JP5988936B2 - 撥水膜、成膜方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、及びインクジェット記録装置 - Google Patents
撥水膜、成膜方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、及びインクジェット記録装置 Download PDFInfo
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Description
本実施形態の撥水膜は、図1に示すように、基板100の上に撥水性有機材料を設けて形成される。そして、撥水性有機材料の濃度の異なる領域が複数形成され、濃度の異なる領域は、それぞれ、基板との界面から撥水膜の表面まで、膜厚方向に連続して存在することを特徴とする。
最初に、基板を準備する。なお、本実施形態では、インクジェット記録装置に用いるインクジェットヘッドのノズルプレートを例に説明する。
ノズルプレートの表面を清浄化するために、プラズマ処理やUV処理を行う。これによって、有機コンタミ等が除去され、さらに撥水性有機材料の結合サイトとなるOH基が生成され、撥水膜の密着性が向上する。UV処理は簡易で効率が良い。一方で、プラズマ処理の場合は真空雰囲気が必要だが、有機コンタミのみを除去するUV処理と異なり、導入ガス種によって、無機コンタミ、金属コンタミも除去することが可能である。
前処理後のノズルプレート上に無機酸化膜を形成する。なお、酸化膜の形成を行わず、後述する撥水膜の形成を行うこともできる。
上記の前処理後、又は上記の酸化膜形成後のノズルプレートに、撥水性有機材料により撥水膜を形成する。
次に、本実施形態の撥水膜を適用した例として、インクジェット記録装置、及び、ノズルプレートについて説明する。
次に、ヘッド12K、12C、12M、12Yの構造について説明する。なお、各ヘッド12K、12C、12M、12Yの構造は共通しているので、以下では、これらを代表して符号50によってヘッドを示すものとする。
1H,1H,2H,2H−ペルフルオロデシルトリクロロシラン(FDTS)を撥水性有機材料とし、CVDで撥水膜を成膜した。
ダイキン工業製のオプツールDSXを撥水性有機材料とし、真空蒸着装置で撥水膜を成膜した。成膜プロセスは、図7のグラフに示したように、50℃まで加熱し300秒保持し、その後150℃まで加熱し300秒保持し、その後300℃まで加熱し300秒保持し、その後350℃まで加熱し300秒保持した。膜形成後に、成膜炉内に窒素を導入し、炉内を大気圧にし、基板を回収した。
ダイキン工業製のオプツールDSXを撥水性有機材料とし、真空蒸着装置で撥水膜を成膜した。成膜プロセスは、図7のグラフに示したように、50℃まで加熱し300秒保持し、その後150℃まで加熱し300秒保持し、その後300℃まで加熱し300秒保持し、その後500℃まで加熱し300秒保持し、その後700℃まで加熱し300秒保持した。膜形成後に、成膜炉内に窒素を導入し、炉内を大気圧にし、基板を回収した。
ダイキン工業製のオプツールDSXを撥水性有機材料とし、真空蒸着装置で撥水膜を成膜した。成膜プロセスは、図7のグラフに示したように、50℃まで加熱し300秒保持し、その後150℃まで加熱し300秒保持し、その後300℃まで加熱し300秒保持し、その後500℃まで加熱し300秒保持し、その後700℃まで加熱し300秒保持した。膜形成後に基板を恒温槽に設置し、温度30℃以上、湿度50%以上の環境下で1時間以上放置処理した。
アルバック・ファイ株式会社製の飛行時間型二次イオン質量分析装置(TOF−SIMS:Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) PHI TRIFT V nanoTOFを用いて、各試料を表面から任意の時間でスパッタリングして、組成解析を実施した。なお、一次イオン源はBi3 ++とし、クラスターイオンスパッタ(加速電圧:10kV)にて深さ方向の分布解析を行った。解析結果を図8に示す。
試料1〜4に対して、以下に示す組成のインクを使用して耐久性試験を実施した。なお、このインクはブラック顔料を含んだアルカリ性溶液であり、一般にブラック顔料はカーボンブラックが使用され、本耐久性評価試験で使用したインクは、アルカリ性溶液に研磨粒子を加えた状態ともいえ、メンテ用布やゴムブレード単体の擦り試験よりも強制条件の評価ともいえる。また、インクのpHは8.6であった。
ブラック顔料(カーボンブラック) : 4%
顔料分散剤(ポリマー分散剤P−1) : 2%
サンニックスGP−250(三洋化成工業(株)製) :10%
トリプロピレングリコールモノメチルエーテル : 5%
オルフィンE1010(日信化学製) : 0.5%
オルフィンE1020(日信化学製) : 1%
自己分散性ポリマー粒子(B−01) : 8%
BYK−024(ポリシロキサン系消泡剤) : 0.01%
水 :69.49%
[耐インク性評価]
インクに各試料を浸漬し、60℃に設定した恒温槽に設置し、任意の時間経過後に取り出し、浸漬したインクと同種のインクで静的接触角を測定した。
インクジェットヘッドノズル面用のアルカリ性メンテナンス液に対して、インク量が5%になるように混合した溶液を、ノズル面払拭用の布上に滴下する。滴下した面に各試料を50kPaの一定圧力で押し当て、往復摺動させる。1往復ごとに混合した溶液を10mL滴下し、任意の回数で処理した後に、滴下したインクと同種のインクで静的接触角を測定した。
静的接触角、及び動的接触角(滑落法)は、協和界面科学社製接触角計(DM−701)を使用して評価した。なお、動的接触角の評価は、液滴に純水(5μL)を使用し、基板を傾けた際に液滴と基板の接触する端部が1.0 mm移動した場合を液滴が滑落したと判断した。
耐インク性と耐ワイプ性の試験結果を図9〜図12に示す。なお、図9と図10は、試料1と試料2の耐インク性と耐ワイプ性を示したグラフである。図11は、試料2と試料3の耐ワイプ性を示したグラフであり、図12は、試料3と試料4の耐ワイプ性を示したグラフである。
Claims (14)
- 基板の上に撥水性有機材料を設けて形成される撥水膜であって、
前記撥水性有機材料の濃度の異なる領域が複数形成され、
前記濃度の異なる領域は、それぞれ、前記基板との界面から前記撥水膜の表面まで、膜厚方向に連続して存在する撥水膜。 - 基板の上に撥水性有機材料を設けて形成される撥水膜であって、
前記撥水膜の表面には、前記撥水性有機材料の濃度が均一な均一層を有し、
前記均一層を除く前記撥水膜においては、前記撥水性有機材料の濃度の異なる領域が複数形成され、
前記濃度の異なる領域は、それぞれ、前記基板との界面から前記均一層まで、膜厚方向に連続して存在する撥水膜。 - 前記濃度の異なる領域は、
相対的に濃度が高い領域が柱状に形成されており、前記柱状の周りに、前記柱状の領域よりも相対的に濃度が低い領域が存在する請求項1又は2に記載の撥水膜。 - 前記柱状の構造を前記基板との界面と平行な面で切断した前記柱状の断面積は、100μm2以下である請求項3に記載の撥水膜。
- 前記柱状の断面積は、10μm2以下である請求項4に記載の撥水膜。
- 前記撥水性有機材料は、シランカップリング剤である請求項1から5の何れか1項に記載の撥水膜。
- 前記撥水性有機材料は、ホスホン酸誘導体である請求項1から5の何れか1項に記載の撥水膜。
- 前記撥水性有機材料は、フッ素を含む請求項6又は7に記載の撥水膜。
- 前記撥水性有機材料は、エーテル結合を含む請求項8に記載の撥水膜。
- 前記撥水性有機材料は、気相法により形成される請求項1から9の何れか1項に記載の撥水膜。
- 請求項1から10の何れか1項に記載の撥水膜を成膜する成膜方法であって、
真空度が100(Pa)以下の雰囲気下で、少なくとも1回、前記撥水性有機材料のガラス転移温度Tgよりも低い温度で一定時間保持して、前記ガラス転移温度Tg以上の温度とする成膜方法。 - 請求項1から10の何れか1項に記載の撥水膜が形成されたノズルプレート。
- 請求項12に記載のノズルプレートを備えたインクジェットヘッド。
- 請求項13に記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置。
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