JP5967982B2 - プラズマcvd法により形成された化学蒸着膜 - Google Patents
プラズマcvd法により形成された化学蒸着膜 Download PDFInfo
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Description
本発明の積層体は、上記第2化学蒸着膜と第3化学蒸着膜とが交互に複数層形成されていることが好ましい。
また、上記第2化学蒸着膜は炭素原子を含んでいることが好ましい。
無機物を含む基材をさらに備え、上記化学蒸着膜の第2化学蒸着膜と第3化学蒸着膜とが積層されていない面が上記無機物に接するように、上記化学蒸着膜が上記基材上に積層されていることが好ましい。
また、好ましくは、上記無機物はAg、Al、Mo、又は、ZnO、ITO、BZO、AZOならびにGZOからなる群から選択された何れかの透明電極膜を含んでいる。
本発明の積層体の製造方法では、上記酸素原子を含有する有機ケイ素化合物がヘキサメチルジシロキサンであることが好ましい。
本発明の化学蒸着膜は、プラズマCVD法により形成され、ケイ素原子、酸素原子、炭素原子及び水素原子を含み、酸素原子の濃度が10〜35元素%である。水素原子を含有させ、さらに酸素原子濃度を上記範囲とすることにより、基材上に形成された場合に、基材における無機物と有機物の両物質に対して、優れた密着性を得ることができる。上記酸素原子の濃度は、10〜25元素%であることが好ましく、10〜20元素%であることがより好ましく、10〜15元素%であることがさらに好ましい。上記基材における有機物としては、PETフィルム等のポリマーフィルムが挙げられる。また、無機物としては、Ag、Al、Mo、又は、ZnO、ITO、BZO、AZOならびにGZO等の透明電極膜などが挙げられる。
本発明において、化学蒸着膜中の酸素原子の濃度は、ラザフォード後方散乱分光法(RBS)、及び、水素前方散乱分析法を用いた組成分析(HFS)により決定できる。ケイ素原子、炭素原子の濃度も同様に測定できる。水素原子についてはRBSでは分析できないため、HFSにより測定する。
本発明の積層体は、上記の化学蒸着膜(以下、密着層と称する場合がある)、第2化学蒸着膜(以下、フレキシブル層と称する場合がある)及び第3化学蒸着膜(以下、バリア層と称する場合がある)とを備えている。化学蒸着膜の一方の面上に、第2化学蒸着膜と第3化学蒸着膜とが、それぞれプラズマCVD法により形成される。密着層上にフレキシブル層が、さらにフレキシブル層上にバリア層が形成されていても良く、また、密着層上にバリア層が、さらにバリア層上にフレキシブル層が形成されていても良い。
本発明の有機エレクトロルミネセンス素子または薄膜太陽電池セルは、上記積層体20を含んでいる。このため、密着性とバリア性に優れている。具体的には、有機EL素子や太陽電池等に存在する透明導電膜や金属膜との密着性に優れ、バリア膜の破断も生じにくい。
本発明の積層体の製造方法は、基材上に、酸素原子を含有する有機ケイ素化合物からなる原料ガスを用いてプラズマCVD法により化学蒸着膜を形成する第1工程と;第1工程で形成した化学蒸着膜上に、有機ケイ素化合物と水素原子を含有する化合物とからなる原料ガスを用いてプラズマCVD法により、第2化学蒸着膜を形成する第2工程と;第2工程で形成した化学蒸着膜上に、有機ケイ素化合物と酸素原子を含有する化合物とからなる原料ガスを用いてプラズマCVD法により、第3化学蒸着膜を形成する第3工程とを含んでいる。第2、3工程を交互に複数回行うことにより、複数層の第2化学蒸着膜と第3化学蒸着膜が交互に積層された積層体を得ることができる。
プラスチックフィルムの表面の一部に、厚さ200nmのAg層を形成した。このフィルムを、Ag層を有する面がループアンテナ側に向くように、成膜室内の基材固定台上に配置した。次に排気系により成膜室の内圧を9.9×10−5Pa以下になるまで減圧した。成膜室内の減圧が完了後、HMDSOガスを成膜室に導入した。HMDSOガスの導入速度は、3sccm〜45sccmとした。
実施例1において、フレキシブル層とバリア層を、HMDSOガス(導入速度3sccm〜30sccm)を用いて形成した以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
実施例1において、フレキシブル層を、HMDSOガス(導入速度3sccm〜30sccm)を用いて形成した以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
実施例1において、バリア層を、HMDSOガス(導入速度3sccm〜20sccm)を用いて形成した以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
実施例1において、密着層をO2ガス(導入速度20sccm〜1000sccm)とHMDSOガス(導入速度3sccm〜20sccm)を用いて形成した以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚は実施例1と同様であった。元素濃度は、密着層の酸素元素濃度が25元素%、ケイ素原子濃度が15元素%、水素原子濃度が40元素%、炭素原子濃度が20元素%であった。
実施例1において、密着層をO2ガス(導入速度20sccm〜1000sccm)とHMDSガス(導入速度3sccm〜20sccm)を用い、プラズマ電力を0.1kW〜0.5kWとした以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚は実施例1と同様であった。元素濃度は、密着層の酸素元素濃度が30元素%、ケイ素原子濃度が22元素%、水素原子濃度が30元素%、炭素原子濃度が18元素%であった。
実施例1において、密着層をO2ガス(導入速度20sccm〜1000sccm)とHMDSガス(導入速度3sccm〜20sccm)を用い、プラズマ電力を0.6kW〜0.9kWとした以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚は実施例1と同様であった。元素濃度は、密着層の酸素元素濃度が35元素%、ケイ素原子濃度が22元素%、水素原子濃度が28元素%、炭素原子濃度が15元素%であった。
密着層を形成しなかった以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
密着層形成の代わりに、フレキシブル層の蒸着前に基材にO2プラズマ処理をした以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
密着層形成の代わりに、フレキシブル層の蒸着前に基材にAr+H2プラズマ処理をした以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
密着層形成の代わりに、フレキシブル層の蒸着前に基材にN2プラズマ処理をした以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚及び各元素の濃度は、実施例1と同様であった。
実施例1において、密着層をO2ガス(導入速度20sccm〜1000sccm)とHMDSガス(導入速度3sccm〜20sccm)を用い、プラズマ電力を1kW〜10kWとした以外は実施例1と同様にして、積層体を得た。各層の膜厚は実施例1と同様であった。元素濃度は、密着層の酸素元素濃度が64元素%、ケイ素原子濃度が32元素%、水素原子濃度が4元素%であった。
実施例1〜7ならびに比較例1〜5で得られた積層体の基材との密着性を、以下のようにして評価した。図6にテープ剥離試験方法の概略を示す。テープ剥離試験は、まず、基材51上に形成された密着膜及び封止膜の積層体60に、粘着力2.7N/10mmのカプトンテープ52を貼着する。このカプトンテープ52を、引張速度20mm/minで垂直方向上向きに、基材51に対して90度の角度で引っ張る。この場合に、積層体60の剥がれの程度を観察した。このテストを、基材51のAg層上の積層体60と、プラスチックフィルム表面上の積層体60について、カプトンテープ52を貼り付けて以下の基準で評価した。結果を表2に示す。
◎:全く剥離していない
○:ほとんど剥離していない
△:半分程度剥離した
×:全て剥離した
実施例1〜7の積層体について、バリア性の評価を行った。バリア性の評価は、Caテストにより行った。Caテストは、カルシウム(金属色)がガスバリア膜を通過してきた水分と反応して水酸化カルシウム(無色透明)になることを利用し、色の変化(=透過してきた水分量)からガスバリア膜の水蒸気透過度(g/m2/day)を算出する方法である。色の変化の化学式を以下に示す。
Ca(金属色)+2H2O→Ca(OH)2(透明)+H2
実施例1〜4ならびに比較例1〜3の各条件で、図7に示すようなバリア性評価用のサンプルをそれぞれ作製し、Caテストを行った。図7において、53はガラス基板、54はCa蒸着膜、70は評価する膜である。結果は、実施例1の積層体では9.0×10−5g/m2/day、実施例2の積層体では3.0×10−4g/m2/day、実施例3の積層体では2.0×10−4g/m2/day、実施例4の積層体では1.8×10−4g/m2/dayであった。実施例5〜7の積層体においても、バリア性はいずれも優れていた。
2 密着層
4 フレキシブル層
6 バリア層
7 基材
8 有機物
9 無機物
10 積層体(密着層+フレキシブル層+バリア層)
21 プラスチック基板
22 ITO膜
23 発電層(有機系発電層又は無機系発電層)
26 Ag電極
27 封止膜
50 薄膜太陽電池セル
52 カプトンテープ
53 ガラス基板
54 Ca蒸着膜
Claims (7)
- 10元素%以上30元素%未満のケイ素原子と、10元素%以上35元素%未満の酸素原子と、10元素%以上30元素%未満の炭素原子と、10元素%以上50元素%未満の水素原子と、を含む第1化学蒸着膜と、
前記第1化学蒸着膜上に形成され、10元素%以上20元素%未満のケイ素原子と、10元素%以下の酸素原子と、20元素%以上35元素%未満の炭素原子と、30元素%以上55元素%未満の水素原子と、を含む第2化学蒸着膜と、
前記第2化学蒸着膜上に形成され、30元素%以上35元素%未満のケイ素原子と、35元素%超70元素%以下の酸素原子と、5元素%以下の水素原子と、を含む第3化学蒸着膜と、
を備えた、積層体。 - 前記第2化学蒸着膜と前記第3化学蒸着膜とが交互に複数層形成された、請求項1記載の積層体。
- 無機物を含む基材をさらに備え、
前記第1化学蒸着膜の前記第2化学蒸着膜と前記第3化学蒸着膜とが積層されていない面が該無機物に接するように、前記第1化学蒸着膜が該基材上に積層された、請求項1又は2に記載の積層体。 - 前記無機物がAg、Al、Mo、又は、ZnO、ITO、BZO、AZOならびにGZOからなる群から選択された何れかの透明電極膜を含む、請求項3記載の積層体。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の積層体を含む、有機エレクトロルミネセンス素子または薄膜太陽電池セル。
- 前記基材上に、酸素原子を含有する有機ケイ素化合物からなる原料ガスを用いてプラズマCVD法により前記第1化学蒸着膜を形成する第1工程と、
前記第1化学蒸着膜上に、有機ケイ素化合物とH2若しくは水素原子を含有する化合物とからなる原料ガスを用いてプラズマCVD法により、前記第2化学蒸着膜を形成する第2工程と、
前記第2化学蒸着膜上に、有機ケイ素化合物とO2若しくは酸素原子を含有する化合物とからなる原料ガスを用いてプラズマCVD法により、前記第3化学蒸着膜を形成する第3工程と、
を含む、請求項3又は4記載の積層体の製造方法。 - 前記酸素原子を含有する有機ケイ素化合物がヘキサメチルジシロキサンである、請求項6記載の積層体の製造方法。
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