JP5970241B2 - 容量性負荷バイアス回路 - Google Patents

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本発明は、MEMSマイクロフォン、タッチパネル等の容量性負荷にバイアス電圧を供給するための容量性負荷バイアス回路に関する。
MEMSマイクロフォンにバイアス電圧を供給する際は、そのバイアス電圧は音声帯域で低ノイズでなければならず、そのために一般的にはバイアス電圧の供給路にローパスフィルタが挿入される(例えば、特許文献1)。そして、そのローパスフィルタのカットオフ周波数は音声帯域の信号成分を完全にカットする必要から数Hzに設定される。このカットオフ周波数を実現するためには、そのローパスフィルタを半導体集積回路に内蔵する場合は、ローパスフィルタを構成するキャパシタの容量値は最大でもpFのオーダーにならざるを得ないので、抵抗の値はGΩのオーダーにする必要がある。そこで、この高い抵抗値を実現するために、通常の抵抗ではなく、ダイオードの平衡状態の抵抗が使用される。
図4に従来の容量性負荷バイアス回路10Dを示す。11はチャージポンプ等で構成された一定値のバイアス電圧を出力する電圧出力回路、13は抵抗としてのダイオードD1とキャパシタC1とからなるカットオフ周波数が数Hzのローパスフィルタ、12は1又は複数個を並列接続したMOSトランジスタ等からなるESD(静電気放電)対策用の過電圧保護素子、14は出力端子、15は出力端子14に接続されたMEMSマイクロフォン、16は増幅器、R2は抵抗である。ダイオードD1は、図5に示すように、容量性負荷バイアス回路10Dの通常動作時に流れる小電流で高抵抗を示すので、この抵抗をフィルタ抵抗として使用している。
特開2008−153981号公報
ところが、過電圧保護素子12にはリーク電流が通常流れ、そのリーク電流は過電圧保護素子12のESD耐性が大きいほど大きくなる。この大きなリーク電流は電圧出力回路11からローパスフィルタ13のダイオードD1を流れるので、図5に示すように、そのダイオードD1の抵抗値が小さくなって、ローパスフィルタ13のカットオフ周波数が高くなり、出力端子14に電圧出力回路11で発生した音声帯域のノイズ成分が出力し、MEMSマイクロフォン15の特性を悪化させる恐れがある。
本発明の目的は、過電圧保護素子にリーク電流が流れても、そのリーク電流がダイオードを使用したローパスフィルタに流れないようにして、そのローパスフィルタのカットオフ周波数が変動しないようにした容量性負荷バイアス回路を提供することである。
上記目的を達成するために、請求項1にかかる発明の容量性負荷バイアス回路は、バイアス電圧を出力する電圧出力回路と、該電圧出力回路の出力側と接地との間に接続した過電圧保護素子と、前記電圧出力回路の出力側にアノードを接続したダイオードおよび該ダイオードのカソードと接地間に接続したキャパシタを有するローパスフィルタとを備え、該ローパスフィルタの前記ダイオードのカソードと前記キャパシタとの共通接続点を容量性負荷が接続される出力端子に接続してなることを特徴とする。
請求項2にかかる発明は、請求項1に記載の容量性負荷バイアス回路において、前記キャパシタに直列に減流抵抗を接続したことを特徴とする。
本発明によれば、電圧出力回路の出力側と接地との間に過電圧保護素子を接続しているので、その過電圧保護素子に電圧出力回路からリーク電流が流れても、そのリーク電流はローパスフィルタには流れないので、そのローパスフィルタのカットオフ周波数が変動することはなく、電圧出力回路で発生した不要なノイズ成分をそのローパスフィルタで完全にカットすることができる。また、過電圧保護素子のリーク電流がローパスフィルタのカットオフ周波数に影響を及ばさないことから、その過電圧保護素子の耐性を向上させるべくその面積を大きくする、つまり過電圧保護素子の並列接続数を多くすることができる。また、そのローパスフィルタのキャパシタに直列に減流抵抗を接続することで、出力端子に過電圧が印加した際にそのキャパシタに流れる過電流を減流させることができ、出力端子から離れた箇所に過電圧保護素子を接続したことによるキャパシタの破壊を防止することができる。
本発明の第1の実施例の容量性負荷バイアス回路の回路図である。 本発明の第2の実施例の容量性負荷バイアス回路の回路図である。 本発明の第3の実施例の容量性負荷バイアス回路の回路図である。 従来の容量性負荷バイアス回路の回路図である。 ダイオードの電流/電圧特性図である。
<第1の実施例>
図1に本発明の第1の実施例の容量性負荷バイアス回路10Aを示す。本実施例では、過電圧保護素子12を、電圧出力回路11とローパスフィルタ13の間、つまり電圧出力回路11の出力側と接地との間に接続している。
本実施例では、通常動作時に過電圧保護素子12にリーク電流が流れる場合、そのリーク電流は電圧出力回路11から過電圧保護素子12に直接流れ、ローパスフィルタ13には流れない。このため、ローパスフィルタ13のダイオードD1に流れる電流はリーク電流の影響を受けることがないので、その抵抗値が低下することはなく、そのローパスフィルタ13のカットオフ周波数が設定値から上昇することはない。
なお、過電圧保護素子12は、外部に晒される出力端子14に静電気放電の過電圧が印加した際に導通し過電流を吸収して内部回路(この場合は電圧出力回路11)を保護するものであり、従来では出力端子14に直接接続されていたので、その機能を十分発揮できた。一方、本実施例は出力端子14と過電圧保護素子12との間にローパスフィルタ13が介在することになるが、過電圧保護素子12の導通電圧はローパスフィルタ13のダイオードD1やキャパシタC1の耐圧に比べて十分低く設定されるので、出力端子14に過電圧が印加した際でも、ローパスフィルタ13が破壊される前に過電圧保護素子12を動作させることが可能となる。
また本実施例では、この過電圧保護素子12のリーク電流が問題とならないので、その過電圧保護素子として多数のトランジスタを並列接続して過電流を分散させESD耐性を向上させることができる。
<第2の実施例>
図2に本発明の第2の実施例の容量性負荷バイアス回路10Bを示す。本実施例では、第1の実施例において、そのローパスフィルタ13のキャパシタC1に直列に抵抗R1を接続している。このように抵抗R1を接続すると、出力端子14に過電圧が印加してキャパシタC1に過電流が流れる場合、その過電流を制限してキャパシタC1の保護を向上させることができる。この抵抗R1の抵抗値は数kΩ程度で十分であり、GΩオーダーの抵抗値を示すダイオードD1の抵抗値に比べてほぼ無視できる程度であるので、ローパスフィルタ13のカットオフ周波数が実質的に変動することはない。
<第3の実施例>
図3に第3の実施例の容量性負荷バイアス回路10Cを示す。本実施例では、ローパスフィルタ13のダイオードD1に別ダイオードD2を逆並列接続している。このように、別のダイオードD2を逆並列接続すれば、MEMSマイクロフォン15やキャパシタC1から電圧出力回路11の方向に流れる電流を吸収することができる。
<その他の実施例>
以上はMEMSマイクロフォン15を負荷としてそこにバイアスを供給するバイアス回路10A〜10Cについて説明したが、バイアスが必要な容量性負荷であれば、他の負荷についても同様に実施することができる。この場合、ローパスフィルタ13のカットオフ周波数はその容量性負荷に応じて設定される。
10A〜10D:容量性負荷バイアス回路、11:電圧出力回路、12:過電圧保護素子、13:ローパスフィルタ、14:出力端子、15:MEMSマイクロフォン、16:増幅器

Claims (2)

  1. バイアス電圧を出力する電圧出力回路と、該電圧出力回路の出力側と接地との間に接続した過電圧保護素子と、前記電圧出力回路の出力側にアノードを接続したダイオードおよび該ダイオードのカソードと接地間に接続したキャパシタを有するローパスフィルタとを備え、該ローパスフィルタの前記ダイオードのカソードと前記キャパシタとの共通接続点を容量性負荷が接続される出力端子に接続してなることを特徴とする容量性負荷バイアス回路。
  2. 請求項1に記載の容量性負荷バイアス回路において、
    前記キャパシタに直列に減流抵抗を接続したことを特徴とする容量性負荷バイアス回路。
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