層を配置する工程と、を含む。

他の実施態様例は、被覆物品の製造方法であって、前記方法が、ガラス基板の上に誘電体層を配置する工程と、誘電体層の上に第１バリア層を配置する工程と、第１バリア層の上にそれと接触させて銀を含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させてＮｉＴｉ又はその酸化物を含む第２バリア層を配置する工程と、第２バリア層の上にそれと接触させてＮｉＣｒ又はその酸化物を含む第３バリア層を配置する工程と、第３バリア層の上にそれと接触させてＳｎ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗ及び／又はＣｏの酸化物を含む第４バリア層を配置する工程と、を含む、前記方法に関する。

さらなる実施態様例は、被覆物品に関する。被覆物品は低Ｅコーティングを備えている。被覆物品は、ガラス基板と、誘電体層と、誘電体層の上にあるＮｂ、Ｔｉ、Ｃｒ及びＺｒのうち１種以上を含む第１サブバリア層と、第１サブバリア層の上でそれと接触しているＮｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む第１バリア層と、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む第１バリア層の上でそれと接触している銀を含むＩＲ反射層と、ＩＲ反射層の上でそれと接触しているＮｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む第２バリア層と、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ及び／又はＭｏを含む前記層の上でそれと接触しているＮｂ、Ｔｉ、Ｃｒ及びＺｒのうち１種以上を含む第２サブバリア層と、を備えている。

本発明の更に別の実施態様例は、ガラス基板で支持されたコーティングを備える被覆物品の製造方法であって、前記方法が、前記基板の上に第１誘電体層を配置する工程と、第１誘電体層の上にそれと接触させて５４〜５８重量％のＮｉ、２０〜２２．５重量％のＣｒ及び１２．５〜１４．５重量％のＭｏを含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させて第２誘電体層を配置する工程と、を含む、前記方法に関する。

他の実施例は、ガラス基板で支持されたコーティングを備える被覆物品の製造方法であって、前記方法が、基板の上に窒化ケイ素を含む第１誘電体層を配置する工程と、第１誘電体層の上にそれと接触させて５４〜５８重量％のＮｉ、２０〜２２．５重量％のＣｒ及び１２．５〜１４．５重量％のＭｏを含むＩＲ反射層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させてＮｂＺｒを含むバリア層を配置する工程と、ＩＲ反射層の上にそれと接触させて窒化ケイ素を含む第２誘電体層を配置する工程と、第２誘電体層の上にそれと接触させてジルコニウム酸化物を含むオーバーコート層を配置する工程と、を含む、前記方法に関する。

本発明の実施態様例はまた、被覆物品であって、ガラス基板と、前記基板上の窒化ケイ素を含む第１誘電体層と、第１誘電体層の上でそれと接触している５４〜５８重量％のＮｉ、２０〜２２．５重量％のＣｒ及び１２．５〜１４．５重量％のＭｏを含むＩＲ反射層と、ＩＲ反射層の上でそれと接触しているＮｂＺｒを含むバリア層と、ＩＲ反射層の上でそれと接触している窒化ケイ素を含む第２誘電体層と、第２誘電体層の上でそれと接触している酸化ジルコニウムを含むオーバーコート層と、を備える、前記被覆物品に関する。

特定の実施態様例はまた、前記方法及び／又は他の方法のいずれかで製造された被覆物品及び／又はＩＧユニットにも関する。

本発明の実施態様例による、単一ＩＲ反射層とＮｉ含有三元合金バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の実施態様例による、単一ＩＲ反射層とＮｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｘをベースとするバリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の実施態様例による、単一ＩＲ反射層とＮｉＣｒＭｏ、ＮｉＴｉ及び／又はＮｉＣｒをベースとするバリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の実施態様例による、少なくとも２層のＩＲ反射層とＮｉ含有三元合金バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の実施態様例による、少なくとも２層のＩＲ反射層とハステロイ合金（Hastelloy）をベースとするバリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、ＩＲ反射層とＩＲ反射層の両面にそれぞれ供給された第１バリア層及び第２バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、ＩＲ反射層とＩＲ反射層に隣接するＮｉを包含する第１バリア層と第１バリア層と隣接する金属をベースとする第２バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、ＩＲ反射層とＩＲ反射層に隣接するＣ２２をベースとする第１バリア層と第１バリア層と隣接するＮｂＺｒをベースとする第２バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、少なくとも２層のＩＲ反射層とＩＲ反射層に隣接するＮｉを包含する第１バリア層と第１バリア層と隣接する金属をベースとする第２バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 ＩＲ反射層とＩＲ反射層の両面にそれぞれ供給された第１バリア層及び第２バリア層とを備え、ガラス基板から最も近いバリア層とガラス基板から最も遠いバリア層とが２層の誘電体層の間に挟持されている、本発明の更に別の実施態様例による被覆物品の断面図である。 少なくとも２層のＩＲ反射層と、ＩＲ反射層の両面にそれぞれ供給された第１バリア層及び第２バリア層と、を備え、ガラス基板から最も近いバリア層とガラス基板から最も遠いバリア層とが２層の誘電体層の間に挟持されている、本発明の更に別の実施態様例による被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、ＩＲ反射層とＮｉＴｉをベースとする第１バリア層とＮｉＣｒをベースとする第２バリア層と金属酸化物をベースとする第３バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、少なくとも２層のＩＲ反射層とＮｉＴｉをベースとする第１バリア層とＮｉＣｒをベースとする第２バリア層と金属酸化物をベースとする第３バリア層とを備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、ＮｉＣｒＭｏをベースとする機能層を備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、２層の窒化ケイ素をベースとする誘電体層の間に挟持されたＣ２２をベースとする機能層と、酸化ジルコニウムをベースとするオーバーコートを共に備える被覆物品の断面図である。 本発明の更に別の実施態様例による、誘電体の間に挟持されたＣ２２をベースとする機能層及びＮｂＺｒをベースとするバリア層と、酸化ジルコニウムをベースとするオーバーコートを共に備える被覆物品の断面図である。

以下に、図面について詳細に述べるが、いくつかの図面を通して同様の符号は同様の要素を表す。

本明細書における被覆物品は、単枚ガラス窓、ＩＧ窓ユニット、自動車の窓、及び／又はガラス基板のような一枚の若しくは複数枚の基板を包含する他の好適な用途のような被覆物品用途に使用することができる。

前述の通り、場合により、低Ｅコーティング中のＩＲ反射層（例えば、銀をベースとする層）は、後続の堆積プロセス、熱酸化、腐食、水分、化学的浸食及び／又は過酷な環境によって生じる損傷から保護しなければならない可能性がある。例えば、後続の層を堆積するのに用いられるプラズマ中の酸素を高度にイオン化して、銀をベースとする層を酸素から保護しなければならないことがある。また、堆積後の「大気下でのプロセス」では、銀をベースとする層が酸素、水分、酸及び／又は塩基等から攻撃を受け易い可能性もある。このことは、銀をベースとする層と大気との間に位置する層に欠陥があるために、銀をベースとする層が完全に覆われていない場合（例えば、引っ掻き傷、ピンホール等）に特に当てはまる。

例えば、銀を含む層を包含するコーティングの劣化が当該層内でのＡｇの物理的な再構築によって引き起こされる可能性があり、その結果、場合により、重ねた層が加熱によって崩壊することもある。特定の実施態様例では、熱処理中に問題が生じる可能性もある。この場合、銀をベースとする層に酸素が拡散する可能性がある。特定の実施態様例では、銀をベースとする層に達した酸素は、シート抵抗を低下させる、放射に影響を与える及び／又は曇りを生じさせる等によって当該層の特性に影響を及ぼす可能性があり、また、層スタックによる性能を低下させることもある。場合により、Ａｇが凝集することで欠陥が生じる可能性もある。

そのため、特定の実施態様例では、低Ｅコーティング中の銀をベースとする層（及び／又は他のＩＲ反射層）とバリア層とを併用することで、前記の問題及び／又はその他の問題の一部又は全ての発生を減少させる可能性がある。特定の実施例では、前記バリア層が銀の周囲に薄い酸化物保護層を形成して、被覆物品の耐食性や化学的及び／又は力学的な耐久性を改善する可能性がある。

本発明の特定の実施態様例は、コーティングを支持する少なくとも１枚のガラス基板を包含する被覆物品に関する。コーティングは一般に、少なくとも一部のＩＲ放射を反射及び／又は遮断する少なくとも１層の赤外線（ＩＲ）反射層を有する。本発明の別の実施態様では、ＩＲ反射層は銀、金、ＮｉＣr等のような材料又はそれらの三元合金からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。多くの場合、ＩＲ反射層はコーティングの少なくとも第１コンタクト層と第２コンタクト層との間に挟持されている。

以上のことから、Ｎｉ含有三元合金を含むバリア層を供給することは有利であると考えられる。特定の実施例では、バリア層は、ニッケル、クロム及び／又はモリブデン等の材料（例えば、Ｃ２２、ＢＣ１及び／又はＢ３等のHaynes合金）を含んでいてよい。他の実施態様例では、Ｎｉ含有三元合金はさらに、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｏ及び／又はこれらの組み合わせを包含していてもよい。場合により、Ｎｉ含有三元合金バリア層（例えば、ニッケル、クロム及び／又はモリブデン等のような金属を含むもの）は、（１）ＩＲ反射層との十分な接着力と、（２）酸性及び／又はアルカリ性溶液に対する改善された耐食性と、（３）高温酸化中の保護と、（４）全体的な改善された化学的及び／又は力学的な耐久性と、を有する可能性がある。他の実施態様例では、これらの利点は、ニッケル、クロム及び／又はモリブデンを含む層を、バリア層としてよりもＩＲ反射層及び／又は他の機能層として使用することで生じる可能性がある。

さらに、他の実施態様例では、２層以上のバリア層を供給してもよい。有利なことに、ＩＲ反射層の少なくとも片面に（また、場合により、両面に）少なくとも２層のバリア層を供給することで前記利点が生じる可能性もあることが分かった。特定の実施態様例では、Ｎｉ含有合金又はＮｉ含有三元合金をＩＲ反射層に隣接させて使用してもよく、また、良好な耐食性並びに良好な化学的及び力学的な耐久性を付与する材料を第２バリア層として選択してもよい。

図１は、本発明の実施態様例による被覆物品の断面図である。特定の実施態様例では、図１に示す被覆物品は、表面１及び／又は表面２に低Ｅコーティングを有する単枚ガラス窓として使用されてよく、低Ｅコーティングには単一ＩＲ反射層のみが備わっている。しかし、別の実施態様例では、図１の被覆物品は追加の層を含んでいてもよい。さらに、本明細書に記載の実施態様例にしたがって製造された被覆物品は、別の実施態様例及び応用例によれば、表面１、表面２、表面３及び／又は表面４上にコーティングを有する断熱ガラスユニット（ＩＧＵ）に使用されてもよく、表面２及び／若しくは表面３上の中間層寄りに組み込まれたコーティング又は表面１若しくは表面４に暴露されたコーティングを有する一体型積層板に使用されてもよく、表面２及び／若しくは表面３上の中間層寄りに組み込まれたコーティング又は表面４に暴露されたコーティングを有する積層アウトボードを積層したＩＧＵに使用されてもよく、表面３及び／若しくは表面６に暴露された被覆物又は表面４及び／若しくは表面５に組み込まれた被覆物を有する積層インボードを積層したＩＧＵに使用されてもよい。言い換えれば、このコーティングは、一体構造として使用されてもよく、２枚以上の基板を備えたＩＧユニットに使用されてもよく、或いはガラスユニット内に２回以上使用されてもよく、また、別の実施態様例では、ユニットのどの表面に供給されてもよい。

被覆物品は、ガラス基板１（例えば、透明な、緑色の、ブロンズ色の又は青緑色の、厚さ１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍのガラス基板）と、前記基板に直接的に又は間接的に供給された多層コーティング３５（又は層システム）と、を包含する。

図１に示すように、コーティング３５は、任意の誘電体層３及び／又は任意の誘電体層５と、Ｎｉ含有三元合金を含む第１バリア層７であって、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｏ及び／又はこれらの組み合わせ（例えば、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＣｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＮｂ_ｚ、Ｎｉ_ｘＮｂ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＺｒ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＮｂ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＣｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＮｂ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＴｉ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＣｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＮｂ_ｚ及び／又はＮｉ_ｘＣｏ_ｙＴｉ_ｚ）からなっていてよいか又はそれらを包含していてよいものと、銀又は金等のうち１種以上を包含するＩＲ反射層９と、Ｎｉ含有三元合金を含む第２バリア層１１であって、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｏ及び／又はこれらの組み合わせ（例えば、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＣｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＮｂ_ｚ、Ｎｉ_ｘＮｂ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＺｒ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＮｂ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＣｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＮｂ_ｚ、Ｎｉ_ｘＷ_ｙＴｉ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＣｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＭｏ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＺｒ_ｚ、Ｎｉ_ｘＣｏ_ｙＮｂ_ｚ及び／又はＮｉ_ｘＣｏ_ｙＴｉ_ｚ）からなっていてよいか又はそれらを包含していてよいものと、任意の誘電体層１３であって、特定の実施例では保護オーバーコートであってよいものと、を備えている。本発明の特定の実施態様例では、他の層及び／又は他の材料を供給してもよく、また、特定の実施例では、特定の層を削除又は分割してもよい。層３、層５及び／又は層１３は１層以上の個別の層を包含していてよい。誘電体層３、誘電体層５及び誘電体層１３は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化スズ、酸化チタン及び／又は任意の好適な誘電材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。特定の実施態様例では、任意のオーバーコート層１６が供給されていてもよい。当該層は、他の実施例では除外されてもよい。特定の実施態様例では、任意のオーバーコート層１６を供給する場合、当該層１６はジルコニウムからなっていてもよく、或いはそれを包含していてもよい。別の実施例では、ジルコニウムをベースとする層は部分的に又は完全に酸化されてもよい。さらなる実施態様例では、層１６は、Ｚｒ_ｘＭｏ_ｙＯ_ｚ、ＺｒＡｌＯｘ及び／又はＴｉＺｒＯｘ等のジルコニウム系合金の酸化物を含んでいてもよい。前記材料は、有利なことに、コーティング並びに／又は被覆物品のトライポロジー的性質及び／若しくは摩擦特性を改善するのに役立つ可能性がある。他の実施例では、他の誘電体層をコーティングの別の場所に供給してもよい。特定の実施態様例では、前記層を少なくとも最初はジルコニウム窒化物として堆積してもよい。

赤外線（ＩＲ）反射層９は、好ましくは実質上又は完全に金属及び／又は導電性であり、銀（Ａｇ）、金又は他の好適なＩＲ反射材料を含んでよく、又は本質的にそれからなってもよい。ＩＲ反射層９は、コーティングに低放射率や低シート抵抗等のような低Ｅ特性及び／又は良好な日射調整特性を発揮させるのに役立つ。しかし、本発明の特定の実施態様では、ＩＲ反射層９は僅かに酸化されていてもよい。

別の実施態様例では、図１に示しかつ本明細書に記載のＩＲ反射層は銀を含んでもよく、又は本質的に銀からなってよい。そのため、特定の実施態様例には銀合金が包含されてもよいことも分かるであろう。このような場合、Ａｇは、好適な量のＺｒ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｐｄ及び／又はこれらの組み合わせとの合金であってもよい。特定の実施態様例では、Ａｇは、ＰｄとＣｕをそれぞれ約０．５〜２％（重量％又は原子濃度）含む、ＰｄとＣｕとの合金であってよい。他の考えられる合金には、Ａｇと、Ｃｏ、Ｃ、Ｍｇ、Ｔａ、Ｗ、ＮｉＭｇ、ＰｄＧａ、ＣｏＷ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｖ、Ｉｎ、Ｚｎ、Ｉｒ、Ｒｈ及び／又はＭｏのうち１種以上と、が包含される。一般に、ドーパント濃度は０．２〜５％（重量％又は原子濃度）の範囲、より好ましくは０．２〜２．５％の範囲であってよい。前記範囲内で操作することにより、銀が、そうでなければ合金化によって失われる可能性のあるＡｇをベースとする層の好ましい光学特性を保持するのに役立ち、その結果、スタックの光学特性全体を維持するのに役立つと同時に、化学的耐久性、腐食耐久性及び／又は力学的耐久性を高めるのにも役立つ可能性がある。本明細書で特定される代表的なＡｇ合金ターゲット材料は、単一のターゲットを用いてスパッタリングされてもよく、２種（以上のターゲット）を用いた同時スパッタ法等によって堆積されてもよい。場合により、高い耐食性を付与することに加えてＡｇ合金を使用することにより、高温での銀拡散性を低減するのに役立つと同時に、層スタック内で酸素の移動量を減少させる又は阻止するのに役立つ可能性がある。これにより、銀拡散性が更に向上し、好ましくない耐久性の原因となり得る前記Ａｇの成長特性及び構造特性を変える可能性もある。

特定の実施態様例では、バリア層７は亜鉛酸化物からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。本発明の別の実施態様では、第１Ｎｉ含有三元合金層７と第２Ｎｉ含有三元合金層１１の組成は同一であっても異なっていてもよい。

誘電体層１３は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化スズ及び酸化チタン等からなっていてもよく、又はそれを包含してもよい。特定の実施態様例では、誘電体層１３は２層以上の個別の層から構成されてよい。さらに、場合により、誘電体層１３は保護オーバーコートとして供給されてもよい。

有利なことに、前記層に例えばＮｉ含有三元合金を使用することで、耐食性が向上でき、そして化学的及び／又は力学的な耐久性が改善できることも分かった。Ｎｉ含有三元合金（並びに又はその酸化物、窒化物及び／若しくはオキシ窒化物）を使用することでＡｇ粒界上に保護層が形成されると考えられる。特定の実施態様例では、これにより、更に良好な耐食性及び／又は耐湿性並びに化学的耐久性を有する被覆物品が得られる可能性がある。さらに、ＩＲ反射層の周囲に薄い酸化物保護層を形成することで、酸素の拡散を軽減することができ、特定の実施態様例では、耐食性並びに化学的及び力学的な耐久性の改善に役立つ可能性もあると考えられる。

特定の実施態様例では、Ｎｉ含有三元合金はニッケル、クロム及び／又はモリブデンを含んでいてよい。特定の実施態様例では、ニッケル及びＮｉ含有合金は、様々な腐食性環境、高温、高圧及び／又はこれら要因の組み合わせに耐え得る可能性がある。また一方で、Ｎｉは、場合により、通常の環境下で良好な耐食性を付与する可能性もあるが、高温高湿及び／又は酸性浸食に反応する可能性もある。そのため、特定の実施例では、Ｃｒを添加して酸性溶液に対する耐食性を改善することも可能である。他の実施例では、Ｃｒによって、高温酸化から保護してもよい。

また一方、Ｎｉ及び／又はＣｒからなる又は本質的にそれらからなるバリア層をさらに改良してもよい。例えば、堆積直後でしかも大気中で加熱された（その結果、ＮｉＣｒ酸化物を形成する可能性がある）本質的にＮｉＣｒからなる層は、高温の酸性溶液及びアルカリ性溶液に晒されると腐食及び／又はエッチングされる可能性がある。加熱されたＮｉＣｒコーティングは、（１）２０％ＮａＯＨ中（６５℃で１時間）、（２）５０％Ｈ_２ＳＯ_４中（６５℃で１時間）及び（３）５％ＨＣｌ中（６５℃で１時間）にエッチング除去される可能性がある。さらに、熱湯に晒す（１００℃に１時間）と、加熱されたＮｉＣｒが曇ることが確認された。これは、塩化物及び／又は水素化物の形成が原因である可能性がある。

別の例として、コーティング直後のＮｉＣｒを包含する層（例えば、部分的に酸化されたもの、又は加熱されたＮｉＣｒを包含する層ほど酸化されていないもの）は、５０％Ｈ_２ＳＯ_４（６５℃で１時間）及び５％ＨＣｌ（６５℃で１時間）によってエッチング除去されることもある。そのため、ＩＲ反射層（例えば、銀を含むもの）は、化学的浸食及び／又は過酷な環境（例えば、高温及び／又は高湿環境下）に弱い可能性があることも分かる。したがって、改善されたバリア層が必要である。このことは、特定の実施態様例ではコーティングが風雨にさらされる可能性があるため、被覆物品が一体型として使用されるか又はＩＧユニット若しくは積層アセンブリの外表面で使用される用途に特に当てはまる可能性がある。

したがって、コーティングを供給する一体型用途、コーティングを表面１（例えば、結露防止のため）及び／又は表面４（例えば、Ｕ値を改善するため）に供給するＩＧユニット、並びにコーティングが前記環境に直接さらされる可能性のある他の場合では、更に優れた耐食性並びに改善された化学的及び／又は力学的な耐久性を有する材料を、例えばＡｇをベースとする層を保護するために使用するのが好ましいこともある。

特定の実施態様例では、モリブデンは、特にニッケルと併用すると、耐酸性だけでなく孔食や隙間腐食をも改善する可能性があることが分かった。さらに、モリブデンは、特にクロムと併用すると、アルカリ性溶液からの浸食に関して改善された特性をもたらす可能性がある。そのため、有利なことに、銀をベースとする層の周囲にＮｉＣｒＭｏ系合金を使用することで、低Ｅスタックにおいて改善された耐食性並びに改善された化学的及び／又は力学的な耐久性がもたらされる可能性があることが分かった。ＮｉＣｒＭｏをベースとするバリアは、堆積直後でも熱処理後でも、Ｎｉ及びＣｒからなる及び／又は本質的にそれらからなるバリア層と比べて改善された性能を有するコーティングを提供する可能性がある。

有利なことに、ＮｉＣｒＭｏ系合金（例えば、Ｃ２２、ＢＣ１及び／又はＢ３といったHallestoy）は少なくとも１層の銀をベースとする層を包含するコーティングを、場合により、本質的にＮｉ及びＣｒからなる層よりも十分に保護する可能性があることが分かった。さらに、更なる実施例では、ＮｉＣｒＭｏ系合金は、被覆物品を可視損傷からも保護する可能性がある。ＮｉＣｒＭｏは、コーティング内の最上部の誘電体層（例えば層１３）と合金を形成することで、アルカリ性溶液及び熱湯に対する当該層の性能をさらに改善する可能性もあると考えられる。このことは、最上部の誘電体層１３がケイ素をベースとする実施態様に特に当てはまる可能性がある。例えば、ＭｏＳｉを含む材料は、その優れた耐熱性と耐食性によって、高温ヒーターとして使用される。

表１〜３に、参照として、３種のＮｉＣｒＭｏ系合金実施態様例（例えば、Ｃ２２、ＢＣ１及びＢ３）に関する組成を表す。

図２（ａ）にはコーティング３５'が包含されている。図２（ａ）は、図２(ａ)がＮｉＣｒＭｏを含む合金から構成される層７及び層１１を特に必要としていること以外は、図１を基にしている。特定の実施態様例では、層７及び／又は層１１はさらに、例えば上記表１に示すように、Ｆｅ、Ｗ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃ、Ｖ、Ａｌ及び／又はＴｉを潜在的に少量含んでいてもよい。

図２（ｂ）は、コーティング３５"を示している。図２（ｂ）は、図２（ｂ）がハステロイ合金（Hastelloy）Ｃ２２からなる又はそれを包含する層７及び層１１を特に必要としかつ任意のオーバーコートがＺｒを包含すると明記していること以外は、図１及び図２（ａ）を基にしている。

図３（ａ）は、別の実施態様例を示している。図３（ａ）の実施態様では、様々なＮｉ系合金をコーティング３６内で有効に使用することで、コーティングの特性を更に改善する可能性がある。図３（ａ）、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に関する実施態様例では、Ｎｉ系合金は必ずしも三元であるとは限らない。場合により、Ｎｉ系合金は、二元であってもよく、又は４種以上の金属を含んでいてもよい。例えば、層７はＮｉＣｒ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなっても又はそれを包含していてもよいが、層１１は、ＮｉＴｉ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなる又はそれを包含する。特定の実施態様例では、層７がＮｉＣｒをベースとし、そして層１１がＮｉＴｉをベースとしている層スタックのシート抵抗は、層７と層１１が共にＮｉＣｒをベースとしている層スタックよりも約２５〜４５％低く、更に好ましくは約３０〜４０％低く、最も好ましくは少なくとも３４％低い可能性がある。

別の実施例として、層７はＮｉＣｒ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなっても又はそれを包含していてもよいが、層１１はＮｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ（例えば、Ｃ２２）からなる又はそれを包含する。特定の実施態様例では、層７がＮｉＣｒをベースとし、そして層１１がＮｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚをベースとしている層スタックのシート抵抗は、層７と層１１が共にＮｉＣｒをベースとしている層スタックよりも約２０〜３５％低く、更に好ましくは約２５〜３０％低く、最も好ましくは少なくとも２８％低い可能性がある。

したがって、特定の実施態様例では、層７はＮｉＣｒ、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ （例えば、Ｃ２２、Ｂ３、ＢＣ１等）及びＮｉＴｉのうち少なくとも１種からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよく、また、層１１は、層７のために選択された材料が層１１のために選択された材料と異なるのであれば、ＮｉＣｒ、Ｎｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ（例えば、Ｃ２２、Ｂ３、ＢＣ１等）及びＮｉＴｉのうち少なくとも１種からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。

図３（ｂ）は、コーティング３６'を支持する被覆物品１を表している。図３（ｂ）は、図３（ｂ）がＮｉＣｒ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなる又はそれを包含する層７とＮｉＴｉ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなる又はそれを包含する層１１とを特に必要としていること以外は、図３（ａ）を基にしている。

図３（ｃ）は、コーティング３６"を支持する被覆物品１を表している。図３（ｃ）は、図３（ｃ）がＮｉＣｒ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなる又はそれを包含する層７とＮｉ_ｘＣｒ_ｙＭｏ_ｚ（並びに／又はその酸化物及び／若しくは窒化物）からなる又はそれを包含する層１１とを特に必要としていること以外は、図３（ａ）を基にしている。

上述の通り、図３（ａ）、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に従って作製されたコーティングは、有利なことに、例えばＮｉＣｒをベースとするバリア層のみを包含するコーティングと比べると大幅に低下したシート抵抗を有する可能性がある。

図４は、本発明の実施態様例による被覆物品の断面図である。特定の実施例では、図４に示す被覆物品は、２層のＩＲ反射層を含む低Ｅコーティングを有する単枚ガラス窓として使用されてよい。被覆物品は、ガラス基板１（例えば、透明な、緑色の、ブロンズ色の又は青緑色の、厚さ１．０〜１０．０ｍｍ、好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍのガラス基板）と、前記基板に直接的に又は間接的に供給された多層コーティング４５（又は層システム）と、を包含する。図４の実施態様は、ガラス基板１と、誘電体層３及び／又は誘電体層５と、Ｎｉ含有三元合金７と、銀をベースとする層９と、Ｎｉ含有三元合金１１と、銀をベースとする層１９と、Ｎｉ含有三元合金２１と、誘電体層１３と、任意のオーバーコート層１６と、を包含する。層７、層１１及び／又は層２１は、本明細書において図１の実施態様例中の層７に関して記載した材料例のいずれか及び／又はそれら全てからなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。同様に、Ａｇをベースとする層９及びＡｇをベースとする層１９は、本明細書に記載の銀合金であってよい。誘電体層３、誘電体層５、誘電体層１３及び誘電体層１６は任意である。前記層は、本明細書において前記層に関して記載した材料のうちいずれかを含んでいてよい。前記層のうちの一部若しくはそれら全てが別の実施態様例に従って供給されてもよく、又はどの層も別の実施態様例に従って供給されなくてもよい。

図５は、図４を基にしており、また、コーティング４５'を包含している。図５は、層７、層９、層１１及び／又は層１９がＮｉＣｒＭｏ系合金（例えば、Ｃ２２、ＢＣ１及び／又はＢ３）を含んでいてよいと規定している。

図６に示すような別の実施態様例は、先に示唆した本発明の特定の実施態様例の別の態様に関する。これら実施態様例では、機能層（例えば、銀を含むＩＲ反射層）の片面又は両面にバリア層を２層供給することで、耐久性を改善できることが分かった。

特に、図６は、本発明の実施態様例による被覆物品の断面図である。被覆物品は、ガラス基板１（例えば、透明な、緑色の、ブロンズ色の又は青緑色の、厚さ１．０〜１０．０ｍｍ、好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍのガラス基板）と、前記基板に直接的に又は間接的に供給された多層コーティング５０（又は層システム）と、を包含する。コーティング５０はガラス基板１で支持されており、任意の誘電体層３及び／又は任意の誘電体層５と、銀をベースとする層９を挟持する第１バリア層８／１０及び第２バリア層６／１２と、誘電体層１３と、任意のオーバーコート層１６と、を包含する。

任意の誘電体層３、任意の誘電体層５及び任意の誘電体層１３は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化チタン、酸化スズ及び任意の他の好適な誘電材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。別の実施態様例によれば、前記層は全てが含まれていてもよく、全く含まれていなくてもよく、又はそれらのうち一部が含まれていてもよい。さらなる実施態様例では、前記層はそれぞれ１層以上の個別の層を包含していてよい。

特定の実施態様例では、任意のオーバーコート層１６が供給されていてもよい。当該層は、他の実施例では除外されてもよい。特定の実施態様例では、任意のオーバーコート層１６を供給する場合、当該層１６はジルコニウムからなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。場合により、ジルコニウムをベースとする層は部分的に及び／又は完全に酸化されてよい。さらなる実施態様例では、層１６は、Ｚｒ_ｘＭｏ_ｙＯ_ｚ、ＺｒＡｌＯｘ及び／又はＴｉＺｒＯｘ等のジルコニウム系合金の酸化物を含んでいてもよい。これらの材料は、コーティング並びに／又は被覆物品のトライポロジー的性質及び／若しくは摩擦特性を向上させるのに有効に役立つ可能性がある。

さらに図６についていえば、バリア層６及びバリア層１２は、改善された耐食性並びに／又は高い化学的及び力学的な耐久性のために選択された材料を含んでいてよい。特定の実施態様例では、「バリア１」層８及び「バリア１」層１０（以下に詳述する）と「バリア２」層６及び「バリア２」層１２との接着は有利である。場合により、層６及び層１２はそれぞれ層８及び層１０とだけでなく、誘電体層１２とも十分に接着していてよい。さらに、特定の実施態様では、層６及び層１２のための材料は、層８及び層１０で使用される材料と化学的に相溶し得る可能性がある。

熱処理可能な（例えば、焼き戻し処理可能な）コーティングでは、場合により、層６及び層１２に使用される材料が熱的に安定であることが望ましいことがある。特定の実施例では、前記材料が、熱処理後のコーティングの性能を光学的又は物理的にほとんど低下させないことが望ましい場合もある。

以上のことから、有利なことに、「バリア２」層６及び１２はＮｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｃｒ及び／又はＮｂを含んでいてよいことが分かった。例えば、層６及び／又は層１２は、ＮｂＺｒ、Ｚｒ、ＴｉＣｒ及び／又はＴｉＮｂを含んでいてよい。特定の実施態様例では、前記材料は、焼きなまし処理後のコーティング及び／又は熱処理可能なコーティングに良好な腐食特性及び耐薬品性を付与する。特定の実施態様例では、コーティングを焼きなまし処理する場合は、ＴｉＣｒを「バリア２」として使用してよい。他の実施態様例では、コーティングを熱処理する場合は、Ｚｒ、ＮｂＺｒ及び／又はＴｉＮｂを層６及び／又は層１２に使用してもよい。

さらに図６の実施態様についていえば、Ｎｉ含有合金は、銀を含む層９に隣接して使用してよい。特定の実施態様例では、銀を含む層に最も近いバリア層である「バリア１」（層８及び層１０）は、Ｎｉからなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。層８及び層１０はまた、Ｃｒ、Ｍｏ及び／又はＴｉのうち１種以上を包含してもよい。特定の実施態様例では、ＮｉＣｒＭｏ、ＮｉＣｒ及び／又はＮｉＴiを層８及び層１０に使用してもよい。有利なことに、銀をベースとする層に近い又はそれに隣接する層８及び層１０に前記材料を使用することで、Ａｇを含む層との更に良好な接着性及び化学的相溶性が得られることが分かった。特定の実施態様例では、Ｔｉは、単独では強力な耐食性を付与できないが、Ｎｉと合金化すると合金の電位が貴の（すなわち正の）方向に変わるので、Ａｇにとって更に良好な保護を付与する可能性がある。特定の実施例では、熱処理可能な（例えば、倍強化された及び／又は熱強化可能な）ＮｉＴｉは、特に耐久性及び光学特性に関して、改善された性能を付与する可能性がある。

さらに、特定の実施態様例では、層８及び層１０における前記材料は改善されたＡｇ分散をもたらす可能性もある。Ａｇの更に良好な構造上の特性を付与することで、分散等の光学特性を更に向上させるのに役立つ可能性もあると考えられる。さらに現在では、場合により、ＮｉＴｉＯｘを含む層をＡｇを含む層に隣接して供給することで、凝集や早期のＡｇフィルム融合を軽減する可能性もあるとも考えられる。

図７は図６を基にしている。図７において、コーティング５０'は、ＮｂＺｒ、Ｚｒ、ＴｉＣｒ及び／又はＴｉＮｂを含む層６及び／又は層１２と、Ｎｉを包含するバリア層から構成される層８及び／又は層１０と、を包含する。

図８もまた図６を基にしており、代表的な実施態様例を示している。図８において、コーティング５０"は、窒化ケイ素をベースとする誘電体層３（任意の誘電体層５は含まれていない）と、ＮｂＺｒを含む第１「バリア２」層６と、Ｃ２２を含む第１「バリア１」層８と、銀をベースとするＩＲ反射層９と、Ｃ２２を含む第２「バリア１」層１０と、ＮｂＺｒを含む第２「バリア２」層１２と、場合により保護オーバーコートとしても役立つ可能性のある、窒化ケイ素を含む誘電体層１３と、を備えている。ただし、他の実施態様例では、独立した保護オーバーコート層１６を供給してもよい。特定の実施態様例では、層１６は、ジルコニウムをベースとするものであってよく、また、ジルコニウム酸化物及び／又はその合金からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。層１６はさらにＡｌ、Ｔｉ及び／又はＭｏを包含してもよい。

図９は図６の実施態様と同様であるが、図９は二重銀コーティング６０を対象としている。図９は、ガラス基板１と、誘電体層３及び／又は誘電体層５と、第１「バリア２」層６と、第１「バリア１」層８と、Ａｇを含む第１ＩＲ反射層９と、第２「バリア１」層１０と、第２「バリア２」層１２と、第３「バリア１」層１８と、銀を含む第２ＩＲ反射層１９と、第４「バリア１」層２０と、第４「バリア２」層２２と、誘電体層１３と、任意のオーバーコート層１６と、を包含する。図９において、「バリア１」層８、「バリア１」層１０、「バリア１」層１８及び／又は「バリア１」層２０は、「バリア１」層８及び／又は「バリア１」層１０に関して本明細書で説明したどの材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。ただし、特定の実施例では、バリア層１８は、バリア層８及びバリア層１０とは別の材料からなっていてもよく、或いはバリア層８及びバリア層１０とは別の材料を包含していてもよい。「バリア２」層６、「バリア２」層１２及び「バリア２」層２２は、「バリア２」層６及び／又は「バリア２」層１２に関して本明細書で説明したどの材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。誘電体層３、誘電体層５及び／又は誘電体層１３のうちの一部若しくはそれら全てが別の実施態様例に従って含まれていてもよく、又はどの前記誘電体層も別の実施態様例に従って含まれていなくてよい。誘電体層３、誘電体層５及び誘電体層１３は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化スズ、酸化チタン及び／又は任意の好適な誘電材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。他の実施態様例では、独立した保護オーバーコート層１６を供給してもよい。特定の実施態様例では、層１６は、ジルコニウムをベースとしてもよく、また、ジルコニウム酸化物及び／又はその合金からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよく、場合によりＡｌ、Ｔｉ及び／又はＭｏを更に包含してもよい。他の実施例では、他の誘電体層をコーティング中の別の場所に供給してもよい。

図１０はコーティング５０'''を示しており、これは図６に示すコーティング５０と同様である。ただし、コーティング５０'''はさらに誘電体層１４及び／又は誘電体層１５を包含している。特定の実施態様例では、前記誘電体層は、銀をベースとする層９よりも下にある「バリア１」と「バリア２」の間に供給してよく、また、銀をベースとする層９よりも上にある「バリア２」と「バリア１」の間に供給してもよい。図１０の特定の実施態様例では、誘電体層で挟持された「バリア２」層６及び「バリア２」層１２はさらに、当該層及び／又はコーティング全体の化学的及び／又は力学的な耐久性を改善する可能性もある。さらに、誘電体層１４及び／又は誘電体層１５をコーティングに包含することで、有利なことに、銀をベースとする層を腐食及び／又は引っ掻き傷からさらに保護する可能性もある。特定の実施態様例では、前記層１４及び／又は層１５は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化チタン、酸化スズ及び／又は任意の好適な誘電材料を含んでいてよい。さらに、特定の実施態様例では、前記層１４及び／又は層１５は高密度であってよい。

図１１はコーティング６０'を示しており、これは図９に示すコーティング６０と同様である。ただし、コーティング６０'は、誘電体層１４'及び／又は誘電体層１５'を更に包含している。これらの層は前述の層１４及び層１５と同様である。また、前記層１４'及び／又は前記層１５'はそれぞれ、ガラス基板に最も近い「バリア２」層とガラス基板から最も遠い「バリア２」層に挟持されている。図１１の実施態様では、層６及び層２２はそれぞれ、誘電体層３及び／又は誘電体層５と誘電体層１４'及び誘電体層１５'と誘電体層１３に挟持されている。

図１２及び図１３は、本発明の実施態様例による被覆物品の断面図である。図１２において、被覆物品は、ガラス基板１（例えば、透明な、緑色の、ブロンズ色の又は青緑色の、厚さ１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍのガラス基板）と、前記基板に直接的に又は間接的に供給された多層コーティング７５（又は層システム）と、を包含する。図１２は、誘電体層３及び／又は誘電体層５と、バリア層７及び／又はバリア層８と、銀をベースとする層９と、バリア１０'と、バリア層１０"と、バリア層２４と、に加えて、別の実施態様例によればオーバーコート及び／又はトップコートとして役立つ可能性がある誘電体素１３と、を包含する。誘電体層３、誘電体層５及び誘電体層１３は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化スズ、酸化チタン及び／又は任意の好適な誘電材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。他の実施例では、他の誘電体層をコーティング中の別の場所に供給してもよい。他の実施態様例では、独立した保護オーバーコート層１６を供給してもよい。特定の実施態様例では、層１６は、ジルコニウムをベースとしてもよく、ジルコニウム酸化物及び／又はその合金からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよく、場合によりＡｌ、Ｔｉ及び／又はＭｏを包含してもよい。

図１２において、バリア層６、バリア層７及び／若しくはバリア層８は、Ｎｉ含有三元合金を含む図１ないし図２の層７、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ及び／若しくはＴｉからなる又はそれらを包含する「バリア１」層８及び／又は「バリア１」層１０、並びに／又はＮｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｃｒ及び／若しくはＮｂからなる又はそれらを包含する「バリア２」層６及び／又は「バリア２」層１２に関して説明した材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。一部の実施例では、層６、層７及び層８のうち１層のみを図１２の実施態様に含むこともできる。ただし、他の実施態様では、さらに多くの層が含まれていてもよい。

図１２は、バリア層１０'、バリア層１０"及びバリア層１６も包含する。特定の実施態様例では、バリア層１０'は、Ａｇをベースとする層９と良好に接着するようにＮｉを含有してよい。特に特定の実施態様例では、前記層１０'は、Ｎｉ及び／若しくはＴｉ並びに／又はそれらの酸化物（例えば、Ｎｉ_ｘＴｉ_ｙＯ_ｚ）からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。層１０"は、Ｎｉ及び／若しくはＣｒ並びに／又はそれらの酸化物からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。特定の実施態様例では、層１０"は、コーティング全体の力学的な耐久性を増強する可能性がある。最終的に、場合により、層２４は「酸化物バリア」（ＢＯｘ）層であってよい。特定の実施態様例では、層２４は、Ｓｎ、ＴｉＣｒ、ＴｉＮｂ、ＮｂＺｒ、ＣｒＺｒ、ＴｉＭｏ、ＺｒＭｏ、ＮｂＭｏ、ＣｒＭｏ、ＷＣｒ、ＷＭｏ、ＷＺｒ、ＷＮｂ、ＷＴｉ、ＣｏＭｏ、ＣｏＣｒ、ＣｏＺｒ、ＣｏＮｂ及び／又はＣｏＴｉの酸化物からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。特定の実施例では、バリア層１６を供給することで、コーティングの耐久性が更に改善される可能性がある。

図１３は、二重ＩＲ反射層コーティング８５を包含すること以外は、図１２を基にしている。特定の実施態様例では、図１３に示す被覆物品は、二重ＩＲ反射層を含む低Ｅコーティングを有する単枚ガラス窓として使用されてよい。被覆物品は、ガラス基板１（例えば、透明な、緑色の、ブロンズ色の又は青緑色の、厚さ１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍのガラス基板）と、前記基板に直接的に又は間接的に供給された多層コーティング８５（又は層システム）と、を包含する。図１３は、誘電体層３及び／又は誘電体層５と、バリア層６、バリア層７及び／又はバリア層８と、銀をベースとする層９と、バリア１０、バリア層１１及び／又はバリア層１２と、Ａｇをベースとする層１９と、バリア層１０'と、バリア層１０"と、バリア層２４と、別の実施態様例によればオーバーコート及び／又はトップコートとして役立つ可能性がある誘電体層１３と、を包含する。他の実施態様例では、独立した保護オーバーコート層１６を供給してもよい。特定の実施態様例では、層１６は、ジルコニウムをベースとしてもよく、ジルコニウム酸化物及び／又はその合金からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよく、場合によりＡｌ、Ｔｉ及び／又はＭｏを包含してもよい。誘電体層３、誘電体層５及び誘電体層１３は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、酸化スズ、酸化チタン及び／又は任意の好適な誘電材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。他の実施例では、他の誘電体層をコーティング中の別の場所に供給してもよい。

図１３において、バリア層６、バリア層７及び／若しくはバリア層８は、Ｎｉ含有三元合金を含む図１ないし図２の層７、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ及び／若しくはＴｉからなる或いはそれらを包含する「バリア１」層８及び／又は「バリア１」層１０、並びに／又はＮｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｃｒ及び／若しくはＮｂからなる或いはそれらを包含する「バリア２」層６及び／又は「バリア２」層１２に関して説明した材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。一部の実施例では、層６、層７及び層８のうち１層のみを図１３の実施態様に含むこともできる。ただし、他の実施態様では、さらに多くの層が含まれていてもよい。

図１３において、バリア層１０'、バリア層１０"及びバリア層２４は、図１２の実施態様における層１０'、層１０"及び層２４に関して本明細書で説明した材料からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。

他の実施態様例では、銀をベースとする層の上にあるバリア層材料は、銀をベースとする層よりも下に供給されたバリア層材料と異なっていてもよい。本明細書に記載のバリア層について考えられる組み合わせはいずれも、前記図中に示した層スタック及び本明細書に記載の層スタックのいずれに使用してもよい。

特定の実施態様例では、本明細書に記載の二元合金、三元合金、四元合金等はいずれも、単一金属ターゲット及び／又は単一セラミックターゲットからスパッタリングされてもよく、或いは別の実施態様では二種以上の異なるターゲット（金属ターゲット及び／又はセラミックターゲット）から同時にスパッタリングされてもよい。

図１４は、本発明の実施態様例による被覆物品の断面図である。特定の実施態様例では、図１４に示す被覆物品は、単一機能層を有する単枚ガラス窓として使用されてよい。被覆物品は、ガラス基板１（例えば、透明な、緑色の、ブロンズ色の又は青緑色の、厚さ１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍのガラス基板）と、前記基板に直接的に又は間接的に供給された多層コーティング１００（又は層システム）と、を包含する。図１４は、ガラス基板１と、任意の誘電体層３及び／又は任意の誘電体層５と、ＮｉＣｒＭｏ系合金（例えば、Ｃ２２，ＣＢ１又はＢ３）を含む機能層９'と、任意の誘電体層１３と、任意のオーバーコート層１６と、を包含する。他の層をこのコーティングに包含してもよい。層１３は、酸化ケイ素、窒化ケイ素及び／若しくはオキシ窒化ケイ素並びに／又はチタン及び／若しくはスズの酸化物などからなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。特定の実施態様例では、層１６は、ジルコニウムをベースとしてもよく、ジルコニウム酸化物及び／又はその合金からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよく、場合によりさらにＡl、Ｔｉ及び／又はＭｏを包含してもよい。

図１５は、図１４の実施態様に基づく実施態様例を示す。図１５はコーティング１００'を包含する。図１５において、誘電体層３は窒化ケイ素を含むが、誘電体層５は除外されている。別の実施態様例によれば本明細書に記載のどの誘電体層も除外可能であることに留意する。さらに、他の実施態様例によれば、前記層を分割してもよく、或いは追加の層を挿入してもよい。層９'はコーティングの機能層であり、しかも層９'は図１５の実施態様ではＣ２２を含んでいる。誘電体層１３は、前述の通り２層以上の個別の層から構成されていてよく、窒化ケイ素を含んでおり、また、層１３'はジルコニウム酸化物を含む。本発明の別の実施態様では、ＺｒＯｘを包含する層は保護オーバーコート層として供給してもよく、先に示したもの及び前述のものが挙げられる。しかし、特定の実施態様例では、先に示唆した通り、Ｓｉ_ｘＮ_ｙを含む層をオーバーコート層として供給してもよい。

図１６は、図１４の実施態様に基づく追加的な実施態様例を示している。図１６は図１５と同様であるが、図１６はさらにバリア層６'を包含する。バリア層６'は、「バリア２」層に関して図６〜図９で説明した材料を含んでいてよい。したがって、層６'は、図１６に示すように、機能層９'に対するバリア層として役立つ可能性があり、ＮｂＺｒからなっていてもよく、或いはそれを包含していてもよい。他の実施態様例では、層６'は、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｔｉ及び／又はＣｒのうち１種以上からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。

本明細書に記載のバリア層は、別の実施態様にしたがって酸化及び／又は窒化されてよい。別の実施態様例によれば、前記層は、酸素及び／若しくは窒素の存在下で堆積されてもよく、並びに／又は後続層の堆積及び／若しくは熱処理のような追加の処理工程中に酸化及び／若しくは窒化されてもよい。

さらに、本明細書に記載のＮｉ系三元合金は、四元合金であってもよく、或いは別の実施態様例によれば５種以上の材料を有していてもよい。言い換えれば、特定の実施態様例では「三元合金」と記載されているが、このような合金は３種以上の材料を包含していてもよいことが分かるであろう。

さらなる実施態様例では、ＮｉＣｒからなる若しくはそれらを包含する層及び／又は当該層をスパッタリングするのに使用されるターゲットは、ＮｉＣｒを２０：８０、４０：６０、６０：４０又は８０：２０の（重量）比で含んでいてよい。ＮｉＭｏからなる若しくはそれらを包含する層及び／又は当該層をスパッタリングするのに使用されるターゲットは、ＮｉＭｏを２０：８０、４０：６０、６０：４０又は８０：２０の（重量）比で含んでいてよい。ＮｂＣｒからなる若しくはそれらを包含する層及び／又は当該層をスパッタリングするのに使用されるターゲットは、ＮｂＣｒを２０：８０、４０：６０、６０：４０又は８０：２０の（重量）比で含んでいてよい。ＮｂＺｒからなる若しくはそれらを包含する層及び／又は当該層をスパッタリングするのに使用されるターゲットは、ＮｂＺｒを２０：８０、４０：６０、６０：４０又は８０：２０の（重量）比で含んでいてよい。本明細書に記載のバリア層はさらに、Haynes２１４からなっていてもよく、或いはそれらを包含していてもよい。

特定の実施態様例では、図１〜図１６に示す被覆物品は、表面１及び／又は表面２に低Ｅコーティングを有する単枚ガラス窓として使用されてよく、低Ｅコーティングは単一ＩＲ反射層のみを包含している。しかし、別の実施態様例では、図１の被覆物品は追加の層を含んでいてもよい。さらに、本明細書に記載の実施態様例にしたがって製造された被覆物品は、別の実施態様例及び応用例によれば、表面１、表面２、表面３及び／又は表面４上にコーティングを有する断熱ガラスユニット（ＩＧＵ）に使用されてもよく、表面２及び／若しくは表面３上の中間層に組み込まれた又は前記中間層上に配置された又は前記中間層寄りに配置されたコーティング或いは表面４に暴露されたコーティングを有する一体型積層板に使用されてもよく、表面２及び／若しくは表面３上の中間層寄りに組み込まれたコーティング又は表面４に暴露されたコーティングを有する積層アウトボードを積層したＩＧＵに使用されてもよく、表面３及び／若しくは表面６に暴露された被覆物又は表面４及び／若しくは表面５に組み込まれた被覆物を有する積層インボードを積層したＩＧＵに使用されてもよい。言い換えれば、このコーティングは、一体構造として使用されてもよく、２枚以上の基板を備えたＩＧユニットに使用されてもよく、或いはガラスユニットに２回以上使用されてもよく、また、別の実施態様例では、ユニットのどの表面に供給されてもよい。また一方、他の実施態様例では、本明細書に記載の被覆物品はＩＲ反射層を何層使用してもよく、他のガラス基板を何枚か組み合わせて積層型ガラスユニット及び／又は断熱ガラスユニットを形成してもよい。別の実施態様例によれば、前記コーティングはＩＧＵ、ＶＩＧ、自動車のガラス及び他の用途と共に使用することも可能である。

さらに、本明細書に記載の図１〜図１６のコーティングは、当該コーティングが外気に直接さらされる用途では、表面１上に使用してもよい。特定の実施態様例では、この用途としては結露防止コーティングを挙げることができる。他の実施態様例では、この用途としては、天窓、自動車の窓及び／若しくは自動車のフロントガラス、ＩＧユニット、ＶＩＧユニット並びに／又は冷蔵庫のドア及び／若しくは冷凍庫のドア等を挙げることができる。本明細書に記載の図１〜１６のコーティングはまた、二重ＩＧユニットの表面４又は三重ＩＧユニットの表面６に適用することで窓のＵ値を改善することも可能である。前記コーティングは、防風ドア等の用途で一体的に使用することも可能である。特定の実施態様例では、本明細書に記載のコーティングが、有利なことに、優れた耐久性及び安定性、低い曇り、そして特定の実施態様例では、平坦で掃除し易い特性であることが証明された。

本明細書に記載のコーティングに関する他の実施態様例、特に一体型コーティング用途に関する他の実施態様例には、結露防止コーティングが挙げられる。本明細書に記載のコーティングは、表面１の結露防止用途に使用してよい。これは、コーティングが外部環境下で持ち堪えられるようにすることができる。特定の実施態様例では、ガラス表面が内部領域からの熱をより一層逃がしにくいように、コーティングの半球放射率は低くてよい。これにより、ガラス表面での結露の発生が有効に減少する可能性がある。

本明細書に記載のコーティングの別の用途例としては、本明細書に開示されたコーティング例又は材料例を、建物内部に露出しているＩＧユニットの表面４（例えば、日光から最も遠い表面）に使用することが挙げられる。この場合、コーティングは大気に晒される。場合により、このことがスタック内のＡｇ層に損傷を与える可能性もある。しかし、本明細書に記載のコーティングを使用することによって、改善されたバリア材料及び／又はＡｇ合金を包含するコーティングの耐食性は改善され、力学的及び／又は化学的な耐久性はさらに向上する可能性がある。

特定の実施態様例では低Ｅコーティングに関して説明してきたが、本明細書に記載の様々なバリア層は多種多様なコーティングと共に使用することも可能である。

特定の実施態様例では、本明細書に記載の被覆物品（例えば、図１〜１４参照）は熱処理（例えば、焼き戻し処理）してもしなくてもよい。本明細書で使用するとき、「熱処理」及び「熱処理すること」という用語は、ガラスを包含する物品の焼き戻し処理及び／又は倍強化処理が達成されるのに十分な温度まで物品を加熱することを表す。この定義には、例えば、被覆物品をオーブン又は炉内で少なくとも約５５０℃、より好ましくは少なくとも約５８０℃、更に好ましくは少なくとも約６００℃、一層好ましくは少なくとも約６２０℃、最も好ましくは少なくとも約６５０℃において焼き戻し処理及び／又は倍強化処理を行うのに十分な時間加熱することが包含される。これは、特定の実施態様例では、少なくとも約２分間、又は約１０分以下であってよい。

上述の通り、特定の実施対応例は、ガラス基板で支持された低Ｅコーティングが包含され得る。この被覆物品は、別のガラス基板若しくは他の基板と一体化してもよく、又はそれらに積層してもよい。被覆物品はまた、断熱ガラス（ＩＧ）ユニットに内蔵してもよい。ＩＧユニットは一般に実質上平行に間隔を空けた第１ガラス基板と第２ガラス基板とを備えている。基板の周囲にシールを供給して、基板間の間隙（Ａｒ、Ｘｅ及び／又はＫｒ等の不活性ガスで少なくとも部分的に満たされていてよい）を保持する。

先に示唆した通り、本明細書に開示した材料例は、低Ｅ用途及び／又は結露防止用途に関して使用できる。低Ｅコーティング及び／又は結露防止コーティングの例は、例えば、出願番号 12/926,714、同12/923,082、同12/662,894、同12/659,196、同12/385,234、同12/385,802、同12/461,792、同12/591,611及び同12/654,594に記載されており、これにより、これらの内容を全て参照として本明細書に組み込む。したがって、例えば特定の実施態様例では、本明細書に記載の１種以上のバリア層材料は、１層以上のＮｉ及び／又はＣｒを含む層に取って代わってもよく、又はそれらに追加してもよい。特定の実施態様例では、本明細書に開示した１種以上の材料は、機能性ＩＲ反射（通常は、銀をベースとする）層に取って代わってもよく、又はそれらに追加してもよい。

本明細書に記載の層のうち一部又は全ては、スパッタリング蒸着又は例えばＣＶＤや燃焼堆積等のような任意の他の好適な技法によって配置してよい。

本明細書で使用するとき、「上に（ある）」、「によって支持されている」等の用語は、特に明記されていない限り、２つの要素が互いに直接隣り合っていることを表すものではないと解釈すべきである。言い換えると、第１層と第２層の間に層が１つ以上存在していても、第１層は第２層の「上に」ある又は第２層「によって支持されている」ということができる。

本発明は、現在最も実用的で好ましい実施形態であると考えられるものについて記載してきたが、本発明は、開示した実施態様に限定されるものではなく、それどころか、特許請求の範囲の主旨及び範囲に包含される様々な変更及び同等の配置を網羅するものであると解されるべきである。

Claims (11)

1. ガラス基板で支持されたコーティングを包含する被覆物品の製造方法であって、
   前記ガラス基板の上に誘電体層を配置する工程と、
   前記誘電体層の上にＮｉ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｔｉ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｍｏの少なくとも１つから
   なるＮｉ含有合金を含む第１バリア層を配置する工程と、
   前記第１バリア層の上に銀を含むＩＲ反射層を配置する工程と、
   前記ＩＲ反射層の上にＮｉ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｔｉ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｍｏの少なくとも１つか
   らなるＮｉ含有合金を含む第２バリア層を配置する工程と、
   を含み、
   前記コーティングが低Ｅコーティングとして使用され、
   前記第１バリア層及び前記第２バリア層が異なるＮｉ含有合金を含み、
   前記第１バリア層及び前記第２バリア層のうち少なくとも一方が、６３〜６７重量％のＮｉ、１〜２重量％のＣｒ及び２５〜３０重量％のＭｏを含む
   被覆物品の製造方法。
2. 前記第１バリア層がＮｉ−Ｃｒを含み、
   前記第２バリア層がＮｉ−Ｃｒ−Ｍｏを含む、
   請求項１に記載の被覆物品の製造方法。
3. 前記コーティングが前記ＩＲ反射層を１層のみ含む、
   請求項１又は２に記載の被覆物品の製造方法。
4. 断熱ガラス（ＩＧ）ユニットの製造方法であって、
   請求項１、２、又は３のいずれか１項に記載の被覆物品を供給する工程と、
   第２基板を供給する工程と、
   前記被覆物品を前記第２基板に対して、前記被覆物品上の前記コーティングが、前記Ｉ
   Ｇユニットの製造中、前記ＩＧユニットの外表面上に位置するようにセットする工程と、
   を含む、断熱ガラス（ＩＧ）ユニットの製造方法。
5. 断熱ガラス（ＩＧ）ユニットの製造方法であって、
   請求項１、２、又は３のいずれか１項に記載の第１被覆物品及び第２被覆物品を供給
   する工程と、
   前記第１被覆物品及び前記第２被覆物品を互いに、前記第１被覆物品及び／又は前記第
   ２被覆物品上の第１コーティング及び／又は第２コーティングが、前記ＩＧユニットの製
   造中、前記ＩＧユニットの外表面上にあるようにセットする工程と、
   を含む、断熱ガラス（ＩＧ）ユニットの製造方法。
6. 前記コーティングが銀を含む第２ＩＲ反射層を含む、
   請求項４又は５に記載の断熱ガラス（ＩＧ）ユニットの製造方法。
7. 前記コーティングが、前記第２ＩＲ反射層の上でそれと接触しているＮｉ−Ｃｒ、Ｎｉ
   −Ｔｉ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｍｏの少なくとも１つからなるＮｉ含有合金を含む第３バリア層を
   さらに含む、
   請求項６に記載の断熱ガラス（ＩＧ）ユニットの製造方法。
8. 低Ｅコーティングを支持する基板を備える被覆物品であって、
   前記コーティングが、基板から順に、
   第１誘電体層と、
   第１バリア層と、
   前記第１バリア層の上にそれと接触させて供給された、銀を含む第１ＩＲ反射層と、
   前記ＩＲ反射層の上にそれと接触させて供給された第２バリア層と、
   前記第２バリア層の上に供給された第２誘電体層と、
   を含み、
   前記第１バリア層及び前記第２バリア層がＮｉ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｔｉ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｍｏ
   の少なくとも１つからなるＮｉ含有合金を含み、
   前記第１バリア層及び前記第２バリア層が異なるＮｉ含有合金からなり、
   前記第１バリア層及び前記第２バリア層のうち少なくとも一方が、６３〜６７重量％のＮｉ、１〜２重量％のＣｒ及び２５〜３０重量％のＭｏを含む
   被覆物品。
9. 前記物品が前記ＩＲ反射層を１層のみ備え、一体型として使用される、
   請求項８に記載の被覆物品。
10. 前記第２バリア層の上にＺｒ酸化物を含むオーバーコート層を配置する工程を更に含む、
    請求項１に記載の被覆物品の製造方法。
11. 前記Ｚｒ酸化物を含むオーバーコート層がさらに、Ｔｉ、Ａｌ及びＭｏのうち少なくと
    も１種を含む、
    請求項１０に記載の被覆物品の製造方法。

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