JP5965698B2 - 回折格子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1に本発明の実施形態に係る回折格子のレプリカの断面図を示す。図1に示したように、本実施形態の回折格子は、厚さが0.5mm〜8mmのガラス基板20と、ガラス基板の一方の面に形成された凹凸パターンを有する樹脂からなる微細構造体10と、ガラス基板の他方の面に形成された平坦な樹脂層30を備えている。ここで、ガラス基板の他方の面に形成された平坦な樹脂層30を設けることによって、ガラス基板20の面精度がλ/2よりも大きくても樹脂層30の平坦性によって、微細構造体10がガラス基板20の面精度の影響を受けることがなく、面精度に優れた回折格子とすることができる。これにより、使用するガラス基板としては、面精度がλ/2よりも大きいものを使用できるため、従来よりも厚さの薄い8mm以下のガラス基板を使用することができる。また、ガラス基板の厚さは小型、軽量化の観点からはより薄いことが好ましく、柔軟性付与の観点から3mm以下とすることが好ましい。一方、ガラス基板は、微細構造体10がそれ単体では面の形状を維持できないので、それを支える役目がある。そのため、少なくとも自重でガラス基板が湾曲しない程度の剛性を有している必要があり、0.5mmよりも厚いことが好ましい。よって、ガラス基板20の厚さとしては、0.5mm〜8mmの範囲であることが好ましく、1mm〜3mmの範囲とすることがより望ましい。また、ガラス基板20の面精度としては、λ/2よりも大きいものを使用でき、フロートガラスと呼ばれる汎用のガラス板や、研磨加工が施されてガラス板などを用いることができる。また、樹脂の微細構造体10や樹脂層30との密着性の向上を図るために、表面に梨地加工を施したガラス板を用いることもできる。微細構造体10の厚さとしては、所定の凹凸パターンを形成できる厚さを有していれば良く、例えば、100nm〜300μm程度の厚さを有していればよい。また、樹脂層30の厚さとしては、平坦性を確保できる厚さがあればよく、例えば、100nm〜300μm程度の厚さを有していればよい。回折格子の大きさとしては、正方形、長方形の形状で一辺が20mm〜140mm程度のものが一般的に用いられる。
本発明の実施形態に係る回折格子のレプリカの変形例を説明する。図3に本実施形態の回折格子のレプリカの断面図を示す。第一の実施形態との相違点は、ガラス基板20の凹凸パターン形成面側に形成される樹脂層を微細構造体10と樹脂層31の2層構造とした点である。本実施形態の特徴としては、面精度がλ/2よりも大きいガラス基板20の両面に面精度がλ/2以下となる平坦な樹脂層30、31を形成し、その表面に微細構造体10を形成したことにある。このような構成においても、ガラス基板20の面精度に関わらず、優れた面精度を有する回折格子のレプリカを作製することができる。
5 オプティカルフラットプレート
10 微細構造体
20、21 ガラス基板
30、31 樹脂層
40、41 光硬化性樹脂
50 UVランプ
Claims (3)
- ガラス基板の表面に凹凸パターンを有する微細構造体が形成された回折格子の製造方法において、
両面に第一の光硬化性樹脂が供給された厚さが0.5mm〜8mmのガラス基板を、面精度がλ/2以下の1対の平板上で挟んで加圧し、前記第一の光硬化性樹脂を硬化させて前記ガラス基板の両面に樹脂層を形成する工程と、
前記ガラス基板の一方の樹脂層の表面に第二の光硬化性樹脂を供給し、前記第二の光硬化性樹脂に凹凸パターンを有する原盤を押し付けて、前記第二の光硬化性樹脂を前記原盤の凹凸パターンに充填する工程と、
前記第二の光硬化性樹脂を硬化する工程と、
前記第二の光硬化性樹脂から前記原盤を剥離することで、前記ガラス基板の一方の面に凹凸パターンを有する微細構造体を形成する工程と、
を有することを特徴とする回折格子の製造方法。 - 請求項1において、前記ガラス基板の面精度がλ/2よりも大きいことを特徴とする回折格子の製造方法。
- 請求項1において、前記微細構造体の表面に金属層を形成する工程を有することを特徴とする回折格子の製造方法。
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