JP5928132B2 - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態における成膜装置について説明する。本実施の形態における成膜装置は、エアロゾルデポジション装置であり、エアロゾル室10及び成膜チャンバー20を有している。エアロゾル室10には成膜される材料の微粒子11が入れられており、酸素等のキャリアガスが入れられたガスボンベ30が配管60を介して接続されている。また、エアロゾル室10と成膜チャンバー20とは、配管41により接続されており、成膜チャンバー20内において、配管41の端部にはノズル21が設けられている。真空チャンバー20内におけるノズル21の開口部と対向する側に、ステージ22が設けられており、ステージ22には、成膜がなされる基板23が設置されている。この成膜チャンバー20内は真空に排気可能であり、配管42を介し、メカニカルブースターポンプ43及び真空ポンプ44が接続されている。エアロゾル室10はガラス等の材料により、略円形状の底面10aを有する円筒形の形状により形成されており、エアロゾル室10内を排気することができるように、配管45及び不図示のバルブ等を介し配管42と接続されている。尚、本実施の形態における成膜装置においては、エアロゾル室10を振動させるための振動器は設けられていない。
次に、本実施の形態における成膜装置のエアロゾル室10について説明する。本実施の形態においては、エアロゾル室10は、第1の流路61の開口部61aから噴出したキャリアガスと、第2の流路62の開口部62aから噴出したキャリアガスとが、エアロゾル室10の底面10a近傍において、ぶつかり合うように形成されている。これにより、重力によりエアロゾル室10の底面10aに堆積している成膜される材料の微粒子11を微粒子のまま効率よく巻き上げることができる。即ち、エアロゾル室10の底面10a近傍において、キャリアガス同士がぶつかり合うように供給することにより、成膜される材料の微粒子11は凝集することなく、微粒子のまま効率よく巻き上げられる。
次に、本実施の形態における成膜方法について説明する。本実施の形態における成膜方法は、図2から図4に示される成膜装置を用いて、エアロゾルデポジションによる成膜を行なうものである。具体的に、図7に基づき説明する。
本実施の形態における実施例1は、図2から図4に示される本実施の形態における成膜装置を用いて、基板の表面に成膜を行なったものである。
比較例1は、図1に示される成膜装置を用いて、基板の表面に成膜を行なったものである。
(付記1)
内部に基板が設置されている成膜チャンバーと、
前記基板に成膜される材料の微粒子が入れられているエアロゾル室と、
前記成膜チャンバー内に設けられているものであって、前記エアロゾル室にキャリアガスを供給することにより、前記キャリアガスとともに前記成膜される材料の微粒子を前記基板に向けて噴出するノズルと、
を有し、
前記エアロゾル室には第1の流路と第2の流路が設けられており、前記キャリアガスは前記第1の流路と前記第2の流路に分岐されて、前記エアロゾル室内部に供給されるものであって、
前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであり、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであることを特徴とする成膜装置。
(付記2)
前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面近傍において、中央部から周辺部に向けて供給され、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面近傍において、周辺部から中央部に向けて供給されるものであることを特徴とする付記1に記載の成膜装置。
(付記3)
前記第2の流路には複数の開口部が設けられており、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは前記複数の開口部より、前記エアロゾル室内に供給されるものであることを特徴とする付記1又は2に記載の成膜装置。
(付記4)
前記エアロゾル室は、略円形状の底面を有する円筒形の形状により形成されていることを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の成膜装置。
(付記5)
前記第2の流路には複数の開口部が設けられており、
前記複数の開口部は、前記エアロゾル室の側面近傍に設けられていることを特徴とする付記4に記載の成膜装置。
(付記6)
前記第1の流路より供給されるキャリアガスと前記第2の流路より供給されるキャリアガスとは、前記エアロゾル室の底面近傍において、相互に向かい合う方向より前記エアロゾル室内に供給されているものであることを特徴とする付記1から5のいずれかに記載の成膜装置。
(付記7)
前記成膜される材料は絶縁体であることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の成膜装置。
(付記8)
前記成膜される材料は強誘電体であることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の成膜装置。
(付記9)
前記キャリアガスは、酸素または窒素を含むものであることを特徴とする付記1から8のいずれかに記載の成膜装置。
(付記10)
内部に基板が設置されている成膜チャンバーと、前記基板に成膜される材料の微粒子が入れられているエアロゾル室と、前記成膜チャンバー内に設けられているものであって、前記エアロゾル室にキャリアガスを供給することにより、前記キャリアガスとともに前記成膜される材料の微粒子を前記基板に向けて噴出するノズルと、を有し、前記エアロゾル室には第1の流路と第2の流路が設けられており、前記キャリアガスは前記第1の流路と前記第2の流路に分岐された後、前記エアロゾル室内部に供給される成膜装置における成膜方法において、
前記成膜チャンバー内を真空排気する行程と、
前記エアロゾル室にキャリアガスを供給する工程と、
を有し、
前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであり、前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであることを特徴とする成膜方法。
(付記11)
前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面近傍において、中央部から周辺部に向けて供給され、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面近傍において、周辺部から中央部に向けて供給されルものであることを特徴とする付記10に記載の成膜方法。
(付記12)
前記第1の流路より供給されるキャリアガスと前記第2の流路より供給されるキャリアガスとは、前記エアロゾル室の底面近傍において、相互に向かい合う方向より前記エアロゾル室内に供給されているものであることを特徴とする付記10または11に記載の成膜方法。
10a 底面
11 成膜される材料の微粒子
20 成膜チャンバー
21 ノズル
22 ステージ
23 基板
30 ガスボンベ
41 配管
42 配管
43 メカニカルブースターポンプ
44 真空ポンプ
45 配管
60 配管
61 第1の流路
61a 開口部
62 第2の流路
62a 開口部
Claims (6)
- 内部に基板が設置されている成膜チャンバーと、
前記基板に成膜される材料の微粒子が入れられているエアロゾル室と、
前記成膜チャンバー内に設けられているものであって、前記エアロゾル室にキャリアガスを供給することにより、前記キャリアガスとともに前記成膜される材料の微粒子を前記基板に向けて噴出するノズルと、
を有し、
前記エアロゾル室には第1の流路と第2の流路が設けられており、前記キャリアガスは前記第1の流路と前記第2の流路に分岐されて、前記エアロゾル室内部に供給されるものであって、
前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであり、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであって、
前記第1の流路より供給されるキャリアガスと前記第2の流路より供給されるキャリアガスとは、前記エアロゾル室の底面近傍において、相互に向かい合う方向より前記エアロゾル室内に供給されているものであることを特徴とする成膜装置。 - 前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面近傍において、中央部から周辺部に向けて供給され、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面近傍において、周辺部から中央部に向けて供給されるものであることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記第2の流路には複数の開口部が設けられており、
前記第2の流路より供給されるキャリアガスは前記複数の開口部より、前記エアロゾル室内に供給されるものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜装置。 - 前記成膜される材料は絶縁体であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の成膜装置。
- 前記キャリアガスは、酸素または窒素を含むものであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の成膜装置。
- 内部に基板が設置されている成膜チャンバーと、前記基板に成膜される材料の微粒子が入れられているエアロゾル室と、前記成膜チャンバー内に設けられているものであって、前記エアロゾル室にキャリアガスを供給することにより、前記キャリアガスとともに前記成膜される材料の微粒子を前記基板に向けて噴出するノズルと、を有し、前記エアロゾル室には第1の流路と第2の流路が設けられており、前記キャリアガスは前記第1の流路と前記第2の流路に分岐された後、前記エアロゾル室内部に供給される成膜装置における成膜方法において、
前記成膜チャンバー内を真空排気する工程と、
前記エアロゾル室にキャリアガスを供給する工程と、
を有し、
前記第1の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであり、前記第2の流路より供給されるキャリアガスは、前記エアロゾル室の底面に向けて、又は、底面に沿って供給されるものであって、
前記第1の流路より供給されるキャリアガスと前記第2の流路より供給されるキャリアガスとは、前記エアロゾル室の底面近傍において、相互に向かい合う方向より前記エアロゾル室内に供給されているものであることを特徴とする成膜方法。
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JP2012101890A JP5928132B2 (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 成膜装置及び成膜方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012101890A JP5928132B2 (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 成膜装置及び成膜方法 |
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ID=49675552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012101890A Active JP5928132B2 (ja) | 2012-04-26 | 2012-04-26 | 成膜装置及び成膜方法 |
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2012
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