JP5974162B2 - 仮止め用仮固定材 - Google Patents
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Description
また、ガラス製や金属製などの精密電子部品等の被着体に付着した異物を取り除くことが可能な異物除去性能を有する仮固定材を提供することである。
さらには、剥離の際に生じる静電気を除去する帯電防止性能を有する仮固定材を提供することである。
即ち、シート状のベース基材と、その一方の面に固着されたシート状の高分子ゲルとからなり、搬送または加工時の電子部品の仮止め用仮固定材であって、前記高分子ゲルが、分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を1つ有する重合性単量体と分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を2つ以上有する架橋性単量体を共重合架橋した高分子マトリックス内に、少なくともポリビニルアルコール系重合体を溶解した水が保持されたゲルであり、前記ベース基材が、樹脂フィルムであり、前記高分子ゲルの表面抵抗率が、1.0×10 4 Ω/□〜1.0×10 9 Ω/□である仮止め用仮固定材である。
また、ベース基材と高分子ゲルとからなる仮固定材とすれば、柔らかなゲルをベース基材で固定することができるため、ハンドリング性に優れた仮固定材である。
高分子ゲルは、分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を1つ有する重合性単量体と分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を2つ以上有する架橋性単量体を共重合架橋した高分子マトリックス内に、少なくともポリビニルアルコール系重合体を溶解した水が保持されている。
重合性単量体の濃度は、高分子ゲル全量100重量部に対して10重量部〜40量部であることが好ましく、13重量部〜40重量部であることがより好ましい。重合性単量体の濃度を10重量部未満にして高分子ゲルを作成した場合、ゲル中の高分子マトリックスの密度が低いため、十分に腰強度の大きな高分子ゲルを得ることが出来ず、被着体から剥離する際に千切れが生じ、被着体表面に糊残りが生じやすくなる。一方、重合性単量体の濃度が40重量部を超える場合は、ポリビニルアルコールを溶解するための水が少なくなり、重合性単量体の溶解性が悪くなって、均一な高分子ゲルが得られ難くなるおそれがある。
この架橋性単量体の濃度は、高分子ゲル全量100重量部に対して好ましくは0.001重量部〜3.0重量部であり、より好ましくは0.01重量部〜1.0重量部である。架橋性単量体の濃度が3.0重量部を超えた場合、高分子マトリックスの架橋密度が高くなりすぎ、腰強度が高い反面、脆い高分子ゲルとなり、例えば、シート裁断時に裁断部端部から生じるゲルカスが異物として被着体に付着しやすくなる。一方、架橋性単量体の濃度が0.001重量部未満では架橋密度が低くなりすぎ、高分子ゲルが得られ難い。
また、ポリビニルアルコール系重合体を溶解した水を高分子マトリックス内に保持させることにより、高分子ゲル中の水分の乾燥が抑制され、経時での帯電防止性能が維持されるという効果も得られる。
分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を1つ有する重合性単量体と、分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を2つ以上有する架橋性単量体と、ポリビニルアルコール系重合体と、水と、必要により重合開始剤や添加剤とを均一に混合溶解し、モノマー配合液を製造する。そして、重合性単量体と架橋性単量体を重合架橋させることで高分子ゲルが得られる。モノマー配合液は液状のため、例えば樹脂型などに流し込んで重合架橋させると、任意の形状の高分子ゲルを製造することができる。また、一定の間隔に保持した2枚のフィルムの間にモノマー配合液を流し込んで重合架橋させれば、シート状の高分子ゲルが得られる。
重合性単量体と架橋性単量体との重合架橋は、加熱または光照射する方法、電子線やガンマ線など放射線を照射する方法が挙げられるが、放射線照射はそのための特殊な設備を要するため加熱または光照射の方が好ましい。こうした製造方法を用いると製造工程が簡素であり、連続生産も可能であるため、非常に経済的であると同時に、安定した物性の高分子ゲルを得ることができる。
ベース基材としては、樹脂フィルムを用いれば高分子ゲルを補強し、またテープ状の形態を保持することができるため好ましい。樹脂フィルムには、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリウレタン等からなる樹脂フィルムが挙げられるが、二軸延伸したPETフィルムや、OPPがより好適に用いられる。
ベース基材は高分子ゲルと一体の仮固定材として、精密部品への付着、剥離が行われるが、末端ユーザーの使い方により、高分子ゲルからベース基材を剥がして用いることも可能である。
剥離基材は、セパレータとして、精密部品への付着、剥離を行う前に末端ユーザーが高分子ゲルから引き剥がす。剥離基材の材質としても、フィルム状に成型可能な樹脂又は紙で良く、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリスチレン等からなる樹脂フィルムはその一例である。
離型処理としては、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、長鎖アルキル基含有カルバメート等の離型剤を剥離基材表面にコーティングする表面処理等が例示でき、特に、熱又は紫外線で架橋、硬化反応させる焼き付け型のシリコーンコーティングは、剥離基材表面から高分子ゲル側への離型剤の移行がし難い点で好ましい。
また、こうした離型処理はベース基材に対しても同様に施すこともできる。
柔軟性が必要な場合はベース基材や剥離基材に薄いフィルムを用いることが好ましく、剛性が必要な場合はベース基材や剥離基材に厚いフィルムを用いることが好ましい。また、厚みが0.1mmより薄い高分子ゲルを比較的表面が平坦な基板や精密電子部品等の被着体に密着させる場合にはベース基材を硬くすることで、高分子ゲルと被着体等との間にエアーが入らないように密着させ易く好ましい。
高分子ゲルとなる重合前のモノマー配合液を作製し、この組成物を所定の形状の型枠に流し込み、次いで重合させることで高分子ゲルを得る。得られた高分子ゲルとベース基材は、ベース基材上に高分子ゲルを載せることや、高分子ゲルにベース基材を貼り合わせたりすることで一体化させる。こうして仮固定材を得ることができる。
また、ベース基材上に高分子ゲルとなる重合前のモノマー配合液を塗布し、一定の厚みに保持した状態で重合させることもできる。ベース基材とともに剥離基材を用いる場合には、これらの基材を一定間隔に保持した間に先の組成物を流し込み重合させて仮固定材を得ることもできる。
但し、高分子ゲル単独での仮固定材は、厚みの薄い場合には被着体に対して密着するように貼着することが困難であり、ハンドリング性の良好な塊として用いることが好ましい。
実験例1: 重合性単量体としてアクリルアミドを24重量部 、架橋性単量体としてN,N’−メチレンビスアクリルアミドを0.05重量部 、可塑剤または湿潤剤としてのグリセリンを45重量部、ポリビニルアルコール系重合体として粘度平均重合度1800でありケン化度88%のポリビニルアルコール(日本酢ビ・ポバール株式会社製、商品名:ポバールVP−18)を3重量部と、そして溶媒としての水と、を合計で99.9重量部になるように混合し溶解攪拌した。次に、この組成物に対して、光重合開始剤として1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−プロパン−1−オン(BASFジャパン株式会社製、商品名:IRUGACURE2959)0.1重量部加え、更に攪拌して溶解しモノマー配合液を得た。得られたモノマー配合液を100μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(ベース基材)上に滴下し、その上からシリコーンコーティングされた38μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(セパレータ)を被せた。そして、これらのフィルムの間で配合液が均一に押し広げられ、高分子ゲルの厚さが0.3mmになるように固定した。これにメタルハライドランプを使用して、エネルギー量2000mJ/cm2の紫外線を照射し、重合架橋反応を行って、一方面にベース基材、他方面にセパレータが貼り付けられた試料1となる厚さ438μmの仮固定材を得た。
実験例8,9: 実験例8および実験例9では、上記実験例1でモノマー配合液を重合架橋反応した高分子ゲルに代えて、アクリル系粘着剤またはシリコーンゲルを用い、実験例1と同様のベース基材上に貼着した。セパレータ、粘着剤やゲルの厚さは実験例1と同じである。こうして試料8および試料9となる仮固定材を作製した。ここで、アクリル系粘着剤は帯電防止ポリエステル粘着シート6671 #25(株式会社寺岡製作所製)を、シリコーンゲルはGel film 0(Gel-Pak社製)をそれぞれ用いている。
実験例10: 実験例10では、実験例1のモノマー配合液を金型に注入し実験例1と同様に紫外線を照射した後、金型から高分子ゲルを取り出した。こうしてベース基材やセパレータが無く厚さ300μmの板状の高分子ゲルからなる試料10の仮固定材を作製した。
上記実験例1〜実験例10で得られた試料1〜試料10の仮固定材の有する仮固定性、異物除去性、帯電防止性について、以下に示す測定や観察を行い評価した。それらの結果も表1に示した。
仮固定性は、高分子ゲルの有する剥離力(粘着力)と糊残りから評価した。
i)剥離力(90度引き剥がしSUS剥離力):
各試料を幅20mm、長さ120mmとなるように裁断し、セパレータであるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、ベース基材と高分子ゲルからなる試験片を作製した。なお、試料10については他の試料と同じベース基材を貼り付けた。そして、被着体を800番で鏡面仕上げされたSUS304の鋼板(SUS板)として、試験片の高分子ゲル面を被着体に貼付し、2kgの圧着ローラーを1往復して圧着させた。試験片の端(短辺側)をチャックで固定し、テンシロン万能試験機(オリエンテック社製、RTE−1210)により、温度23±5℃、湿度55±10%、試験速度300mm / min.の条件で90度方向に引き剥がした際の応力(剥離力)(N/20mm)を測定した。剥離力が0.1N/20mm〜1.0N/20mmである場合を“○”、0.1N/20mm未満であるか、1.0N/20mmを超える場合を“×”とした。
上記「i)剥離力」の測定を行った後、SUS板の表面に高分子ゲルの一部が糊残りとして付着しているかどうかを観察した。そして、高分子ゲルが完全に剥離し糊残りが無く、試験前とSUS板の表面状態が同じに見える場合を“○”、糊残りは無いが表面が曇ったりするなどSUS板の表面状態が試験前とやや異なって見える場合を“△”、糊残りが見られる場合を“×”と評価した。
異物除去性は以下に示す方法で異物除去率を測定し評価した。
iii)異物除去率:
各試料を30mm角となるように裁断し、セパレータであるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離してベース基材と高分子ゲルからなる試験片を作製する。そして、800番で鏡面仕上げされたSUS304の鋼板上の区画2×2mm中に平均粒径が200μmのアクリル粒子(テクポリマーMBX-200 [平均粒子径200μm、積水化成品工業社製)を180メッシュと250メッシュでオンオフカットしたもの])を敷きつめ、その上に上記試験片の高分子ゲル面を貼り付け、2kgの圧着ローラーを1往復して圧着させた。5分放置後に上記試験片を剥離し、デジタルマイクロスコープ(KEYENCE、VH−5000)にて試験片貼付箇所を撮像し(100倍)、鋼板上にあるアクリル粒子の個数をカウントし、試験片の貼付前のアクリル粒子の個数との関係から次式により転着率を算出し、異物除去率(%)とした。
また、試料10については30mm角となるように裁断し、前記アクリル粒子を敷きつめた上に貼り付け、さらにその上に各試料のベース基材と同じフィルムを載せてから、各試料と同様に圧着ローラーで圧着した。それ以外は各試料と同様である。
(式中、“AN”は剥離後にSUS板上(2mm×2mmの区画中)に残留してい るアクリル粒子の個数を示す。また、“BN”は剥離前にSUS板上(2mm ×2mmの区画中)に存在するアクリル粒子の個数を示す。)
この異物除去率が80%以上の場合を“○”、80%未満の場合を“×”とした。また、SUS鋼板の上に慎重に試験片を貼り付けないとSUS鋼板と試験片との間にエアーが入り試験結果にバラツキが生じて異物除去率を算出し難い場合を“△”とした。
なお、試料7〜試料9については、仮固定性や帯電防止性が好ましくないことから実験を行わなかった。
帯電防止性は高分子ゲルの表面抵抗率から評価した。
iv)表面抵抗率:
各試料について100mm角以上の面積に裁断し、セパレータであるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して試験片を作製した。試料10については100mm角以上の面積に裁断して試験片を作製した。そしてこの高分子ゲル面上の表面抵抗率(Ω/□)を表面抵抗計(トレック・ジャパン社製、本体:Model−152、プローブ:152P−CR)を用いて測定した。測定環境は、温度23±5℃、湿度55±10%で実施した。表面抵抗率が、1.0×104Ω/□〜1.0×109Ω/□である場合を“○”、1.0×109Ω/□を超える場合を“×”とした。また、1.0×104Ω/□未満である場合を“△”とした。“△”としたのは、帯電防止性能としては良好であるが、表面抵抗率が低いため電子部品に悪影響を及ぼすおそれがあるからである。
各試料の性能評価結果は表1に示したとおりであるが、これらから以下の検討を行った。
試料1〜試料3の仮固定材は、仮固定性、異物除去性、帯電防止性の何れにも優れていた。
ポリビニルアルコール系重合体を含まない試料7は、糊残りを起こし被着体への汚染が懸念される結果となった。
高分子ゲルに代えてシリコーンゲルを用いた試料9は、シリコーンゲルの表面抵抗が計測できないほど高く帯電防止性が悪かった。
上記実験例1〜実験例10で得られた試料1〜試料10の仮固定材について、精密電子部品製造時の微小製品の仮固定性について、さらに以下の方法で評価した。
各試料を30mm角にカットし、セパレータを剥がして市販されているガラスチップ(1辺の長さが5mm以下、キューブ状)を高分子ゲルの上にピンセットで置いた。そしてこの各試料を入れることができるプラスチックケースを準備し、そのプラスチックケース内に各試料を封入した。この際、ベース基材がある試料は、このベース基材側を両面テープでプラスチックケースに固着し、ベース基材の無い試料は、ガラスチップを置いた面と反対面をそのままプラスチックケースに固着した。
そして、このプラスチックケースを1mの高さから落下させて、ガラスチップがずれていないか目視で確認した(落下試験)。また、ピンセットでガラスチップを高分子ゲルから取り外す際のピックアップ性(取り外し易さ)についても確認した(ピックアップ試験)。
ピックアップ試験については、試料1〜3,5,6,10については、ガラスチップを高分子ゲルから容易に剥離することができ良好であった。また、試料4についてはピックアップ性に問題無い範囲であるがガラスチップとともに高分子ゲルがやや持ち上がってから剥離した。そうした一方で、試料7についてはガラスチップ表面に糊残りが発生し、試料8についてはガラスチップが強固に固着して剥がれず、試料9についてはガラスチップが高分子ゲルごと持ち上がってしまいピックアップ性に問題があった。
Claims (7)
- シート状のベース基材と、その一方の面に固着されたシート状の高分子ゲルとからなり、搬送または加工時の電子部品の仮止め用仮固定材であって、
前記高分子ゲルが、分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を1つ有する重合性単量体と分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を2つ以上有する架橋性単量体を共重合架橋した高分子マトリックス内に、少なくともポリビニルアルコール系重合体を溶解した水が保持されたゲルであり、
前記ベース基材が、樹脂フィルムであり、
前記高分子ゲルの表面抵抗率が、1.0×10 4 Ω/□〜1.0×10 9 Ω/□である仮止め用仮固定材。 - 前記高分子ゲルの90度引き剥がしSUS剥離力が、0.1N/20mm〜1.0N/20mmである請求項1記載の仮止め用仮固定材。
- 前記高分子ゲルの異物除去率が、80%以上である請求項1または請求項2記載の仮止め用仮固定材。
- 前記高分子ゲルの前記ベース基材を固着した面とは反対面に剥離基材を有する請求項1〜請求項3何れか1項記載の仮止め用仮固定材。
- 高分子ゲルからなる、搬送または加工時の電子部品の仮止め用仮固定材であって、
前記高分子ゲルが、分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を1つ有する重合性単量体と分子内に重合性を有する炭素―炭素二重結合を2つ以上有する架橋性単量体を共重合架橋した高分子マトリックス内に、少なくともポリビニルアルコール系重合体を溶解した水が保持されたゲルであり、
前記高分子ゲルの表面抵抗率が、1.0×10 4 Ω/□〜1.0×10 9 Ω/□である仮止め用仮固定材。 - 前記ポリビニルアルコール系重合体の重合度が、粘度平均重合度において500〜3000である請求項1〜5の何れか一項に記載の仮止め用仮固定材。
- 前記ポリビニルアルコール系重合体のケン化度が、80〜98%である請求項1〜6の何れか一項に記載の仮止め用仮固定材。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071329 | 2013-03-29 | ||
JP2013071329 | 2013-03-29 | ||
PCT/JP2014/058164 WO2014157128A1 (ja) | 2013-03-29 | 2014-03-25 | 仮固定材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5974162B2 true JP5974162B2 (ja) | 2016-08-23 |
JPWO2014157128A1 JPWO2014157128A1 (ja) | 2017-02-16 |
Family
ID=51624099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015508506A Active JP5974162B2 (ja) | 2013-03-29 | 2014-03-25 | 仮止め用仮固定材 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160272849A1 (ja) |
JP (1) | JP5974162B2 (ja) |
WO (1) | WO2014157128A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6589766B2 (ja) * | 2015-08-18 | 2019-10-16 | 信越化学工業株式会社 | ウエハ加工用接着材、ウエハ積層体及び薄型ウエハの製造方法 |
JP2020019842A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 積水化成品工業株式会社 | ハイドロゲル |
WO2023238676A1 (ja) * | 2022-06-10 | 2023-12-14 | ナガセケムテックス株式会社 | 部品捕捉用水溶性粘着組成物及び部品捕捉用水溶性粘着シート並びに電子部品の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3410202B2 (ja) * | 1993-04-28 | 2003-05-26 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | ウェハ貼着用粘着シートおよびこれを用いた半導体装置の製造方法 |
AU4743896A (en) * | 1995-12-29 | 1997-07-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Polar, lipophilic pressure-sensitive adhesive compositions and medical devices using same |
JP4601105B2 (ja) * | 1999-12-24 | 2010-12-22 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 導電性接着剤及び生体電極 |
JP4194400B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2008-12-10 | 積水化成品工業株式会社 | 高強度含水ゲルおよびその製造方法 |
EP2420544A4 (en) * | 2009-04-16 | 2017-05-10 | LG Chem, Ltd. | Adhesive composition |
JP5552409B2 (ja) * | 2010-09-28 | 2014-07-16 | 積水化成品工業株式会社 | 粘着性高分子ゲル及び粘着シート |
-
2014
- 2014-03-25 WO PCT/JP2014/058164 patent/WO2014157128A1/ja active Application Filing
- 2014-03-25 JP JP2015508506A patent/JP5974162B2/ja active Active
- 2014-03-25 US US14/778,413 patent/US20160272849A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2014157128A1 (ja) | 2017-02-16 |
US20160272849A1 (en) | 2016-09-22 |
WO2014157128A1 (ja) | 2014-10-02 |
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