JP4457297B2 - 多自由度制御装置の逆変換方法 - Google Patents
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Description
本能動除振装置は、図4に示すように、半導体露光装置などの精密機器を搭載する除振台11、それを防振支持する支持手段と、除振台11に能動的な制御力を加えるアクチュエータとを備えた能動除振マウント12a、12b、12c、12d、除振台11の振動を検出する第1の振動検出手段13a、13b、13c、第1の振動検出手段13a、13b、13cの出力信号から除振台11の並進、回転などの各運動モードの振動信号を抽出する除振台振動運動モード抽出回路14、除振台振動運動モード抽出回路14で抽出した除振台11の各運動モードの振動信号に適切な補償演算処理を施す除振台振動補償回路15、床などの装置設置基礎16の振動を検出する第2の振動検出手段17a、17b、17c、第2の振動検出手段17a、17b、17cの出力信号から装置設置基礎16の並進、回転などの各運動モードの振動信号を抽出する装置設置基礎振動運動モード抽出回路18、装置設置基礎振動運動モード抽出回路18で抽出した装置設置基礎16の各運動モードの振動信号に適切な補償演算処理を施す装置設置基礎振動補償回路19、除振台振動補償回路15と装置設置基礎振動補償回路19の出力として得られた各運動モードの推力指令信号、モーメント指令信号を駆動回路21a、21b、21c、21dに分配する推力分配回路20、推力分配回路20の出力に基づいて能動除振マウント12a、12b、12c、12dに組み込まれたアクチュエータの駆動を行なう駆動回路21a、21b、21c、21dなどにより構成される。
能動除振マウント12a、12b、12c、12dは、除振台11を防振支持するばね、ダンパ要素、除振台11に能動的な制御力を加えるアクチュエータ等を備え、それらが装置設置基礎16と除振台11の間に、力学的に直列または並列に配置されたものである。能動除振マウント12a、12b、12c、12dに組み込まれ、除振台11に能動的な制御力を加えるアクチュエータとしては、例えばボイスコイルモータなどの電磁駆動アクチュエータ、または空気ばねの内部圧力をサーボバルブなどで調整することにより、その 発生力を制御する空気圧制御式アクチュエータ、またはその双方を用いることができる。
また、アクチュエータとして空気圧制御式アクチュエータを用いた場合、これを除振台1を支持するばね、ダンパ要素として兼用することもできる。
第1の振動検出手段13a、13b、13c、第2の振動検出手段17a、17b、17cには、加速度センサを用いることができる。
この装置において、推力分配回路20の演算式は、能動除振マウント12a、12b、12c、12dに組み込まれたアクチュエータの幾何的な配置関係によって決定される。
例えば、能動除振マウント12a、12b、12c、12dが図5のように配置されていたとする。このとき、能動除振マウント12a、12b、12c、12dに組み込まれた、除振台11に制御力を加えるアクチュエータ22a、22b、22c、22dの作用方向がそれぞれ矢印86、87、88、89の向きであるとすると、それらの発生推力Fa、Fb、Fc、Fdと、それらの合力による、除振台11の重心Gに作用する直交する水平2方向X、Yの並進推力Fx、Fy、鉛直軸まわりθzの回転モーメントMzとの関係は式(1)のようになる。
このように、従来の推力分配方法では、各アクチュエータの発生推力Fa、Fb、Fc、Fdと、それらの合力による、除振台11の重心Gに作用する直交する水平2方向X、Yの並進推力Fx、Fy、鉛直軸まわりθzの回転モーメントMzとの関係を求め、それらの式のみから、水平2方向X、Yの並進推力Fx、Fyと、鉛直軸まわりθzの回転モーメントMzの制御信号を、アクチュエータ22a、22b、22c、22dすなわち能動除振マウント12a、12b、12c、12dに組み込まれた各アクチュエータに分配する式を導出し用いていた。
例えば、Fbだけ重心からの距離が2、その他の距離が1のような場合を考える。その場合、X、Y、θz方向の3つの関係式(運動方程式)は、式(3)のようになる。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、運動方程式から得られた式に、制御対象に無理な力が作用しないという拘束条件の式をひとつ追加し、連立方程式を解くことで得られた逆変換の式を使用し、推力を分配することで、上記課題を解決できる方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、複数の自由度の指令を発生する指令発生器と、制御対象に取り付けられた複数のセンサの信号から前記複数の自由度の位置を検出する検出器と、前記複数の自由度の指令と前記複数の自由度の検出値から複数の自由度の操作量を演算する制御演算器と、該複数の自由度の操作量を複数のアクチュエータの推力指令に分配する逆変換演算器と、前記複数のアクチュエータの電流アンプと、X方向に推力を発生する2つのアクチュエータとY方向に推力を発生する2つのアクチュエータを有し、X軸とY軸とθz軸の3自由度の動作が可能な制御対象を制御する多自由度制御装置において、前記逆変換演算器は前記各アクチュエータが発生する推力を用いた制御対象の3自由度の運動方程式3つと、拘束条件の式とから導出された前記3自由度の操作量を前記4つのアクチュエータの推力指令に分配する逆変換の式を使用しており、前記拘束条件の式は、X軸の2つのアクチュエータが発生するZ軸回り(θz軸方向)のモーメントの和と、Y軸の2つのアクチュエータが発生するZ軸回り(θz軸方向)のモーメントの和の定数倍が同じ大きさになるという式であることを特徴としている。
また、請求項3に記載の発明は、前記逆変換演算器の処理で所定の式を使用することを特徴としている。
また、本実施例および以降の実施例の説明で示す各記号の意味は、以下のようになっている。
W:ステージ質量
g:重力加速度
Iz:Z軸回りの慣性モーメント
Fxref:X軸方向の並進運動の推力指令(X軸操作量)
Fyref:Y軸方向の並進運動の推力指令(Y軸操作量)
Tzref:Z軸回りの回転運動のトルク指令(θz軸操作量)
Fy1:アクチュエータ5(x3,y3,zy)が発生するY方向の推力
Fy2:アクチュエータ6(x4,y4,zy)が発生するY方向の推力
Fx1:アクチュエータ7(x5,y5,zx)が発生するX方向の推力
Fx2:アクチュエータ8(x6,y6,zx)が発生するX方向の推力
したがって、操作量UREFに対応するのが、Fxref、Fyref、Tzrefの3つであり、推力指令FREFに対応するのが、Fy1,Fy2,Fx1,Fx2の4つである。
図3は多自由度制御装置の逆変換演算器3内部において、3自由度の操作量Fxref,Fyref,Tzrefから、4つのアクチュエータの推力指令Fy1,Fy2,Fx1,Fx2を計算する処理手順を示すフローチャートである。この図を用いて本発明の方法を順を追って説明する。
(ステップ1)ステージのX方向の運動、Y方向の運動、θz軸方向の運動に関して3つの運動方程式を立てる。本実施例の場合、各方向の運動方程式は以下のようになる。
W・x(2) = Fx1 + Fx2 ・・・(5)
W・y(2) = Fy1 + Fy2 ・・・(6)
Iz・θz(2) = -Fx1・y5 -Fx2・y6 + Fy1・x3 + Fy2・x4 ・・・(7)
ここで、x(2) 、y(2) 、θz(2) はそれぞれ x 、y 、θzの2階微分を表すものとする。
具体的には、
Fxref = W・x(2) , Fyref = W・y(2)Ix・θx(2), Tzref = Iz・θz(2)
とする。
Fxref = Fx1 + Fx2 ・・・(8)
Fyref = Fy1 + Fy2 ・・・(9)
Tzref = -Fx1・y5 -Fx2・y6 + Fy1・x3 + Fy2・x4 ・・・(10)
(ステップ3)Fxref,Fyref,Tzrefの3つの力を、Fy1,Fy2,Fx1,Fx2の4つのアクチュエータの推力で実現するためには、式(8)から式(10)の3つの連立方程式では、Fy1,Fy2,Fx1,Fx2の4つのアクチュエータのうちひとつが冗長である。よって、もうひとつ制御対象に無理な力が作用しないような拘束条件の式を追加する。
ここでは、拘束条件の式として、X軸の2つのアクチュエータが発生するZ軸回り(θz軸方向)のモーメントの和と、Y軸の2つのアクチュエータが発生するZ軸回り(θz軸方向)のモーメントの和の定数倍が同じ大きさになるという式(11)を用いる。
Fx1・y5 + Fx2・y6= (-Fy1・x3 - Fy2・x4)・α (α:定数) ・・・(11)
本実施例では、定数α=1として以下の式を導出するが、αの値は任意に設定できる。その場合、X軸方向へ推力を発生できるアクチュエータの容量と、Y軸方向へ推力を発生できるアクチュエータの容量や、それぞれの重心位置との関係などを考慮して適当に定数を決めればよい。
Fy1 = -x4/(x3-x4)・Fyref + 1/{2(x3-x4)}・Tzref ・・・(12)
Fy2 = x3/(x3-x4)・Fyref - 1/{2(x3-x4)}・Tzref ・・・(13)
Fx1 = -y6/(y5-y6)・Fxref - 1/{2(y5-y6)}・Tzref ・・・(14)
Fx2 = y5/(y5-y6)・Fxref + 1/{2(y5-y6)}・Tzref ・・・(15)
このようにして求まった式(12)から式(15)を用いて、3の逆変換演算器内では、3自由度の指令Fxref,Fyref,Tzrefから、4つのアクチュエータの推力指令Fy1,Fy2,Fx1,Fx2を計算すればよいのである。
このように冗長なアクチュエータに対して、ステップ3のような拘束条件を用いることで、ステージに無理な力が作用しないように、3自由度の指令Fxref,Fyref,Tzrefを、4つのアクチュエータの推力指令Fy1,Fy2,Fx1,Fx2に分配することができる。
2 制御演算器
3 逆変換演算器
4 電流アンプ
5 制御対象
6 検出器
Claims (3)
- 複数の自由度の指令を発生する指令発生器と、
制御対象に取り付けられた複数のセンサの信号から前記複数の自由度の位置を検出する検出器と、
前記複数の自由度の指令と前記複数の自由度の検出値から複数の自由度の操作量を演算する制御演算器と、
該複数の自由度の操作量を複数のアクチュエータの推力指令に分配する逆変換演算器と、
前記複数のアクチュエータの電流アンプと、
X方向に推力を発生する2つのアクチュエータとY方向に推力を発生する2つのアクチュエータを有し、
X軸とY軸とθz軸の3自由度の動作が可能な制御対象を制御する多自由度制御装置において、
前記逆変換演算器は前記各アクチュエータが発生する推力を用いた制御対象の3自由度の運動方程式3つと、拘束条件の式とから導出された前記3自由度の操作量を前記4つのアクチュエータの推力指令に分配する逆変換の式を使用しており、
前記拘束条件の式は、X軸の2つのアクチュエータが発生するZ軸回り(θz軸方向)のモーメントの和と、Y軸の2つのアクチュエータが発生するZ軸回り(θz軸方向)のモーメントの和の定数倍が同じ大きさになるという式であることを特徴とする多自由度制御装置の逆変換方法。 - 前記拘束条件の式として、以下の式を用いることを特徴とする請求項1記載の多自由度制御装置の逆変換方法。
Fx1・y5 + Fx2・y6= (-Fy1・x3 - Fy2・x4)・α (α:定数)
ここで、各記号の意味は、
Fy1:アクチュエータ5(x3,y3,zy)が発生するY方向の推力
Fy2:アクチュエータ6(x4,y4,zy)が発生するY方向の推力
Fx1:アクチュエータ7(x5,y5,zx)が発生するX方向の推力
Fx2:アクチュエータ8(x6,y6,zx)が発生するX方向の推力
とする。 - 前記逆変換演算器の処理で以下の式を使用することを特徴とする請求項1または2記載の多自由度制御装置の逆変換方法。
Fy1 = -x4/(x3-x4)・Fyref + 1/{2(x3-x4)}・Tzref
Fy2 = x3/(x3-x4)・Fyref - 1/{2(x3-x4)}・Tzref
Fx1 = -y6/(y5-y6)・Fxref - 1/{2(y5-y6)}・Tzref
Fx2 = y5/(y5-y6)・Fxref + 1/{2(y5-y6)}・Tzref
ここで、各記号の意味は、
Fxref:X軸方向の並進運動の推力指令(X軸操作量)
Fyref:Y軸方向の並進運動の推力指令(Y軸操作量)
Tzref:Z軸回りの回転運動のトルク指令(θz軸操作量)
Fy1:アクチュエータ5(x3,y3,zy)が発生するY方向の推力
Fy2:アクチュエータ6(x4,y4,zy)が発生するY方向の推力
Fx1:アクチュエータ7(x5,y5,zx)が発生するX方向の推力
Fx2:アクチュエータ8(x6,y6,zx)が発生するX方向の推力
とする。
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