JP6004602B2 - 水冷ケーブル及び真空加熱装置 - Google Patents
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Description
本発明は、冷却水を流通する冷却水通路を有して、真空雰囲気中で冷却水及び電源を供給するための水冷ケーブルであって、電源を供給するための導線と、該導線との間に前記冷却水通路を有して外装される被覆管とを有し、該被覆管は、耐熱温度が100℃以上であって可撓性を有する絶縁材料であるフッ素系ゴムのみで形成された略管状のものであり、少なくとも外皮のベーキング前の放出ガス量が10−4Pa・m3/s・m2以下であって、圧力が10−5Pa以下という高真空雰囲気下で使用することを特徴としている。
この発明に係る真空加熱装置によれば、冷却水配管も耐熱温度が100℃以上で、少なくともベーキング前の外皮の放出ガス量が10−4Pa・m3/s・m2以下であって可撓性を有する絶縁材料であるフッ素系ゴム形成されていることで、放出ガスの発生をより効果的に抑えつつ、真空槽の内部を冷却することができる。
また、本発明の真空加熱装置によれば、上記水冷ケーブルを備えることで、高真空雰囲気中において、放出ガスで汚染してしまうこと無く、被処理物を加熱処理することができる。
また、上記実施例と比較するものとして、比較例1として市販のゴム管について、常温で、同様の計測を行った。市販のゴム管としては、天然ゴム、スチレンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴムなどで形成されたもの、あるいは、これらを層状に構成したものがあるが、本比較例では、スチレンブタジエンゴムで形成されたものを使用した。なお、比較例1では、65℃以上に加熱することができないことから、ベーキングを実施しない状態で行っている。
また、上記実施例と比較するものとして、比較例2として耐熱ゴム管について、ベーキング時において同様の計測を行った。耐熱ゴム管としては、ネオプレンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、シリコンゴム、エチレンプロピレンジエンゴムなどで形成されたもの、あるいは、これらを層状に構成したものがあるが、本比較例では、内層がニトリルゴム、外層がニトリルゴムとクロロプレンゴムとでそれぞれ形成された層状構造体のものを使用した。なお、ベーキングの条件は、実施例と同様である。
2 真空槽
2a 内部
3 真空ポンプ(排気手段)
4 ルツボ
6 加熱手段
13 誘導加熱コイル
20 水冷ケーブル
20a 導線
20b 被覆管
20c 冷却水通路
W 被処理物
Claims (4)
- 冷却水を流通する冷却水通路を有して、真空雰囲気中で冷却水及び電源を供給するための水冷ケーブルであって、
電源を供給するための導線と、
該導線との間に前記冷却水通路を有して外装される被覆管とを有し、
該被覆管は、耐熱温度が100℃以上であって可撓性を有する絶縁材料であるフッ素系ゴムのみで形成された略管状のものであり、少なくとも外皮のベーキング前の放出ガス量が10−4Pa・m3/s・m2以下であって、
圧力が10−5Pa以下の高真空雰囲気下で使用されることを特徴とする水冷ケーブル。 - 真空槽と、
該真空槽の内部を真空雰囲気に排気可能な排気手段と、
前記真空槽の内部で被処理物を加熱する加熱手段と、
前記真空槽の外部から内部へ冷却水及び電源を供給する請求項1に記載の水冷ケーブルとを備えることを特徴とする真空加熱装置。 - 請求項2に記載の真空加熱装置において、
前記真空槽の内部に設けられ、前記水冷ケーブルによって電源が供給される前記加熱手段である誘導加熱コイルと、
該誘導加熱コイルの内側に配設され、内部に前記被処理物を収容するルツボとを備え、
該ルツボの内部に収容された前記被処理物を溶解させる真空誘導溶解炉であることを特徴とする真空加熱装置。 - 請求項2または請求項3に記載の真空加熱装置において、
前記真空槽の内部に設けられ、冷却水を通水させる冷却水配管を備え、
該冷却水配管は、耐熱温度が100℃以上で、少なくとも外皮のベーキング前の放出ガス量が10−4Pa・m3/s・m2以下であって可撓性を有する絶縁材料であるフッ素系ゴムで形成されていることを特徴とする真空加熱装置。
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