JP2000314402A - 圧電素子の液圧拡大アクチュエーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電素子の変位量を、本液圧拡大アクチュエ
ーターにより拡大した作動量を得る。 【構成】 与圧室５と、この横内断面積より小なる受圧
室９を連結管１０で連通し液体１６を封入し、圧電素子
２９ａの変位で与圧室５を縮小し、液体１６を受圧室９
に圧入させてピストンロッド７を拡大した往作動させ、
圧電素子２９ｂの変位をコネクター２４ａで伝達して与
圧室５を拡張し、受圧室９の液体１６を吸引しピストン
ロッド７を復作動させる。与圧室５と同一形状の補正圧
室２３に補正管２０を固着し液体１６を封入した温度補
正器２５を備え、ピストンロッド７の設定位置が周囲温
度の変化の影響を受けること無くし、流量調整管１５の
バルブ１４ａ、１４ｂで液体１６の流量を制御し、ピス
トンロッド７の往復作動速さを調節し、更なる手段をも
って確実な往復作動力を得、併せてこれらの活用手段を
も提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層圧電素子の微少変
位を液体を媒体として拡大した変位に変換する液圧拡大
アクチュエーターとその活用に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この分野の圧電素子拡大アクチュ
エーターとしては、例えば、特開平４−２５８５０１号
公報等に開示されてるように、電圧を加えて圧電素子を
変位させ、その変位を二つのピストンの面積の比で拡大
し、かつ二つのピストンの間に、小断面積のピストンと
同断面積のピストンを更に二個をシリンダーに配設し、
リザーブタンクと各々のピストン間の油室とを複数のポ
ートで連通して、圧電素子を複数回に亘って伸縮変位さ
せれば、作動ピストンに大きな変位出力が得られるよう
に構成されている。

【０００３】

【発明が解決しょうとする課題】しかしながら、この圧
電アクチュエーターにあっては、シリンダー内の二個の
シリンダーに形成された連絡路と各ポートとの合致性に
困難性があり、連絡路と各ポートの加工も困難があり、
作動ピストンを押し戻すのにバネを使用しているので、
圧電素子の出力の効率が低下し、また、周囲温度の変化
によるオイルの膨張、収縮により作動ピストンの設定位
置が変化する。さらに、作動ピストンの作動速度は、圧
電素子の変位と、二つのピストンの面積の比で拡大した
作動量に比例して相対的に速くなり、作動ピストンの所
要の作動速度を得られない問題点があった。さらにま
た、どのように活用されるかも不明であった。

【０００４】本発明のは、上述の事情に鑑みて、その目
的とするところは、圧電素子の出力を効率よく利用し、
比較的簡単な方法で、大きな変位出力を得られ、周囲温
度の変化により作動ピストンの設定位置が変化すること
なく、また、作動部の往復の作動速度を、各々調整する
ことができる圧電素子の液圧拡大アクチュエーターを得
ることを目的とし、さらに、本液圧拡大アクチュエータ
ーの活用手段についても提供しようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の圧電素子の液圧拡大アクチュエーターにお
いては、シリンダーにＯリングを組み付けたピストンを
挿入して与圧室を構成するか、ベローズの両開口部の各
々にプレートを固着して与圧室を構成する。この与圧室
の横内断面積、或いは、有効面積より小さい横内断面
積、或いは、有効面積の液圧シリンダーと与圧室とを連
結管で連通し、この連結管に流量調整管を設けて接続し
た機器の適当な箇所に設けた枝管から液体を注入し充満
して枝管の開口端を固着する。後記する理由により、上
記した与圧室と同一形状、同一工法により補正圧室を構
成し、上記した連結管と同材質、同内外径、ほぼ同長さ
の補正管の一端を補正圧室に固着し、この補正管の一方
の開口端から、前記液体と同質の液体を同量注入して充
満し、この開口端を溶接等で封止して構成する温度補正
器を設け、液圧シリンダーのピストンロッドの設定位置
が周囲温度の変化で液体の膨張、収縮による影響を受け
ることのないようにする。なお、前記補正圧室の外底面
に断熱材を固着し、さらに、前記した補正圧室に断熱材
を介して圧電素子か、圧電素子と線膨張係数が同等の部
材を固着して構成した温度補正器は補正精度を高めるの
に効果的である。なお、上記した補正管は出来るかぎり
連結管の近傍に設置するのが効果的である。これら圧電
素子と与圧室と温度補正器の補正圧室とをフレームとホ
ルダーに取り付けて駆動部とし、液圧シリンダーを作動
部として、圧電素子の変位を与圧室と液圧シリンダーの
横内断面積比により液圧シリンダーのピストンロッドを
拡大した往、復作動をさせ、流量調整管に設置するバル
ブにより液圧シリンダーのピストンロッドの往、復作動
の速さの調整ができる圧電素子の液圧拡大アクチュエー
ターに三つの手段があり、これらの手段と液圧拡大アク
チュエーターの活用手段は下記のようである。

【０００６】目的を達成するための第一の手段として、
ピストンロッドを拡大した往、復作動をさせるために、
往、復作動用圧電素子で与圧室を往復作動させる手段が
ある。復作動用圧電素子で与圧室を復作動させるのにコ
ネクターを設置する。このコネクターには複数の形状が
あり、まず、軸形状のコネクターについて記すと、与圧
室のシリンダーを軸受付にし、Ｏリングを組み込んだコ
ネクターを軸受孔に挿入し、コネクターの端部をピスト
ンの内底部に固着するか、与圧室のベローズの一方のプ
レートを軸受付にし、Ｏリングを組み込んだコネクター
を軸受孔に挿入し、コネクターの端部を他方のプレート
の内底部に固着するか、コネクターを軸受孔に挿入して
コネクターの端部をプレートの内底部に固着し、コネク
ターの他端部にシールベローズの一開口部を固着し、シ
ールベローズの他開口部を軸受付プレートに固着して与
圧室を構成する。なお、このコネクターの外部端面は後
記するフレームの上梁面より張り出した長さにし、断熱
材を固着するのが効果的である。

【０００７】次に、与圧室を跨ぐ門形状のコネクターに
ついて記すと、後記するフレームの上梁を貫き、ベロー
ズと二枚のプレートで構成された与圧室の往作動用圧電
素子側のプレートにフランジを設けて、門形状のコネク
ターの脚部を固着して与圧室を用意する。また門形状の
コネクターの梁の復作動用圧電素子側には断熱材を固着
するのが効果的である。

【０００８】さらに、平板に直角に二枚の部材を有する
形状のコネクターについて記すと、平板の端部に後記す
るホルダーのシャフトと同数のベアリングを取り付け、
このシャフトにガイドされる構造とし、平板に直角の二
枚の部材の先端を与圧室の外底面に断熱材を介して固着
した与圧室を用意する。また、この与圧室の外底面の圧
電素子が接する部分にも断熱材を固着し、コネクターの
平板にも断熱材を固着しておくのが効果的である。

【０００９】次に、液圧シリンダーについて記すと、シ
リンダーカバーとピストンロッドで形成された受圧室を
有する液圧シリンダーか、上記した与圧室の横内断面積
より小なる有効面積のベローズの一端にピストンロッド
を固着し、他端に連結管を固着して受圧室とし、これら
をシリンダーカバーで覆って構成された液圧シリンダー
を設ける。適当な長さの連結管の一端を上記した与圧室
のシリンダーまたはプレートの固着し、他端を液圧シリ
ンダーのシリンダーカバーに固着し連通する。この連結
管の適当な箇所に二個の分岐・合流管を設け、この分岐
・合流管の各々にバルブと逆止め弁とを設置した流量調
整管を設ける。一回路はピストンロッドの往作動用に、
他の一回路を復作動用とする。なお、前記したベローズ
に適度の反発力を持たせると圧電素子の変位に与圧室が
追随するため、ピストンロッドの位置の保持手段にな
る。

【００１０】さらにまた、フレームと、このフレーム内
を円滑に滑動できるホルダーとを用意し、上記した、与
圧室と往、復作動用の圧電素子と温度補正器の補正圧室
とを取り付けて駆動部を設置するのであるが、フレーム
とホルダーには、与圧室と補正圧室とを直列に配置する
形体と、並列に配置する形体とがある。

【００１１】まず、与圧室と補正圧室とを直列に取り付
ける形体のフレームとホルダーの形状は、側面が二面
体、四面体、或いは円筒形等の側面体と上梁と中梁と下
梁とでフレームを構成し、このフレームの上梁、中梁の
各々に複数個のベアリングを、フレームの中心線に対し
て等分の位置に固着し、これらのベアリングに貫通させ
た複数本のシャフトに、上板と中板と下板とを各々固着
してホルダーを構成し、ホルダーがフレーム内を円滑に
滑動できるようにしておく。なお、コネクターの形状に
よって機器の取り付け位置や方向を異にする。

【００１２】軸形状のコネクターの与圧室と、与圧室を
跨ぐ門形状のコネクターの与圧室のフレームとホルダー
では、フレームの梁とホルダーの板とは上板、上梁、中
板、中梁、下板、下梁の順に配置し、上板に復作動用の
圧電素子を、上梁には与圧室を、中板には往作動用の圧
電素子を、中梁には補正圧室を与圧室と同姿勢に各々取
り付け、下板を補正圧室の外底面に断熱材を介して固着
する。なお、往作動用の圧電素子の作動側は与圧室の外
底面に断熱材を介して密着させる。また、復作動用の圧
電素子と与圧室のコネクターの梁の断熱材とは、往作動
用の圧電素子の変位量と同量の間隔を設ける。

【００１３】平板に直角に二枚の部材を有する形状のコ
ネクターを有する与圧室を取り付けるフレームとホルダ
ーの梁と板とは、ａ）上梁、上板、中梁、平板に直角に
二枚の部材を有する形状のコネクターの二枚の部材に貫
かれる下板、下梁の順に配置するか、ｂ）上梁、上板、
中梁、コネクターの二枚の部材に貫かれる中板と下板、
下梁の順に配置する。ａ）配置のフレームとホルダー
は、上梁に補正圧室を取り付け、上板を補正圧室の外底
面の断熱材にを介して固着する。中梁に与圧室を補正圧
室と同姿勢に取り付け、下板の与圧室底面側に往作動用
の圧電素子を固着し、この圧電素子の他面は与圧室の外
底面に断熱材を介して密着させる。下板の反対面に復作
動用の圧電素子を固着する。この圧電素子の他面とコネ
クターの平板に固着した断熱材とは、往作動用の圧電素
子の変位量と同量の間隔を設ける。ｂ）配置のフレーム
とホルダーは、ａ）配置と同様に、上梁に補正圧室を取
り付け、上板を補正圧室の外底面に断熱材を介して固着
する。中梁に与圧室を補正圧室と同姿勢に取り付け、下
板の与圧室底面側に往作動用の圧電素子を固着し、この
圧電素子の他面は中板を貫き与圧室の外底面に断熱材を
介して密着させる。中板に復作動用の圧電素子を固着す
る。この圧電素子は下板を貫いて、中板のコネクターの
平板面側に固着する。さらに、圧電素子の他面とコネク
ターの平板に固着した断熱材とは往作動用の圧電素子の
変位量と同量の間隔を設ける。このｂ）配置のフレーム
は、往、復作動用の圧電素子を平行に設置するので、上
記した他のフレームに比べ長さを短縮できる利点があ
る。

【００１４】次に、与圧室と補正圧室とを並列に取り付
ける形体のフレームとホルダーの形状について記すと、
複数の側面体と上梁と下梁とで構成する長方形箱のフレ
ームを設ける。フレームの側面体の内側に複数のベアリ
ングを取り付けておく。さらに、このフレームの内側に
位置し、矩形桝の両側面に長さが異なる翼状の板を各一
ないしは二枚設け、前記したベアリングに複数本のシャ
フトを挿入し、このシャフトの各々の端部に前記した板
を固着して構成するホルダーを設け、ホルダーがフレー
ム内を滑動できるようにしておく。

【００１５】上記した、フレームの上梁に、ホルダーの
矩形桝の中心に位置するように与圧室の連結管側を取り
付ける。往作動用の圧電素子はホルダーの矩形桝の下辺
に固着し、圧電素子の他面は与圧室のピストン、或い
は、プレートの外底面に断熱材を介して密着させる。さ
らに、復作動用の圧電素子を矩形桝の上辺に固着する。
なお、復作動用の圧電素子と与圧室のコネクターに固着
した断熱材とは、往作動用の圧電素子の変位量と同量の
間隔を設ける。さらに、フレームの上梁に補正圧室を与
圧室と同姿勢にして並列に取り付け、補正圧室の外底面
の断熱材を介してホルダーの長い方の翼状の下板を固着
する。さらにまた、上記した何れの形体に於ても温度補
正装置の補正管は可能な限り連結管の近傍に設置するの
が効果的である。

【００１６】上記した構成の第一の手段の液圧拡大アク
チュエーターの、往作動用の圧電素子に電圧を加えた変
位で断熱材を介して与圧室を縮小して液圧を発生させ、
液圧シリンダーの受圧室は与圧室の有効面積と受圧室と
の横内断面積の比に反比例し、ピストンロッドは拡大し
た変位の往作動手段を有する。復作動用の圧電素子に電
圧を加えた変位をコネクターで伝達して縮小した与圧室
を拡張し、受圧室の液体を吸引して、受圧室を縮小さ
せ、ピストンロッドを復作動をさせる戻し手段を有す
る。また、圧電素子に加える電圧の調整により、ピスト
ンロッドを任意の位置に設定できる。

【００１７】さらに、往、復作動用の圧電素子に加える
電圧の和が最大駆動電圧であるように維持して二電圧を
変化させて加えると、与圧室は二つの圧電素子に拘束さ
れながら伸縮し、この伸縮に受圧室も追随させられるの
でピストンロッドは外力に影響されることなく往復作動
し、かつ、任意の位置に設定できる手段を有する。ま
た、二つの圧電素子に加える電圧の和が最大駆動電圧で
あるように調整して電圧を維持して二つの圧電素子に加
えると、与圧室は二つの圧電素子に押られピストンロッ
ドの位置の保持手段になり、ピストンロッドの設定位置
は外力に影響されることがない。また、上記した、何れ
のコネクター形状のものでも、往作動用、或いは、復作
動用の圧電素子に加える電圧の調整で変位量を加減し、
ピストンロッドの往作動量、或いは、復作動量を調節し
て任意の作動位置を設定することもできる。

【００１８】上記した流量調整管は連結管に二本の分
岐、合流する管を設置し、一管には与圧室に近い箇所に
バルブを、液圧シリンダーに近い箇所に逆止め弁を液圧
シリンダー側にのみ通じるように設置してピストンロッ
ドの往作動用とし、他の管には液圧シリンダーに近い箇
所にバルブを、与圧室に近い箇所に逆止め弁を与圧室側
にのみ通じるように設置してピストンロッドの復作動用
とする。往作動用の圧電素子に電圧を加えた変位によ
り、与圧室を縮小して生じる連結管内の液体の流れは、
復作動用管の逆止め弁が働いて、往作動用管にのみ流
れ、往作動用管のバルブの弁開度調整によりピストンロ
ッドの往作動の速さを調節することができる。反対に、
復作動用の圧電素子に電圧を加えた変位により、与圧室
を拡張して生じる連結管内の液体の流れは、往作動用管
の逆止め弁が働いて復作動用管にのみに流れるので、復
作動用管のバルブの弁開度調整によりピストンロッドの
復作動の速さを調節することができる。

【００１９】または、ピストンロッドの戻し手段と併せ
て、ピストンロッドの位置の保持手段として、与圧室
か、受圧室に相応の反発力を有するスプリングを設ける
か、与圧室か、受圧室を相応の反発力を有するベローズ
で構成することで、往作動用の圧電素子に電圧を除く
か、電圧を下げると、前記したスプリングまたはベロー
ズの反発力により与圧室のピストン、或いは、プレート
を押し戻し、与圧室を拡張させて吸引力を発生させ受圧
室内の液体を吸引し、ピストンロッドを復作動させる戻
し手段とし、併せて、ピストンロッドの位置の保持手段
とする。

【００２０】目的を達成するための第二の手段として、
第一の手段で記したのと同じ伸縮自在な与圧室と、この
与圧室の横内断面積、或いは、有効面積に対し、小なる
横内断面積のシリンダーカバーとピストンロッドからな
りシール材で二室に仕切られ二受圧室で構成された液圧
シリンダーとの間に４ポートの電磁切換弁を置き、与圧
室に固着した連結管を分岐し、各々を電磁切換弁を経由
して液圧シリンダーのシリンダーカバーに設けた２ポー
トに連結管を各々固着する。分岐した一方を液体圧送用
の連結管とし、与圧室に近い方から順にバルブと、液圧
シリンダーにのみ通じる逆止め弁とを設置する。他方を
液体戻し用の連結管とし、液圧シリンダーに近い方から
順に動力操作バルブか与圧室側にのみ通じる逆止め弁
と、さらに、与圧室側にのみ通じる逆止め弁を設置し、
この逆止め弁と動力操作バルブか逆止め弁との間に分岐
管を設置し、切換・流量調整管とする。分岐管の末端は
液体を適量入れたフィルターを有するドレーンポートの
液面下に埋没させる。また、液体圧送用の連結管の逆止
め弁と電磁切換弁との間に分岐管を設け、この分岐管に
安全弁を取り付け、この安全弁の出口はドレーンポート
への分岐管に接続するのがよい。また、この第二の手段
の液圧拡大アクチュエーターの補正圧室のシリンダー、
または、プレートに固着する補正管は二分した連結管の
合計長さとほぼ同じ長さか、二分した連結管と同様に二
分するかして温度補正器を構成してもよい。

【００２１】上記した、第二の手段の液圧拡大アクチュ
エーターの、与圧室と圧電素子、温度補正器の補正圧室
を取り付け、これらの機器を円滑に機能させるために、
フレームとホルダーとを設置する。第二の手段のフレー
ムは、第一の手段で記したフレームと相似であり、この
フレームの上梁、中梁の各々に複数個のベアリングを、
フレームの中心線に対して等分の位置に固着し、これら
のベアリングに貫通させた複数本のシャフトに、上板と
下板とを各々固着してホルダーを構成し、ホルダーがフ
レーム内を円滑に滑動できるようにしておく。フレーム
の梁とホルダーの板とは、上梁、上板、中梁、下板、下
梁の順に配置する。上梁には与圧室を、中板には圧電素
子を固着し、圧電素子の他面は与圧室の外底面に断熱材
を介して固着する。中梁には補正圧室を与圧室と同姿勢
に各々固着する。さらに、下板は補正圧室の外底面に断
熱材を介して固着する。或いは、上梁に補正圧室を、中
板に補正圧室の外底面に断熱材を介して固着し、中梁に
与圧室を、下板に圧電素子を各々固着してもよい。な
お、圧電素子と与圧室の外底面にも断熱材を固着するの
が効果的である。

【００２２】上記した構成の第二の手段の液圧拡大アク
チュエーターには、さらに、作動設定器とピストン位置
メモリー、作動方向・変位量計算機、作動制御処理と電
圧変換処理とを備え、これらは、電磁切換弁、動力操作
バルブを操作し、圧電素子に加える電圧を加減する。こ
れらにより、前回に圧電素子に加えられた電圧からピス
トンロッドの作動位置を記憶させる。新たな作動設定器
からの信号に対してピストンロッドの作動方向を判断さ
せ、電磁切換弁の切換え要否の指令を出し、次に、動力
操作バルブに開弁指令をし、さらに、変位量計算をして
圧電素子に新たな作動設定器の信号に対応した量の電圧
を加えるように電圧変換処理に指示する。これにより、
前回位置と新たな作動量との差の電圧を圧電素子に加え
る。これにより与圧室は縮小し、二受圧室の一方に液体
は圧送されので拡張し、他方の受圧室内の液体は電磁切
換弁、動力操作バルブ、連結管、分岐管を通ってドレン
ポートに排出させられ、受圧室は縮小させられ、ピスト
ンロッドは作動設定器からの信号に対応した位置に作動
する。電圧変換処理からの指令が終了すると圧電素子は
原状に服し与圧室は拡張して吸引力を発生し、ドレーン
ポート内の液体を吸引する。

【００２３】或いは、上記した動力操作バルブに開弁指
令後、ピストン位置メモリー、作動方向・変位量計算
機、作動制御処理で、新たな作動設定器の信号に対応し
た変位量計算をさせ、所要の回数の電圧を「入」「切」
するように電圧変換処理に指示し、電圧変換処理から圧
電素子に所要の回数の「入」「切」した電圧を加えて与
圧室を脈動せさ、分岐した連結管に設置した二個の逆止
め弁の働きで往復ポンプと同様の作動をさせて、液体圧
送用の連結管から二受圧室の一方に液体を脈送して拡張
され、他方の受圧室は縮小し液体は電磁切換弁、動力操
作バルブ、液体戻し用の連結管、分岐管を通ってドレー
ンポートに吐出し、この液体は再び与圧室に吸引され、
ピストンロッドは作動設定器からの信号に対応した位置
に作動する。この様に、与圧室を脈動せさると与圧室と
受圧室との横内断面積の差を大きくしなくても、ピスト
ンロッドは大きな作動力が得られる。また、これら第二
の手段は圧電素子に電圧を除いて原状に復帰して収縮
し、与圧室を拡張して液体を吸引するに際し、ドレンポ
ートの液体を吸引するのみであるから、収縮時に圧電素
子に加わる応力負担が小さいことが特徴である。

【００２４】ピストンロッド作動後は、電磁切換弁側の
動力操作バルブを閉弁させ、与圧室側の動力操作バルブ
を開弁させて、圧電素子に加えた電圧を除く。電圧を除
くと圧電素子は原状に復帰するため、圧電素子に断熱材
を介して固着する与圧室は拡張し吸引力を発生してドレ
ンポートから液体を吸引する。与圧室が液体を吸引し終
わると動力操作バルブを閉弁させて、次の作動設定器か
らの信号に備える。このように機器を配置し操作するの
で、ピストンロッドを設定した位置は外力による影響を
受けず位置の保持手段となる。

【００２５】また、切換・流量調整管に設置したバルブ
の弁開度調整によりピストンロッドの作動の速さを調節
することができ、さらに、安全弁は与圧室から液圧シリ
ンダーに過度な圧力が加わるのを防止するのと、液体圧
送用の連結管の逆止め弁と動力操作バルブとの間の液体
が周囲温度の上昇により膨張した場合の逃がし弁として
有効である。この第二の手段の液圧シリンダーは、第一
の手段に記した液圧シリンダーに比べ、より確実な復作
動力を得られる。

【００２６】目的を達成するための第三の手段として、
上記した与圧室を二組用意し、各々の与圧室の外底部に
断熱材を固着する。一方、両端にＯリングを取り付けた
シリンダーカバーが両側にロッドを有するピストンで仕
切られた二受圧室を有する液圧シリンダーか、ベローズ
の一方の開口端にピストンロッドを固着し、他の開口端
に連結管の一端を固着したものを、ロッド側にＯリング
を取り付けたシリンダーカバーに組み込み、シリンダー
カバーのヘッド側と前記した連結管とを固着して、ベロ
ーズ内側の受圧室とベローズの外面とシリンダーカバー
との間でなる受圧室とを有する液圧シリンダーを用意す
る。上記した二個の与圧室と液圧シリンダーの二受圧室
とを各々連結管で接続して連通する。各々の連結管の枝
管から液体を注入し、枝管の先端を固着して封入する。
ヘッド側の連結管に固着した与圧室が往作動用となり、
ロッド側の連結管に固着した与圧室が復作動用となる。
上記したピストン方式の液圧シリンダーとベローズ方式
の液圧シリンダーとは二室の受圧室の内断面積が等し
い。なお、各々の連結管の適当な位置にバイパス管を設
け、例えば、各々の本管にバルブを、各々のバイパス管
に与圧室にのみ通じる逆止め弁とを設置し流量調整管と
するのがよい。

【００２７】上記した、第三の手段の液圧拡大アクチュ
エーターの、二個の与圧室と二個の圧電素子、温度補正
器の補正圧室を取り付け、これらの機器を円滑に機能さ
せるために、フレームとホルダーとを設置する。このフ
レームとホルダーには、二個の与圧室と補正圧室とを直
列に取り付ける方式と、二個の与圧室を並列に取り付け
る方式とがある。

【００２８】上記した機器を直列に取り付ける方式のフ
レームとホルダーとは以下のようである。即ち、側面が
複数の側面体と上梁、中上梁、中下梁、下梁でフレーム
を構成し、このフレームの上梁、中上梁、中下梁の各々
に複数のベアリングを、フレームの中心線に対して等分
の位置に固着し、これらのベアリングに貫通させた複数
本のシャフトに、上板、中板、下板を各々固着してホル
ダーを構成し、フレーム内をホルダーが円滑に滑動でき
るようにしておく。フレームの梁とホルダーの板とは、
上梁、上板、中上梁、中板、中下梁、下板、下梁の順に
配置し、上梁には往作動用の与圧室を、上板には往作動
用の圧電素子を、中上梁には復作動用の与圧室を、中板
には復作動用の圧電素子を、中下梁には補正圧室を二個
の与圧室と同姿勢に各々固着する。或いは、上梁に補正
圧室を、上板に補正圧室の外底面の断熱材を固着し、中
上梁に往作動用の圧電素子を、中板には往作動用の圧電
素子を、中下梁には復作動用の与圧室を、下板に復作動
用の圧電素子を各々固着してもよい。なお、液圧シリン
ダーのピストンロッドを偏らせ、例えば、往作動する状
態にした場合、往作動用の与圧室と往作動用の圧電素子
とは密着し、復作動用の与圧室の外底面の断熱材と復作
動用の圧電素子との間は往作動用の圧電素子の変位量と
同量の間隔を設ける。

【００２９】上記した機器の二個の与圧室を並列に取り
付けるフレームとホルダーの形状は第二の手段で記した
フレームとホルダーと相似で、従って、フレームの梁と
ホルダーの板とは、上梁、上板、中梁、下板、下梁の順
に配置する。各機器の取り付けは、フレームの上梁には
二個の与圧室をフレームの中心線に対称の位置に取り付
け、中板には二個の圧電素子を各々の与圧室の中心位置
に固着する。中梁には補正圧室をフレームの中心線上に
与圧室と同姿勢に固着するのが効果的である。さらに、
下板を補正圧室の外底面に断熱材を介して固着する。或
いは、上梁に補正圧室をフレームの中心線上に固着し、
上板を補正圧室の外底面に断熱材を介して固着し、さら
に、中梁に二個の与圧室をフレームの中心線に対称の位
置に取り付け、下板には二個の圧電素子を各々の与圧室
の中心位置に固着してもよい。上記したいずれの取り付
け方式でも、直列に取り付ける方式で記したと同様に、
液圧シリンダーのピストンロッドを偏らせ、例えば、往
作動する状態にして、往作動用の与圧室と往作動用の圧
電素子とは密着し、復作動用の与圧室と復作動用の圧電
素子との間は、往作動用の圧電素子の変位量と同量の間
隔を設ける。

【００３０】上記した構成の第三の手段の液圧拡大アク
チュエーターの、往作動用の圧電素子に電圧を加え往作
動用の与圧室を縮小して液圧を発生させ、二室に分かれ
た受圧室のヘッド側の受圧室は与圧室と受圧室との横内
断面積、或いは、有効面積の比に反比例した長さの拡張
をし、復作動用の受圧室は縮小させられ、ピストンロッ
ドは拡大した往作動をする。縮小させられた復作動用の
受圧室の液体は復作動用の与圧室に流入し、復作動用の
与圧室の外底面の断熱材と復作動用の圧電素子とは密着
する。上記とは逆に、復作動用の圧電素子に電圧を加え
るとピストンロッドは拡大した復作動をする。また、圧
電素子に加える電圧の調整により、ピストンロッドを任
意の位置に設定でき、さらに、二個の圧電素子に加える
電圧の和が最大駆動電圧であるように調整して加える
と、二個の受圧室は加圧されピストンロッドの位置の保
持手段となる。さらにまた、二個の圧電素子に加える電
圧の和が最大駆動電圧であるように維持して二電圧を変
化させて加えると、二個の与圧室は同時に縮小または拡
張し、二受圧室に伝達するので、ピストンロッドは外力
に影響されることなく往復作動ができ、かつ、任意の位
置に設定できる。また、各々の連結管に設置したバルブ
の弁開度調整によりピストンロッドの往、復作動の速さ
を個々に調節ができる。この第三の手段の液圧シリンダ
ーは第二の手段に記した液圧シリンダーに比べ、往、復
作動力が同等であり、液体の給排される量も同じである
ため機器の条件設定が容易である。

【００３１】上記した三つの手段の各々の長所を活か
し、例えば、第一手段の駆動部と、第二手段の切換・流
量調整管と、第三手段で記した二室の受圧室の内断面積
が等しい液圧シリンダーとを組合せることも効果的であ
る。

【００３２】上記した、三つの手段に用いた温度補正器
を設置する理由は、与圧室と連結管と受圧室とに封入し
た液体は、周囲の温度変化により膨張、或いは、収縮し
て体積変化を生じ、与圧室と受圧室を拡張、或いは、縮
小させ、ピストンロッドの設定位置が変動する。この位
置変動を避けるために温度補正器を設置する。即ち、温
度補正器に封入した液体も、与圧室と連結管と受圧室と
に封入した液体と同量の体積変化をするが、この体積変
化は補正圧室のみが伸縮し、断熱材を介して固着したホ
ルダーを移動させる。従って、ホルダーに固着した往、
復作動用の圧電素子も連動して、与圧室は補正圧室と同
量、同方向の伸縮をし、ピストンロッドの設定位置の変
動を避けられる。さらに、補正圧室に断熱材を介して圧
電素子を設置することにより、温度変化によるピストン
ロッドの設定位置の精度を高めることができる。

【００３３】また、上記した、三つの手段に用いた、与
圧室の外底面とコネクターと圧電素子間と補正圧室の外
底面とに設置した断熱材は、圧電素子が作動時に発する
熱が与圧室に伝わり、液体の体積変化を生じ、受圧室を
伸縮させ、ピストンロッドの設定位置の変動するのを防
止し、或いは、フレームとホルダーとから熱が与圧室と
補正圧室とに不均等に伝わって液体が体積変化を生じ、
与圧室と補正圧室とに伸縮の差が生じることがないよう
に、与圧室と補正圧室との環境条件を同一にするために
断熱材を使用するのが効果的である。

【００３４】上記した何れの手段も、圧電素子を複数
個、与圧室に対して並列に使用した場合は、ピストンロ
ッドの作動力は複数倍になり、圧電素子を複数個、与圧
室に対して直列に使用した場合は、ピストンロッドの作
動量は複数倍になり、圧電素子を複数個、与圧室に対し
て、並列及び直列に使用した場合はピストンロッドの作
動力及び作動量共に複数倍にすることができる。従っ
て、上記した構成で分かるように、作動量の倍増を図る
に際し、フレームとホルダーの変更は要するが、液圧シ
リンダーの変更は小規模で済む。

【００３５】本発明の圧電素子の液圧拡大アクチュエー
ターの連結管を複数個に分岐し、各々の分岐管に液圧シ
リンダーを接続し、同時に複数個のピストンロッドの作
動をすることができる。液体の流量調整管は分岐した個
々の連結管に設置するのがよい。また、補正管も分岐し
た連結管と同様に分岐し、各々を分岐した連結管の近傍
に配置するのが効果的である。

【００３６】本発明の圧電素子の液圧拡大アクチュエー
ターの活用手段として、液圧シリンダーをバルブに取り
付け、ピストンロッドを弁棒に固着し弁体が操作される
動力操作バルブをパイプに設置し、液圧拡大アクチュエ
ーターの圧電素子に加える電圧を加減することにより、
与圧室を伸縮させて生じる液圧により液圧シリンダーの
ピストンロッドを作動させ、弁体の開閉、開度を操作し
てパイプを流れる流体の流量を制御することができる。
さらに、アクチュエターと電圧源とを所要の長さのリー
ド線で接続して電圧を加減するか、電圧の加減を無線操
作することに依ってバルブの遠隔操作が可能である。

【００３７】本発明の圧電素子の液圧拡大アクチュエー
ターの活用手段として、液圧シリンダーをバルブに取り
付け、ピストンロッドを弁棒に固着し弁体が操作される
動力操作バルブとし、このバルブを取り付けたパイプの
流体の流量を流量検出器で検出し流量計に表示させる。
さらに、等分目盛り流量調節器と液圧拡大アクチュエタ
ーの圧電素子との間に、弁体の設定位置と流量の特性と
の関数を演算するバルブ流量特性、演算処理を設置し、
流量計を目視しながら等分目盛り流量調節器で流量調整
する。等分目盛り流量調節器で流量調整しても、弁体は
演算処理により流量特性に対する関数比例の作動をする
ので流量調整作業を容易にする。

【００３８】本発明の圧電素子の液圧拡大アクチュエー
ターの活用手段として、液圧シリンダーをバルブに取り
付け、ピストンロッドを弁棒に固着し弁体が操作される
動力操作バルブを二組用意し、内一組のバルブを低温流
体と高温流体とが合流するパイプの低温側か高温側の何
れかに設置し、低温流体と高温流体とが合流し混合した
パイプに温度検出器を設置し、設定器と接続して検出温
度と設定値との比較値を温度→電圧変換処理に伝達す
る。温度→電圧変換処理により一組の液圧拡大アクチュ
エーターの圧電素子に必要な電圧を加え、与圧室を伸縮
させて生じる液圧により液圧シリンダーのピストンロッ
ドを作動させて弁体を操作し、低温流体、或いは、高温
流体の流量を加減して、設定した温度の流体を得る。他
の第二組のバルブを上記した温度検出器の下流側のパイ
プに取り付け、混合温度流体内に流量検出器を設置し、
設定器と接続して検出流量と設定値との比較値を流量→
電圧変換処理に伝達する。流量→電圧変換処理により液
圧拡大アクチュエーターの圧電素子に必要な電圧を加え
て、与圧室を伸縮させて生じる液圧により液圧シリンダ
ーの受圧室を拡大伸縮させ、ピストンロッドを作動させ
て弁体を操作し、混合流体の流量を加減して設定した流
量を得る。これら二組の動力操作バルブにより適温で適
量の流体を得ることができる。

【００３９】本発明の圧電素子の液圧拡大アクチュエー
ターの活用手段として、冷温液発生機からポンプで吐出
され、送風機を備える熱交換器を配備し、再び冷温液発
生機に戻る循環液管パイプに、液圧シリンダーをバルブ
に取り付け、ピストンロッドに弁棒を固着して弁体が操
作される動力操作バルブを熱交換器の近傍に設置する。
前記した循環液パイプに設置した送風機を備える熱交換
器から放熱される冷風又は温風により変化する雰囲気温
度を、適当な箇所に温度検出器と設定器とを設置し、検
出した雰囲気温度と設定値との比較値を冷←→温切換器
付、温度→電圧変換処理に伝達する。温度→電圧変換処
理により液圧拡大アクチュエーターの圧電素子に必要な
電圧を加えて与圧室を伸縮させて生じる液圧により液圧
シリンダーのピストンロッドを作動させ、バルブの弁体
を作動させ循環液の流量を調整し、熱交換器から放熱さ
れる冷風又は温風を加減して、上記した設定器で設定し
た温度の雰囲気を得る。上記した温度→電圧変換処理と
圧電素子との間にバルブ特性・熱交換器特性演算処理を
設置することが、雰囲気温度を速やかに設定値に近ずけ
るのに効果的である。

【００４０】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。

【００４１】図１は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図１の実施例では、軸受１ａｘを有するシ
リンダー１ａにＯリング３を組付けたピストン２ａを嵌
合し、Ｏリング４を組付けたコネクター２４ａをシリン
ダー１ａの軸受１ａｘに挿入し、コネクター２４ａの先
端をピストン２ａの内底面に固着して与圧室５を構成し
ている。一方、Ｏリング６を組付けたピストンロッド７
をシリンダーカバー８に挿入し、ピストンロッド７が軸
受孔８ａを摺動する受圧室９を有する液圧シリンダー１
１を構成している。連結管１０の一端は与圧室５のシリ
ンダー１ａに固着し、他の一端はシリンダーカバー８の
貫通孔８ｂに固着して、与圧室５と受圧室９とを連通し
ている。なお、与圧室５の内断面積に対して、受圧室９
は小なる内断面積で構成している。また、与圧室５のピ
ストン２ａの外底面に断熱材１７ａを固着し、コネクタ
ー２４ａは、後記するフレーム２６の上梁２６ａから突
き出る長さにし、このコネクター２４ａの端面に断熱材
１７ｂを固着している。

【００４２】また、図１の実施例では、上記した連結管
１０に、枝管３０、分岐・合流管１２ａ、１２ｂを設
け、分岐・合流管１２ａには調整バルブ１３ａと逆止め
弁１４ａとを設置し、分岐・合流管１２ｂには調整バル
ブ１３ｂと逆止め弁１４ｂとを設置して流量調整管１５
を構成している。枝管３０の開口部３０ａから液体１６
を注入し充満した後、開口部３０ａを固着している。

【００４３】さらに、図１の実施例では、与圧室５を構
成したのと同形状の、軸受１ｂｘを有するシリンダー１
ｂ、ピストン２ｂ、コネクター２４ｂ、Ｏリング３、Ｏ
リング４とで、与圧室５と同じ工法で補正圧室２３を構
成し、連結管１０と同材質、同内外径、同長さの補正管
２０の一端を補正圧室２３のシリンダー１ｂに固着し、
他端の開口部２０ａから液体１６を注入し充満した後、
開口部２０ａを固着して温度補正装置２５を構成してい
る。また、補正圧室２３のピストン２ｂの外底面に断熱
材１７ｃを固着している。なお、補正管２０は可能な限
り連結管１０の近傍に配置している。

【００４４】同じく、図１の実施例では、フレーム２６
を、上梁２６ａ、中梁２６ｂ、下梁２６ｃ、及び、四個
の側面体２６ｄで構成し、このフレーム２６の中心線に
対称に、上梁２６ａと中梁２６ｂとに各二個、合計四個
のベアリング２７を固着し、このベアリング２７に挿入
した二本のシャフト２８ｄに上板２８ａ、中板２８ｂ、
下板２８ｃを固着してホルダー２８を構成し、このホル
ダー２８はフレーム２６内を滑動できるようにし、上板
２８ａ、上梁２６ａ、中板２８ｂ、中枠２６ｂ、下板２
８ｃ、下梁２６ｃの順に配置している。

【００４５】さらに、図１の実施例では、上記したフレ
ーム２６とホルダー２８との各部分に、以下の各機器を
取り付けている。即ち、上梁２６ａには与圧室５のシリ
ンダー１ａを固着している。中板２８ｂに圧電素子２９
ａを固着し、圧電素子２９ａの他面は与圧室５のピスト
ン２ａの外底面に固着した断熱材１７ａに接触させてい
る。上板２８ａには圧電素子２９ｂを固着し、圧電素子
２９ｂと断熱材１７ｂとは、圧電素子２９ａの変位量と
同量の間隔αを設けている。中梁２６ｂには補正圧室２
３のシリンダー１ｂを固着し、下板２８ｃは補正圧室２
３のピストン２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着してい
る。また、中梁２６ｂとコネクター２４ｂとの間隔、及
び、下梁２６ｃと下板２８ｃとの間隔は、本液圧拡大ア
クチュエーターが使用される周囲の温度範囲から、封入
した液体１６の膨張量を勘案し、さらに、余裕のある間
隔を設定して駆動部２１１を構成している。

【００４６】同じく、図１の実施例では、圧電素子２９
ａに電圧を加えると圧電素子２９ａは最大αだけ変位
し、断熱材１７ａを介してピストン２ａに伝達され与圧
室５は縮小し、液体１６は受圧室９へ圧送されて受圧室
９は拡張しピストンロッド７は矢印Ａの方向へ、与圧室
５と受圧室９との内断面積の比に反比例した拡大した往
作動をする。また、圧電素子２９ａに加えた電圧を除く
と圧電素子２９ａは原状に復帰し与圧室５のピストン２
ａの断熱材１７ａとの間に間隔が生じる。圧電素子２９
ｂに電圧を加えて変位させると断熱材１７ｂを介してコ
ネクター２４ａを通じてピストン２ａを押し戻し、与圧
室５は拡張し吸引力を発生して受圧室９の液体１６を吸
引して受圧室９を縮小させ、ピストンロッド７は矢印Ｂ
方向へ、圧電素子２９ｂの変位量に対して与圧室５と受
圧室９との内断面積の比に反比例した拡大した復作動を
する。

【００４７】また、図１の実施例では、圧電素子２９
ａ、２９ｂに加える電圧の和が最大駆動電圧であるよう
にして、圧電素子２９ａ、２９ｂに同時に加えると与圧
室５は圧電素子２９ａの変位と、圧電素子２９ｂの変位
でコネクター２４ａを通じてピストン２ａは押えられ、
ピストンロッド７の位置の保持手段になり、さらに、圧
電素子２９ａ、２９ｂに加える電圧の和が最大駆動電圧
であるように維持して電圧を変化させて加えると、圧電
素子２９ａ、２９ｂに与圧室５は押えられて伸縮するの
で、ピストンロッド７は外力に影響されることなく往復
作動ができ、かつ、任意の位置に設定できる。

【００４８】さらに、図１の実施例では、圧電素子２９
ａに電圧を加えて変位させると、与圧室５は縮小し液体
１６は受圧室９へ圧送される際に、連結管１０内の液体
１６は逆止め弁１４ｂの働きによって、分岐・合流管１
２ａを矢印Ｃ方向に流れる。バルブ１３ａの開度を調整
することによって、流量を制御し、ピストンロッド７が
矢印Ａ方向の往作動する速さを調節できる。圧電素子２
９ａに加えた電圧を除き、圧電素子２９ｂに電圧を加え
て変位させると、与圧室５は原状へ拡張をして吸引力を
発生し、受圧室９の液体１６を吸引して、前記とは反対
に、連結管１０内の液体１６は逆止め弁１４ａの働きに
よって、分岐・合流管１２ｂを矢印Ｄ方向に流れ、バル
ブ１３ｂの開度を調整することによって流量を制御し、
ピストンロッド７が矢印Ｂ方向の復作動する速さを調節
できる。

【００４９】図２は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図２の実施例では、軸受２１ａｘを有する
プレート２１ａをベローズ３３ａの一方の開口部に固着
し、プレート３２ａをベローズ３３ａの他方の開口部に
固着し、Ｏリング４を組付けたコネクター２４ａをプレ
ート２１ａの軸受２１ｘに挿入して、先端をプレート３
２ａに固着して与圧室３５を構成している。連結管１０
の一端は与圧室５５のプレート２１ａに固着し、他端は
図１に示したのと同じ液圧シリンダー１１のシリンダー
カバー８の貫通孔８ｂに固着して、与圧室３５と受圧室
９とを連通している。なお、与圧室３５のプレート３２
ａの外底面に断熱材１７ａを固着し、また、コネクター
２４ａは、後記するフレーム２６の上梁２６ａから突き
出る長さにし、このコネクター２４ａの端面に断熱材１
７ｂを固着している。

【００５０】また、図２の実施例では、与圧室３５を構
成したのと同形状の、軸受２１ｂｘを有するプレート２
１ｂ、ベローズ３３ｂ、プレート３２ｂ、Ｏリング４を
取り付けたコネクター２４ｂとで、与圧室３５を構成し
たのと同じ工法で補正圧室４３を構成する。さらに、連
結管１０と同材質、同内外径、同長さの補正管２０の一
端を補正圧室４３のプレート２１ｂに固着し、他端の開
口部２０ａから液体１６を注入し充満した後、開口部２
０ａを固着して温度補正器４５を構成している。なお、
補正圧室４３のプレート３２ｂの外底面に断熱材１７ｃ
を固着している。

【００５１】さらに、図２の実施例では、図１と同様の
フレーム２６とホルダー２８との各部分に、以下の各機
器を取り付けている。即ち、上梁２６ａには与圧室３５
のプレート２１ａを固着している。中板２８ｂに圧電素
子２９ａを固着し、圧電素子２９ａの他の面は与圧室３
５のプレート３２ａの外底面に固着した断熱材１７ａに
密着させている。中梁２６ｂには補正圧室４３のプレー
ト２１ｂを固着し、下板２８ｃは補正圧室４３のプレー
ト３２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着して駆動部２１
２を構成している。上記の説明を除いて図１の実施例と
同様である。

【００５２】図３は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図３の実施例では、軸受２１ａｘを有する
プレート２１ａをベローズ３３ａの一方の開口部に固着
し、プレート３２ａをベローズ３３ａの他の一方の開口
部に固着し、コネクター３４ａをプレート２１ａの軸受
２１ｘに挿入し、先端をプレート３２ａの内底部に固着
し、シールベローズ２２ａの一方の開口部をプレート２
１ａに固着し、他方の開口部をコネクター３４ａの端部
外周に固着して与圧室５５を構成している。一方、与圧
室５５のベローズ３３ａの有効面積に対して、小なる有
効面積のベローズ３６の一方の開口部にピストンロッド
３７を固着し、ベローズ３６の他方の開口部に連結管１
０の一端を固着して受圧室１９を構成し、これらをシリ
ンダーカバー１８で覆い、シリンダーカバー１８の軸受
１８ａはピストンロッド３７が摺動し、貫通孔１８ｂに
は連結管１０を固着して構成された液圧シリンダー４１
を設け、連結管１０の他端を与圧室５５のプレート２１
ａに固着し、与圧室５５と受圧室１９とを連通してい
る。

【００５３】また、図３の実施例では、与圧室５５を構
成したと同じ、プレート２１ｂ、ベローズ３３ｂ、プレ
ート３２ｂ、コネクター３４ｂ、シールベローズ２２ｂ
とで与圧室５５を構成したのと同じ工法で補正圧室６３
を構成し、補正管２０の一端を補正圧室６３のプレート
２１に固着し、他端の開口部２０ａから液体１６を注入
し充満した後、開口部２０ａを固着して温度補正器６５
を構成している。なお、補正圧室６３のプレート３２ｂ
の外底面に断熱材１７ｃを固着している。

【００５４】さらに、図３の実施例では、図１と同様の
フレーム２６とホルダー２８との各部分に、以下の各機
器を取り付けている。即ち、上梁２６ａには与圧室５５
のプレート２１ａを固着している。中板２８ｂに圧電素
子２９ａを固着し、圧電素子２９ａの他の面は与圧室５
５のプレート３２ａの外底面に固着した断熱材１７ａに
密着させている。中梁２６ｂには補正圧室６３のプレー
ト２１ｂを固着し、下板２８ｃは補正圧室６３のプレー
ト３２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着して駆動部２１
２を構成している。なお、シールベローズ２２ａに適度
の反発力を持たせれば受圧室１９は圧力を発生し、与圧
室５５に伝達され圧電素子２９ａの変位に追随するので
ピストンロッド３７の戻し手段と位置の保持手段にな
る。上記の説明を除いて図１の実施例と同様である。

【００５５】図４は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。また、図５は図４に示すＸ−Ｘ矢視の横断
面図である。図４と図５の実施例では、プレート３１ａ
をベローズ３３ａの一方の開口部に固着し、フランジ４
２ａｘを有するプレート４２ａをベローズ３３ａの他の
一方の開口部に固着して与圧室７５を構成している。与
圧室７５を跨ぐ門形状のコネクター４４ａの脚部４４ａ
ｙはフランジ４２ａｘに固着している。連結管１０の一
端は与圧室７５のプレート３１ａに固着し、他端は図４
に示すように液圧シリンダー１１のシリンダーカバー８
の貫通孔８ｂに固着して、与圧室７５と受圧室９とを連
通している。なお、与圧室７５のプレート４２ａの外底
面に断熱材１７ａを固着している。さらに、コネクター
４４ａの梁４４ａｘに断熱材１７ｂを固着している。

【００５６】また、図４と図５の実施例では、与圧室７
５を構成したのと同形状のプレート３１ｂ、ベローズ３
３ｂ、プレート４２ｂ、コネクター４４ｂとで与圧室７
５を構成したのと同じ工法で補正圧室８３を構成し、補
正管２０の一端を補正圧室８３のプレート３１ｂに固着
し、他端の開口部２０ａから液体１６を注入し充満した
後、開口部２０ａを固着して温度補正器８５を構成して
いる。なお、補正圧室８３のプレート４２ｂの外底面に
断熱材１７ｃを固着している。

【００５７】同じく、図４と図５の実施例では、フレー
ム４６とホルダー４８とは、図１に示したフレーム２６
とホルダー２８とは図面の符号が異にするが相似であ
る。従って、フレーム４６とホルダー４８との各部分に
は、以下の各機器を取り付けている。即ち、フレーム４
６の上梁４６ａには与圧室７５のプレート３１ａを固着
している。コネクター４４ａの脚部４４ａｙはフレーム
４６の上梁４６ａを貫いてフランジ４２ａｘに固着し、
コネクター４４ａの梁４４ａｘとフレーム４６の上梁４
６ａとは充分な間隔を保つようにしてある。中板５８ｂ
に圧電素子２９ａを固着し、圧電素子２９ａの他の面は
与圧室７５のプレート４２ａの外底面に固着した断熱材
１７ａに密着させている。上板４８ａには圧電素子２９
ｂを固着している。中梁４６ｂには補正圧室８３のプレ
ート３１ｂを固着し、補正圧室８３のコネクター４４ｂ
の脚部４４ｂｙはフレーム４６の中梁４６ｂを貫いてフ
ランジ４２ｂｘに固着しいる。下板４８ｃは補正圧室８
３のプレート４２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着して
いる。また、中梁４６ｂとコネクター４４ｂの梁４４ｂ
ｘとの間隔、及び、下梁４６ｃと下板４８ｃとの間隔
は、本液圧拡大アクチュエーターが使用される周囲の温
度範囲から、封入した液体１６の膨張量を勘案し、さら
に、余裕のある間隔を設定して駆動部２１４を構成して
いる。上記した説明を除いて図１の実施例と同様であ
る。

【００５８】図６は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図６の実施例では、プレート３１ａをベロ
ーズ３３ａの一方の開口部に固着し、プレート３２ａを
ベローズ３３ａの他方の開口部に固着して与圧室９５を
構成し、与圧室９５のプレート３２ａの外底面に断熱材
１７ａと断熱材１７ｄを二個固着している。また、コネ
クター５４は平板５４ａに直角に二枚の部材５４ｂとで
構成され、平板５４ａの両端各々にベアリング２７を取
り付けてある。二枚の部材５４ｂの端部の各々を二個の
断熱材１７ｄの各々に固着している。また、平板５４ａ
に断熱材１７ｂを固着している。連結管１０の一端を与
圧室９５のプレート３１ａに固着し、他端は図１に示し
たのと同じ、液圧シリンダー１１のシリンダーカバー８
の貫通孔８ｂに固着して、与圧室９５と受圧室９とを連
通している。

【００５９】また、図６の実施例では、与圧室９５を構
成したのと同形状の、プレート３１ｂ、ベローズ３３
ｂ、プレート３２ｂとで、与圧室９５を構成したのと同
じ工法で補正圧室１０３を構成し、補正圧室１０３のプ
レート３１ｂに補正管２０の一端を固着し、他端の開口
部２０ａから液体１６を注入し、開口部２０ａを固着し
温度補正器１０５を構成している。補正圧室１０３のプ
レート３２ｂの外底面に断熱材１７ｃを固着している。

【００６０】さらに、図６の実施例では、フレーム５６
を、上梁５６ａ、中梁５６ｂ、下梁５６ｃ、及び、四個
の側面体５６ｄで構成し、このフレーム５６の中心線に
対称に、上梁５６ａと中梁５６ｂとに各二個、合計四個
のベアリング２７を固着し、このベアリング２７に挿入
した二本のシャフト５８ｄに上板５８ａ、下板５８ｂを
固着して、フレーム５６内を滑動できるようにしたホル
ダー５８を設置している。図６に示すように、上梁５６
ａ、上板５８ａ、中梁５６ｂ、下板５８ｂ、下梁５６ｃ
の順に配置している。

【００６１】さらにまた、図６の実施例では、上記した
フレーム５６とホルダー５８との各部分に、以下の各機
器を取り付けている。即ち、上梁５６ａには補正圧室１
０３のプレート３１ｂを固着し、上板５８ａは補正圧室
１０３のプレート３２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着
している。中梁５６ｂに与圧室９５のプレート３１ａを
固着し、コネクター５４の平板５４ａの両端に取り付け
たベアリング２７に二本のシャフト５８ｄを挿入して、
コネクター５４がシャフト５８ｄにガイドされて滑動で
きるようにしている。下板５８ｂに圧電素子２９ａを固
着し、下板５８ｂの簿面に圧電素子２９ｂを固着し、コ
ネクター５４の二枚の部材５４ｂが貫通している。圧電
素子２９ａの他面を与圧室９５の断熱材１７ａに密着さ
せ、圧電素子２９ｂとコネクター５４の平板５４ａの断
熱材１７ｂとは、圧電素子２９ａの変位量と同量の間隔
αを設けて、駆動部２２１を構成している。上記した説
明を除いて図１の実施例と同様である。

【００６２】図７は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図７の実施例では、図４の実施例に示した
のと同様の、与圧室７５のプレート４２ａの外底面に断
熱材１７ａとプレート４２ａのフランジ４２ａｘに断熱
材１７ｄを二個固着している。また、コネクター６４は
図６に示したコネクター５４と相似で、平板６４ａに直
角に二枚の部材６４ｂと平板６４ａの両端各々にベアリ
ング２７を固着して構成され、二枚の部材６４ｂの端部
の各々を二個の断熱材１７ｄの各々に固着している。ま
た、コネクター６４の平板６４ａに断熱材１７ｂを固着
している。さらに、連結管１０の一端を与圧室７５のプ
レート３１ａに固着し、他端は図１に示したのと同じ液
圧シリンダー１１のシリンダーカバー８の貫通孔８ｂに
固着して、与圧室７５と受圧室９とを連通している。ま
た、図７の実施例では、図４の実施例に示したのと同様
の、補正圧室８３と補正管２０とで構成し、補正圧室８
３の外底面に断熱材１７ｃを固着した温度補正器８５を
設置している。

【００６３】さらに、図７の実施例では、フレーム６６
を、上梁６６ａ、中梁６６ｂ、下梁６６ｃ、及び、四個
の側面体６６ｄで構成し、このフレーム６６の中心線に
対称に、上梁６６ａと中梁６６ｂとに各二個、合計四個
のベアリング２７を固着し、このベアリング２７に挿入
した二本のシャフト６８ｄに上板６８ａ、中板６８ｂ、
下板６８ｃを固着してホルダー６８を構成し、このホル
ダー６８はフレーム６６内を滑動できるようにしてい
る。図７に示すように、上梁６６ａ、上板６８ａ、中梁
６６ｂ、中板６８ｂ、下板６８ｃ、下梁６６ｃの順に配
置している。

【００６４】さらにまた、図７の実施例では、上記した
フレーム６６とホルダー６８との各部分に、以下の各機
器を取り付けて駆動部２２２としている。即ち、上梁６
６ａには補正圧室８３のプレート３１ｂを固着し、上板
６８ａは補正圧室８３のプレート３１ｂの外底面の断熱
材１７ｃに固着している。中梁６６ｂに与圧室７５のプ
レート３１ａを固着し、コネクター６４の平板６４ａの
両端のベアリング２７に二本のシャフト６８ｄを挿入し
ている。下板６８ｃに圧電素子２９ａを固着し、中板６
８ｂに圧電素子２９ｂを圧電素子２９ａとは反対方向に
固着し、コネクター６４の二枚の部材６４ｂが中板６８
ｂと下板６８ｃを貫通している。圧電素子２９ａの他面
を与圧室７５の断熱材１７ａに密着させ、圧電素子２９
ｂとコネクター６４の平板６４ａの断熱材１７ｃとは、
圧電素子２９ａの変位量と同量の間隔αを設けて、駆動
部２２２を構成している。上記した駆動部２２２の構成
により、図７の実施例は、図１から図６までの実施例に
対し、駆動部を図面上で示す縦方向の寸法を短縮してい
る。上記した説明を除いて図１の実施例と同様である。

【００６５】図８は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図８の実施例では、軸受２１ａｘを有する
プレート２１ａにベローズ３３ａの一方の開口部に固着
し、スプリング８６ａを装着し、プレート５２ａをベロ
ーズ３３ａの他の一方の開口部に固着し、Ｏリング４を
組付けたコネクター２４ａをプレート２１ａの軸受２１
ａｘに挿入しコネクター２４ａの先端をプレート５２ａ
の内底部に固着して与圧室１１５を構成している。連結
管１０の一端は与圧室１１５のプレート２１ａに固着
し、他端は図１に示したのと同じ液圧シリンダー１１の
シリンダーカバー８の貫通孔８ｂに固着して、与圧室１
１５と受圧室９とを連通している。

【００６６】また、図８においては、与圧室１１５を構
成したのと同形状の、プレート２１ｂ、ベローズ３３
ｂ、スプリング８６ｂ、プレート５２ｂとで、与圧室１
１５を構成したのと同じ工法で補正圧室１２３を構成
し、補正管２０の一端を補正圧室１２３のプレート２１
ｂに固着し、他端の開口部２０ａから液体１６を注入し
充満した後、開口部２０ａを固着し温度補正装置１２５
を構成している。なお、補正圧室１２３のプレート５２
ｂの外底面に断熱材１７ｃを固着している。

【００６７】図８の実施例では、圧電素子２９ａに加え
た電圧を減じると、圧電素子２９ａは縮小し、電圧を除
くと圧電素子２９ａは原状に復帰する。与圧室１１５は
スプリング８６ａの反発力によりプレート５２ａを通
じ、圧電素子２９ａの変位に追随して伸張し圧電素子２
９ａに密着する。従って、受圧室９は追随して縮小し、
圧電素子２９ｂに電圧を加えなくてもピストンロッド７
の戻し手段にもなり位置の保持手段にもなる。上記した
説明を除いて図１の実施例と同様である。

【００６８】図９は、本発明の第一の手段の一実施例を
示している。図９の実施例では、図２に示した実施例と
同じ、プレート３２ａの外底面に断熱材１７ａを固着し
た与圧室３５と液圧シリンダー１１とを流量調整管１５
を有する連結管１０で連通し、同じく、プレート３２ｂ
の外底面に断熱材１７ｃを固着した補正圧室４３と補正
管２０とで構成した温度補正器４５を設置している。

【００６９】さらに、図９の実施例では、フレーム７６
を上枠７６ａと下枠７６ｂと二側面枠７６ｃで構成し、
二側面枠７６ｃの各々にベアリング１２７を固着して長
方形の桝形のフレーム７６を構成している。二個のベア
リング１２７に二本のシャフト７８ｄを挿入し、各々の
シャフト７８ｄの両端に矩形桝７８ａの側面から張り出
させた上板７８ｂと下板７８ｃと上平板７８ｅと下平板
７８ｆを固着してホルダー７８を構成している。ホルダ
ー７８はベアリング１２７にガイドされ、フレーム７６
内を滑動できるようにしている。

【００７０】さらにまた、図９の実施例では、フレーム
７６とホルダー７８との各部分に、以下の各機器を取り
付けている。即ち、ホルダー７８の矩形桝７８ａの中心
線上に与圧室３５の中心線を合わせ、フレーム７６の上
梁７６ａに与圧室３５のプレート２１ａを固着してい
る。ホルダー７８の矩形桝７８ａの下辺に圧電素子２９
ａを固着し、かつ、圧電素子２９ａの他の面を与圧室３
５のプレート３２ａの外底面に固着した断熱材１７ａに
密着させている。ホルダー７８の矩形桝７８ａの上辺に
圧電素子２９ｂを固着し、圧電素子２９ｂの他の面と断
熱材１７ｂとは、圧電素子２９ａの変位量と同量の間隔
αを設けている。フレーム７６の上枠７６ａに与圧室４
３のプレート２１ｂを与圧室３５と同姿勢に並列に固着
している。ホルダー７８の下平板７８ｆは補正圧室４３
のプレート３２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着してい
る。従って、ホルダー７８と受圧室４３とは断熱材１７
ｃを介して連結し、上記した組合せで駆動部２３０を構
成している。上記した説明を除いて図１の実施例と同様
である。

【００７１】図１０は、本発明の第二の手段の一実施例
を示している。即ち、図６に示した実施例と同じ、プレ
ート３２ａの外底面に断熱材１７ａを固着した与圧室９
５と、Ｏリング６を取り付けたピストンロッド７をシリ
ンダーカバー８０に挿入し、軸受孔８０ａにＯリング６
を取り付けてピストンロッド７が摺動するようにして、
受圧室９ａと受圧室９ｂとを有する液圧シリンダー５１
とを連結管１０の一端を与圧室９５のプレート３１ａに
固着し、連結管１０を分岐して液体圧送用の連結管１０
ａ、液体戻し用の連結管１０ｂとし、各々の末端を受圧
室９ａと受圧室９ｂとに固着している。

【００７２】さらに、連結管１０ａにバルブ１３と逆止
め弁１４ａを設置し、連結管１０ｂに逆止め弁１４ｂと
動力操作バルブ３９を設置している。また連結管１０ｂ
の逆止め弁１４ｂと動力操作バルブ３９の間に分岐管１
０ｃを設け、この分岐管１０ｃの先端は、液体１６が適
量入りフィルター４９を有するドレーンポート５０の液
面下に埋没させている。さらに、逆止め弁１４ａの液圧
シリンダー５１側の連結管１０ａに安全弁４７を取り付
け、安全弁４７の排出側は連結管１０ｃに接続させてい
る。さらに、連結管１０ａ、１０ｂに電磁切換弁４０を
接続し、連結管１０ａの先端はシリンダーカバー８０の
貫通孔８０ｂに固着し、連結管１０ｂの先端はシリンダ
ーカバー８０の貫通孔８０ｃに固着して、与圧室９５と
受圧室１９ａ、１９ｂとを連通し、切換・流量調整管５
３としている。上記の連通した、与圧室９５、受圧室９
ａ、９ｂ、連結管１０、１０ａ、１０ｂ、分岐管１０
ｃ、バルブ１３、逆止め弁１４ａ、１４ｂ、動力操作バ
ルブ４０、安全弁４７の管路内に液体１６を充満してい
る。また、安全弁４７は動力操作バルブ３９が閉止状態
にも関わらず与圧室９５から過度に加圧されるか、動力
操作バルブ３９が閉止状態時に、逆止め弁１４ａから受
圧室９ａと動力操作バルブ３９から受圧室９ｂとの間の
液体１６が温度上昇による膨張に対し働くように設置し
ている。

【００７３】同じく、図１０の実施例では、図１に示す
のと同様のフレーム２６の四個のベアリング２７に挿入
した二本のシャフト８８ｄに上板８８ａと下板８８ｂと
を固着してホルダー８８を構成し、このホルダー８８は
フレーム２６内を滑動できるようにしている。図１０に
示すように、上梁２６ａ、上板８８ａ、中梁２６ｂ、下
板８８ｂ、下梁２６ｃの順に配置してある。さらに、フ
レーム２６の上梁２６ａには与圧室９５のプレート３１
ａを固着する。ホルダー８８の上板８８ａに圧電素子２
９を固着し、圧電素子２９の他の面を与圧室９５の外底
面に断熱材１７ａを介して固着している。中梁２６ｂに
は、図６に示したのと同じ、補正圧室１０３に補正管２
０を固着して構成した温度補正器１０５の補正圧室１０
３のプレート３１ａを固着し、下板８８ｂは補正圧室１
０３の外底面の断熱材１７ｂに固着して、駆動部２４１
を構成している。

【００７４】さらに、図１０の実施例では、作動設定器
６０からの信号に対して、ピストン位置メモリー、作動
方向・変位量計算機、作動制御処理６１により変位量計
算をして、電磁切換弁４０に作動方向の切換え要否の指
令をし、動力操作バルブ４０に開、閉の指令を出し、さ
らに、作動設定器６０からの信号に対応した電圧を圧電
素子２９に加える電圧変換処理６２を備えている。

【００７５】上記のように図１０に示すように構成した
装置により、例えば、作動設定器６０が新たにピストン
ロッド７の作動位置を往方向（矢印Ａの方向）に初期状
態から７５％作動するように要求したとする。前回のピ
ストンロッド７の作動位置が矢印Ａの方向に２５％移動
していたとする、ピストン位置メモリー、作動方向・変
位量計算機、作動制御処理６１により電磁切換弁４０の
ソレノイド４０ａを作動させ、同時に、動力操作バルブ
３９に開指令を出し、圧電素子２９が５０％変位するよ
うに調整した電圧を圧電素子２９に加えるように電圧変
換処理６２に指示する。与圧室９５は５０％縮小し、液
体１６は矢印イの方向へ流れ、受圧室９ａは拡張し、ピ
ストンロッド７はＡ方向に初期状態から７５％の位置に
作動する。受圧室９ｂは縮小し（ソレノイド４０ｂが作
動指令を受けた場合は受圧室９ｂが拡張し、受圧室９ａ
が縮小し、ピストンロッド７はＢ方向に作動する。）、
縮小した分量の液体１６が矢印ロの方向へ流れドレンポ
ート５０に吐出する。次に、動力操作バルブ３９に閉指
令を出して、圧電素子２９への電圧を除くと与圧室９５
は原状に復帰する吸引力により、逆止め弁１４ａは閉、
逆止め弁１４ｂは開となり、ドレンポート５０から分岐
管１０ｃ液体１６が矢印ハの方向へ流れて吸引し、与圧
室９５には液体１６が充満する。図１に於て記したと同
じく、ピストンロッド７は、圧電素子２９の変位量に対
して与圧室９５と受圧室９ａ、９ｂとの内断面積の比に
反比例した拡大した作動をする。なお、バルブ１３の弁
開度を調整することによりピストンロッド７の作動の速
さを調節できる。

【００７６】上記した、ピストンロッド７を作動させる
指示の際に、電圧変換処理６２からの電圧を「入」
「切」を回繰り返して圧電素子２９に加えるように設定
して与圧室９５を脈動させてもよい。与圧室９５を脈動
させると、逆止め弁１４ａと逆止め弁１４ｂとの働きで
脈動ポンプの働きをする。即ち、与圧室９５が縮小時は
液体１６を受圧室９ａ（ソレノイド４０ｂが作動した場
合は受圧室９ｂ）に圧送し、受圧室９ｂ（ソレノイド４
０ｂが作動した場合は受圧室９ａ）は縮小して液体１６
を分岐管１０ｃドレンポート５０に吐出する。反対に与
圧室９５が拡張時はドレンポート５０の液体１６を分岐
管１０ｃを通じて吸引する動作を繰り返す。また、与圧
室９５と受圧室９ａ、９ｂとの横内断面積の差を大きく
せずともピストンロッド７に大きな作動力が得られ、上
記した第一の手段で示した液体シリンダー１１に比べピ
ストンロッド７の復作動力が吸引力によらない計算した
作動力が得られる。

【００７７】図１１は、本発明の第二の手段の一実施例
を示している。図１１の実施例では、即ち、図６に示し
た実施例と同じ、プレート３２ａの外底面に断熱材１７
ａを固着した与圧室９５と、温度補正器１０５の外底部
に断熱材１７ｃを介してさらに圧電素子２９ｃを固着し
て温度補正器１２５としている。また、フレーム９６と
ホルダー９８とは、図１０に示したフレーム２６とホル
ダー８８とは図面の符号が異なることを除いて相似であ
る。従って、ホルダー９８の下板９８ｂに圧電素子２９
ｃの他の端面を固着して駆動部２４２し、圧電素子の温
度膨張量をも補正するようにし、周囲温度の変化による
ピストンロッド７の設定位置への影響をより小さくする
ようにしている。また、図１０に示した連結管１０ｂの
動力操作バルブ３９を逆止め弁１４ｃにして簡素化し、
切換・流量調整管１５３としている。従って、作動設定
器６０からの信号に対して、ピストン位置メモリー、作
動方向・変位量計算機、作動制御処理６１による動力操
作バルブへの開、閉の指令は不要であることを除いて、
図１０の説明と同様である。

【００７８】図１２は、本発明の第三の手段の一実施例
を示している。図１２の実施例では、図６に示す与圧室
９５を二個を直列に設置し、与圧室９５ａ、与圧室９５
ｂとし、一方、両端にＯリング６を組付けたシリンダー
カバー８２に、Ｏリング５７を組付けたピストンロッド
４７を挿入して受圧室５９ａと受圧室５９ｂとを有する
液圧シリンダー７１を構成している。連結管１０ａの一
端を与圧室９５ａのプレート３１ａに固着し、他の一端
をシリンダーカバー８２の貫通孔８２ａに固着し、与圧
室９５ａと受圧室５９ａとを各々連通させ、同様に、連
結管１０ｂの一端を与圧室９５ｂのプレート３１ｂに固
着し、他の一端をシリンダーカバー８２の貫通孔８２ｂ
に固着し、与圧室９５ｂと受圧室５９ｂとを連通させ、
液体１６を各々の枝管３０の開口端３０ａから注入し、
開口端３０ａを固着して封入している。液体１６の封入
量は、ピストンロッド４７を往作動の初期位置にし、与
圧室９５ａは拡張状態にし、与圧室９５ｂは圧電素子２
９ａの変位量分の縮小状態にして、各々の枝管３０の開
口端３０ａから注入し、充満した量にしてある。

【００７９】また、図１２の実施例では、連結管１０ａ
に調整バルブ１３ａとバイパス管７０ａに逆止め弁１４
ａを設置し流量調整管１５ａとし、連結管１０ｂに調整
バルブ１３ｂとバイパス管７０ｂに逆止め弁１４ｂを設
置し流量調整管１５ｂとし、ピストンロッド４７の作動
速さを調節できるようにしている。なお、逆止め弁１４
ａは液体１６が受圧室５９ａに向かって流れる時に働
き、液体１６が与圧室９５ａに向かって流れる時は開放
状態になるようにしてある。連結管１０ｂ側の流量調整
管１５ｂも同様である。

【００８０】また、図１２の実施例では、図６に示した
と同様の補正圧室１０３を設置し、連結管１０ａ、１０
ｂと同材質、同内外径、同長さの補正管２０の一端を補
正圧室１０３のプレート３１ｂに固着し、補正管２０の
開口部２０ａから液体１６を注入し充満した後、開口部
２０ａを固着して温度補正器１０５を構成している。な
お、補正圧室１０３のプレート３２ｃの外底面に断熱材
１７ｃを固着している。

【００８１】さらに、図１２の実施例では、フレーム１
０６を、上梁１０６ａ、上中梁１０６ｂ、下中梁１０６
ｃ、下梁１０６ｄと側面体１０６ｅとで構成し、このフ
レーム１０６の中心線に対称に、上梁１０６ａ、上中梁
１０６ｂ、下中梁１０６ｃとに各二個、合計六個のベア
リング２７を固着し、このベアリング２７に挿入した二
本のシャフト１０８ｄに上板１０８ａ、中板１０８ｂ、
下板１０８ｃを固着してホルダー１０８を構成し、この
ホルダー１０８はフレーム１０６内を滑動できるように
ている。図１２に示すように、上梁１０６ａ、上板１０
８ａ、上中梁１０６ｂ、中板１０８ｂ、下中梁１０６
ｃ、下板１０８ｃ、下梁１０６ｄの順に配置している。

【００８２】さらに、図１２の実施例では、上記したフ
レーム１０６とホルダー１０８との各部分に、以下の各
機器を取り付けている。予め、液圧シリンダー７１のピ
ストンロッド４７を往作動の初期位置にし、従って与圧
室９５ａは圧電素子の原状態の伸張状態にし、与圧室９
５ｂは圧電素子の最大変位量の縮小状態にして、上梁１
０６ａには与圧室９５ａのプレート３１ａを固着してい
る。上板１０８ａに圧電素子２９ａを固着し、圧電素子
２９ａの他面を与圧室９５ａの外底面に固着した断熱材
１７ａに密着させている。上中梁１０６ｂには与圧室９
５ｂのプレート３１ｂを固着している。中板１０８ｂに
は圧電素子２９ｂを固着し、圧電素子２９ｂの他面を与
圧室３５ｂの外底面に固着した断熱材１７ｂとは、圧電
素子２９ａの変位量と同量の間隔αを設けている。下中
梁１０６ｃには補正圧室１０３のプレート３１ｃを固着
し、下板１０８ｃは補正圧室１０３の外底面の断熱材１
７ｃに固着している。また、下梁１０６ｄと下板１０８
ｃとの間隔は、本液圧拡大アクチュエーターが使用され
る周囲の温度範囲から、封入した液体の膨張係数による
膨張量を勘案し、加えて余裕のある間隔を設定して駆動
部２５０としている。

【００８３】上記のように構成した図１２の実施例の圧
電素子２９ａに電圧を加えると圧電素子２９ａは変位
し、与圧室９５ａは縮小し、液体１６は受圧室５９ａへ
圧送され、受圧室３９ａは拡張してピストンロッド４７
は矢印Ａの方向へ、与圧室９５ａと受圧室５９ａとの内
断面積の比に反比例した拡大した往作動をする。一方、
受圧室５９ｂは縮小し、液体１６は与圧室９５ｂに流入
し、与圧室９５ｂは拡張して圧電素子２９ｂに接近、ま
たは、接触する。一方、圧電素子２９ｂに電圧を加える
と圧電素子２９ｂは変位し、与圧室９５ｂは縮小し、液
体１６は受圧室５９ｂへ圧送され、受圧室５９ｂは拡張
してピストンロッド４７は矢印Ｂの方向へ、与圧室９５
ｂと受圧室５９ｂとの内断面積の比に反比例した拡大し
た復作動をする。一方、受圧室５９ａは縮小し、液体１
６は与圧室９５ａに流入し、与圧室９５ａは拡張して圧
電素子２９ａに接近、または、接触する。

【００８４】同様に図１２に示される圧電素子２９ａ、
２９ｂに加える電圧の和が最大駆動電圧であるようにし
て、圧電素子２９ａ、２９ｂに同時に加えると与圧室９
５ａと与圧室９５ｂとで発生する液圧が受圧室５９ａと
受圧室５９ｂに伝わり、ピストンロッド４７は押えら
れ、ピストンロッド４７の位置の保持手段になり、さら
にまた、圧電素子２９ａ、２９ｂに加える電圧の和が最
大駆動電圧であるように維持して二電圧を変化させて加
えると、与圧室９５ａと与圧室９５ｂとは共に伸縮する
ので、ピストンロッド４７は外力に影響されることなく
往復作動ができ、かつ、任意の位置に設定できる。

【００８５】図１３は、本発明の第三の手段の一実施例
を示している。図１３の実施例では、図１２に示された
実施例と同様の与圧室３５ａ、与圧室３５ｂをフレーム
１１６に並列に設置している。一方、ベローズ３６の一
方の開口端にピストンロッド３７を固着し、他の開口端
に連結管１０ａの一端を固着したものを、シリンダーカ
バー８４に組み込み、軸受孔８４ａにＯリング６を取り
付けてピストンロッド３７が摺動するようにし、シリン
ダーカバー８４の貫通孔８４ｂに連結管１０ａを固着し
て受圧室６９ａと受圧室６９ｂとを有する液圧シリンダ
ー８１を構成している。連結管１０ａの他端を与圧室３
５ａのプレート３１ａに固着して受圧室６９ａと連通し
ている。連結管１０ｂの一端を与圧室３５ｂのプレート
３１ｂに固着し、他端をシリンダーカバー８４の貫通孔
８４ｃに固着して与圧室３５ｂと受圧室６９ｂとを連通
している。各々の枝管３０から液体１６を注入し、枝管
３０の先端３０ａを固着して封入している。

【００８６】また、図１３の実施例では、図６に示した
と同様の補正圧室１０３を設置し、連結管１０ａ、１０
ｂと同材質、同内外径、同長さの補正管２０の一端を補
正圧室１０３のプレート３１ｂに固着し、補正管２０の
開口部２０ａから液体１６を注入し充満した後、開口部
２０ａを固着して温度補正器１０５を構成している。な
お、補正圧室１０３のプレート３２ｂの外底面に断熱材
１７ｃを固着している。

【００８７】さらに、図１３の実施例では、フレーム１
１６を、上梁１１６ａ、中梁１１６ｂ、下梁１１６ｃと
側面体１１６ｄとで構成し、このフレーム１１６の中心
線に対称に、上梁１１６ａ、中梁１１６ｂとに各二個、
合計四個のベアリング２７を固着し、このベアリング２
７に挿入した二本のシャフト１１８ｄに上板１１８ａ、
下板１０８ｂを固着してホルダー１１８構成し、このホ
ルダー１１８はフレーム１１６内を滑動できるようにて
いる。図１３に示すように、上梁１１６ａ、上板１１８
ａ、中梁１１６ｂ、下板１１８ｂ、下梁１１６ｃの順に
配置している。

【００８８】さらに、図１３の実施例では、上記したフ
レーム１１６とホルダー１１８との各部分に、以下の各
機器を取り付けている。予め、液圧シリンダー８１のピ
ストンロッド３７を往作動の初期位置にし、与圧室９５
ａは拡張状態にし、与圧室９５ｂは圧電素子２９ａの変
位量分の縮小状態にして、各々の枝管３０の開口端３０
ａから注入し充満し、上梁１１６ａ与圧室９５ａのプレ
ート３１ａと与圧室９５ｂのプレート３１ｂとをフレー
ム１１６の中心線に対照の位置に固着している。上板１
１８ａに圧電素子２９ａを固着し、圧電素子２９ａの他
の面を与圧室９５ａの外底面に固着した断熱材１７ａに
密着させている。同じく、上板１１８ａに圧電素子２９
ｂを固着し、圧電素子２９ｂの他の面を与圧室９５ｂの
外底面に固着した断熱材１７ｂとは圧電素子２９ａの変
位量と同量の間隔αを設けている。中梁１１６ｂには補
正圧室１０３のプレート３１ｃをフレーム１１６の中心
線上に固着し、下板１１８ｂは補正圧室１０３の外底面
の断熱材１７ｃに固着して駆動部２６０としている。上
記した説明を除いて図１２の実施例と同様である。

【００８９】図１４は、本発明の一実施例を示してい
る。図１４の実施例では、図２の実施例に示した第一の
手段の駆動部２１２の与圧室３５と、図１０の実施例に
示した第二の手段の切換・流量調整管５３を有する連結
管１０、１０ａ、１０ｂと、図１２の実施例に示した第
三の手段の液圧シリンダー７１の受圧室５９ａ、５９ｂ
とを連通した実施例を示している。与圧室３５と受圧室
５９ａ、５９ｂと電磁切換弁４０と動力操作バルブ３９
と圧電素子２９ａ、２９ｂの制御は図１０の実施例に記
した方法に準じたものてある。

【００９０】図１５は、本発明の一実施例を示してい
る。図１５の実施例では、図１に示した実施例と同様の
与圧室５と、受圧室９を有する液圧シリンダー１１とを
連結管１０で連通し液体１６を封入した装置と、補正圧
室２３と連結管２０を固着して液体１６を封入して構成
される温度補正器２５と、圧電素子２９ａと圧電素子２
９ｂとを各々四個使用し、各二個を直列に固着して一組
とし、各二組とを用意し、さらに、図１に示したフレー
ム２６とホルダー２８とは符号が異なることを除いて相
似のフレーム１２６とホルダー１２８を使用している。

【００９１】図１５に示すフレーム１２６とホルダー１
２８に各機器を取り付けている。即ち、フレーム１２６
の上梁１２６ａに与圧室５のシリンダー１ａを固着し、
中板１２８ｂに圧電素子２９ａの二組をフレーム１２６
の中心線に並列に配置して固着し、二組の他の面を与圧
室５の外底面に固着した断熱材１７ａに密着させてい
る。上板１２８ａには圧電素子２９ｂの二組をフレーム
１２６の中心線に並列に配置して固着し、二組の他の面
と断熱材１７ｂとは、圧電素子２９ａの二個の変位量と
同量の間隔αを設けている。中梁１２６ｂには補正圧室
２３のシリンダー１ｂを固着し、下板１２８ｃは補正圧
室２３のピストン２ｂの外底面の断熱材１７ｃに固着し
ている。また、中梁１２６ｂとコネクター２４ｂとの間
隔、及び、下梁１２６ｃと下板１２８ｃとの間隔は、本
液圧拡大アクチュエーターが使用される周囲の温度範囲
から、封入した液体１６の膨張量を勘案し、さらに、余
裕のある間隔を設定して駆動部２１７としている。従っ
て、上記した図１４に示す実施例により、圧電素子２９
ａ、圧電素子２９ｂに電圧を加えるとピストンロッド７
の作動量と作動力とは倍増する。上記した説明を除いて
図１の実施例と同様である。

【００９２】図１６に示す実施例では、本発明の圧電素
子の液圧拡大アクチュエーターの単数の駆動部で複数の
液圧シリンダーを作動させている。即ち、駆動部２１２
の与圧室３５のプレート２１ａに一端を固着した連結管
１０を任意の位置で分岐し、連結管１０ａ、１０ｂと
し、連結管１０ａの先端を液圧シリンダー１１ａのシリ
ンダーケース８ａに固着し、かつ、中間に流量調整管１
５ａを設置し、同様に、連結管１０ｂの先端を液圧シリ
ンダー１１ｂのシリンダーケース８ｂに固着し、かつ、
中間に流量調整管１５ｂを設置して、枝管３０の開口端
３０ａから液体１６を注入し、開口端３０ａを固着して
いる。従って、補正圧室４３のプレート２１ｂに一端を
固着した補正管２０も連結管１０と同位置で分岐し、補
正管２０１、２０２とし、補正管２０１は連結管１０ａ
と同長さにし、補正管２０２は連結管１０ｂと同長さに
して、補正管２０１、または、補正管２０２の開口端か
ら液体１６を注入し開口端を固着している。なお、補正
管２０１は連結管１０ａの、補正管２０２は連結管１０
ｂの近傍に各々配置している。さらに、図１６の実施例
では、圧電素子２９ａ、圧電素子２９ｂに電圧を加えた
変位を与圧室３５に伝えて、ピストンロッド７ａ、ピス
トンロッド７ｂを同時に往復作動させることができるこ
とを除いて図１に示される実施例と同様である。

【００９３】図１７に示される実施例では、本発明の圧
電素子の液圧拡大アクチュエーターの一活用手段を示し
ている。即ち、液圧シリンダー１１を、弁箱７２、弁体
７３、弁棒７４、Ｏリング３８からなるバルブ７７にジ
ョイント８７によりに組付け、ピストンロッド７の先端
を弁棒７３に固着して動力作動バルブとしている。バル
ブ７７をパイプ６７に取り付け、パイプ６７を流れる流
体７９を、圧電素子２９ａ、２９ｂに加える電圧の「入
り」、「切り」、或いは、電圧の増減により、これに対
応した動きを与圧室５と受圧室９を有する液圧シリンダ
ー１１のピストンロッド７に連なる弁体７３に伝達し、
バルブ７７の弁体７３の開閉操作、或いは、開度の増減
をして流体７９の流量を制御するものである。

【００９４】図１８に示される実施例では、本発明の圧
電素子の液圧拡大アクチュエーターの一活用手段を示し
ている。即ち、液圧シリンダー１１を、図１７に示され
る実施例と同様に、バルブ７７にジョイント８７により
に組付け、ピストンロッド７の先端を弁棒７３に固着し
ている。さらに、パイプ６７内に流量検出器８９を設置
し、流体７９の流量を流量計９０で表示させている。一
般に流量は弁体の等間隔の位置変化に対して数分の１乗
の曲線変化をすることは周知されている。図１８の実施
例では、流量変更に際し、流量計９０を目視して、等分
目盛り流量調整器９１で調整しても、バルブ流量特性演
算処理９２により、弁体の位置と流量特性とを演算処理
させた相応の電圧を圧電素子２９ａ、２９ｂに加えるよ
うにし、これに対応した動きを与圧室５と受圧室９を有
する液圧シリンダー１１のピストンロッド７に連なる弁
体７３に伝達し、バルブ７７の弁体７３の開度の増減を
して流体７９の流量を制御するので、等分目盛り流量調
整器９１で設定した流体７９の流量を得られる。

【００９５】図１９に示される実施例では、本発明の圧
電素子の液圧拡大アクチュエーターのの一活用手段を示
している。即ち、液圧シリンダーにバルブを組付けたも
のを二組使用している。パイプ６７は流入パイプ９３を
有し、二組の内の一組の液圧シリンダー１１を取り付け
たバルブ７７は流入パイプ９３より上流側のパイプ６７
に設置している。図１９の実施例では、パイプ６７の上
流側からの低温流体９４を流し、流入パイプ９３から高
温流体９７を流入させ、低温流体９４と高温流体９７と
が合流した混合温度流体９９中に温度検出器１００を設
置している。温度検出器１００で検出した温度と、設定
器１０１での設定値との比較値を温度→電圧変換処理１
０２に伝え、温度→電圧変換処理１０２で処理した電圧
を圧電素子２９ａ、２９ｂに加える。従って、与圧室５
と受圧室９とはこれに対応した作動をし、この作動は液
圧シリンダー１１のピストンロッド７に連なる弁体７２
に伝達され、設定器１０１で設定した設定値に合致した
温度の混合温度流体９９が得られるように低温流体９４
の流量を調整する。

【００９６】さらに、図１９の実施例では、他の一組の
液圧シリンダー１１’を取り付けたバルブ７７’は流入
パイプ９３より下流側のパイプ６７に設置し、バルブ７
７’の近傍に流量検出器１１１を設置している。検出し
た流量と設定器１１２での設定値との比較値を流量→電
圧変換処理１１３に伝え、流量→電圧変換処理１１３で
処理した電圧を圧電素子２９ａ’、２９ｂ’に加える。
従って、与圧室５’と受圧室９’とはこれに対応した作
動をし、この作動は液圧シリンダー１１’のピストンロ
ッド７’に連なる弁体７２’に伝達され、設定器１１１
で設定した流量の混合温度流体９９が得られるように調
整する。上記した二組の圧電素子の液圧拡大アクチュエ
ーターを取り付けたバルブ７７、７７’により適温で適
量の液体を得られる。

【００９７】図２０に示される実施例では、本発明の圧
電素子の液圧拡大アクチュエーターのの一活用手段を示
している。即ち、液圧シリンダー１１を取り付けたバル
ブ７７を、冷温液発生機１０４とポンプ１０７と送風機
１０９を有する熱交換器１１４とを連結する循環パイプ
１１７に、循環液１１９の流量を制御するように循環パ
イプ１１７中に設置している。送風機１０９により熱交
換器１１４から放熱されて醸し出される雰囲気内に温度
検出器１２１を設置し、検出した雰囲気温度と温度設定
器１２２での設定値との比較値を冷→温切換器付、温度
→電圧変換処理１２３に伝え、温度数値を電圧に処理
し、さらに、この電圧をバルブ特性・熱交換器特性演算
処理１２４でバルブ７７の弁開度と循環液１１９の流量
変化の特性と、流量変化に対する放熱特性を演算させた
電圧にし圧電素子２９ａ、２９ｂに加えるようにしてい
る。与圧室５、受圧室９にこの電圧に対応した作動をさ
せ、この作動は液圧シリンダー１１のピストンロッド７
に連なる弁体７３に伝達し、循環液１１９の流量を制御
して、送風機１０９により熱交換器１１４から放熱され
て醸し出される雰囲気温度を温度設定器１２２で設定し
た値に合致するようにする。

【００９８】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、変位拡大
手段としての液圧拡大アクチュエーターとして、以下に
記載されるような効果を奏する。

【００９９】従来技術では、電気エネルギーを機械的直
線運動エネルギーに変換する駆動装置の一つとして、電
磁石が挙げられるが、これは許容負荷電圧は即最大行程
であり、最大行程内での任意の位置の行程を得ることは
できない。その他の直線運動の駆動装置としてはサーボ
モーター、ステップモーター等が挙げられるが、これら
は何れも回転運動を直線運動に変換する機構が必要であ
り、任意の位置設定は可能であるが、モーターの駆動制
御装置が複雑で費用を要する制御機器を必要としてい
た。

【０１００】これらに対して、横内断面積の異なる与圧
室と受圧室とをピストンとシリンダーとで構成するか、
密封したベローズで構成するかして、与圧室と受圧室と
を連結管で連通して、封入した液体を圧力媒体として、
圧電素子が有する圧電縦効果の機械的直線運動を拡大作
動させるので、構造は簡単である。また、フレームおよ
びホルダーに取り付けられた与圧室と圧電素子および温
度補正器で構成される駆動部と液圧シリンダーとは連結
管が介在はしているが分離した形体であるため、液圧シ
リンダーの近傍は、小規模の容積で使用することが可能
となり、かつ出力、変位量の変更も主として駆動部で行
なわれ、液圧シリンダーの変更は小規模で済む柔軟性が
ある。さらに、本発明では、モーター使用の装置のよう
に火花放電はないので安全である。このように、電気的
エネルギーを機械的直線運動エネルギーに容易に変換可
能なアクチュエーターを提供でき、工業的価値は大であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図２】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図３】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図４】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図５】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す、図４の実施例に示すＸ−Ｘ矢視図の横断面図で
ある。

【図６】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図７】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図８】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図９】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施例
を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の部
分は配管図法により図示している。

【図１０】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の切換・流量調
整管の部分は配管図法により、併せて、制御回路の略図
を示している。

【図１１】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の切換・流量調
整管の部分は配管図法により、併せて、制御回路の略図
を示している。

【図１２】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により図示している。

【図１３】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により図示している。

【図１４】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の切換・流量調
整管の部分は配管図法により図示している。

【図１５】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す立面図およびフレームの側面体の一部を切断
し、与圧室と液圧シリンダーと連結管と補正圧室との一
部を切断図で示している。

【図１６】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により図示している。

【図１７】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により図示している。

【図１８】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により、併せて、制御回路の略図を示し
ている。

【図１９】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により、併せて、制御回路の略図を示し
ている。

【図２０】圧電素子の液圧拡大アクチュエーターの実施
例を示す縦断面図である。なお、連結管の流量調整管の
部分は配管図法により、循環液管とこれに接続する機器
は略図で示している。

【符号の説明】

５、３５、５５、７５、９５、１１５ 与圧室 １０ 連結管 １１、４１、５１、７１、８１ 液圧アクチュエーター １５ 流量調整管 １６ 液体 ２０ 補正管 ２３、４３、６３、８３、１０３、１２３、補正圧室 ２４、３４、４４、５４、６４ コネクター ２５、４５、６５、８５、１０５、１２５、温度補正器 ２６、４６、５６、６６、７６、９６、１０６、１１
６、１２６ フレーム ２８、４８、５８、６８、７８、８８、９８、１０８、
１１８、１２８ホルダー ２９ａ、２９ｂ、２９ｃ 圧電素子 ５３ 切換・流量調整管 ２１１、２１２、２１３、２１４、２１５、２１７、２
２１、２２２、２３０、３４１、２４２、２５０、２６
０ 駆動部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 与圧室とこの有効面積に対し小なる横内
   断面積の受圧室でなる液圧シリンダーとを連結管を固着
   して連通し、与圧室から受圧室に圧電素子の変位を伝え
   る圧電素子の液圧拡大アクチュエーターにおいて、前記
   与圧室と前記与圧室を縮小させる圧電素子と前記与圧室
   をコネクター介して拡張させる圧電素子と補正圧室に補
   正管を固着し、あるいは前記圧電素子と同等の圧電素子
   か前記圧電素子と線膨張係数が同等の部材を前記補正圧
   室に固着してなる温度補正器の前記補正圧室とをフレー
   ムと該フレーム内を滑動できるホルダーとに固着した駆
   動部と、前記液圧シリンダーと、前記連結管の一部を分
   岐・合流管とし各々の管にバルブと逆止め弁を設置した
   流量調整管と、で構成することを特徴とする圧電素子の
   液圧拡大アクチュエーター。
2. 【請求項２】 与圧室とこの有効面積に対し小なる横内
   断面積の受圧室でなる液圧シリンダーとを連結管を固着
   して連通し、与圧室から受圧室に圧電素子の変位を伝え
   る圧電素子の液圧拡大アクチュエーターにおいて、前記
   与圧室と前記与圧室を伸縮させる圧電素子と補正圧室に
   補正管を固着し、あるいは前記圧電素子と同等の圧電素
   子か前記圧電素子と線膨張係数が同等の部材を前記補正
   圧室に固着してなる温度補正器の前記補正圧室とをフレ
   ームと該フレーム内を滑動できるホルダーとに固着した
   駆動部と、二受圧室を有する液圧シリンダーと、前記連
   結管を分岐し末端は電磁切換弁を経由して前記二受圧室
   に固着され、分岐した一方の連結管にバルブと逆止め弁
   と安全弁とを、他方の連結管に逆止め弁と動力操作バル
   ブあるいは逆止め弁とを、前記逆止め弁と動力操作バル
   ブあるいは逆止め弁との間に分岐管を設置し、この末端
   がフィルターを有するドレンポートの液体に埋没するよ
   うにした切換・流量調整管と、作動設定器と、ピストン
   位置メモリー・作動方向、変位量計算機・作動制御処理
   と、電圧変換処理と、で構成することを特徴とする圧電
   素子の液圧拡大アクチュエーター。
3. 【請求項３】 与圧室とこの有効面積に対し小なる横内
   断面積の受圧室でなる液圧シリンダーとを連結管を固着
   して連通し、与圧室から受圧室に圧電素子の変位を伝え
   る圧電素子の液圧拡大アクチュエーターにおいて、二個
   の与圧室と二個の圧電素子と補正圧室に補正管を固着
   し、あるいは前記圧電素子と同等の圧電素子か前記圧電
   素子と線膨張係数が同等の部材を前記補正圧室に固着し
   てなる温度補正器の前記補正圧室とをフレームと該フレ
   ーム内を滑動できるホルダーとに固着した駆動部と、二
   受圧室を有する液圧シリンダーと、前記二個の与圧室と
   前記二受圧室とを各々を連通する二連結管の各々の一部
   にバイパス管を設置し該バイパス管の部分に各々バルブ
   と逆止め弁を設置した流量調整管と、で構成することを
   特徴とする圧電素子の液圧拡大アクチュエーター。
4. 【請求項４】 圧電素子を複数個を並列に、または直列
   に、さらに並列と直列に組合せて使用することができる
   ことを特徴とする請求項１、２又は３記載の圧電素子の
   液圧拡大アクチュエーター。
5. 【請求項５】 与圧室と複数個の液圧シリンダーとを分
   岐した連結管で連通し、複数個の液圧シリンダーの作動
   ができることを特徴とする請求項１、２又は３記載の圧
   電素子の液圧拡大アクチュエーター。
6. 【請求項６】 液圧シリンダーを取り付けたバルブをパ
   イプに設置し、圧電素子に加える電圧の調整で、前記バ
   ルブの弁体の開閉、開度を操作してパイプを流れる流体
   の流量を調節することを特徴とする請求項１、２又は３
   記載の圧電素子の液圧拡大アクチュエーター。
7. 【請求項７】 液圧シリンダーを取り付けたバルブをパ
   イプに設置し、圧電素子に加える電圧の調整で前記バル
   ブの弁体の開閉、開度を操作することを特徴とし、遠隔
   域でも前記バルブ操作ができることを特徴とする請求項
   １、２又は３記載の圧電素子の液圧拡大アクチュエータ
   ー。
8. 【請求項８】 液圧シリンダーを取り付けたバルブをパ
   イプに設置し、等分目盛り流量調整器とバルブ流量特性
   演算処理とで流量調整することを特徴とする請求項１、
   ２又は３記載の圧電素子の液圧拡大アクチュエーター。
9. 【請求項９】 異なる温度の流体が合流するパイプの何
   れかに一組の液圧シリンダーを取り付けたバルブを設置
   し、混合温度流体中に温度検出器を設置し設定器との比
   較温度を電圧変換処理し、高温流体又は低温流体の流量
   を制御することを特徴とし、他の一組の液圧シリンダー
   を取り付けたバルブを混合温度流体のパイプに設置し、
   前記混合温度流体中に流量検出器を設置し設定器との比
   較流量を電圧変換処理し、流量制御することを特徴とす
   るする請求項１、２又は３記載の圧電素子の液圧拡大ア
   クチュエーター。
10. 【請求項１０】 冷温発生機を経てポンプにより循環し
    熱交換器を設置する循環パイプに液圧シリンダーを取り
    付けたバルブを設置し、前記熱交換器からの放熱による
    雰囲気温度を検出し設定器との比較温度を冷←→温切換
    付、電圧変換処理し、バルブ特性・熱交換器特性演算処
    理により前記バルブに循環液の流量を制御させることを
    特徴とする請求項１、２又は３記載の圧電素子の液圧拡
    大アクチュエーター。