JPH05185441A - 樹脂層複製方法 - Google Patents

樹脂層複製方法

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JPH05185441A
JPH05185441A JP185092A JP185092A JPH05185441A JP H05185441 A JPH05185441 A JP H05185441A JP 185092 A JP185092 A JP 185092A JP 185092 A JP185092 A JP 185092A JP H05185441 A JPH05185441 A JP H05185441A
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substrate
stamper
resin material
duplicate
photopolymer
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Withdrawn
Application number
JP185092A
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English (en)
Inventor
Junji Tomita
順二 富田
Takahiro Matsuda
高弘 松田
Mamoru Hokari
守 穂刈
Shin Eguchi
伸 江口
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Moulding By Coating Moulds (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板上に加重体を載せて樹脂材の層を拡散さ
せる樹脂層複製方法に関し、反り又はウェッジのある複
製基板を用いても、光の走査線を一定に保つことがで
き、コストの改善を図ることができる樹脂層複製方法の
提供を目的とする。 【構成】 上面の所定領域に所定形状が形成され、水平
に配置されたスタンパ13上に、硬化性を有する液状の樹
脂材14を滴下し、樹脂材14の上に基板15を載せて樹脂材
14をスタンパ13上に拡散させてから、樹脂材14を硬化さ
せる樹脂層複製方法であって、基板15上に、基板に反り
がある時に水平に矯正可能な重量を有する加重体17を載
置して樹脂材14を拡散させてから硬化させる構成とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子写真印刷装置や読
取装置に用いられるホログラムディスク等の樹脂層の複
製方法に係り、特に基板上に加重体を載せて樹脂材の層
を拡散させる樹脂層複製方法に関するものである。
【0002】近来、レーザプリンタ、複写機、及びファ
クシミリ装置等に組み込まれた電子写真印刷装置で光源
にレーザダイオードを利用した露光走査装置が広く利用
されている。
【0003】このような装置ではレーザ光源からの光を
走査ビームに形成する光学系にホログラムが用いられて
おり、このホログラムは原板を二光束干渉露光法によっ
て処理して作成されるが、露光時に干渉光に揺らぎがあ
ると高効率のホログラムが得られにくい。そこでホログ
ラムを精度良く、安価且つ多量に作成するためには、マ
スタホログラムから複製することが必須である。
【0004】
【従来の技術】図9に電子写真印刷装置の内部側面図を
例示している。図において、1はカセット装着部、2は
カセット、3は繰出しローラ、4は搬送路、5はプリン
タ部、6はスタッカを示す。
【0005】プリンタ部5は、光学ユニット50、感光ド
ラム51、クリーナ52、帯電部53、現像部54、転写部55、
除電部56、及び定着部57で構成されている。カセット装
着部1にはカセット2がセットされ、カセット2には所
望サイズの印刷用紙 (以下用紙という)2a が集積収容さ
れている。
【0006】このような構成を有するので、装置の電源
ONで定着部57が所定温度に加熱されて印刷可能状態と
なり、印刷指示信号に基いてカセット2から用紙2aを矢
印A方向に繰り出し、搬送路4を搬送して感光ドラム51
の下方へ送る。
【0007】この時までに感光ドラム51は除電部56によ
って除電され、クリーナ52により残留トナーがクリーニ
ングされ、改めて帯電部53で帯電されている。光学ユニ
ット50から照射されたレーザビームによる光データが感
光ドラム51を走査して露光し、感光ドラム51に形成され
た静電像は現像部54でトナー画像に現像されて、転写部
55で用紙2aに転写された後、定着部57で加熱及び加圧さ
れて定着されて用紙2aはスタッカ6へ送出される。
【0008】次に、図10の斜視図により光学ユニット50
の構成及び露光プロセスの概要を説明する。図に示すよ
うに、光学ユニット50は、例えば半導体レーザ (レーザ
ダイオード) で構成された光源7、光源7より照射され
たレーザビームを所定方向へ回折, 集光するホログラム
レンズ8、及びモータMによって高速回転し、ホログラ
ムレンズ8からのビームを回折して走査ビームを形成す
るホログラムディスク9で構成されている。
【0009】従って光源7から照射されたビームはホロ
グラムレンズ8を経て回転するホログラムディスク9で
走査ビームに形成されて感光ドラム51を露光する。上記
ホログラムディスク9は、例えばガラス或いは樹脂の基
板に微細な凹凸を有する樹脂膜を付着させて作成された
もので、入射光を所定方向に回折して透過(或いは反
射)させる機能を有する。
【0010】本発明はこのホログラムディスク9の原板
の複製方法に関するものであり、以下、従来の作成方法
の工程を図11により詳述する。なお、ホログラムディス
ク9は中心孔を有するので、断面は左右に別れるが簡単
にするために、何れか一方の断面で説明する。
【0011】図11(a) 〜(f) に示すように、 (a) ホログラフィック露光法によって基板10上にレジス
トパターン11を作成する。
【0012】(b) レジストパターン11の上にNiをスパッ
タする。 (c) Niの電鋳を行う。 (d) 基板10を剥離して裏打ち板12で裏打ちするとスタン
パ13aができ上がる。
【0013】(e) スタンパ13a上に紫外線(以下UVと
いう)硬化性樹脂、例えば所定の粘度を有する透明な液
状のフォトポリマ14aを滴下して、例えば透明なガラス
で形成された複製基板15aを載せて、フォトポリマ14a
をスタンパ13a上に拡散させる。
【0014】この時、フォトポリマ14aは複製基板15a
の自重、或いは毛細管現象によって外側に広がる。そし
て複製基板15aの上方からUVを照射してフォトポリマ
14aを硬化させる。
【0015】(f) フォトポリマ14aが付着した複製基板
15aをスタンパ13aから剥離する。このようにしてプラ
スチック層を有するホログラムディスク16(実際には原
板で二光束干渉露光法によって処理して前記ホログラム
ディスク9となるが、以下この説明を省略する)が複製
される。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】上記従来方法によれ
ば、ガラス等で形成された複製基板は面精度及び平行度
の良いものを必要としており、図12(a) に示すように、
反りのある複製基板15bを用いると、(イ)〜(ロ)に示す
ようにフォトポリマ14aが複製され、図12(b) に示すよ
うに、複製基板のウェッジθ1,θ2 が大きくなる。
【0017】また図13(a) に示すように、ウェッジのあ
る複製基板15cを用いると、(イ)〜(ロ)に示すようにフ
ォトポリマ14aが複製され、図13(b) に示すように、複
製基板のウェッジθ3,θ4 はそのまま残ってしまう。
【0018】そのため複製ホログラムの位置により光の
屈折する方向が異なり、走査線を一定に保つことができ
ない。従って面精度及び平行度の良い複製基板を必要と
し、このような精度の高い複製基板を使用するためにホ
ログラムディスクのコストが高くなるという問題点があ
る。
【0019】本発明は、反りまたはウェッジのある複製
基板を用いても、光の走査線を一定に保つことができ、
コストの改善を図ることができる樹脂層複製方法を提供
することを目的としている。
【0020】
【課題を解決するための手段】第1図は本発明の原理工
程図である。図において、15は基板、13は上面の所定領
域に所定形状が形成され、水平に配置されたスタンパ、
14は硬化性を有する液状の樹脂材、17は基板15に反りが
ある時に基板15の上に載せると水平に矯正可能な重量を
有する加重体である。
【0021】従ってスタンパ13上に樹脂材14を滴下して
樹脂材14の上に基板15を載せ、更に基板15の上に加重体
17を載置して、樹脂材14を拡散して硬化させるように構
成されている。
【0022】
【作用】図1(a) に示すように、スタンパ13上に樹脂材
14を滴下して基板15を載せて、基板15の上に加重体17を
載せると、(b) に示すように、基板15に反りがあれば加
重体17の重さによって基板15が水平に矯正される。そし
て樹脂材14が拡散してから硬化させると、基板15の下面
に硬化した樹脂材14が付着する。
【0023】そこでスタンパ13から樹脂材14が付着した
基板15を剥離すると、(c) に示すように、基板15の反り
は元に戻るが、基板15の上面から樹脂材14の下面までの
厚さが均一になり、例えばホログラムディスクの場合に
は光の屈折する方向が同じになり、走査線を一定に保つ
ことができるので、反りのある安価な基板15を使用する
ことができ、コストの改善を図ることができる。
【0024】
【実施例】図2及び図3により本発明の一実施例(請求
項1及び請求項2に対応する)を説明する。図2のフォ
トポリマ14a、複製基板15b及びガラス板17aは、図1
の樹脂材14、基板15及び加重体17に夫々対応している。
【0025】図2は反りのある複製基板15bを用いた場
合を示している。ガラス板17aは、複製基板15bの全面
を覆う大きさの円板状で、複製基板15bと中心が一致す
るように中心孔18(請求項2の位置決め孔に対応)が設
けられ、例えばUVの吸収の少ない石英ガラスで下面が
高い面精度に形成されている。
【0026】図2(a) に示すように、スタンパ13aの中
心孔19をベース20に設けられた位置決め軸21に挿入して
ベース20上に載置し、液状のフォトポリマ14aをスタン
パ13a上に滴下し、複製基板15bの中心孔22及びガラス
板17aの中心孔18を位置決め軸21に挿入してフォトポリ
マ14a上に載せると、図2(b) に示すように、複製基板
15bはガラス板17aの重さによって面精度の良い面で反
りが矯正されて水平にフォトポリマ14a上に位置する。
【0027】そして複製基板15b及びガラス板17aの重
さによりフォトポリマ14aがスタンパ13a上に拡散す
る。拡散完了後に上方向からUVを照射してフォトポリ
マ14aを硬化させる。
【0028】そこで図2(c) に示すように、ガラス板17
aを上方へ外し、硬化して複製基板15bに付着したフォ
トポリマ14aを複製基板15bと共にスタンパ13aから剥
離すると、複製基板15bの反りが元に戻るが、ウェッジ
の少ないホログラムディスク16aが得られる。
【0029】このようにして得られたホログラムディス
ク16aは、図3に示すように、フォトポリマ14aが付着
したすべての箇所で複製基板15bの上面からフォトポリ
マ14aの下面まではほぼ均一な寸法(a1≒a2) となって
いるので、ウェッジが少なく光の走査線を一定に保つこ
とができ、従って反りのある廉価な複製基板15bを用い
ても光学特性の良いホログラムディスクが得られ、コス
トの改善を図ることができる。
【0030】図4に異なる実施例(1)(請求項3に対応す
る) を示す。図4が図2で説明した実施例と異なるの
は、スタンパ13a上の支持リングで複製基板15bを支持
して、スタンパ13aに負荷が掛からないようにしたこと
である。
【0031】図4において、支持リング23(請求項3の
第1の支持部材に対応)は、リング状に形成され上下両
面が高い面精度を有しいる。図4(a) に示すように、ス
タンパ13aの周辺部上に支持リング23を置き、液状のフ
ォトポリマ14aをスタンパ13a上に滴下し、複製基板15
bの中心孔22及びガラス板17aの中心孔18を位置決め軸
21に挿入すると、図4(b) に示すように、複製基板15b
は周辺部下面が支持リング23で支持されると共に、ガラ
ス板17aの重さによって面精度の良い面で反りが矯正さ
れて水平にフォトポリマ14a上に位置する。
【0032】従って複製基板15b及びガラス板17aの重
さは支持リング23で支持されるので、スタンパ13aには
負荷が掛からない。そして複製基板15b及びガラス板17
aの重さによりフォトポリマ14aがスタンパ13a上に拡
散する。拡散完了後に上方向からUVを照射してフォト
ポリマ14aを硬化させる。
【0033】そこで図4(c) に示すように、ガラス板17
aを外し、スタンパ13aから硬化して複製基板15bに付
着したフォトポリマ14aを複製基板15bと共に剥離する
と、複製基板15bの反りが元に戻るが、ウェッジの少な
いホログラムディスク16aが得られる。
【0034】このようにして、スタンパ13aに複製基板
15b及びガラス板17aの荷重が掛からず、スタンパ13a
の耐久性を向上させ、長寿命化が図れて複製回数を増加
させることができる。
【0035】図5に異なる実施例(2)(請求項4に対応す
る) を示す。図5が図2の実施例及び図4の異なる実施
例(1) と異なるのは、複製基板15b及びガラス板17aを
支持部材で保持して降下させてスタンパ13aの面より上
方で止めて、スタンパ13aに負担が掛からないようにし
たことである。
【0036】図5において、支持部材24は、図2の実施
例で説明した位置決め軸21に代えて、上部に位置決め軸
21a及びフランジ状に形成した支持部25 (請求項4の第
2の支持部材に対応)を備えた昇降軸26から成り、ベー
ス20aの中心孔27に昇降軸26が嵌合してベース20a下方
の図示省略した昇降駆動機構によって上下移動する。
【0037】昇降駆動機構が昇降軸26を降下させる場合
は、支持部25の上面がスタンパ13aの面より僅か上方に
きた時に停止する。図5(a) に示すように、液状のフォ
トポリマ14aをスタンパ13a上に滴下し、複製基板15b
の中心孔22及びガラス板17aの中心孔18を位置決め軸21
aに挿入して支持部25で支持し、昇降軸26を昇降駆動機
構によって降下させて、支持部25の上面がスタンパ13a
の面より上方で停止する。
【0038】すると、図5(b) に示すように、複製基板
15bは支持部25の上面で支持されると共に、ガラス板17
aの重さによって面精度の良い面で反りが矯正されて水
平にフォトポリマ14a上に位置する。従って複製基板15
b及びガラス板17aの重さは支持部25で支持されるの
で、スタンパ13aには負荷が掛からない。
【0039】そして複製基板15b及びガラス板17aの重
さによりフォトポリマ14aがスタンパ13a上に拡散す
る。拡散完了後に上方向からUVを照射してフォトポリ
マ14aを硬化させる。
【0040】そこで図5(c) に示すように、ガラス板17
aを外し、昇降軸26を上昇させて硬化して複製基板15b
に付着したフォトポリマ14aを複製基板15bと共にスタ
ンパ13aから剥離すると、複製基板15bの反りが元に戻
るが、ウェッジの少ないホログラムディスク16aが得ら
れる。
【0041】このようにして、スタンパ13aに複製基板
15b及びガラス板17aの荷重が掛からず、スタンパ13a
の耐久性を向上させ、長寿命化が図れて複製回数を増加
させることができる。
【0042】また図6に異なる実施例(3)(請求項3及び
請求項4に対応する) を示す。図6は図4及び図5の異
なる実施例(1) 及び(2) を組み合わせたものである。即
ち、図6(a) に示すように、スタンパ13a上にフォトポ
リマ14aを滴下し、位置決め軸21aによって位置決めし
て、複製基板15b及びガラス板17aを支持部25で支持
し、昇降軸26を降下させて、支持部25の上面がスタンパ
13aの面より上方で停止すると、図6(b) に示すよう
に、複製基板15bの外周部下面が支持リング23に支持さ
れ、中央部下面が支持部25で支持される。そしてガラス
板17aの重さによって面精度の良い面で反りが矯正され
て水平にフォトポリマ14a上に位置する。
【0043】フォトポリマ14aが拡散してからUV照射
によりフォトポリマ14aを硬化させ、図6(c) に示すよ
うに、硬化完了後にガラス板17aを外し、昇降軸26を上
昇させてスタンパ13aから複製基板15bに付着したフォ
トポリマ14aを複製基板15bと共に剥離すると、複製基
板15bの反りが元に戻るが、ウェッジの少ないホログラ
ムディスク16aが得られる。
【0044】このようにして、支持リング23と支持部25
を組み合わせて使用したことにより、一層効果的にウェ
ッジの少ないホログラムディスク16aが得られると共
に、スタンパ13aの長寿命化が図れる。
【0045】更に図7に異なる実施例(4)(請求項5に対
応する)を示す。図7は図4〜図6の支持リング23及び
支持部25の上面に弾性部材を設けて、ウェッジのある複
製基板15cを使用した場合に対応するものである。
【0046】即ち、図7(a) に示すように、支持リング
23a及び支持部25aは夫々上面に、例えばゴムで形成さ
れたOリング27,28(請求項5の弾性部材に対応)を備え
ており、液状のフォトポリマ14aをスタンパ13a上に滴
下し、複製基板15cの中心孔22a及びガラス板17aの中
心孔18を位置決め軸21aに挿入して支持部25a上のOリ
ング28で支持し、昇降軸26を降下させて、支持部25aの
上面がスタンパ13aの面より上方で停止する。
【0047】すると、図7(b) に示すように、複製基板
15cは支持部25aのOリング28及び支持リング23aのO
リング27で支持され、ガラス板17aの重さによってウェ
ッジがOリング27,28 の弾力に吸収されて、複製基板15
cの上面がスタンパ13aに平行なガラス板17aの面精度
の良い面に沿わせることができ、複製基板15cの下面が
傾斜した姿勢でフォトポリマ14a上に位置する。
【0048】フォトポリマ14aは複製基板15c及びガラ
ス板17aによってスタンパ13a上に拡散し、拡散が完了
すると上方向からUV照射してフォトポリマ14aを硬化
させ、図7(c) に示すように、硬化完了後にガラス板21
aを外して、昇降軸26を上昇させてスタンパ13aから複
製基板15cに付着したフォトポリマ14aを複製基板15b
と共に剥離する。
【0049】このようにして得られたホログラムディス
ク16bは、図8に示すように、フォトポリマ14aが付着
したすべての箇所で複製基板15cの上面からフォトポリ
マ14aの下面まではほぼ均一な寸法(b1≒b2) となって
いるので、ウェッジが少なく光の走査線を一定に保つこ
とができ、従ってウェッジのある廉価な複製基板15cを
用いても光学特性の良いホログラムディスクが得られ、
コストの改善を図ることができる。
【0050】しかも複製基板15c及びガラス板17aの重
さは支持リング23a及び支持部25aで支持されるので、
スタンパ13aには負荷が掛からず、スタンパ13aの長寿
命化が図れる。
【0051】上記異なる実施例(4) では、Oリング27を
備えた支持リング23a及びOリング28を備えた支持部25
aを使用した場合を説明したが、何れか一方だけを使用
しても良く、相当の効果が得られる。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、請
求項1では、スタンパ上に硬化性を有する液状の樹脂材
を滴下し、樹脂材の上に基板を載せて拡散させてから、
樹脂材を硬化させる樹脂層複製方法であって、基板上
に、基板に反りがある時に水平に矯正可能な重量を有す
る加重体を載置して樹脂材を拡散させてから硬化させる
ことにより、スタンパから樹脂材が付着した基板を剥離
すると、基板の反りは元に戻るが、基板の上面から樹脂
材の下面までの厚さが均一になり、反りのある安価な基
板を使用することができ、コストの改善を図ることがで
きる。
【0053】請求項2では、加重体を少なくとも1つの
位置決め孔で位置決めして基板上に載置することによ
り、基板の反りの矯正を均一に行うことができる。請求
項3では、スタンパの所定領域外の外周部上面に、平面
を規定する第1の支持部材を配置して、樹脂材の拡散が
完了した時に複数の第1の支持部材により基板を水平に
保持することにより、スタンパに負荷が掛からず、スタ
ンパの耐久性を向上させ、長寿命化を図ることができ
る。
【0054】請求項4では、樹脂材の拡散が完了する前
に、基板のスタンパの所定領域外の中央部に対応する位
置を高い面精度を有する第2の支持部材で保持して、樹
脂材の拡散の進行に応じて拡散が完了する位置まで第2
の支持部材を降下させることにより、スタンパに負荷が
掛からず、スタンパの耐久性を向上させ、長寿命化を図
ることができる。
【0055】請求項5では、基板は第1の支持部材或い
は第2の支持部材の上面に設けた弾性部材を介して保持
されることにより、ウェッジのある基板でも上面を加重
体の面精度の良い面に沿わせることができ、基板の上面
から樹脂材の下面までの厚さが均一になり、ウェッジの
ある廉価な基板を使用することができ、コストの改善を
図ることができる。という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の原理工程図
【図2】 本発明の実施例を示す工程図
【図3】 実施例の説明図
【図4】 異なる実施例(1) を示す工程図
【図5】 異なる実施例(2) を示す工程図
【図6】 異なる実施例(3) を示す工程図
【図7】 異なる実施例(4) を示す工程図
【図8】 異なる実施例(4) の説明図
【図9】 電子写真印刷装置の内部側面図
【図10】 光学ユニットを示す斜視図
【図11】 従来例のホログラムディスク複製の工程図
【図12】 反りのある複製基板の使用例を示す図
【図13】 ウェッジのある複製基板の使用例を示す図
【符号の説明】
13,13aはスタンパ、 14は樹脂材、 14
aはフォトポリマ、15は基板、 15a〜15
cは複製基板、 17は加重体、17aはガラス板、
23,23aは支持リング、 25,25aは支持部、27,28 は
Oリング、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江口 伸 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上面の所定領域に所定形状が形成され、
    水平に配置されたスタンパ(13)上に、硬化性を有する液
    状の樹脂材(14)を滴下し、 該樹脂材(14)の上に基板(15)を載せて該樹脂材(14)を該
    スタンパ(13)上に拡散させてから、該樹脂材(14)を硬化
    させる樹脂層複製方法であって、 前記基板(15)上に、該基板(15)に反りがある時に水平に
    矯正可能な重量を有する加重体(17)を載置して前記樹脂
    材(14)を拡散させてから硬化させることを特徴とする樹
    脂層複製方法。
  2. 【請求項2】 前記加重体(17)は少なくとも1つの位置
    決め孔を有し、該位置決め孔で位置決めして前記基板(1
    5)上に載置することを特徴とする請求項1の樹脂層複製
    方法。
  3. 【請求項3】 前記スタンパ(13)の前記所定領域外の外
    周部上面に、平面を規定する第1の支持部材を配置し
    て、前記樹脂材(14)の拡散が完了した時に該複数の第1
    の支持部材により前記基板(15)を水平に保持することを
    特徴とする請求項1或いは請求項2の樹脂層複製方法。
  4. 【請求項4】 前記樹脂材(14)の拡散が完了する前に、
    前記基板(15)の前記スタンパ(13)の前記所定領域外の中
    央部に対応する位置を高い面精度を有する第2の支持部
    材で保持して、該樹脂材(14)の拡散の進行に応じて拡散
    が完了する位置まで該第2の支持部材を降下させること
    を特徴とする請求項1、請求項2或いは請求項3の樹脂
    層複製方法。
  5. 【請求項5】 前記基板(15)は前記第1の支持部材或い
    は前記第2の支持部材の上面に設けた弾性部材を介して
    保持されることを特徴とする請求項3及び請求項4の樹
    脂層複製方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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