JP6003659B2 - プラズマcvd装置およびシート材料の製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示す本実施の形態によるプラズマCVD装置10は、基材51に対してプラズマ化学気相成長法(プラズマCVD蒸着)を行うことにより、基材51上にプラズマ蒸着層52を生成し、これによりシート材料50(図2(a)参照)を作製する装置である。
次に、上述したプラズマCVD装置10によって作製されるシート材料50の構成について、図2、図5および図6を用いて説明する。
次に、上記プラズマCVD装置10を用いてプラズマCVD蒸着を行うことにより、シート材料50を製造する方法について述べる。
11 真空チャンバ
12 基材供給部
13 基材巻取部
14 ドラム
15 基材搬送装置
16 案内ロール
17 減圧ポンプ
20 プラズマ銃
21 高周波電源
22 中空ノズル
23 ノズル開口
24 不活性ガス供給部
26 絶縁箱
27 圧力計
30 処理ガス供給部
31 第1の処理ガス供給部
32 第1の処理ガス貯留部
33 キャリアガス貯留部
34 第1のガスノズル
37 圧力計
40 第2の処理ガス供給部
41 第2の処理ガス貯留部
42 第3の処理ガス貯留部
43 第2のガスノズル
50 シート材料
51 基材
52 プラズマ蒸着層
60 磁場発生部
61 磁石
Claims (6)
- 基材上にプラズマ蒸着層を生成するプラズマCVD装置において、
真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配置され、前記基材を供給する基材供給部と、
前記真空チャンバ内に配置され、前記基材を巻き取る基材巻取部と、
前記真空チャンバ内にプラズマを生成するとともに、互いの間で電圧をかける一対のプラズマ銃と、
前記一対のプラズマ銃に接続された電源と、
前記真空チャンバ内に前記プラズマ蒸着層用の処理ガスを供給する処理ガス供給部とを備え、
各前記プラズマ銃は、
前記電源に接続され、一端および他端を有するとともに、当該一端にノズル開口が形成された中空ノズルと、
前記中空ノズルの前記他端に接続され、不活性ガスが供給される不活性ガス供給部とを有し、
前記不活性ガス供給部から供給された不活性ガスが前記ノズル開口から吹き出されることを特徴とするプラズマCVD装置。 - 前記不活性ガス供給部に、前記ノズル開口が拡大したことを検知する圧力計が接続されていることを特徴とする請求項1記載のプラズマCVD装置。
- 前記基材に対向する位置に、磁石を含む磁場発生部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマCVD装置。
- 前記基材は、多孔質又は繊維状材料を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載のプラズマCVD装置。
- 前記処理ガス供給部は、
有機ケイ素化合物を含む第1の処理ガスを供給する第1の処理ガス供給部と、
酸化性をもつ第2の処理ガスを供給する第2の処理ガス供給部とを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載のプラズマCVD装置。 - プラズマCVD蒸着を行うことにより、基材と、前記基材上に生成されたプラズマ蒸着層とを有するシート材料を製造する、シート材料の製造方法において、
真空チャンバ内に配置された基材供給部から前記基材を供給する工程と、
前記真空チャンバ内に配置され、互いの間で電圧をかける一対のプラズマ銃により、前記真空チャンバ内にプラズマを生成する工程と、
処理ガス供給部により、前記真空チャンバ内に前記プラズマ蒸着層用の処理ガスを供給する工程と、
前記真空チャンバ内に生成されたプラズマにより、処理ガスを反応させて、前記基材上にプラズマ蒸着層を生成する工程と、
前記真空チャンバ内に配置された基材巻取部によって前記基材を巻き取る工程とを備え、
各前記プラズマ銃は、
電源に接続され、一端および他端を有するとともに、当該一端にノズル開口が形成された中空ノズルと、
前記中空ノズルの前記他端に接続され、不活性ガスが供給される不活性ガス供給部とを有し、
前記不活性ガス供給部から供給された不活性ガスが前記ノズル開口から吹き出されることを特徴とするシート材料の製造方法。
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