JP5511610B2 - 圧電アクチュエータユニット、それを用いた圧電アクチュエータユニット装置、液体吐出ヘッドおよび記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液滴を吐出させる液体吐出ヘッドなどに用いられる圧電アクチュエータユニット、それを用いた圧電アクチュエータユニット装置、液体吐出ヘッドおよび記録装置に関するものである。

近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。

このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。

また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。

シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。

そこで液体吐出ヘッドを、マニホールドおよびマニホールドから複数の液体加圧室をそれぞれ介して繋がる液体吐出孔を有した流路部材と、前記液体加圧室をそれぞれ覆うように設けられた、複数の個別電極と複数の個別電極に対向している共通電極とそれらに挟まれている圧電セラミック層とを含む複数の変位素子を有する圧電アクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドでは、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がった液体加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられたアクチュエータユニットの変位素子を圧電体の変形により変位させることで、各液体吐出孔からインクを吐出させ、主走査方向に６００ｄｐｉの解像度で印刷が可能とされている。

特開２００３−３０５８５２号公報

特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドなどに用いられる圧電アクチュエー
ユニットには、複数の個別電極と共通電極との間に駆動電圧を供給できるように、それらと電気的に接続される配線部材を実装することになる。そのような場合、個別電極上および共通電極上にバンプを設けて、それらのバンプと配線部材中の配線とを接続することが考えられる。また、共通電極は、圧電アクチュエータユニットの内部に形成さているため、個別電極が形成されている主面から共通電極までの圧電セラミック層を貫通するビアホールを設け、そのビアホールの底面に露出している共通電極上にバンプを形成することが考えられる。

しかしながら、上述のような、個別電極上の個別電極バンプおよび共通電極上の共通電極バンプが形成された圧電アクチュエータユニットを作製すると、共通電極バンプ作製時に供給された材料の一部がビアホールを埋めるように使われるため、共通電極バンプの高さと個別電極バンプの高さとの差が大きくなり、配線部材との接合性が悪くなるという問題があった。

したがって、本発明の目的は、配線部材との接合性の良好な圧電アクチュエータユニット、それを用いた圧電アクチュエータユニット装置、液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供することにある。

本発明の圧電アクチュエータユニットは、複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に形成されている複数の個別電極と、該複数の個別電極上に形成されている個別電極バンプと、前記複数の個別電極に対向して前記積層体の内部に積層されている共通電極と、該共通電極の前記複数の個別電極に対向してない部位から前記積層体の一方の主面まで繋がっているビアホールと、該ビアホール内の前記共通電極上に形成されている共通電極バンプとを有する圧電アクチュエータユニットであって、前記ビアホールの底面の下側に位置する前記圧電セラミック層が、前記ビアホール側に突出していることを特徴とする。

前記ビアホールにおける前記共通電極の前記積層体の一方の主面側の表面の凹凸の高さが、他の前記共通電極の前記積層体の一方の主面側の表面の凹凸の高さ以下であることが好ましい。

前記一方の主面からの前記複数の個別電極バンプの高さと、前記一方の主面からの前記共通電極バンプの高さとが略同じであることが好ましい。

また、本発明の圧電アクチュエータユニット装置は、前記圧電アクチュエータユニットと、前記複数の個別電極バンプおよび前記共通電極バンプがそれぞれ電気的に接続されている配線を有する配線部材とを含むことを特徴とする。

さらに、本発明の液体吐出ヘッドは、平面に開口する複数の液体加圧室および該複数の液体加圧室にそれぞれ繋がっている複数の液体吐出孔を備える流路部材の前記平面に、前記複数の液体加圧室を覆うように請求項４に記載の圧電アクチュエータユニット装置が積層されていることを特徴とする。

またさらに、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、制御部とを備えており、該制御部は前記配線部材を介して前記圧電アクチュエータユニットを制御するとともに、前記搬送部を制御することを特徴とする記録装置。

本発明の圧電アクチュエータユニットによれば、個別電極バンプと共通電極バンプとの
高さの差を少なくできるので、個別電極バンプおよび共通電極バンプを、これらが電気的に接続される配線を有する配線部材に接合する際に、配線と個別電極バンプおよび共通電極との接続が良好になる。

また、本発明の圧電アクチュエータユニット装置によれば、配線と個別電極バンプおよび共通電極との接続が良好であるため、使用中に接合部が取れにくく、信頼性を高めることができる。

さらに、本発明の液体吐出ヘッドによれば、配線と個別電極バンプおよび共通電極との接続が良好であるため、使用中に接合部が取れにくく、信頼性を高めることができる。

さらにまた、本発明の記録装置によれば、配線と個別電極バンプおよび共通電極との接続が良好であるため、使用中に接合部が取れにくく、信頼性を高めることができる。

本発明の一実施形態に係る記録装置であるプリンタの概略構成図である。 図１の液体吐出ヘッドを構成する流路部材および圧電アクチュエータユニットの平面図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータユニットの平面図である。 本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータユニットの縦断面図である。 本発明の範囲外の圧電アクチュエータユニットの縦断面図である。

図１は、本発明の一実施形態による圧電アクチュエータユニットを含む液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。

給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。

給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。

搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６お
よび１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。

ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。

ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。

給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。

４つの液体吐出ヘッド２は、搬送ベルト１１１による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端に液体吐出ヘッド本体１３を有している。液体吐出ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔８が設けられている液体吐出孔面４ａとなっている（図４、５および６参照）。

１つの液体吐出ヘッド２に設けられた液体吐出孔８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド２の液体吐出孔８は、液体吐出孔面４ａに開口しており、一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐ搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、液体吐出ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。

搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成する液体吐出ヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。

搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラ
ー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。

なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。

次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体１３について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド本体１３を示す上面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、液体吐出ヘッド本体１３の一部である。図４は、図３と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔８の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータユニット４０の下方にあって破線で描くべき液体加圧室１０（液体加圧室群９）、しぼり１２および液体吐出孔８を実線で描いている。図５は図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図６は圧電アクチュエータユニット４０の平面図である。図７は圧電アクチュエータユニット４０の縦断面図である。図８はビアホール２２１ｃの底面の下側の圧電セラミック層２２１ａにビアホール２２１ｃ側への突出のない本発明の範囲外の圧電アクチュエータユニット２４０の縦断面の参考図である。

液体吐出ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に積層されている圧電アクチュエータユニット４０とを有している。圧電アクチュエータユニット４０は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータユニット４０が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット４０の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータユニット４０により吐出された液滴が混在して着弾することになる。

流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータユニット４０が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。

流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータユニット４０の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータユニット４０に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータユニット４０に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副
マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータユニット４０に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体１３の長手方向に延在している。

流路部材４は、複数の液体加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの液体加圧室群９を有している。液体加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータユニット４０に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室１０によって形成された各液体加圧室群９は圧電アクチュエータユニット４０とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータユニット４０が接着されることで閉塞されている。

本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。

全体では、マニホールド５から繋がる液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室１０の数は、アクチュエータである変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。

つまり、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように液体吐出孔８を投影すると、図３に示した仮想直線のＲの範囲に、各副マニホールド５ａ繋がっている４つの液体吐出孔８、つまり全部で１６個の液体吐出孔８が６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の液体吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。

圧電アクチュエータユニット４０の上面における各液体加圧室１０および後述のダミー液体加圧室に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。すなわち、個別電極３５は、圧電アクチュエータユニット４０の一方の主面２１ｄ上に、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。個別電極３５のうち液体加圧室１０と重なっている個別電極本体は、液体加圧室１０より一回り小さく、液体加圧室１０とほぼ相似な形状を有している。また、個別電極３５には、圧電アクチュエータユニット４０の上面における液体加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている個別電極本体から前記領域外に引き出されている引出電極が含まれる。

流路部材４の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔８が形成されている。これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータユニット４０と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐
出孔群７は圧電アクチュエータユニット４０とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット４０の変位素子５０を変位させることにより液体吐出孔８から液滴が吐出できる。液体吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。

以上の流路は、液滴の吐出に直接関係する流路であるが、流路部材４には、図では省略してあるダミー液体加圧室が設けられている。ダミー液体加圧室は、液体加圧室１０が設けられている台形状の領域の周囲に一列形成されている。ダミー液体加圧室により、液体加圧室１０のうちの最も外側にある液体加圧室１０の周囲の流路部材４の剛性などが、他の液体加圧室１０の状態と近くなるので、液体吐出特性のばらつきを少なくできる。ダミー液体加圧室の形状は液体加圧室と同じであるが、他の流路に繋がってはいない。ダミー液体加圧室の配置は、液体加圧室１０のマトリクス状の配置を延長するように配置される。

液体吐出ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体１３は、図５に示されているように、液体加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、液体吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室１０を介して副マニホールド５ａと液体吐出孔８とが繋がる構成を有している。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された液体加圧室１０である。第２に、液体加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。

第３に、液体加圧室１０の他端から液体吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には液体吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。

このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から液体吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室１０の一端部に至る。さらに、液体加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔８へと進む。

圧電アクチュエータユニット４０は、図５〜７に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層体に、共通電極３４、個別電極３５、個別接続電極３６、共通接続電極３７を形成してなる圧電アクチュエータユニット本体２１に、個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７が形成されている。なお、圧電セラミック層の積層数は３層以上でもよい。また、個別接続電極３６および共通接続電極３７は、必ずしも必要ではないが、後述の個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７との接続性をよりよくするため、個別接続電極３６および共通接続電極３７がある方が好ましい。

圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂの積層体の厚さは４０μｍ程度である。圧電アクチュエータユニット４０は、流路部材４の液体加圧室１０の開口している平面状の面に積層されており、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の液体加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

圧電アクチュエータユニット本体２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４、Ａｕ系などの金属材料からなる個別電極３５、個別電極３５の上に形成されているＡｇ系などの金属材料からなる個別接続電極３６、圧電アクチュエータユニット本体２１の周縁領域の共通電極３４上の圧電セラミック層２１ｂに形成されているビアホール２１ｃ、およびビアホール２１ｃ内の共通電極３４の上に形成されているＡｇ系などの金属材料からなる共通接続電極３７を有している。個別電極３５は、圧電アクチュエータユニット４０の上面における液体加圧室１０およびダミー液体加圧室と対向する位置に配置されている個別電極本体と、個別電極本体から液体加圧室１０と重ならない位置まで引き出されている引出電極とを含んでおり、個別接続電極３６は、変位素子５０の変位を小さくしないように、引出電極上に形成されている。共通電極３４および個別電極３５の厚さは、０．３〜１μｍである。個別接続電極３６は、例えばガラスフリットを含むＡｇ−Ｐｄからなり、厚さは５〜１５μｍである。共通接続電極３７は、例えばガラスフリットを含むＡｇ−Ｐｄからなり、厚さは５〜１５μｍである。引出電極のうち後述の個別接続バンプ形成領域８０内に位置するものには個別電極バンプ４６が形成されている。

ビアホール２１ｃの底面の下側に位置する圧電セラミック層２１ａにはビアホール２１ｃ側に突出している突出部２１ａｂが形成されている。ビアホールの底面の直径は、例えば５０〜１５０μｍである。また、突出部２１ａｂの突出高さは１０〜２０μｍであり、これは言い換えると圧電セラミック層２１ｂの厚さの１／２〜１倍である。突出部２１ａｂは、例えば後述の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂの積層工程において、圧電セラミック層２１ａを変形させることで形成できる。突出高さが１０μｍ以上であることにより、共通電極バンプ４７と個別電極バンプ４６とを形成する際に、ビアホール２１ｃ内に入り込む共通電極バンプ４７となる材料の量が少なくなるので、ざ個別電極バンプ４６と共通電極バンプ４７の高さの差を小さくでき、接続部材６０であるＦＰＣ（Flexible Printed
Circuit）と個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７との接続性を良くできる。また、突出高さが２０μｍ以下であることにより、製造時の圧電セラミック層２１ａに加わる応力を少なくできるので、使用中に圧電セラミック層２１ａにクラックなどが生じ難く、突出高さは１５μｍ以下であることが好ましい。ビアホール２１ｃの側面は圧電セラミック層２１ｂに形成されている斜面であり、圧電アクチュエータユニット４０の個別電極３５の形成されている一方の主面２１ｄに対して２０〜４０°の角度になっている。角度が２０°以上であることにより、ビアホール２１ｃの形成されている面積を小さくすることができ、角度が４０°以下であることにより、共通接続電極３７や共通電極バンプ４７となるペースト等がビアホールに流れ込みやすくなるとともに、突出部２１ａｂの基底部とビアホール２１ｃの側面の斜面とが交わる部分を基点とした接続の破壊が生じ難く、接
続強度を強くできる。突出部２１ａｂの基底部とビアホール２１ｃの側面の斜面とが交わる部分は、突出部２１ａｂが突出しているので狭くなっているため、突出部２１ａｂがない場合と比べてペースト等が流れ込み難く、空隙が残ることがあり、この空隙が破壊の起点となることがあるが、前記角度を小さくすることで、この空隙の大きさを小さくしたり、発生頻度を低くすることができ、接続強度が強くなる。

また、ビアホール２１ｃ部の底面の下側に位置する圧電セラミック層２１ａの対向する下面は、突出部２１ａｂの形成されている分凹んではおらず、凹部は０〜２μｍ程度であり、突出高さの１／５以下となっている。これは、後述の製造工程の積層において、ビアホール２１ｃの側面となっている圧電セラミック層２１ｂが圧電セラミック層２１ａ側に押し込まれて、ビアホール２１ｃ周囲の下側に位置する圧電セラミック層２１ａがビアホール２１ｃの下の部分に移動するように変形することにより、ビアホール２１ｃの下の圧電セラミック層２１ａの厚さが他の部分より厚くなっていることによる。凹部が浅いことにより、流路部材４への接合時に空隙やクラックが生じ難く、接合性が良くなる。

ビアホール２１ｃの底面に露出している共通電極３４の積層体の一方の主面２１ｄ側の表面３４ａ、言い換えれば、共通電極３４と共通接続電極３７との界面の凹凸の高さは０．３〜１μｍである。凹凸の高さが０．３〜１μｍと小さいため、共通接続電極３７との電気的接続が良好になる。他の部分の共通電極３４の積層体の一方の主面２１ｄ側の表面３４ｂ、言い換えれば、共通電極３４と圧電セラミック層２１ｂとの界面３の凹凸の高さも０．３〜１μｍとなっており、ビアホール２１ｃの共通電極３４の積層体の一方の主面２１ｄ側の表面３４ａの凹凸の高さは、これ以下になっている。共通電極３４は、導体ペーストの印刷および圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとの同時焼成で形成されてり、印刷したままの状態で焼成すると、その表面の凹凸の高さは２〜５μｍとなり、凹となっている部分に共通接続電極３７が十分入り込ます電気的接続が不安定になるおそれがある。ビアホール２１ｃの底面に露出している共通電極３４の表面３４ａは、後述の積層工程で、圧力が加わり平坦になるので、圧電セラミック層２１ｂにより圧力が同じように加わり平坦になっている部分の共通電極３４と同程度以下になっている。ここで同程度以下とは、圧電セラミック層２１ｂと共通電極３４との界面３４ｂの凹凸の高さの±１μｍもしくはそれ以下であるということである。

個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７は、それぞれ個別接続電極３６および共通接続電極４６の上に形成されている。これらバンプは樹脂とＡｇ粉末を混ぜたＡｇペーストを印刷して、加熱・乾燥して形成される。また、これらバンプは配線部材６０のカバーフィルム６０ｃを突き破って配線６０ｂと接触することで電気的に接続され、カバーフィルム６０ｃで挟まれていることにより、保持される。個別電極バンプ４６の高さは５０〜１００μｍである。ビアホール２１ｃの底面の下側に突出部２１ａｂがないと、ビアホール２１ｃに入り込むＡｇペーストの分、共通電極バンプ４７の高さが低くなり、配線部材６０との電気接合不良が生じる可能性が高くなる。また、単に低くなるだけでなく、ビアホール２１ｃの直上の共通電極バンプ４７の上面に凹部ができてしましい、この凹部により接続が、より阻害される。

圧電アクチュエータユニット４０の一方の主面２１ｄから個別電極バンプ４６の上までの高さｈ１は、圧電アクチュエータユニット４０の一方の主面２１ｄから共通電極バンプ４７の上までの高さｈ２の差は１０μｍ以下であることが好ましく、特に５μｍ以下であることが好ましい。なお、図８に示した圧電アクチュエータユニット２４０ではｈ３はｈ１より１０μｍ低くなり、その差は１５μｍ程度となる。共通電極バンプ４７の上部には凹部が実質的にないことが好ましい。ここで実質的にないとは、凹部の深さが５μｍ以下であることを言う。なお、図８に示した圧電アクチュエータユニット２４０では５μｍよりの深い凹部が生じる。

以上のように、配線部材６０に電気的に接続された、個別電極３５および共通電極３４の間には、制御部１００から駆動信号（駆動電圧）が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

なお、以上は、圧電アクチュエータユニット４０が２層の圧電セラミック層の場合の構造であるが、３層以上の圧電セラミック層を積層して、個別電極３５と共通電極３４が交互になるように配置してもよい。ビアホール２１ｃの深さも、圧電セラミック層１層分でなく、もっと深いものであってもよい。

個別電極３５は、圧電アクチュエータユニット４０の一方の主面の略全面に渡ってマトリクス状に形成されている。すなわち、第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている。個別電極バンプ４６が形成されているのは、圧電アクチュエータユニット４０と略相似の台形状の個別接続バンプ形成領域８０内である。圧電アクチュエータユニット４０の一方の主面の個別電極バンプ４６が形成されていない領域である、個別接続バンプ形成領域８０の以外の領域は周縁領域であり、圧電アクチュエータユニット４０の一方の主面の周縁の領域である。ビアホール２１ｃは、周縁領域に形成される。

個別電極３５のうち列Ａ、Ｂ、Ｃの個別電極３５は、その直下がダミー液体加圧室となるダミー個別電極である。ダミー個別電極を設けることにより周縁領域の圧電アクチュエータユニット４０の凹凸の高さがが内部と同程度にできる。このダミー個別電極から引き出される引出電極には、ダミー個別接続電極（第１のダミー個別接続電極６８）が形成されているものと、いないものがある。引出された引出電極が、個別接続バンプ形成領域８０内に位置するものは、第１のダミー個別接続バンプ６８が形成されている第１のダミー個別電極６５であり、引出された引出電極が、周縁領域に位置するものは、ダミー個別電極バンプが形成されていない第２のダミー個別電極６６である。このようにすることで、ダミー個別電極バンプではない個別電極バンプ４６のうちのもっとも外側の個別電極バンプ４６の接続状態が、他の内部の個別電極バンプ４６の接続状態と近くなり、接続が良好になる。

共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータユニット４０に対向する領域内の全ての液体加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４はビアホール２１ｃ部で共通接続電極３７に接続され、共通接続電極３７は配線部材６０を通じて接地され、グランド電位に保持されている。共通接続電極３７は周縁領域に形成されており、マトリクス状に形成されているダミー個別電極と共通接続電極３７とが重なる位置になるとき、ダミー個別電極が個別接続バンプ形成領域８０に入っている場合、ダミー個別電極と共通接続電極３７とが電気的に接続されないようにダミー個別電極を共通接続電極３７を避ける形状にし、ダミー個別電極が個別接続バンプ形成領域８０に入らない場合、ダミー個別電極は他のダミー個別電極あるいは個別電極３５と同じ形状にする。このようにすることで、ダミー個別電極の形状のできるだけ一定にすることにより、周縁領域における凹凸の差を少なくできるとともに、絶縁性を高くできる。

図６の圧電アクチュエータユニット４０では、さらに平面形状が円形のダミー個別接続電極とその直上の第２のダミー個別電極バンプ６９とが設けられている。ダミー個別接続電極と第２のダミー個別電極バンプ６９は、それぞれ個別接続電極３６と個別電極バンプ４７と同様の組成であり、それぞれと同時に形成されたものである。これらは、個別電極３５の設けられていない部分に形成され、ダミー個別接続電極と個別接続電極３６とで、個別接続電極３６単独の場合よりも配置の間隔が狭いマトリクス条の配置となっている。
このようにすることにより、流路部材４の平面状の面に接合する際に、より多くの場所で押すことにより、より圧力が均等になって、接続状態が良好になる。

図５に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット４０においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット４０はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。

なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する液体加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット４０における各液体加圧室１０に対向する部分は、各液体加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が液体加圧室１０毎に、液体加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット４０には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。

本実施形態における圧電アクチュエータユニット４０の液体吐出時の駆動方法の一例を、個別電極３５に供給される駆動電圧（駆動信号）に関して説明する。個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット４０は、上側（つまり、液体加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、液体加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。

この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは液体加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、液体加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、液体加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から液体加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタ
イミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが液体加圧室１０側へ凸となるように変形し、液体加圧室１０の容積減少により液体加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から液体吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、液体加圧室１０内部が負圧状態から正
圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。

以上のような液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。まず、圧電セラミック層に用いる圧電材料をチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）とし、ＰＺＴ粉末とバインダと溶剤とを混合してスラリーを作成し、このスラリーから、成形方法としてロールコーター法を採用して、グリーンシートを作製する。

次いで、１枚のグリーンシートにビアホール２１ｃとなる貫通孔を金型により打ち抜きなどで形成する。貫通孔の側面は、グリーンシートの物性や、金型の形状になどにもよるが、グリーシートの主面に対して直交しており、直交からのずれは±１０°程度である。他の１枚のグリーンシートに共通電極３４となる導体ペーストを塗布し、乾燥する。これら２枚のグリーシートを静水圧プレスを用いて積層して、内部に共通電極３４およびビアホール２１ｃを備えた積層成形体を作製する。

静水圧プレスは次のように行なう。まず、２枚のグリーンシートを仮積層したあと、樹脂の袋に入れ袋の中に空気を排出して、真空ラミネートする。真空ラミネートされた２枚のグリーンシートを６０〜９０℃の水中に入れて２５〜７５ＭＰａの水圧を１〜２分加える。この際、変形可能な樹脂の袋を通じて加圧されたグリーンシートの積層体は、ビアホール２１ｃの周囲の圧電セラミック層２１ｂとなるグリーンシートが変形し、ビアホール２１ｃの側面が斜めの形状に押しつぶされるとともに、圧電セラミック層２１ａとなるグリーンシートが変形し材料がビアホール２１ｃの下び部分に移動して、その部分の厚みが厚くなり、ビアホール２１ｃの底面が突出する。突出高さは圧力が大きくなると高くなるので、圧力により突出高さを調整することができる。この際、突出した部分の反対側のグリーンシートには凹みはほとんど生じない。積層の際に斜めになるビアホール２１ｃの側面の角度は、積層の圧力および樹脂の袋の変形のし易さを変えることにより、調整できる。積層の圧力を高くしたり、樹脂の袋を変形のし易いものにすることで、側面はよりつぶされて、角度が小さくなる。樹脂の袋を変形のし易くするたには、材質を柔らかくしたり、厚さを薄くすればよい。また、この際にビアホール２１ｃの底面にある焼成前の生状態の共通電極３４が樹脂の袋により加圧されるため、平坦になる。なお、これらの形状は、焼成においても大きな変化はなく、そのまま保たれる。

その後、この積層成形体を１０２０℃の温度で焼成して圧電焼結体を作製する。この圧電焼結体の表面に、スクリーン印刷により、Ａｕを主成分とする導体ペーストで、マトリックス状に個別電極３５を形成し、さらに、ガラスフリットを含むＡｇペーストで個別接続電極３６および共通接続電極３７を形成し、しかる後に、７５０〜８５０℃の熱処理によって個別電極を形成する。このようにして圧電アクチュエータユニット本体２１を作製できる。

次にＡｇ粉末と樹脂とを含むＡｇペーストを塗布し、１００〜１５０℃で乾燥させて、個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７を形成して、圧電アクチュエータユニット４０を作製する。この際、ビアホール２１ｃの底面の下側に位置する圧電セラミック層２１ａがビアホール２１ｃに突出しているので、その分ビアホール２１ｃの体積が減っており、ビアホール２１ｃに入り込むＡｇペーストの量が少なくなり、共通電極バンプ４７と
個別電極バンプ４６の高さの差が少なくなり、共通電極バンプ４７の上面の凹の浅くなるか、形成されなくなる。

次に、流路部材４を、圧延法等により得られプレート２２〜３１を積層して作製する。プレート２２〜３１に、マニホールド５、個別供給流路６、液体加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。

これらプレート２２〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。

圧電アクチュエータうユニット本体２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ２１や流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ２１と流路部材４とを加熱接合することができる。

続いて、ベースフィルム６０ａ上に複数の配線６０ｂが形成されているものを準備し、配線の形成されている側に、エポキシ樹脂を印刷し、１００℃で表面を乾燥させてカバーフィルム６０ｃを形成して、ＦＰＣである配線部材６０を作製する。配線部材６０に圧電アクチュエータユニット２１の個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７を押し当ててカバーフィルム６０ｃを貫通させ、個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７と配線６０ｂを接続させる。続いて１５０〜２５０℃で１〜５分間加熱圧着し樹脂を硬化させることで、個別電極バンプ４６および共通電極バンプ４７を保持できる。

１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口
６・・・個別供給流路
８・・・液体吐出孔
９・・・液体加圧室群
１０・・・液体加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・液体吐出ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体吐出孔列
２１、２２１・・・圧電アクチュエータユニット本体
２１ａ、２２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ａｂ・・・圧電セラミック層の突出部
２１ｂ、２２１ｂ・・・圧電セラミック層
２１ｃ、２２１ｃ・・・ビアホール
２１ｄ、２２１ｄ・・・一方の主面
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４、２３４・・・共通電極
３５、２３５・・・個別電極
３６、２３６・・・個別接続電極
３７、２３７・・・共通接続電極
４０、２４０・・・圧電アクチュエータユニット
４６、２４６・・・個別電極バンプ
４７、２４７・・・共通電極バンプ
５０・・・加圧部（変位素子）
６０・・・配線部材
６０ａ・・・ベースフィルム
６０ｂ・・・配線
６０ｃ・・・カバーフィルム
６５・・・第１のダミー個別電極
６６・・・第２のダミー個別電極
６８・・・第１のダミー個別電極バンプ
６９・・・第２のダミー個別電極バンプ
８０・・・個別接続バンプ形成領域

Claims (6)

1. 複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に形成されている複数の個別電極と、該複数の個別電極上に形成されている個別電極バンプと、前記複数の個別電極に対向して前記積層体の内部に積層されている共通電極と、該共通電極の前記複数の個別電極に対向してない部位から前記積層体の一方の主面まで繋がっているビアホールと、該ビアホール内の前記共通電極上に形成されている共通電極バンプとを有する圧電アクチュエータユニットであって、前記ビアホールの底面の下側に位置する前記圧電セラミック層が、前記ビアホール側に突出していることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。
2. 前記ビアホールにおける前記共通電極の前記積層体の一方の主面側の表面の凹凸の高さが、他の前記共通電極の前記積層体の一方の主面側の表面の凹凸の高さ以下であることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータユニット。
3. 前記積層体の一方の主面からの前記複数の個別電極バンプの高さと、前記積層体の一方の主面からの前記共通電極バンプの高さとが略同じであることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータユニット。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットと、前記複数の個別電極バンプおよび前記共通電極バンプがそれぞれ電気的に接続されている配線を有する配線部材とを含むことを特徴とする圧電アクチュエータユニット装置。
5. 平面に開口する複数の液体加圧室および該複数の液体加圧室にそれぞれ繋がっている複数の液体吐出孔を備える流路部材の前記平面に、前記複数の液体加圧室を覆うように請求項４に記載の圧電アクチュエータユニット装置が積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、制御部とを備えており、該制御部は前記配線部材を介して前記圧電アクチュエータユニットを制御するとともに、前記搬送部を制御することを特徴とする記録装置。

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