JP5954567B2 - 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。

液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出するノズルが連通する個別液室と、個別液室に液体供給路を介して液体を供給する共通液室と、を有し、液体供給路に流体抵抗部を設けたものが知られている（特許文献１）。

特開２００４−２０９９２１号公報

ところで、液体吐出ヘッドの駆動周波数を向上させるためには個別液室を小型化することが好ましく、個別液室構成部材の薄層化が必要になる。個別液室が形成された流路板を薄くすると、個別液室の駆動手段に対向する面の壁部が薄くなり、駆動手段による圧力で変形し易くなる。

個別液室の駆動手段に対向する面の壁部が変形すると、駆動手段で発生した圧力が効率的に個別液室内の液体に加わらず、あるいは、個別液室内の圧力変動特性が変化し、安定した滴吐出特性が得られなくなるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、滴吐出特性を安定化しつつヘッドの小型化を図れるようにすることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出するノズルが通じる個別液室を形成する流路板と、
前記個別液室の壁面を形成する壁面部材と、
前記壁面部材側に設けられて、前記個別液室内の駆動領域に加圧する圧力を発生させる駆動手段と、を備え、
前記個別液室に液体を供給する液体供給路には、島状部が配置されて流体抵抗部が形成され、
前記島状部は、前記流路板側に裾野部を有し、前記裾野部の少なくとも一部が個別液室内の駆動領域に対向し、
前記島状部の裾野部の傾きは、液体の流れの方向に沿う断面で少なくとも二段階に変化している
構成とした。

本発明によれば、滴吐出特性を安定化しつつヘッドの小型化を図れる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの第１実施形態の説明に供する同ヘッドの外観斜視説明図である。 図１のＡ―Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。 図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。 本発明の第１実施形態の説明に供する流路部分の平面説明図である。 図４のＣ−Ｃ線に沿う側断面説明図である。 （ａ）は島状部の端部分の拡大平面説明図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ線に沿う側断面説明図である。 比較例の説明に供する流路部分の平面説明図である。 図７のＥ−Ｅ線に沿う側断面説明図である。 同実施形態の液体吐出ヘッドにおける流路板の製造方法の説明に供する島状部部分の平面説明図である。 同方法で形成した島状部の端部のＳＥＭ写真である。 （ａ）は本発明の第２実施形態の説明に供する島状部の端部分の拡大平面説明図、（ｂ）は同じくそのＦ−Ｆに沿う側断面説明図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例の説明に供する機構部の側面説明図である。 同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの第１実施形態について図１ないし図４を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの外観斜視説明図、図２は図１のＡ―Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（液室基板）２と、壁面部材である振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１１と、共通流路部材としてフレーム部材２０とを備えている。

ノズル板１、流路板２及び振動板部材３によって、液滴を吐出する複数のノズル４に連なって通じる個別流路としての個別液室（加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。）６、個別液室６に液体を供給する流体抵抗部を兼ねた液体供給路７と、液体供給路７に連なる液導入部８とを形成している。

そして、フレーム部材２０の共通流路としての共通液室１０から振動板部材３に形成した開口部９を通じて、液導入部８、液体供給路７を経て複数の個別液室６に液体を供給する。

ここで、ノズル板１は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。ノズル板１には、各液室６に対応して例えば直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板２と接着剤接合している。また、このノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は液室６側と反対の面ともいう）には撥水層を設けている。

流路板２は、単結晶シリコン基板をエッチングして、個別液室６、流体抵抗部を含む液体供給路７、液導入部８などを構成する溝部を形成している。なお、流路板２は、例えばＳＵＳ基板などの金属板を酸性エッチング液でエッチングし、あるいはプレスなどの機械加工を行って形成することもできる。

振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する壁面部材を兼ね、個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を有している。

そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材１２を有し、圧電部材１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。

圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱（駆動柱）１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱（非駆動柱）１２Ｂとして区別している。

そして、駆動柱１２Ａを振動板部材３の振動領域３０に形成した島状の凸部３ａに接合している。また、非駆動柱１２Ｂを振動板部材３の凸部３ｂに接合している。

この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、駆動柱１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるためのフレキシブル配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。

フレーム部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、図示しないヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１０が形成されている。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入し、その後駆動柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。

そして、駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液体供給路７を通じて個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、本発明の第１実施形態について図４ないし図６を参照して説明する。図４は同実施形態に説明に供する流路部分の平面説明図、図５は図４のＣ−Ｃ線に沿う側断面説明図、図６（ａ）は島状部の端部分の拡大平面説明図、（ｂ）はそのＤ−Ｄ線に沿う側断面説明図である。

流路板２の個別液室６、液体供給路７及び液導入部８を形成している溝部６ａには、液体供給路７の領域に、液体の流れの方向に細長い島状部（島状凸部）３１を形成することで、２つの流体抵抗部７ａ、７ｂを形成している。

ここで、島状部３１の液体の流れの方向の少なくとも個別液室６側の端部には、流路板２側（溝部６ａの底面、即ち、振動板部材３に対向する個別液室６の対向面６ｂ側）に裾野部３２を有している。ここでは裾野部は傾斜面で説明しているが、垂直な段差を複数段形成して高さが段々低くなっていく裾野部の形態としてもよい。この場合、以下に述べる裾野部の「傾き」とは各段差の個別液室側に突出したエッジ部を結んだ線の傾きをさす。

そして、裾野部３２は、駆動領域となる振動板部材３の薄層部（ダイヤフラム部）である振動領域３０に対向し、かつ、本実施形態では、振動領域３０の一部であり、振動板部材３の駆動柱１２Ａとの連結部となる凸部３ａにも対向している。

これにより、圧電部材１２の駆動柱１２Ａを駆動して個別液室６内の液体を加圧したとき、駆動柱１２Ａに対向する個別液室６の対向面６ｂを含む天面部６Ａの厚みを薄くしても、天面部６Ａの端部が裾野部３２で厚くなっており補強されているために天面部６Ａが圧力で変形することが抑制されるので、安定した滴吐出特性を得ることができる。

このとき、この補強領域は振動領域に対向していれば変形抑制の効果を奏するが、より効果を高めるには圧電柱１２Ａの変形が直接伝達される凸部３ａにまで対向させることが好ましい。

さらに、裾野部により、裾野部が無い場合に比べて、裾野部体積分だけ個別液室の液体積を小さくすることができる。個別液室の液体積を小さくすることができれば、その分液室共振周期が短くなり、液室共振に比例させる液滴吐出ヘッドの駆動周波数を高くすることができる。

また、裾野部３２は、液体の流れの方向と直交する方向の中央部において、図６に示すように、島状部３１の振動板部材３側の壁面３１ａから斜めに対向面６ｂに向かう方向に立ち上がる傾斜面３２ａと、この傾斜面３２ａに連続して対向面６ｂと略平行（平行を含む）な中間面３２ｂと、この中間面３２ｂに連続して対向面６ｂまで立ち上がる傾斜面３２ｃを有している。なお、「立ち上がる」とは液体吐出ヘッドのノズル４側を下方に向けて配置した場合で特定するものである。

このように、裾野部３２が傾斜面を含むことにより、垂直な段差を複数段形成して裾野部とした場合よりも、個別液室６内における液体の流動が滑らかになる。

ここで裾野部の「傾き」は前述の通り、少なくとも二段階に変化することが好ましい。ひとつの「傾き」で形成した場合、十分な補強を行なうためには、個別液室内に占める裾野部の体積が大きくなり、十分な個別液室体積の確保が困難になる。これに対し「傾き」を二段階にすることで、流体抵抗部側を急勾配に形成し、個別液室に侵入する部分を低勾配とすることで、個別液室の広い範囲を補強しても、個別液室体積への影響を抑えることができる。

ここで、本実施形態では、流路板２をシリコン基板から形成しているので、島状部３１の液体の流れの方向の端部は、図４に示すように、（１１１）結晶方位面３００と、（１１１）結晶方位面に連なって接する第１、第２の結晶方位面３０１、３０２と、第１、第２の結晶方位面３０１、３０２に連なって接する前述の（１１１）結晶方位面３００とは異なる第３の結晶方位面３０３よりなる。なお、第３の結晶方位面３０３は前述の（１１１）結晶方位面３００と異なる面であれば（１１１）結晶方位面であってもよい。

このとき、第３の結晶方位面３０３は、個別液室６に対して液体の流れの方向で斜めに形成されている。第３の結晶方位面３０３を斜めに形成することにより、液体の流れによる死水領域が少なくなり、液体を流れ易くすることができ、安定した滴吐出を行なうことができる。また、第３の結晶方位面３０３を斜めとし死水領域を少なくすることで、気泡排出性を高めることができる。

ここで、比較例について図７及び図８を参照して説明する。図７は同比較例の説明に供する流路部分の平面説明図、図８は図７のＤ−Ｄ線に沿う側断面説明図である。

この比較例は、島状部５３１が平面で見て矩形状をなしているものであり、島状部５３１の液体の流れ方向の端部の壁面５３１ａは個別液室６の対向面６ｂに対して垂直壁として形成されている。

このような構成にあっては、圧電部材１２の駆動柱１２Ａを駆動して個別液室６内の液体を加圧したとき、駆動柱１２Ａに対向する個別液室６の対向面６ｂを含む天面部６Ａの厚みを薄くしたときに、天面部６Ａが圧力で変形して、安定した滴吐出特性を得ることができない。また、繰り返しの駆動により、垂直壁５３１ａと天面部６Ａとの繋ぎ部分にクラックが入って破損してしまう場合もある。

また、島状部５３１の液体の流れ方向の端部における死水領域が多くなり、液体が流れにくくなり、更に気泡排出性も低下する。

次に、本実施形態における流路板の製造方法について図９も参照して説明する。図９は同説明に供する島状部部分の平面説明図である。なお、同図では破線はパターンを、実線はシリコン基板を示している。

まず、図９（ａ）に示すように、（１１０）シリコン基板にレジスト等によるパターニングで保護パターン４０１を形成する。ここで、島状部３１を形成する部分には島状部３１の第３の結晶方位面３０３となる面を形成した補償パターン４００を配置する。

なお、補償パターン４００は４辺を（１１１）結晶方位で囲んだ菱形形状のトレンチ開口としているが、他の形状でもよい。また、エッチング後に島状部３１の第３の結晶方位面３０３となる面と平行に補償パターン４００の一面を形成しているが、それ以外の面でもよい。

続いて、上記保護パターン４０１で保護されたシリコン基板をエッチング液に浸漬してエッチングを行う。これにより、図９（ｂ）に示すように、保護パターン４０１の開口部分がエッチングされる。また、島状部の先端部はエッチングレートが速いため、保護パターン４０１の下面がエッチングされていく。

また、保護パターン４０１に形成した補償パターン４００である菱形形状のトレンチ開口部も保護されていないためエッチングされ、エッチング後に第３の結晶方位面３０３となる結晶面４０４が形成される。

ここで、トレンチ開口部のエッチングは逆ピラミッド型に（１１１）面が生成された段階でエッチングレートが極度に遅くなり、ほぼエッチングが止まる。そのため、流路深さに比べ十分に浅い段階以上に深くエッチングされることはない。

続いて、更にエッチングを進めると、保護パターン４０１下面のエッチングが進み、島状部端部から保護パターン４０１下面をエッチングされた面とトレンチ開口部のエッチングされた面とが合流する。

そして、図９（ｃ）に示すように、保護パターン４０１下面のエッチング進行により形成される第１の結晶方位面３０１及び第２の結晶方位面３０２と、トレンチ開口により形成される第３の結晶方位面３０３が島状部３１に形成される。

その後、保護パターン４０１を剥離することで、図９（ｄ）に示すように、端部が第１の結晶方位面３０１及び第２の結晶方位面３０２と、それを潰すように配置される第３の結晶方位面３０３よりなる島状部（島状凸部）３１を有する流路板２が得られる。

このとき、島状部３１の深さ方向では島状部３１の底部（個別液室６の対向面６ｂ側）から裾野をひいたようにエッチング残部からなる裾野部３２が形成される。

上記方法で形成した島状部３１の端部のＳＥＭ写真を図１０に示している。図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、島状部３１に第１の結晶面３０１及び第２の結晶面３０２とその先端を潰すように第３の結晶面３０３が形成されていることが分かる。

次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１１を参照して説明する。図１１（ａ）は同実施形態の説明に供する流路部分の平面説明図、（ｂ）は同じくそのＦ−Ｆ線に沿う側断面説明図である。

本実施形態では、島状部３１の裾野部３２を、島状部３１の壁面３１ａから漸次斜めに個別液室６の対向面６ｂに向かって立ち上がる傾斜面としている。

このように構成しても、前記第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

なお、上記実施形態では、流体抵抗部を形成する島状部が流路板側に一体形成されている例で説明したが、振動板部材（壁面部材）側に島状部を一体形成することもできる。また、駆動手段として圧電素子（電気機械変換素子）を使用した例で説明したが、発熱抵抗体素子を使用するサーマル型、振動板と対向電極を使用する静電型のアクチュエータを備える液体吐出ヘッドにも適用できる。

また、上記実施形態では、流路板の天板、島状部、裾野部を一体形成する例で説明したがそれぞれを別々に形成し、接着剤などで積層して形成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図１２及び図１３を参照して説明する。なお、図１２は同装置の機構部の側面説明図、図１３は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドと同ヘッドに供給するインクを収容するタンクを一体化した記録ヘッド２３４を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。

また、記録ヘッド２３４のタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置し、この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板部材
４ ノズル
６ 個別液室
７ 液体供給路
７ａ、７ｂ 流体抵抗部
１０ 共通液室
１２ 圧電部材
３０ 振動領域
３１ 島状部（島状凸部）
３２ 裾野部
２３３ キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ 記録ヘッド

Claims (7)

1. 液滴を吐出するノズルが通じる個別液室を形成する流路板と、
   前記個別液室の壁面を形成する壁面部材と、
   前記壁面部材側に設けられて、前記個別液室内の駆動領域に加圧する圧力を発生させる駆動手段と、を備え、
   前記個別液室に液体を供給する液体供給路には、島状部が配置されて流体抵抗部が形成され、
   前記島状部は、前記流路板側に裾野部を有し、前記裾野部の少なくとも一部が個別液室内の駆動領域に対向し、
   前記島状部の裾野部の傾きは、液体の流れの方向に沿う断面で少なくとも二段階に変化している
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記裾野部の傾きは前記流体抵抗部側の傾きが最も急勾配である
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記壁面部材が振動板部材であり、
   前記駆動手段が前記振動板部材の振動領域を変位させる電気機械変換素子である
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記裾野部の少なくとも一部は、前記電気機械変換素子と前記振動板部材との連結部に対向している
   ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 少なくとも前記裾野部は、前記流路板と一体に形成されている
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 液滴を吐出するノズルが通じる個別液室を形成する流路板と、
   前記個別液室の壁面を形成する壁面部材と、
   前記壁面部材側に設けられて、前記個別液室内の駆動領域に加圧する圧力を発生させる駆動手段と、を備え、
   前記個別液室に液体を供給する液体供給路には、島状部が配置されて流体抵抗部が形成され、
   前記島状部は、前記流路板側に裾野部を有し、前記裾野部の少なくとも一部が個別液室内の駆動領域に対向し、
   前記流路板は、シリコン基板から形成され、
   前記島状部の液体の流れの方向の端部は、（１１１）結晶方位面と、（１１１）結晶方位面に連なって接する第１、第２の結晶方位面と、前記第１、第２の結晶方位面に連なって接する前記（１１１）結晶方位面とは異なる第３の結晶方位面よりなる
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。

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