JP5952310B2 - 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 - Google Patents
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Description
第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミー接続電極が配置されており、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記ダミー接続電極が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極が、前記第1の領域と前記第2の領域の境界とに沿った方向に細長いことを特徴とする。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミ
ー接続電極が配置されているとともに、前記接続電極が配置されていてもよく、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記接続電極および前記ダミー接続電極の少なくとも一方が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記圧電アクチュエータ基板の前記一方の主面から前記共通流路までの距離をh[mm]とし、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極は、前記第1の領域と前記第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミー接続電極が配置されているとともに、前記接続電極が配置されていてもよく、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記接続電極および前記ダミー接続電極の少なくとも一方が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極が、前記第1の領域と前記第2の領域との境界に沿った方向に細長いことを特徴とする。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記接続電極は、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域および前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域の少なくとも一方に配置されており、前記ダミー接続電極は、前記第1の領域のみに配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極の単位面積当たりの個数より多いことを特徴とする。
体的には、図3で言えば上側の加圧室10の塊が1群であり、下側の加圧室10の塊が別の1群である。すなわち、ここで言う一群の塊とは、規則的に配置された加圧室10の集合のことであり、その中でも最大のもののことである。また、領域Dは、上述の一群の加圧室10のすべてを含んでいる領域であり、領域Dの外形は、もっとも外側に位置する加圧室10と接するように定められている。このような領域で算出するのは、圧電アクチュエータ基板21の端部などで、変位素子30が存在していない、あるいは直下にマニホールド5などが存在していないなどの、特に吐出機能などが含まれていない部分を計算に入れると、本質的な数値から外れるためである。また、接続ランド26が、第1の領域D1と第2の領域D2との境界上に配置されている場合、それぞれの領域に属している面積で分けて計算すればよい。例えば、1つの接続ランド26の面積の70%が第1の領域D1にかかり、残りの30%が第2の領域D2にかかっている場合、第1の領域D1に0.7個、第2の領域D2に0.3個存在するとして計算すればよい。
2・・・液体吐出ヘッド
2a・・・ヘッド本体
4・・・流路部材
4a〜m・・・(流路部材の)プレート
5・・・マニホールド(共通流路)
5a・・・(マニホールドの)開口
5b・・・副マニホールド
6・・・しぼり
8・・・吐出孔
9・・・吐出孔列
10・・・加圧室
11・・・加圧室列
12・・・個別流路
14・・・個別供給流路
15・・・隔壁
16・・・ダミー加圧室
21・・・圧電アクチュエータ基板
21a・・・圧電セラミック層(振動板)
21b・・・圧電セラミック層
24・・・共通電極
25・・・個別電極
25a・・・個別電極本体
25b・・・引出電極
26・・・接続ランド
27・・・接続バンプ
28・・・共通電極用表面電極
30・・・変位素子
36、36A・・・ダミー接続ランド
92・・・信号伝達部
92a、b・・・カバーフィルム
92c・・・配線
D1・・・(圧電アクチュエータ基板の)第1の領域
D2・・・(圧電アクチュエータ基板の)第2の領域
Claims (10)
- 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記接続電極が配置されており、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記接続電極が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記圧電アクチュエータ基板の前記一方の主面から前記共通流路までの距離をh[mm]とし、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第1の領域に配置されている前記接続電極は、前記第1の領域と前記第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミー接続電極が配置されており、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記ダミー接続電極が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記圧電アクチュエータ基板の前記一方の主面から前記共通流路までの距離をh[mm
]とし、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極は、前記第1の領域と前記第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミー接続電極が配置されており、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記ダミー接続電極が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極が、前記第1の領域と前記第2の領域の境界とに沿った方向に細長いことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記接続電極が配置されているとともに、前記ダミー接続電極が配置されていてもよく、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記接続電極および前記ダミー接続電極の少なくとも一方が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記圧電アクチュエータ基板の前記一方の主面から前記共通流路までの距離をh[mm]とし、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第1の領域に配置されている前記接続電極は、前記第1の領域と前記第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミー接続電極が配置されているとともに、前記接続電極が配置されていてもよく、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である
第2の領域には、前記接続電極および前記ダミー接続電極の少なくとも一方が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記圧電アクチュエータ基板の前記一方の主面から前記共通流路までの距離をh[mm]とし、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極は、前記第1の領域と前記第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記第1の領域に前記接続電極が配置されており、前記圧電アクチュエータ基板の前記一方の主面から前記共通流路までの距離をh[mm]とし、前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第1の領域に配置されている前記接続電極は、前記第1の領域と前記第2の領域との境界からh[mm]以上離れた位置に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域には、前記ダミー接続電極が配置されているとともに、前記接続電極が配置されていてもよく、前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域には、前記接続電極および前記ダミー接続電極の少なくとも一方が配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数より多く、前記第1の領域に配置されている前記ダミー接続電極が、前記第1の領域と前記第2の領域との境界に沿った方向に細長いことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 平板状のプレートが複数積層されており、平面に開口している複数の加圧室、該複数の加圧室にそれぞれ繋がっている複数の吐出孔、および前記複数の加圧室に共通して繋がっている共通流路を備えている流路部材と、
該流路部材の前記平面に積層されている、少なくとも1層の圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟んで両側に設けられている一対の電極とを含んでいる変位素子が複数配置されている圧電アクチュエータ基板とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータ基板の一方の主面には、複数の前記変位素子の駆動信号がそれぞれ供給される複数の接続電極、および複数のダミー接続電極が配置されており、
前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記接続電極は、前記一方の主面の前記共通流路と重なっていない領域である第1の領域および前記一方の主面の前記共通流路と重なっている領域である第2の領域の少なくとも一方に配置されており、前記ダミー接続電極は、前記第1の領域のみに配置されており、前記第1の領域に配置されている前記接続電極および前記ダミー接続電極の単位面積当たりの個数が、前記第2の領域に配置されている前記接続電極の単位面積当たりの個数より多いことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記液体吐出ヘッドを平面視したとき、前記第2の領域に配置されている前記接続電極は、前記共通流路の幅方向の中央よりも前記共通流路の側壁に近い位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1、4〜8のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 請求項1〜9のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
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