JP5963600B2 - 除振装置 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 除振台と、
前記除振台を支持する複数の支持機構と、
前記除振台に力を加える複数のアクチュエータと、
前記除振台における振動を表す振動データを取得する取得部と、
前記取得部で取得された前記振動データに基づいて、前記除振台における振動を低減させるために前記除振台に加えるべき力を算出する第1算出部と、
前記第1算出部で算出された力を、前記複数のアクチュエータのそれぞれが前記除振台に加える力に分配する分配部と、を有し、
前記分配部は、
前記第1算出部で算出された前記力を、第1周波数帯域の力成分のみを含む第1力と、前記第1周波数帯域よりも低い第2周波数帯域の力成分のみを含む第2力とに分離する分離部と、
前記第1算出部で算出された力を前記複数のアクチュエータのそれぞれに分配するための分配比率を周波数帯域ごとに有し、前記分配比率のうち第1分配比率を前記第1力に乗算した結果と、前記第1分配比率とは異なる第2分配比率を前記第2力に乗算した結果とを足し合わせることで前記複数のアクチュエータのそれぞれが前記除振台に加える力を算出する第2算出部と、
を含むことを特徴とする除振装置。 - 前記第1分配比率は、前記複数のアクチュエータの配置と、前記除振台の重心位置と、前記複数のアクチュエータのそれぞれが前記除振台に加える力の方向との関係に基づいて決定され、
前記第2分配比率は、前記複数のアクチュエータの配置と、前記複数の支持機構の配置及び剛性と、前記複数のアクチュエータのそれぞれが前記除振台に加える力の方向との関係に基づいて決定されることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。 - 前記取得部は、前記除振台における振動を検出することで前記振動データを取得する第1検出部、及び、前記除振台が設置される設置台の振動を検出することで前記振動データを取得する第2検出部の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の除振装置。
- 前記第1周波数帯域は、前記複数の支持機構の固有振動数よりも高い周波数を含む周波数帯域であり、
前記第2周波数帯域は、前記複数の支持機構の固有振動数よりも低い周波数を含む周波数帯域であることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の除振装置。 - 前記分配部は、前記第1算出部と前記分離部との間に、前記固有振動数における力成分を低減するフィルタを含むことを特徴とする請求項4に記載の除振装置。
- 前記第1分配比率及び前記第2分配比率は、前記複数のアクチュエータのうち1つのアクチュエータによって前記除振台に一方向の力を加えたときに前記取得部で取得される前記振動データに基づいて決定されることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 前記第1分配比率は、前記1つのアクチュエータによって前記除振台に前記複数の支持機構の固有振動数以上の周波数の力を加えたときに前記取得部で取得される前記振動データに基づいて決定されることを特徴とする請求項6に記載の除振装置。
- 前記第2分配比率は、前記1つのアクチュエータによって前記除振台に前記複数の支持機構の固有振動数よりも低い周波数の力を加えたときに前記取得部で取得される前記振動データに基づいて決定されることを特徴とする請求項6に記載の除振装置。
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