JP6000444B2 - 直線運動可能な部材の位置を調整するためのアクチュエータ装置および方法 - Google Patents
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Description
Claims (7)
- 流体圧アクチュエータ(12)を備えた、直線運動を発生させるためのアクチュエータ装置(10)であって、
前記流体圧アクチュエータ(12)は、当該アクチュエータを作動させるための第1のピストン部材(14)と、前記直線運動を発生させるための第2のピストン部材(18)とを有し、
前記各ピストン部材にはそれぞれ、流体結合された作動室(16,20)が設けられており、
前記各作動室(16,20)の容積は、各ピストン部材(14,18)の動きにより変化することができ、
前記第1のピストン部材(14)に力を与えるための圧電アクチュエータ(36)が設けられており、
前記各作動室(16,20)は、相互に逆方向である2つの逆止弁(24,28)を介して連通されている、アクチュエータ装置(10)において、
前記両逆止弁(24,28)の開弁力はそれぞれ異なっており、
第1の運動フェーズにおいて、前記圧電アクチュエータ(36)が動かされることにより前記第1の作動室(16)内にて発生する圧力が、両作動室(16,20)を運動方向に流体連通した逆止弁(24,28)の閉弁力を上回るように迅速に、前記圧電アクチュエータ(36)が所定の方向に動かされ、第2の運動フェーズにおいて、前記圧電アクチュエータ(36)が動かされることにより前記第1の作動室(16)内にて発生する圧力が、前記運動方向とは逆方向に両作動室(16,20)を流体連通する逆止弁(24,28)の閉弁力を上回らないように緩慢に、当該圧電アクチュエータ(36)が前記所定の方向とは逆方向に動かされることにより、
第2のピストン部材(18)に、前記圧電アクチュエータ(36)によって第1のピストン部材(14)に及ぼされた、前記所定の方向の力のみが伝えられるように構成されていることを特徴とする、アクチュエータ装置(10)。 - 前記第1のピストン部材(14)の作動室(16)は、絞り部品(32)を介して、前記流体圧アクチュエータ(12)の作動流体用の貯蔵器(34)に結合されている、
請求項1記載のアクチュエータ装置(10)。 - 前記各作動室(16,20)はそれぞれ、前記ピストン部材(14,18)を可動に収容するシリンダにより形成されている、
請求項1または2記載のアクチュエータ装置(10)。 - 前記各作動室(16,20)はそれぞれベローズ(54,56)により形成されている、
請求項1または2記載のアクチュエータ装置(10)。 - 直線運動する部材の位置を調整する方法であって、
圧電アクチュエータ(36)を用いて第1のピストン部材(14)に力を及ぼすことにより、当該第1のピストン部材(14)に対して設けられた作動室(16)の容積を変化させ、加わった前記力は、当該第1の作動室(16)に流体結合された作動室(20)を備えた第2のピストン部材(18)に伝わる方法において、
所定の方向に動きを行うために、第1の運動フェーズにおいて、前記圧電アクチュエータ(36)を動かすことにより前記第1の作動室(16)内にて発生する圧力が、両作動室(16,20)を運動方向に流体連通した逆止弁(24,28)の閉弁力を上回るように迅速に、前記圧電アクチュエータ(36)を前記所定の方向に動かし、
第2の運動フェーズにおいて、前記圧電アクチュエータ(36)を動かすことにより前記第1の作動室(16)内にて発生する圧力が、前記運動方向とは逆方向に両作動室(16,20)を流体連通する逆止弁(24,28)の閉弁力を上回らないように緩慢に、当該圧電アクチュエータ(36)を前記所定の方向とは逆方向に動かすことを特徴とする方法。 - 前記第2の運動フェーズ中、前記第1の作動室(16)内における容積変化を相殺するため、絞り部品(32)により、前記第1の作動室(16)と貯蔵器(34)との間で作動流体を交換する、
請求項5記載の方法。 - 前記第2のピストン部材(18)が所定の目標位置に来るまで、前記第1の運動フェーズと前記第2の運動フェーズとを交互に繰り返す、
請求項5または6記載の方法。
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