JP2011167947A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電層のクラックとバンプとが接触するのを抑制する。
【解決手段】アクチュエータユニット21が圧電シート141〜143を含んでいる。圧電シート141の表面には、流路ユニット9の圧力室110と対向する電極本体135aと電極本体135aに接続された個別ランド136とを含む個別電極135が形成されている。個別ランド136上にバンプ71が載置されている。圧電シート141と圧電シート142との間には共通電極134が介在している。圧電シート141の表面において、個別ランド136を全周に亘って包囲する環状保護層61が形成されている。樹脂層62が、環状保護層61の内側の側壁面と、個別ランド136の外側の側壁面とが画定している環状領域を全周に亘って覆っている。
【選択図】図6
【解決手段】アクチュエータユニット21が圧電シート141〜143を含んでいる。圧電シート141の表面には、流路ユニット9の圧力室110と対向する電極本体135aと電極本体135aに接続された個別ランド136とを含む個別電極135が形成されている。個別ランド136上にバンプ71が載置されている。圧電シート141と圧電シート142との間には共通電極134が介在している。圧電シート141の表面において、個別ランド136を全周に亘って包囲する環状保護層61が形成されている。樹脂層62が、環状保護層61の内側の側壁面と、個別ランド136の外側の側壁面とが画定している環状領域を全周に亘って覆っている。
【選択図】図6
Description
本発明は、圧電層、駆動電圧が供給される個別電極、及び、個別電極との間で圧電層を挟持する共通電極を含むアクチュエータが吐出エネルギーを発生させることによって、ノズルから液滴を吐出させる液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
圧力室からノズルに至る複数の個別インク流路が形成された流路ユニットの表面に、各圧力室と対向する複数の個別電極と共通電極との間で圧電シートを挟持する圧電アクチュエータが固定されたインクジェットヘッドが知られている(例えば、特許文献1参照)。この圧電アクチュエータにおいては、表面に配置されたAu(金)の個別電極のランド上にAg(銀)のバンプが形成されており、共通電極にグランド電位を付与しつつ、バンプを介して個別電極にパルス状の駆動電圧を供給する。このとき、圧電シートの個別電極と共通電極との間で挟持された領域が変形し、圧力室のインクに吐出エネルギーが付与される。
上述のインクジェットヘッドの製造工程において、流路ユニットに圧電アクチュエータを貼り付けるとき、圧電アクチュエータの表面から突出している個別電極のランドを押圧することが行われている。このとき、圧電アクチュエータ表面のランド周辺にクラックが発生しやすく、発生したクラックが圧電アクチュエータの表面から共通電極まで到達することがある。高湿度下でこのようなクラックとバンプとが接していると、バンプに駆動電圧が印加されたときに共通電極との間で電界が発生し、バンプの形成材料であるAgがイオン化すると共に、イオン化されたAg(Agイオン)が電界に沿って移動する。これにより、Agイオンが当該クラック内に侵入して共通電極に到達し、個別電極と共通電極とを短絡させてしまう(マイグレーション)。
そこで、本発明の目的は、圧電層のクラックとバンプとが接触するのを抑制することができる液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
本発明の液体吐出ヘッドは、圧力室を経てノズルに至る個別液体流路を有する流路ユニットと、圧電層、前記圧力室と対向するように前記圧電層の表面に配置されていると共に外部から駆動電圧が供給される個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を含む、前記流路ユニットに固定されたアクチュエータとを備えている。前記表面に、前記個別電極と電気的に接続されたバンプと、前記バンプの周囲に配置された保護層とが形成されている。
本発明に液体吐出ヘッドの製造方法は、圧力室を経てノズルに至る個別液体流路を有する流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、圧電層、前記圧電層の表面に配置されていると共に外部から駆動電圧が供給される個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を含むアクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程と、前記アクチュエータに係る前記表面における、前記個別電極と電気的に接続されるバンプが形成されるべき領域の周囲に保護層を形成する保護層形成工程と、前記個別電極と前記圧力室とを対向させつつ前記保護層を押圧することによって、前記アクチュエータを前記流路ユニットに固定する固定工程と、前記流路ユニットに固定された前記アクチュエータに係る前記表面に、前記バンプを形成するバンプ形成工程とを備えている。
本発明によると、アクチュエータを流路ユニットに固定する際に、バンプが形成されるべき領域の周囲に配置された保護層を押圧することができるため、圧電層の表面におけるバンプが形成されるべき領域にクラックが発生するのを抑制することができる。これにより、圧電層のクラックとバンプとが接触するのが抑制され、バンプの形成材料がイオン化してクラック内に侵入するのを防止することができる。
以下、本発明の第1実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
インクジェットプリンタ(以降、単にプリンタと記す)1は、ライン式のカラーインクジェットプリンタである。プリンタ1は、図1に示すように、直方体形状の筐体1aを有している。筐体1aの上部には、排紙部31が設けられている。筐体1a内は、上から順に3つの空間A、B、Cに区分できる。空間A及びBは、排紙部31に連なる用紙の搬送経路が構成された空間である。空間Aでは、用紙の搬送と用紙への画像形成とが行われる。空間Bでは、空間Aに対して用紙が供給される。空間Cは、インク供給源が収容されており、インクの供給が行われる。
空間Aには、4つのインクジェットヘッド(以降、単にヘッドと記す)2、用紙を搬送する搬送ユニット20、用紙をガイドするガイド部等が配置されている。4つのヘッド2は、主走査方向に長尺なラインヘッドであって、略直方体の外形形状を有する。4つのヘッド2の下面から、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインク滴が吐出される。各ヘッド2は、副走査方向に所定ピッチで並んでいる。
搬送ユニット20は、図1に示すように、ベルトローラ6、7および両ローラ6、7間に巻回されたエンドレスの搬送ベルト8に加え、搬送ベルト8の外側に配置されたニップローラ5及び剥離プレート13、搬送ベルト8の内側に配置されたプラテン9、テンションローラ10等を有している。ベルトローラ7は、駆動ローラであって、搬送モータMによって、図1中時計回りに回転する。このとき、搬送ベルト8は、太矢印に沿って走行する。ベルトローラ6は、従動ローラであって、搬送ベルト8の走行に伴い、図1中時計回りに回転する。ニップローラ5は、ベルトローラ6に対向配置され、前段のガイド部から供給された用紙Pを搬送ベルト8の外周面8aに押さえつける。外周面8aには、弱粘着性のシリコン層が形成されている。剥離プレート13は、ベルトローラ7に対向配置され、用紙Pを外周面8aから剥離して後段のガイド部に導く。プラテン9は、4つのヘッド2に対向配置され、搬送ベルト8の上側ループを内側から支える。これにより、外周面8aとヘッド2の吐出面2aとの間には、画像形成に適した所定の間隙が形成される。テンションローラ10は、下側ループを下方に付勢する。これにより、搬送ベルト8の弛みがなくなる。
ガイド部は、搬送ユニット20を挟んで両側に配置されている。上流側のガイド部は、2つのガイド27a、27b及び一対の送りローラ26を有する。このガイド部は、給紙ユニット1bと搬送ユニット20とを繋ぐ。下流側のガイド部は、2つのガイド29a、29bおよび二対の送りローラ28を有する。このガイド部は、搬送ユニット20と排紙部31とを繋ぐ。
空間Bには、給紙ユニット1bが筐体1aに対して着脱可能に配置されている。給紙ユニット1bは、給紙トレイ23及び給紙ローラ25を有する。給紙トレイ23は、上方に開口した箱体であって、複数の用紙Pを収納する。給紙ローラ25は、給紙トレイ23内で最も上方にある用紙Pを送り出し、後段のガイド部(上流側のガイド部)に供給する。
上述したように、空間A及び空間Bによって、給紙ユニット1bから搬送ユニット20を介して排紙部31に至る用紙搬送経路が形成されている。給紙トレイ23から繰り出された用紙Pは、送りローラ26によって搬送ユニット20に供給される。用紙Pが各ヘッド2の真下を副走査方向に通過する際、順にヘッド2からインク滴が吐出されて、用紙P上にカラー画像が形成される。用紙Pは、搬送ベルト8の右端で剥離され、さらに2つの送りローラ28によって上方に搬送される。各ガイド部における用紙Pの搬送は、各ガイド27a、28b、29a、29bに沿う。さらに、用紙Pは、上方の開口30から排紙部31に排紙される。
ここで、副走査方向とは、搬送ユニット20において用紙Pが搬送されるときの搬送方向に平行な方向であって、主走査方向とは、水平面に平行且つ副走査方向に直交する方向である。
空間Cには、インクタンクユニット1cが筐体1aに対して着脱可能に配置されている。インクタンクユニット1cには、4つのインクタンク49が並んで収納されている。インクタンク49内のインクは、対応するヘッド2に対してチューブ(図示せず)を介して供給される。
次に、ヘッド2について説明する。なお、図3では説明の都合上、アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき圧力室110、アパーチャ112及びノズル108を実線で描いている。
ヘッド2は、主走査方向に長尺なライン型のヘッドである。ヘッド2は、流路構成部材に加え、図示しない電装部材及びカバー体から構成される。流路構成部材は、インク流路が内蔀に形成された積層体であって、インクタンク49からのインクが充填されている。電装部材は、インク流路内のインクを吐出する動作に関与する。カバー体は、流路構成部材と共に電装部材を外部から保護する。
このうち、流路構成部材は、上方のリザーバユニットと下方のヘッド本体との積層体である。ヘッド本体には、流路ユニット9に加えて、電装部材でもあるアクチュエータユニット21が含まれる。流路ユニット9の上面9aには、リザーバユニット及びアクチュエータユニット21が固定されている。ヘッド本体は、アクチュエータユニット21がリザーバユニット及び流路ユニット9によって挟まれた3層構造を有している。
リザーバユニット(図示せず)は、全体として直方体形状を有しており、供給されたインクの濾過、一時的貯溜及び流路ユニット9への供給を行う。
流路ユニット9は、全体として直方体形状を有している。流路ユニット9は、図4に示すように、ステンレス等の9つの金属製プレート122〜130の積層体である。流路ユニット9(ノズルプレート130)の下面は、多数のノズル108が開口する吐出面2aである。流路ユニット9の上面には、多数の圧力室110が開口し、10個のインク供給口105bが形成されている。インク供給口105bに対応してリザーバユニットが接合され、インク供給口105bがリザーバユニット内のインク流路と接続されている。また、圧力室群(複数の圧力室110の集合)に対応してアクチュエータユニット21が接合され、流路ユニット9のインク流路を構成している。このインク流路は、図2〜4に示すように、インク供給口105bに連通したマニホールド流路105、マニホールド流路105から分岐した副マニホールド流路105a、副マニホールド流路105aの出口から圧力室110を経てノズル108に至る複数の個別インク流路132を含む。流路低抗調整用の絞り(アパーチャ)112によって、圧力室110と副マニホールド流路105aとが結ばれている。なお、図3では、アクチュエータユニット21の下側にあって点線で示すべき圧力室110、絞り112及びノズル108を実線で示している。
本実施形態では、図3に示すように、アクチュエータユニット21と対向する領域において、主走査方向に配列された複数の圧力室110が形成する圧力室列が、副走査方向に互いに平行に16列配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室110の数は、アクチュエータユニット21の外形形状(台形形状)に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。ノズル108もこれと同様の配置がされている。
次に、アクチュエータユニット21について説明する。アクチュエータユニット21は、各圧力室110に対応した複数のアクチュエータを含んでおり、圧力室110内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。図5及び図6に示すように、アクチュエータユニット21は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる3枚の圧電シート141〜143から構成されている。また、圧電シート141の上面には、圧力室110に対向して、複数の個別電極135が形成されている。圧電シート141と圧電シート142との間には、共通電極134がシート全面に形成されている。
個別電極135は、電極本体135aと個別ランド136を含む。電極本体135aは、圧力室110と相似の略菱形の平面形状を有し、鋭角部の一方が平面視で圧力室110外に延出されている。個別ランド136は、この延出部の先端に形成されている。さらに、個別ランド136上には、バンプ71が形成されている。個別ランド136及びバンプ71は、共に円形の平面形状を有しており、図5に示すように、共に、平面視で圧力室110と対向しない。バンプ71は、個別ランド136より一回り小さい。延出部の先端部分では、個別ランド136が、電極本体135aとバンプ71とに挟まれている。本実施形態では、電極本体135a、個別ランド136及びバンプ71が、それぞれ金、銀パラジウム(Ag/Pd)及び銀で形成されている。銀のイオン化傾向は、金のイオン化傾向より大きい。なお、図5では、バンプ71か省略されている。
さらに、圧電シート141の上面には、共通電極134に接続した共通電極用のランドとバンプとの積層体、及びダミーランド137とバンプとの積層体が形成されている。平面形状は、いずれも個別ランド136とバンプ71との積層体と同じである。このうち、ダミーランド137は、図5に示すように、電極本体135aに関して、個別ランド136と反対側に配置されている。ダミーランド137は、個別電極135と電気的に絶縁されている。1つの電極本体135aに注目すると、3つの個別ランド136及び3つのダミーランド137がこの電極本体135aの周囲を囲んでいる。
図示しないが、バンプ71および共通電極用バンプには、ドライバICが実装されたCOF(Chip On Film)の一端が電気的に接続されている。ドライバICは、アクチュエータユニット21を駆動する駆動信号を生成する。これにより、個別ランド136は、ドライバICから駆動信号が選択的に供給される。一方、共通電極134は、接地電位となっている。
圧電シート141の表面に、共通電極用ランド、個別ランド136及びダミーランド137のそれぞれを全周に亘って包囲する複数の環状保護層61が形成されている。環状保護層61は絶縁性を有する熱硬化性エポキシ樹脂から成る。環状保護層61は、アクチュエータユニット21の厚み方向に見たときに、流路ユニット9における圧力室110を画定する壁部と対向している。環状保護層61の内側の側壁面と、個別ランド136及びダミーランド137の外側の側壁面とが環状領域を画定している。樹脂層62が、当該環状領域を全周に亘って覆っている。環状保護層61の圧電シート141の表面からの高さh2が、バンプ71の圧電シート141の表面からの高さh1よりも低くなっており、且つ、個別ランド136及びダミーランド137の圧電シート141の表面からの高さh3よりも高くなっている。また、樹脂層62の圧電シート141の表面からの高さh4が、高さh3よりも低くなっている。例えば、h1=約50μm、h2=約20μm、h3=約10μm及びh4=約5μmである。
アクチュエータユニット21は、個別電極135と圧力室110とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働く。圧力室110から離れた圧電シート141が活性部を含む層とし、圧力室110に近い2枚の圧電シート142、143が自発的に変形しない非活性層である。各活性部は、d31の振動モードで変位する。
例えば、圧電シート141は、厚み方向に分極されている。分極方向と同じ方向に電界が印加されると、活性部は圧電横効果により面方向に収縮する。このとき、圧電シート142、143は、変位せず、活性部の変位に対する規制層として働く。両者間に歪み差が生じるので、アクチュエータは全体として圧電シート142、143側を凸に変形することになる。このような組み合わせの部分は、所謂ユニモルフタイプの圧電アクチュエータとして個別に機能し、アクチュエータユニット21には、圧力室110と同数のアクチュエータが作り込まれている。各圧電アクチュエータは、駆動信号で変形して、圧力室110内のインクに選択的に圧力(吐出エネルギー)を与える。
画像の形成に際して、個別電極135は、予め共通電極134と異なる電位(例えば、電位差28V)に保持されている。このとき、アクチュエータは、圧力室110側に凸に変形している。印刷指令があると、まず、個別電極135を共通電極134と一旦同じ接地電位にする。このとき、圧力室110の容積が拡大し、副マニホールド流路105aから圧力室110にインクの補給が始まる。その後、補給用インクが圧力室110に到達したタイミングで、再び個別電極135を共通電極134と異なる電位に戻す。アクチュエータは、圧力室110に向かって凸に変形し、圧力室110の容積を減少する。このとき、圧力室110内のインクの圧力が上昇し、インク滴がノズル108から吐出される。
ヘッド2の製造方法を説明する。図7に示すように、ヘッド2の製造方法は、流路ユニット形成工程と、アクチュエータユニット形成工程と、保護層形成工程と、固定工程と、樹脂充填工程と、バンプ形成工程とを有している。
流路ユニット形成工程においては、プレート122〜130を互いに位置合わせしつつ積層することによって、流路ユニット9を形成する。これにより、プレート122〜130に形成された貫通孔が連結され、マニホールド流路105、副マニホールド流路105a、及び、多数の個別インク流路132を含む内部流路が形成される。流路ユニット形成工程と並行して、他の流路構成部材(例えば、リザーバユニット)も形成される。
アクチュエータユニット形成工程においては、圧電シート141と圧電シート142との間に共通電極134が配置されるように、圧電シート141〜143となるグリーンシートを順に積層すると共に、図8(a)に示すように、マスクパターンを用いたスクリーン印刷により、圧電シート141の表面にAuの電極本体135aを印刷し、さらに、600℃〜800℃で焼結する。Auの厚みは、約1μmである。そして、図8(b)に示すように、マスクパターンを用いたスクリーン印刷により、電極本体135aに係る鋭角部の一方から延出された部分の先端に、Au/Pdの共通電極用ランド及び個別ランド136を印刷すると共に、電極本体135aの鋭角部に係るの他方近傍にダミーランド137を印刷し、さらに、600℃〜800℃で焼結してアクチュエータユニット21を形成する。このとき、複数の共通電極用ランドが、アクチュエータユニット21の周縁部に沿って形成される。
続いて、保護層形成工程では、図8(c)に示すように、マスクパターンを用いたスクリーン印刷により、圧電シート141の表面に形成された共通電極用ランド、個別ランド136及びダミーランド137のそれぞれを全周に亘って包囲するように、熱硬化性エポキシ樹脂ジェルから成る環状保護層61を印刷し、さらに、100℃〜120℃の加熱処理により、印刷した環状保護層61を硬化させる。
固定工程においては、流路ユニット9(プレート122)の上面9aに熱硬化性接着剤を塗布した後に、個別電極135に係る電極本体135aと圧力室110とが対向するように、流路ユニット9と4つのアクチュエータユニット21とを互いに位置合わせしつつ積層する。そして、アクチュエータユニット21の表面と流路ユニット9の吐出面2aとを、一対の加圧部材で挟持しつつ加圧する。加圧部材にはヒーターが取り付けられており、両者を加熱しつつ加圧する。このとき、環状保護層61の圧電シート141の上面からの高さh2が、個別ランド136及びダミーランド137の圧電シート141の上面からの高さh3よりも高くなっているため、加圧部材が環状保護層61を押圧しつつ流路ユニット9とアクチュエータユニット21とを加圧及び加熱する。これにより、流路ユニット9に4つのアクチュエータユニット21が固定される。
樹脂充填工程においては、図8(d)に示すように、流路ユニット9に固定されたアクチュエータユニット21に係る環状保護層61の内側の側壁面と、共通電極用ランド、個別ランド136及びダミーランド137の外側の側壁面とによって画定された環状領域に、熱硬化性エポキシ樹脂ジェルを充填し、充填した樹脂を100℃〜120℃の加熱処理により硬化させる。これにより、環状領域を全周に亘って覆う樹脂層62が形成される。熱硬化性エポキシ樹脂ジェルは、加熱されることによって熱硬化する前に一旦低粘度化する。このため、固定工程において圧電シート141の環状領域内にクラックが発生したとしても、低粘度化した熱硬化性エポキシ樹脂が当該クラック内に浸透した後に硬化する。これにより、銀イオンのマイグレーションが抑えられる。
バンプ形成工程においては、樹脂充填工程の後、スクリーン印刷により、個別ランド136上にAgから成るバンプ71を印刷する。このとき、バンプ71の圧電シート141の上面からの高さh1が、環状保護層61の圧電シート141の上面からの高さh2よりも高くなっている。さらに、流路ユニット9の上面には、アクチュエータユニット21を避けるようにリザーバユニットが接着される。そのほか、他の工程で準備された電装部材やカバー体を組み付けてヘッド2が完成する。
以上のように、本実施形態のヘッド2によると、固定工程において、加圧部材が環状保護層61を押圧するため、圧電シート141の表面におけるバンプ71が配置されるべき領域にある個別ランド136の周囲にクラックが発生するのを抑制することができる。これにより、圧電シート141のクラックとバンプ71とが接触するのが抑制されるため、Agイオンがクラック内に侵入して個別電極135と共通電極134とが短絡するのを防止することができる。
また、環状保護層61が、圧電シート141の表面において個別ランド136を全周に亘って包囲しているため、圧電シート141の表面における個別ランド136の周囲にクラックが発生するのをさらに抑制することができる。また、バンプ71が圧電シート141の表面において無駄に広がるのを防止することができる。
さらに、樹脂層62が、環状保護層61の内側の側壁面と、個別ランド136の外側の側壁面とによって画定された環状領域を全周に亘って覆っており、圧電シート141とバンプ71との間に樹脂層62が介在する。そのため、圧電シート141の表面における環状保護層61の内側の領域においてクラックが発生したとしても、当該クラックとバンプ71とが接触するの確実に防止することができる。また、樹脂層62の圧電シート141の上面からの高さh4が、個別ランド136の圧電シート141の上面からの高さh3よりも低くなっているため、個別ランド136が樹脂層62から露出し、個別ランド136とバンプ71とを確実に電気的に接続することができる。
加えて、環状保護層61の圧電シート141の上面からの高さh2が、バンプ71の圧電シート141の上面からの高さh1よりも低くなっており、且つ、個別ランド136及びダミーランド137の圧電シート141の上面からの高さh3よりも高くなっている。このため、固定工程において、加圧部材からの圧力が、ランドから離れた環状保護層61に掛かることになり、仮にクラックが圧電層141に生じても、クラックをランドから離すことができる。また、バンプ71にCOFの端子を容易に接続することができる。
また、個別電極135が、Ag/Pdから成る個別ランド136を含んでいるため、個別ランド136とバンプ71との密着性が向上する。これにより、個別ランド136を介してAgから成るバンプ71とAuから成る電極本体135aとを効率よく電気的に接続することができる。
さらに、個別ランド136は、銀に加えてパラジウムを含み、この銀はバンプ71の銀に比べてマイグレーションが起こり難いという利点がある。厚み方向から見たとき、バンプ71は、個別ランド136に包含されるサイズと配置である。つまり、イオン化傾向が高い材料ほど、より小さなサイズでより上方に配置されている。これによって、固定工程において、クラックが発生しても、イオン化傾向の高い材料からのイオンがクラックと触れ難くなっている。
仮に、クラックが個別電極135の近傍にあるとき、マイグレーションの抑制の観点から、可動イオンをクラックから遠ざける必要がある。本実施形態では、バンプ71を構成する金属のイオン化傾向が、個別電極135を構成する金属のイオン化傾向より大きいので、バンプ71が可動イオンの発生源となる。しかし、バンプ形成工程に先立つ樹脂充填工程が行われている。つまり、個別ランド136の周囲には環状の樹脂層が形成されているので、環状保護層61が可動イオン(ここでは、銀イオン)をクラックから効果的に遠ざけており、個別ランド136とバンプ71との位置合わせの精度も要求しない。
さらに、環状保護層61は絶縁性を有する熱硬化性エポキシ樹脂から成るため、環状保護層61とバンプ71とが接触しても、環状保護層61の形成材料がイオン化しない。これによるマイグレーションも発生しない。
加えて、環状保護層61が、アクチュエータユニット21の厚み方向に見たときに、流路ユニット9における圧力室110を画定する壁部と対向しているため、固定工程において、環状保護層61を押圧することによって、アクチュエータユニット21を流路ユニット9に効率よく密着させることができる。
また、樹脂充填工程において、低粘度化した樹脂がクラック内に浸透した後に硬化するように樹脂層62が形成されるため、マイグレーションの発生を確実に防止することができる。
次いで、本発明の第2実施形態に係わるインクジェットヘッドについて説明する。本実施形態のヘッドは、環状保護層61の内側の構成が先の実施形態と異なり、他の構成は同じである。樹脂層62の変わりに、酸化防止剤を含む薄膜層が配置されている。製造方法に関しては、樹脂充填工程の替りに、酸化防止剤を含む薄膜層形成工程を有している。
第2実施形態では、アクチュエータユニット21の上面全体に薄膜層が形成されている。薄膜層は、圧電シート141の露出面に加え、電極本体135a、共通電極用ランド、個別ランド136、ダミーランド137及び環状保護層61の各表面を被覆する。薄膜層の厚みは、数10nmである。さらに、バンプ71が、薄膜層を介して個別ランド136上に形成されている。バンプ71と個別ランド136との接触抵抗は、薄膜層の有無によって殆ど差はない。
この薄膜層は、上述の固定工程に続いて、スプレー法によってアクチュエータユニット21の上面全体に形成される。スプレー塗布に際して、原液(例えば、目鉱金属(株)製CollintacsーAg II)をスプレー塗布に適した濃度にイソプロピルアルコールで薄める。この希釈された液を塗布した後、アクチュエータユニット21を室温にて30分の自然放置で乾燥して、薄膜層とする。クラックがアクチュエータユニット21の表面に達しておれば、塗布時に、希釈液がクラックを封止する。また、バンプ71上に形成された薄膜が、バンプ71の成分である銀の酸化を防ぐので、高温高湿下での銀のイオン化も防止されることになる。
このように、本実施形態では、薄膜層がスプレー法という簡便な方法で形成される。少なくとも環状保護層61の内側に付着した塗布液が、乾燥して薄膜化する過程で、クラックを封止して銀イオンのマイグレーションの経路を断つ。さらに、バンプ71上の薄膜層は、銀のイオン化(マイグレーションの元凶)に繋がる銀の酸化を防ぐ。この場合、アクチュエータユニット21の表面全体において、塗布液がクラックを封止するので、アクチュエータユニット21内部へのマイグレーションによる不具合を場所によらず抑制できる。
なお、酸化防止剤を含む薄膜層の形成は、上述のスプレー法に限らす、原材料(原液)の粘度によってはスクリーン印刷法、ディスペンサー法、ロールコート法等が使える。このうち、スクリーン印刷法では、第1実施形態の樹脂膜と同じように、環状保護層61と個別ランド136との間に酸化防止剤を含む膜を形成することができる。所望の位置に膜を形成するという観点から、ディスペンサー法も有効である。
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。上述の実施形態では、環状保護層61が、圧電シート141の表面において個別ランド136を全周に亘って包囲する構成であるが、保護層は、圧電シート141の表面において個別ランド136の周囲に配置されていればよく、個別ランド136の一部のみを包囲する構成であってもよい。この場合も、固定工程では圧力が保護層に掛かることになり、仮にクラックが生じてもランドからこれを離すことができる。
また、上述の実施形態では、個別電極135が個別ランド136を含んでおり、バンプ71と電極本体135aとが個別ランド136を介して電気的に接続される構成であるが、個別電極が個別ランド136を含まない構成であってもよい。この場合、バンプ71が電極本体135aに対して直に電気的に接続されればよい。
加えて、上述の実施形態では、圧電シート141の表面に共通電極用ランド、ダミーランド137、及び、ダミーランド137を包囲する環状保護層61が形成される構成であるが、共通電極用ランド、ダミーランド137、及び、共通電極用ランド、ダミーランド137を包囲する環状保護層61の少なくともいずれかが形成されない構成であってもよい。
さらに、上述の実施形態では、熱硬化性エポキシ樹脂から成る樹脂層62が、環状保護層61の内側の側壁面と、個別ランド136の外側の側壁面とによって画定された環状領域を全周に亘って覆っている構成であるが、樹脂層が環状領域の一部のみを覆っていてもよいし、樹脂層が他の種類の樹脂材料で形成されていてもよい。
樹脂充填工程において、樹脂が環状保護層61と個別ランド136の間だけでなく、共通電極用ランド及びダミーランドに係わる環状領域にも充填されていたが、少なくとも個別ランド136の係わる環状領域に充填されればよい。銀イオンのマイグレーションは、銀のバンプと共通電極間の電位差で進行するものであり、電位差が生じない部位への樹脂の充填は必ずしも必要ではない。しかし、個別電極135の周囲の構造的均一性が変位特性の均一性に寄与することを考えると、個別ランド136以外の部位に係わる環状領域にも、樹脂が充填されてよい。
加えて、上述の実施形態では、環状保護層61の圧電シート141の上面からの高さh2が、バンプ71の圧電シート141の上面からの高さh1よりも低くなっており、且つ、個別ランド136及びダミーランド137の圧電シート141の上面からの高さh3よりも高くなっている構成であるが、環状保護層61の高さが、バンプ71の高さ以上であってもよいし、個別ランド136及びダミーランド137の高さ以下であってもよい。この場合、加圧部材が環状保護層61に当接するように、加圧部材の当接面における環状保護層61と対向する領域を突出させたり、加圧部材の当接面に弾性を持たせたりすることが好ましい。
また、上述の実施形態では、環状保護層61が、アクチュエータユニット21の厚み方向に見たときに、流路ユニット9における圧力室110を画定する壁部と対向している構成であるが、環状保護層61が、圧力室110と対向してもよい。このとき、アクチュエータユニット21の破損のしにくさの観点から、例えば、環状保護層が、圧力室110の鋭角部の先端と対向するようにすればよい。
さらに、上述の実施形態では、樹脂充填工程が、固定工程の後に行われる構成であるが、樹脂充填工程が、固定工程に先立って行われてもよい。このとき、樹脂充填工程で充填された樹脂は、充填時の高粘度のまま固定工程を行うとよい。固定工程の加熱によって、充填された樹脂が低粘度化し、仮に固定工程時の圧力でクラックが生じても、低粘度化した樹脂がクラック内に浸透する。
加えて、上述の実施形態では、樹脂充填工程において、熱硬化性を有する熱硬化性エポキシ樹脂を環状領域に充填した後に加熱処理を施すことによって、充填した樹脂を硬化させる構成であるが、環状領域に充填する樹脂は、熱硬化性を有していなくてもよい。仮に、樹脂は、固定工程でクラックがランド近傍に生じたときに、クラック内に浸透したりクラックの開口を封止できたりすれよく、紫外線硬化性の樹脂であっても良い。
また、上述の実施形態においては、バンプ71がAgで形成されており、電極本体135aがAuで形成されており、個別ランド136がAg/Pdで形成されているが、バンプ、電極本体及び個別ランドの少なくともいずれかが他の金属で形成されてもよい。
上述の実施形態では、インク滴を吐出するヘッド2に本発明を適用した例について説明したが、インク以外の他の液体を吐出するあらゆる液体吐出ヘッドに対して本発明は適用可能である。
1 プリンタ
2 ヘッド
21 アクチュエータユニット
61 環状保護層
62 樹脂層
71 バンプ
110 圧力室
132 個別インク流路
134 共通電極
135 個別電極
135a 電極本体
136 個別ランド
137 ダミーランド
141〜143 圧電シート
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61 環状保護層
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71 バンプ
110 圧力室
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135 個別電極
135a 電極本体
136 個別ランド
137 ダミーランド
141〜143 圧電シート
Claims (15)
- 圧力室を経てノズルに至る個別液体流路を有する流路ユニットと、
圧電層、前記圧力室と対向するように前記圧電層の表面に配置されていると共に外部から駆動電圧が供給される個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を含む、前記流路ユニットに固定されたアクチュエータとを備えており、
前記表面に、前記個別電極と電気的に接続されたバンプと、前記バンプの周囲に配置された保護層とが形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記保護層が、前記表面において前記バンプを全周に亘って包囲していることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記保護層の内側の側壁面と前記個別電極の外側の側壁面との間に、熱硬化された樹脂が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記保護層の内側に、酸化防止剤を含む薄膜層が配置されていることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記個別電極は、前記バンプとの間に挟まれたランドを含んでおり、
前記樹脂は、前記表面からの高さが、前記ランドの前記表面からの高さ以下であって、前記保護層の内側の側壁面と前記ランドの側壁面とで画定される環状領域を全周に亘って覆っていることを特徴とする請求項3又は4に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記個別電極は、前記バンプとの間に挟まれたランドを含んでいることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記保護層の前記表面からの高さが、前記ランドの前記表面からの高さ以上、且つ、前記バンプの前記表面からの高さ以下になっていることを特徴とする請求項5又は6に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記保護層が絶縁材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記保護層が、前記圧電層の厚み方向に見たときに、前記流路ユニットにおける前記圧力室を画定する壁部と対向していることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 圧力室を経てノズルに至る個別液体流路を有する流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
圧電層、前記圧電層の表面に配置されていると共に外部から駆動電圧が供給される個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を含むアクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程と、
前記アクチュエータに係る前記表面における、前記個別電極と電気的に接続されるバンプが形成されるべき領域の周囲に保護層を形成する保護層形成工程と、
前記個別電極と前記圧力室とを対向させつつ前記保護層を押圧することによって、前記アクチュエータを前記流路ユニットに固定する固定工程と、
前記流路ユニットに固定された前記アクチュエータに係る前記表面に、前記バンプを形成するバンプ形成工程とを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記保護層形成工程において、前記表面における前記バンプが形成されるべき領域を全周に亘って包囲するように、前記保護層が形成されることを特徴とする請求項10に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記バンプ形成工程に先立って、前記保護層の内側の側壁面と前記個別電極の外側の側壁面との間に樹脂を充填する樹脂充填工程をさらに備えていることを特徴とする請求項10又は11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記バンプを構成する金属のイオン化傾向が、前記個別電極を構成する金属のイオン化傾向に比べて大きい場合、前記バンプ形成工程に先立って、前記樹脂充填工程が行われることを特徴とする請求項12に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記樹脂充填工程において、前記樹脂は熱硬化性を有しており、前記樹脂を充填した後に、前記充填された樹脂を加熱によって硬化させることを特徴とする請求項12又は13に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記バンプ形成工程に先立って、前記保護層の内側に、酸化防止剤を含む薄膜層を形成する薄膜形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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JP2010034208A JP2011167947A (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPWO2013100063A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-05-11 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置、ならびにそれらに用いられる圧電アクチュエータ基板 |
-
2010
- 2010-02-19 JP JP2010034208A patent/JP2011167947A/ja active Pending
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