JP5956297B2 - Icチップの接合方法 - Google Patents
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Description
〔第1実施形態〕
第1実施形態は、接着剤30に対して予熱を行うことによって加温による樹脂流動を活発化させ、さらにICチップ接合時に低速で加圧することによって、導電粒子の捕捉量向上を実現するものである。以下では、樹脂流動が活発化する温度まで接着剤30を加熱することを「予熱」、予熱する工程を「予熱工程」と称する。
〔第2実施形態〕
第2実施形態は、アンテナパターン16に導電粒子32の捕捉量を多くするための窪みを形成する方式である。
〔第1実施形態+第2実施形態〕
次に、第2実施形態に第1実施形態の処理を組み合わせた例を説明する。第1実施形態は、上下ヘッドの加熱/加圧のタイミングに関するものであるから、第2実施形態を組み合わせることができる。また、実施形態1−1及び実施形態1−2のいずれでも、第2実施形態を組み合わせることができる。
以上のように、本実施形態によれば、Al配線に対する圧接接合工法において、高信頼度の接合方法が得られる。
上記実施形態では、RFIDタグに適用した例を示したが、他の製品であっても、ICチップをパターンに接合する工程を含む製品、例えば、小型の情報機器、マイクロチップ、腕時計等であれば、本実施形態を適用することができる。
12 ICチップ
14 基材
16 アンテナパターン
16a 窪み
18 バンプ
30 接着剤
32 導電粒子
50 ディスペンサ
60 マウンタ
70 上ヘッド
80 下ヘッド
90 吸着部
Claims (20)
- ICチップのバンプと基材のパターンの間に熱硬化型で異方性の導電接着剤層を形成し、前記ICチップの上側に配置され上下方向に移動可能で加熱部を備える上ヘッドと、前記基材の下側に配置され上下方向に移動可能で加熱部を備える下ヘッドからなる上下ヘッドによって、前記ICチップと基材を挟んで加熱および加圧して接合するICチップの接合方法において、
液状の前記導電接着剤を前記基材のパターン上に塗布する工程と、
前記導電接着剤が塗布された前記基材のパターン上に前記ICチップのバンプを搭載する搭載工程と、
前記ICチップの搭載後、前記塗布された導電接着剤を、樹脂流動を発生させる温度で予熱する予熱工程と、
前記予熱工程の後に、前記上下ヘッドで挟んで加圧して、前記導電接着剤の硬化温度まで加熱する接合工程と、を含む
ことを特徴とするICチップの接合方法。 - 前記予熱工程において、前記上ヘッドを前記ICチップに接触させるか、あるいは前記下ヘッドを前記基材に接触させて予熱を行う
ことを特徴とする請求項1に記載のICチップの接合方法。 - 前記予熱工程において、前記導電接着剤に樹脂流動を発生させる温度は、90°C〜130°Cである
ことを特徴とする請求項1に記載のICチップの接合方法。 - 前記接合工程では、前記下ヘッドを所定位置まで上昇させて固定しておき、上ヘッドを下降させることで加圧する
ことを特徴とする請求項1に記載のICチップの接合方法。 - 前記上ヘッドによる加圧時の下降速度は、5mm/sec以下である
ことを特徴とする請求項4に記載のICチップの接合方法。 - 前記予熱工程において、前記上ヘッドを前記ICチップに接触させて予熱する場合には、前記ICチップ及び前記基材の高さを前記上ヘッド寄りの位置まで上げておき、下降する上ヘッドと接触後に、前記ICチップと前記基材を前記上ヘッドと同じ速度で下降させ、当該下降中に前記予熱を行う
ことを特徴とする請求項2に記載のICチップの接合方法。 - 前記予熱工程では、前記下ヘッドの周囲に設けられる吸着部によって前記基材の下面を吸着する
ことを特徴とする請求項1に記載のICチップの接合方法。 - 前記搭載工程では、前記ICチップを前記基材に加圧して、前記基材のパターンの表面に前記ICチップのバンプによる窪みを形成させる
ことを特徴とする請求項1に記載のICチップの接合方法。 - 前記ICチップを前記基材に加圧する加圧力は、50MPa以上である
ことを特徴とする請求項8に記載のICチップの接合方法。 - 前記ICチップは、RFIDタグ用のICチップで、前記パターンはアンテナパターンである
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のICチップの接合方法。 - ICチップのバンプと基材のパターンの間に熱硬化型で異方性の導電接着剤層が形成された前記ICチップと基材を挟んで加熱および加圧して接合するものであって、前記ICチップの上側にあって上下方向に移動可能で加熱部を備える上ヘッドと、前記基材の下側にあって上下方向に移動可能で加熱部を備える下ヘッドからなる上下ヘッドを有するICチップの接合装置において、
前記上下ヘッドは、液状の前記導電接着剤が塗布された前記基材のパターン上に搭載された前記ICチップに対して、前記塗布された導電接着剤を樹脂流動を発生させる温度で予熱し、当該予熱の後に、前記ICチップと前記基材を挟んで加圧し、硬化温度まで加熱する
ことを特徴とするICチップの接合装置。 - 前記下ヘッドの周囲に、前記予熱の際に前記基材の下面を吸着する吸着部を備える
ことを特徴とする請求項11に記載のICチップの接合装置。 - ICチップのバンプと基材のパターンの間に熱硬化型で異方性の導電接着剤層を形成し、前記ICチップの上側にあって上下方向に移動可能な上ヘッドと、前記基材の下側にあって上下方向に移動可能な下ヘッドからなる上下ヘッドによって、前記ICチップと基材を挟んで加熱および加圧して接合するICチップの接合方法において,
液状の前記導電接着剤を前記基材のパターン上に塗布する工程と、
前記導電接着剤が塗布された基材のパターン上に前記ICチップのバンプを乗せて、前記乗せたICチップを前記基材に加圧して、前記パターンの表面に前記ICチップのバンプによる窪みを形成する搭載工程と、
前記搭載工程から搬送された前記ICチップが搭載されかつ窪みが形成された基材と前記ICチップを、前記上下ヘッドで挟んで加圧して、前記導電接着剤の硬化温度まで加熱する接合工程と、を含む
ことを特徴とするICチップの接合方法。 - 前記搭載工程において前記ICチップを前記基材に加圧する加圧力は、50MPa以上である
ことを特徴とする請求項13に記載のICチップの接合方法。 - 前記上ヘッド及び前記下ヘッドには、それぞれ加熱部が備えられ、
前記搭載工程によって前記バンプにより前記パターンの表面に窪みを形成した後、前記上ヘッドを前記ICチップに接触させるか、あるいは前記下ヘッドを前記基材に接触させて、前記塗布された導電接着剤を硬化温度以下で予熱する予熱工程を有し、
前記予熱工程の後に、前記接合工程が行われる
ことを特徴とする請求項13に記載のICチップの接合方法。 - 前記予熱工程において、前記予熱の温度は、前記導電接着剤に樹脂流動を発生させる温度である
ことを特徴とする請求項15に記載のICチップの接合方法。 - 前記予熱工程において、前記導電接着剤に樹脂流動を発生させる温度は、90°C〜130°Cである
ことを特徴とする請求項15に記載のICチップの接合方法。 - 前記ICチップは、RFIDタグ用のICチップで、前記パターンはアンテナパターンである
ことを特徴とする請求項13乃至17のいずれか1項に記載のICチップの接合方法。 - ICチップのバンプと基材のパターンの間に熱硬化型で異方性の導電接着剤層を形成し、前記ICチップの上側にあって上下方向に移動可能な上ヘッドと、前記基材の下側にあって上下方向に移動可能な下ヘッドからなる上下ヘッドによって、前記ICチップと基材を挟んで加熱および加圧して接合するICチップの接合装置において、
液状の前記導電接着剤が塗布された基材のパターン上に前記ICチップのバンプを乗せて、前記パターンの表面に前記ICチップのバンプによる窪みが形成されるように、前記ICチップを前記基材に加圧するマウンタと、
前記マウンタにより前記ICチップが搭載されて前記窪みが形成された前記基材と前記ICチップとを挟んで加熱および加圧する上下ヘッドとを備える
ことを特徴とするICチップの接合装置。 - 請求項1乃至9、請求項13乃至17のいずれか1項に記載のICチップの接合方法によって、ICチップのバンプと基材のアンテナパターンとを接合する
ことを特徴とするRFIDタグのインレットの製造方法。
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