JP2006326873A - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴吐出側の表面に撥液膜が形成されたノズルプレートを、レジストを用いることなく、簡易な製造工程で製造する。
【解決手段】ノズル形成基板62にノズル孔より大きな径で両面を貫通する孔部を形成する孔部形成工程と、前記孔部形成工程で形成された前記孔部の内壁面に親液膜66を形成するとともに前記孔部の少なくとも一部を塞ぐように親液膜を形成する親液膜形成工程と、前記親液膜形成工程が行われた後に前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に撥液膜68を形成する撥液膜形成工程と、前記撥液膜形成工程が行われた後に前記孔部の前記撥液膜で塞がれた部分に前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程とを含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。
【選択図】 図5
【解決手段】ノズル形成基板62にノズル孔より大きな径で両面を貫通する孔部を形成する孔部形成工程と、前記孔部形成工程で形成された前記孔部の内壁面に親液膜66を形成するとともに前記孔部の少なくとも一部を塞ぐように親液膜を形成する親液膜形成工程と、前記親液膜形成工程が行われた後に前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に撥液膜68を形成する撥液膜形成工程と、前記撥液膜形成工程が行われた後に前記孔部の前記撥液膜で塞がれた部分に前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程とを含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、ノズルプレートの製造方法に係り、特に、液滴吐出側の表面に撥液膜が形成されたノズルプレートの製造方法に関する。
インクジェット記録装置には、多数のノズル(ノズル孔)が形成されたノズルプレートを記録媒体との対向面に備えた印字ヘッドと記録媒体を相対的に移動させながら、各ノズルからインク滴を吐出することにより、記録媒体上に画像を形成するものがある。
ところで、このようなインクジェット記録装置において、メニスカスの安定化や、ノズルプレート表面(インク滴吐出側の面)に対するインク滴の付着や汚れを防止するため、ノズルプレート表面に撥液膜が形成されているものが従来より知られている。このようなノズルプレートの製造方法として、ノズル孔をレジストで充填する必要がある。
例えば、特許文献1には、ノズル形成基板に形成されたノズル孔の内部に感光性フィルム等の耐腐食性高分子樹脂などのドライフィルムレジストを充填し、エッチングによる研削でドライフィルムレジストを突出させた後、撥インク性の表面処理層を形成し、ドライフィルムレジストを除去するノズルプレートの製造方法が記載されている。
また、特許文献2には、ノズル孔が形成されたノズル形成基板の全面に撥液膜を形成した後、ノズル形成基板の表面とその表面からノズル孔内壁面のメニスカスが形成される位置まで感光性ドライフィルムレジストを被覆し、マスクされていない撥液膜をエッチングにより除去し、撥液膜が除去されたノズル形成基板の裏面及びノズル孔内壁に親液膜を形成し、感光性ドライフィルムレジストを除去するノズルプレートの製造方法が記載されている。この方法によれば、ノズルプレート表面とノズルプレート表面からノズル孔内壁面のメニスカス位置まで撥液膜が形成され、ノズルプレート裏面とノズルプレート裏面からノズル孔内壁面のメニスカス位置まで親液膜が形成される。
特開平9−76492号公報
特開2002−187267号公報
しかしながら、特許文献1や特許文献2に記載された方法のようにレジストを用いる場合、撥液膜を形成した後のレジストを除去する段階で問題がある。
即ち、有機溶剤や硫酸過酸化水素等の溶剤でレジストを溶かすウェット方式の場合、有機薬品耐性を有する撥液膜を形成する必要があり、環境安全性の観点から好ましくない。また、プラズマによる分解燃焼によってレジストを除去するドライ方式の場合、ノズル孔内部のレジストを完全に除去することが難しく、残留レジストを要因とするノズル詰まりが発生する恐れがある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、液滴吐出側の表面に撥液膜が形成されたノズルプレートを、レジストを用いることなく、簡易な製造工程で製造することができるノズルプレートの製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために請求項1に係る発明は、液滴を吐出するためのノズル孔を有するノズルプレートの製造方法であって、ノズル形成基板に前記ノズル孔より大きな径で両面を貫通する孔部を形成する孔部形成工程と、前記孔部形成工程で形成された前記孔部の内壁面に親液膜を形成するとともに、前記孔部の少なくとも一部を塞ぐように親液膜を形成する親液膜形成工程と、前記親液膜形成工程が行われた後に、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、前記撥液膜形成工程が行われた後に、前記孔部の前記撥液膜で塞がれた部分に前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
本発明によれば、液滴吐出側の表面が撥液膜で構成され、ノズル孔の内壁面が親液膜で構成されたノズルプレートを簡易な製造工程で製造することができる。また、レジストを用いることがないので、ノズル孔の内部の残留レジストを要因とするノズル詰まりは生じない。更に、ノズル孔より大きな径の孔部に親液膜を形成してからノズル孔を形成するので、微小径のノズル孔を高精度に形成することが可能となる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記親液膜形成工程は、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に親液膜を形成することを特徴とする。
請求項2の態様によれば、親液膜形成工程が容易となる。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記親液膜形成工程は、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面及びその反対側の裏面に親液膜を形成することを特徴とする。
請求項3の態様によれば、親液膜形成工程が更に容易になる。また、ノズル形成基板の液滴吐出側と反対側の裏面に形成された親液膜を他のプレート部材との接着手段として用いることができる。
請求項4に記載の発明は、請求項2又は請求項3に記載のノズルプレートの製造方法であって、さらに、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に形成された親液膜を除去する親液膜除去工程を含み、前記撥液膜形成工程は、前記親液膜除去工程の後に行われることを特徴する。
請求項4の態様によれば、ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に形成される撥液膜の厚みムラを防止する。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記親液膜除去工程は、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に形成された親液膜を除去するとともに、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面を粗化することを特徴とする。
請求項5の態様によれば、ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に形成される撥液膜の密着性や撥液性が向上する。
本発明によれば、液滴吐出側の表面が撥液膜で構成され、ノズル孔の内壁面が親液膜で構成されたノズルプレートを簡易な製造工程で製造することができる。また、レジストを用いることがないので、ノズル孔の内部の残留レジストを要因とするノズル詰まりは生じない。更に、ノズル孔より大きな径の孔部に親液膜を形成してからノズル孔を形成するので、微小径のノズル孔を高精度に形成することが可能となる。
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
〔インクジェット記録装置の全体構成〕
図1は、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図1に示すように、このインクジェット記録装置10は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド12K、12C、12M、12Yを有する印字部12と、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部14と、記録紙16を供給する給紙部18と、記録紙16のカールを除去するデカール処理部20と、前記印字部12のノズル面(インク吐出面)に対向して配置され、記録紙16の平面性を保持しながら記録紙16を搬送する吸着ベルト搬送部22と、印字部12による印字結果を読み取る印字検出部24と、印画済みの記録紙(プリント物)を外部に排紙する排紙部26と、を備えている。
図1は、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図1に示すように、このインクジェット記録装置10は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド12K、12C、12M、12Yを有する印字部12と、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部14と、記録紙16を供給する給紙部18と、記録紙16のカールを除去するデカール処理部20と、前記印字部12のノズル面(インク吐出面)に対向して配置され、記録紙16の平面性を保持しながら記録紙16を搬送する吸着ベルト搬送部22と、印字部12による印字結果を読み取る印字検出部24と、印画済みの記録紙(プリント物)を外部に排紙する排紙部26と、を備えている。
図1では、給紙部18の一例としてロール紙(連続用紙)のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
ロール紙を使用する装置構成の場合、図1のように、裁断用のカッター28が設けられており、該カッター28によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター28は、記録紙16の搬送路幅以上の長さを有する固定刃28Aと、該固定刃28Aに沿って移動する丸刃28Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃28Aが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃28Bが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター28は不要である。
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
給紙部18から送り出される記録紙16はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部20においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム30で記録紙16に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
デカール処理後、カットされた記録紙16は、吸着ベルト搬送部22へと送られる。吸着ベルト搬送部22は、ローラー31、32間に無端状のベルト33が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部12のノズル面及び印字検出部24のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
ベルト33は、記録紙16の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔(不図示)が形成されている。図1に示したとおり、ローラー31、32間に掛け渡されたベルト33の内側において印字部12のノズル面及び印字検出部24のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー34が設けられており、この吸着チャンバー34をファン35で吸引して負圧にすることによってベルト33上の記録紙16が吸着保持される。
ベルト33が巻かれているローラー31、32の少なくとも一方にモータ(不図示)の動力が伝達されることにより、ベルト33は図1において、時計回り方向に駆動され、ベルト33上に保持された記録紙16は、図1の左から右へと搬送される。
縁無しプリント等を印字するとベルト33上にもインクが付着するので、ベルト33の外側の所定位置(印字領域以外の適当な位置)にベルト清掃部36が設けられている。ベルト清掃部36の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
なお、吸着ベルト搬送部22に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
吸着ベルト搬送部22により形成される用紙搬送路上において印字部12の上流側には、加熱ファン40が設けられている。加熱ファン40は、印字前の記録紙16に加熱空気を吹きつけ、記録紙16を加熱する。印字直前に記録紙16を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
印字部12は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向(副走査方向)と直交する方向(主走査方向)に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。印字部12を構成する各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yは、本インクジェット記録装置10が対象とする最大サイズの記録紙16の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口(ノズル)が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
記録紙16の搬送方向(紙搬送方向)に沿って上流側(図1の左側)から黒(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の順に各色インクに対応した印字ヘッド12K、12C、12M、12Yが配置されている。記録紙16を搬送しつつ各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙16上にカラー画像を形成し得る。
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部12によれば、紙搬送方向(副走査方向)について記録紙16と印字部12を相対的に移動させる動作を一回行うだけで(すなわち、一回の副走査で)記録紙16の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向(主走査方向)に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
なお本例では、KCMYの標準色(4色)の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
図1に示したように、インク貯蔵/装填部14は、各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yと連通されている。また、インク貯蔵/装填部14は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段(表示手段、警告音発生手段等)を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
印字検出部24は、印字部12の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ(ラインセンサ等)を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
本例の印字検出部24は、少なくとも各印字ヘッド12K、12C、12M、12Yによるインク吐出幅(画像記録幅)よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤(R)の色フィルタが設けられた光電変換素子(画素)がライン状に配列されたRセンサ列と、緑(G)の色フィルタが設けられたGセンサ列と、青(B)の色フィルタが設けられたBセンサ列とからなる色分解ラインCCDセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
印字検出部24は、各色の印字ヘッド12K、12C、12M、12Yにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
印字検出部24の後段には、後乾燥部42が設けられている。後乾燥部42は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
後乾燥部42の後段には、加熱・加圧部44が設けられている。加熱・加圧部44は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー45で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
このようにして生成されたプリント物は、排紙部26から排出される。本来プリントすべき本画像(目的の画像を印刷したもの)とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置10では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部26A、26Bへと送るために排紙経路を切り換える選別手段(不図示)が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター(第2のカッター)48によってテスト印字の部分を切り離す。カッター48は、排紙部26の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター48の構造は前述した第1のカッター28と同様であり、固定刃48Aと丸刃48Bとから構成されている。
また、図示を省略したが、本画像の排出部26Aには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
〔印字ヘッドの構造〕
次に、印字ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド12K、12M、12C、12Yの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号50によって印字ヘッドを示すものとする。
次に、印字ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド12K、12M、12C、12Yの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号50によって印字ヘッドを示すものとする。
図2は印字ヘッド50の構造例を示す平面透視図である。また図3は1つの液滴吐出素子(1つのノズル51に対応したインク室ユニット)の立体的構成を示す断面図(図2中3−3線に沿う断面図)である。
記録紙面上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、印字ヘッド50におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例の印字ヘッド50は、図2に示したように、インク滴の吐出口であるノズル51と、各ノズル51に対応する圧力室52等からなる複数のインク室ユニット(液滴吐出素子)53を千鳥でマトリクス状(2次元的)に配置させた構造を有し、これにより、印字ヘッド長手方向(紙送り方向と直交する方向)に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔(投影ノズルピッチ)の高密度化を達成している。
各ノズル51に対応して設けられている圧力室52は、その平面形状が概略正方形となっており(図2参照)、対角線上の両隅部にノズル51と供給インクの流入口(供給口)54が設けられている。
印字ヘッド50のノズル面(インク吐出面)50Aは、図3に示すように、ノズル(ノズル孔)51が形成されるノズルプレート60によって構成されている。なお、ノズルプレート60の製造方法については後述する。
また、圧力室52は供給口54を介して共通流路55と連通されている。共通流路55はインク供給源たるインクタンク(不図示)と連通しており、インクタンクから供給されるインクは共通流路55を介して各圧力室52に分配供給される。
圧力室52の天面を構成している振動板(共通電極)56には個別電極57を備えたアクチュエータ58が接合されており、個別電極57と共通電極56に駆動電圧を印加することによってアクチュエータ58が変形して圧力室52の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル51からインクが吐出される。なおアクチュエータ58には、ピエゾ素子などの圧電体が好適に用いられる。インク吐出後、共通流路55から供給口54を通って新しいインクが圧力室52に供給される。
かかる構造を有する多数のインク室ユニット53は、図4に示す如く、主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して直交しない一定の角度θを有する斜めの列方向に沿って一定の配列パターンで格子状に配列させた構造になっている。主走査方向に対してある角度θの方向に沿ってインク室ユニット53を一定のピッチdで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチPはd× cosθとなる。
すなわち、主走査方向については、各ノズル51が一定のピッチPで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が1インチ当たり2400個(2400ノズル/インチ)におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。
なお、印字可能幅の全幅に対応した長さのノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時には、(1)全ノズルを同時に駆動する、(2)ノズルを片方から他方に向かって順次駆動する、(3)ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動する等が行われ、用紙の幅方向(用紙の搬送方向と直交する方向)に1ライン又は1個の帯状を印字するようなノズルの駆動を主走査と定義する。
特に、図4に示すようなマトリクス状に配置されたノズル51を駆動する場合は、上記(3)のような主走査が好ましい。すなわち、ノズル51-11 、51-12 、51-13 、51-14 、51-15 、51-16 を1つのブロックとし(他にはノズル51-21 、…、51-26 を1つのブロック、ノズル51-31 、…、51-36 を1つのブロック、…として)、記録紙20の搬送速度に応じてノズル51-11 、51-12 、…、51-16 を順次駆動することで記録紙20の幅方向に1ラインを印字する。
一方、上述したフルラインヘッドと用紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された1ライン(1列のドットによるライン又は複数列のドットからなるライン)の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。
本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されない。また、本実施形態では、ピエゾ素子(圧電素子)に代表されるアクチュエータ58の変形によってインク液滴を飛ばす方法が採用されているが、本発明の実施に際して、インクを吐出させる方式には限定されず、ピエゾ方式に代えて、ヒータ等の発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式等でもよい。
〔ノズルプレートの製造方法〕
図5(a)〜(e)は、ノズルプレート60の製造工程を示した説明図である。以下、各図に従って、本発明の特徴であるノズルプレート60の製造方法について説明する。
図5(a)〜(e)は、ノズルプレート60の製造工程を示した説明図である。以下、各図に従って、本発明の特徴であるノズルプレート60の製造方法について説明する。
まず、図5(a)に示すように、SUS、Ni、樹脂等で構成されるノズル形成基板62のノズル孔形成位置に対してノズル孔(ノズル)51より大きな径の下孔64をプレス加工等によって穿孔する。例えば、ノズル形成基板62の厚さは50〜100μmであり、下孔64の孔径は100μmである。
次に、図5(b)に示すように、ノズル形成基板62の全面に親液剤を塗布して、乾燥等により固化させ、ノズル形成基板62の表裏面及び下孔64に親液膜66を形成する。一方、下孔64の親液膜66は、同図に示すように、下孔64を完全に塞ぐように形成されていることが望ましい。また、図6(a)及び(b)に示すように、下孔64の内壁面に形成されるとともに下孔64の少なくとも一部が親液膜66で塞がれるように形成されていてもよい。この場合、下孔64の内壁面に形成される親液膜66の厚さは、下孔64の内壁面に親液膜66が形成された部分の孔径が後工程で形成されるノズル孔51の孔径よりも小さくなるようにする。ノズル形成基板62の下孔64の内壁面に形成される親液膜66の厚さは、後工程の加工処理精度を考慮すると1μm以上であることが望ましい。尚、図6(c)に示すように、下孔64が親液膜66で塞がれず貫通状態となる場合は、再度親液剤を重ね塗りしたり、親液剤に増粘剤を付加したりして、下孔64の少なくとも一部が親液剤66で塞がれるようにする。
親液剤は、例えば、PHEMA(ポリメタクリル酸ヒドロキシエチル)、ポリシラザラン、Si又はSiO2を含む高分子ポリマー等である。親液剤の塗布方法は、ディップが望ましく、蒸着、スプレー、バーコート、スピンコート等であってもよい。
尚、本実施形態では、好ましい態様として、ノズル形成基板62の表裏面及び下孔64に親液膜66を形成する場合を示したが、本発明の実施に際してはこれに限定されず、少なくとも下孔64に親液膜66が上述したように形成されればよい。ノズル形成基板62のインク滴吐出側の表面(インク吐出面)62Aに親液膜66を形成する場合は、下孔64のみに撥液膜を形成する場合に比べて親液膜66の形成が容易になる。また、本実施形態のようにインク吐出面62Aと反対側の裏面にも親液膜66を形成する場合には親液膜66の形成が更に容易になる。
次に、図5(c)に示すように、ノズル形成基板62のインク吐出面62Aに形成された親液膜66を研磨によって除去する。親液膜66の除去工程は、次工程(図5(d)参照)で形成される撥液膜68の厚みムラを防止するために行われる。
また、親液膜66を除去する際に、ノズル形成基板62のインク吐出面62Aを同時に研磨して粗化するようにしてもよい。この場合、次工程で形成される撥液膜68の密着性や撥液性が向上する。
次に、図5(d)に示すように、ノズル形成基板62のインク吐出面62Aに撥液剤を塗布し、乾燥等により固化させ、撥液膜68を形成する。例えば、撥液剤は、PTFE接着、F(フッ素)を含む高分子ポリマー等である。撥液剤の塗布方法は、接着、ディップ、スプレー、バーコート、スピンコート等である。
図7(a)、(b)は、下孔64の一部が親液膜66で塞がれている場合(図6(a)、(b)参照)の親液剤の塗布例である。このような場合における親液剤の塗布は、図7(a)に示すように、下孔64を塞ぐ親液膜66のインク吐出面62A側に隙間なく撥液剤68を塗布してもよいし、図7(b)に示すように、下孔64を塞ぐ親液膜66のインク吐出面62A側に空洞部70が形成されるように撥液剤68を塗布してもよい。
次に、図5(e)に示すように、ノズル形成基板62の下孔64の親液膜66で塞がれた部分にノズル孔51を穿孔する。一例として、ノズル孔51の孔径は約30μmである。ノズル孔51の加工手段は、レーザー加工、マイクロドリル、メタルマスクを用いたアッシング、ブラスト等である。アッシングの場合はインク吐出面62A側からノズル孔51を加工することが好ましく、ノズル孔51の寸法精度が良くなる。尚、レーザー加工やマイクロドリルはノズル孔51の加工を行う方向は特に限定されない。
このようにして、インク滴吐出側の面が撥液膜68によって構成されるとともに、ノズル孔51の内壁面が親液膜66によって構成されたノズルプレート60を製造することができる。
このようなノズルプレート60の製造方法では、ノズル形成基板62の下孔64に親液膜66を形成した後、ノズル形成基板62のインク吐出面62Aに撥液膜68を形成し、下孔64の親液膜66で塞がれた部分に下孔64の径より小さいノズル孔51を形成する。即ち、レジストに代えて親液膜66を用いることによって、ノズル孔51の内壁面に新たに親液処理を行うことなく、ノズル孔51の内壁面が親液膜66によって構成されたノズルプレート60を製造することができるので、その製造工程が簡易化する。また、レジストを用いることがないので、ノズル孔51の内部の残留レジストを要因とするノズル詰まりが生じない。
更に、SUS等の金属で構成されるノズル形成基板62に対して微小径のノズル孔51を高精度に加工することは一般的に困難であるのに対して、本発明に係るノズルプレート60の製造方法では、上述したように、ノズル形成基板62にノズル孔51より大きな径の下孔64に親液膜66を形成してからノズル孔51を形成するので、微小径のノズル孔51を高精度に形成することが可能である。
また、ノズルプレート60のインク滴吐出側と反対側の裏面に形成される親液膜66は、ノズルプレート60を他のプレート部材に接合する際の接着手段として用いることができる。即ち、接着剤を用いることなく、ノズルプレート60を他のプレート部材に接合できるので、接着剤を用いた場合のような余剰接着剤を要因とするノズル詰まりは生じない。
尚、本実施形態では、図5(c)の工程でノズル形成基板62のインク吐出面62Aに形成された親液膜66を除去しているが、この親液膜66を除去しなくても次の図5(d)の工程で撥液膜68の厚みを均一に形成できる場合には、図5(c)の工程を省略してもよい。図8は、図5(c)の工程を省略した場合に製造されるノズルプレート60の一部を表す断面図である。図8に示すように、親液膜66を除去する工程を省略した場合のノズルプレート60は、ノズル形成基板62のインク吐出面62Aに親液膜66及び撥液膜68が順番に積層される。このように親液膜66を除去する工程を省略することにより、ノズルプレート60の製造工程を更に簡略化することができる。
以上、本発明のノズルプレートの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
以上、本発明のノズルプレートの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
10…インクジェット記録装置、50…印字ヘッド、51…ノズル、52…圧力室、53…インク室ユニット、58…圧電素子、60…ノズルプレート、62…ノズル形成基板、64…下孔、66…親液膜、68…撥液膜、70…空洞部
Claims (5)
- 液滴を吐出するためのノズル孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
ノズル形成基板に前記ノズル孔より大きな径で両面を貫通する孔部を形成する孔部形成工程と、
前記孔部形成工程で形成された前記孔部の内壁面に親液膜を形成するとともに、前記孔部の少なくとも一部を塞ぐように親液膜を形成する親液膜形成工程と、
前記親液膜形成工程が行われた後に、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、
前記撥液膜形成工程が行われた後に、前記孔部の前記撥液膜で塞がれた部分に前記ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記親液膜形成工程は、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に親液膜を形成することを特徴とする請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記親液膜形成工程は、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面及びその反対側の裏面に親液膜を形成することを特徴とする請求項1に記載のノズルプレートの製造方法。
- 請求項2又は請求項3に記載のノズルプレートの製造方法であって、さらに、
前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に形成された親液膜を除去する親液膜除去工程を含み、
前記撥液膜形成工程は、前記親液膜除去工程の後に行われることを特徴するノズルプレートの製造方法。 - 前記親液膜除去工程は、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面に形成された親液膜を除去するとともに、前記ノズル形成基板の液滴吐出側の表面を粗化することを特徴とする請求項4に記載のノズルプレートの製造方法。
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