JP5946847B2 - タッチパネル及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、タッチパネル及びその製造方法に関するものである。
最近、多様な電子製品でディスプレイ装置に表示された画像に指またはスタイラス(stylus)などの入力装置を接触する方式により入力するタッチパネルが適用されている。
タッチパネルは、抵抗膜方式のタッチパネルと静電容量方式のタッチパネルとに大別できる。抵抗膜方式のタッチパネルは、入力装置の圧力によりガラスと電極が短絡されて位置が検出される。静電容量方式のタッチパネルは、指が接触した時、電極の間の静電容量が変化することを感知して位置が検出される。
このようなタッチパネルで厚さを減らし、光特性を向上するために、連結(bridge)電極を活用した1層(1 layer)タッチパネルが脚光を浴びている。しかしながら、有効領域で連結電極のサイズによって連結電極のパターンが見せる問題がある。
本発明の目的は、信頼性及び特性を向上できるタッチパネル及びその製造方法を提供することにある。
本発明の実施形態に従うタッチパネルは、基板、前記基板に第1方向に形成される第1センサー部及び前記第1センサー部を電気的に連結する第1電極連結部を含む第1透明電極、及び前記第1透明電極と電気的に絶縁され、前記第1方向と交叉する第2方向に形成される第2センサー部及び前記第2センサー部を電気的に連結する第2電極連結部を含む第2透明電極を含み、前記第2電極連結部がメッシュ(mesh)形状である。
本発明の他の実施形態に従うタッチパネルは、基板、前記基板と離隔して形成される透明電極用基材、及び前記透明電極用基材に形成される透明電極を含み、前記透明電極は第1方向に形成される第1センサー部及び前記第1センサー部を電気的に連結する第1電極連結部を含む第1電極、及び前記第1方向と交叉する第2方向に形成される第2センサー部及び前記第2センサー部を電気的に連結する第2電極連結部を含む第2電極を含み、前記第2電極連結部がメッシュ(mesh)形状である。
本発明の実施形態に従うタッチパネルの製造方法は、基板を用意するステップ、前記基板にメッシュ形状の第2電極連結部を形成するステップ、及び前記第2電極連結部に透明伝導性物質で第1センサー部、第2センサー部、及び前記第2電極連結部と電気的に絶縁される第1電極連結部を形成するステップを含む。
本発明に従うタッチパネルは、連結電極をメッシュ形状に形成することによって有効領域の上で連結電極のパターンが見えないようにすることができる。
一方、本発明に従うタッチパネルでは、基板と透明電極との間にインデックスマッチングを行なうことができる中間層を介して、透過率、反射率、及び色差(b*、yellowish)特性を向上しながらも透明電極を中間層の上に直接形成することができる。したがって、透過率を向上しながらも製造費用を低減することができる。さらに、インデックスマッチングによって透明伝導性物質で形成された透明電極を見えないように(invisible)することができる。これによって、タッチパネルが適用されたディスプレイの視認性を向上することができる。
本発明に従うタッチパネルの製造方法は、前述した効果を有するタッチパネルを製造することができる。
本発明の第1実施形態に従うタッチパネルの平面図である。 図1のII−II線による断面図である。 本発明の第2実施形態に従うタッチパネルの断面図である。 IV−IV線による断面図である。 本発明の第2実施形態に従うタッチパネルの断面図である。 本発明の第3実施形態に従うタッチパネルの断面図である。 本発明の第4実施形態に従うタッチパネルの平面図である。 図7のIII−III線による断面図である。 タッチパネルの製造方法を説明するための平面図及び断面図である。 タッチパネルの製造方法を説明するための平面図及び断面図である。 タッチパネルの製造方法を説明するための平面図及び断面図である。
本発明を説明するに当たって、各層(膜)、領域、パターン、または構造物が、基板、各層(膜)、領域、パッド、またはパターンの“上(on)”に、または“下(under)”に形成されるという記載は、直接(directly)または他の層を介して形成されるものを全て含む。また、各層の上または下に対する基準は、図面を基準として説明する。
図面において、各層(膜)、領域、パターン、または構造物の厚さやサイズは説明の明確性及び便宜のために変形されることがあるので、実際のサイズを全的に反映するものではない。
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明すれば、次の通りである。
図1乃至図5を参照して実施形態に従うタッチパネルを詳細に説明する。図1は本発明の第1実施形態に従うタッチパネルの平面図であり、図2は図1のII−II線による断面図である。図3は本発明の第2実施形態に従うタッチパネルの断面図であり、図4はIV−IV線による断面図であり、図5は本発明の第2実施形態に従うタッチパネルの断面図である。
図1及び図2を参照すると、実施形態に従うタッチパネルには、入力装置の位置を感知する有効領域(AA)と、この有効領域(AA)の外郭に位置するダミー領域(DA)が定義される。
ここで、有効領域(AA)には入力装置を感知することができるように透明電極20が形成できる。そして、ダミー領域(DA)には透明電極20に連結される配線40及びこの配線40を外部回路(図示せず、以下、同一)に連結する印刷回路基板(図示せず、以下、同一)などが位置できる。このようなタッチパネルをより詳細に説明すれば、次の通りである。
図2を参照すると、第1実施形態に従うタッチパネル100は、互いに反対になる第1面10a及び第2面10bを含む基板10、この基板の第1面10aに形成される中間層60、透明電極(図1の参照符号20、以下、同一)、及び反射防止層70などを含むことができる。
基板10はこの上に形成される中間層60、透明電極20などを支持することができる多様な物質で形成できる。このような基板10は一例としてガラス基板またはプラスチック基板からなることができる。
この基板10の第1面(以下、“上面”)10aに透明電極20が形成される。
このような透明電極20は第1電極22及び第2電極24を含むことができる。そして、第1電極22は第1センサー部22a及び第1電極連結部22bを含み、第2電極24は第2センサー部24a及び第2電極連結部24bを含む。
このようなタッチパネルに指などの入力装置が接触されれば、入力装置が接触された部分で静電容量の差が発生し、この差が発生した部分を接触位置として検出することができる。
具体的に、第1電極22は指などの入力装置が接触されたかを感知する第1センサー部22aと、このような第1センサー部22aを連結する第1電極連結部22bとを含む。第1センサー部22aは第1方向(図面のX軸方向、以下、同一)に形成されることができ、第1電極連結部22bはこのような第1センサー部22aを第1方向に連結する。第1電極連結部22bは第1センサー部22aと一体に形成できる。
これと類似するように、第2電極24は指などの入力装置が接触されたかを感知する第2センサー部24aと、このような第2センサー部24aを連結する第2電極連結部24bとを含む。指などの入力装置が接触されたかを感知する第2センサー部24aは第1方向と交叉する第2方向(図面のY軸方向、以下、同一)に形成できる。第2電極連結部24bはこのような第2センサー部24aを第2方向に連結する。このような第2電極連結部24bについては詳細に後述する。
図面では第1及び第2センサー部22a、24aが菱形状を有することと図示したが、実施形態はこれに限定されるのもではない。したがって、第1及び第2センサー部22a、24aは指などの入力装置が接触されたかを感知することができる多様な形状に形成できる。一例に、四角形、五角形などの多角形、円形または楕円形などの形状を有することができる。
このような第1センサー部22a、第1電極連結部22b、及び第2センサー部24aは、光の透過を妨害しないながら電気が流れることができるように透明伝導性物質を含むことができる。具体的に、インジウムチン酸化物(indium tin oxide)、インジウムジンク酸化物(indium zinc oxide)、炭素ナノチューブ(carbon nano tube;CNT)、伝導性ポリマー、及び銀ナノワイヤーインキ(Ag nano wire ink)などの物質を含むことができる。
次に、前記の第2センサー部24aを連結するための第2電極連結部24bはメッシュ(mesh)形状を有する。
このような第2電極連結部24bの線幅が1nm乃至5umでありうる。1nm以下の線幅を有する第2電極連結部24bは、工程上、不可能であり、線幅が5umより大きい場合、このような第2電極連結部24bのメッシュ形状が目に見えることができる。このような線幅を有する場合、メッシュの形状に関係なく肉眼で確認できないので、多様な形状を有することができる。
このような第2電極連結部24bは電気伝導度に優れる金属を含むことができる。一例に、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、及びこれらの合金で形成できる。
しかしながら、実施形態はこれに限定されるものではないので、第2電極連結部24bは透明伝導性物質を含むことができる。一例に、第2電極連結部24bはインジウムチン酸化物(indium tin oxide)、インジウムジンク酸化物(indium zinc oxide)、炭素ナノチューブ(carbon nano tube;CNT)、伝導性ポリマー、及び銀ナノワイヤーインキ(Ag nano wire ink)のうち、いずれか1つを含むことができる。
また、メッシュ形状が単層または多層に形成できる。これは、第2電極連結部24bを形成する物質によって柔軟性(flexibility)または接着力(adhesion)が変わるが、このような性質によって多層に形成されて、より有利な性質を有するようにすることができる。
このような第2電極連結部24bにコンタクトホール60aを備える中間層60が形成できる。
この中間層60は金属酸化物または金属弗化物を含むことができるが、一例に、マグネシウム弗化物、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、セリウム弗化物、インジウム酸化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、鉛酸化物、チタニウム酸化物、タンタリウム酸化物、及びニオビウム酸化物などを含むことができる。中間層60は特定の屈折率を有するようにしてインデックスマッチング(index matching)になるようにすることができる。
中間層60は特定の屈折率を有することができるように単層または多層に形成できる。一例に、中間層60が高屈折率の第1層61と低屈折率の第2層62を基板10の上に順次に形成して有効領域(AA)でタッチパネルの透過率を向上させることができる。
一例に、第1層61は屈折率の高いタンタリウム酸化物、チタニウム酸化物、ニオビウム酸化物、ジルコニウム酸化物、または鉛酸化物を含むことができ、第2層62は屈折率の低いケイ素酸化物を含むことができる。一例に、チタニウム酸化物の屈折率が2.2、ニオビウム酸化物の屈折率が2.4、ケイ素酸化物の屈折率が1.4でありうる。この場合、タッチパネルの透過率を90%以上、好ましくは92%以上、最大99%まで向上することができる。また、複数の第1層61と第2層62とが交互に積層されることもできる。
一方、基板10のダミー領域(DA)に透明電極20に連結される配線40及びこの配線40に連結される印刷回路基板が形成される。このような配線40はダミー領域(DA)に位置するので、電気伝導性に優れる金属からなることができる。印刷回路基板には多様な形態の印刷回路基板が適用できるが、一例に、フレキシブル印刷回路基板(flexible printed circuit board;FPCB)などが適用できる。
図2及び図4を参照すると、基板10の第2面(以下、“下面”)10b及び透明電極20のうち、少なくともいずれか一面に反射防止層70が形成できる。図面では透明電極20に反射防止層70が形成されることと図示したが、実施形態はこれに限定されるものではない。したがって、基板10の下面10bのみに反射防止層70が形成されることができ、反射防止層70の効果を極大化するために基板10の下面10b及び透明電極20の両面に形成できる。
反射防止層70は反射による眩しさや画面が見えない現象を防ぐために、可視光領域の光の反射率を低める役割をする。即ち、反射防止層70は反射の悪影響を効果的に減少させて優れる解像度を提供することができ、視認性を向上することができる。また、タッチパネルの透過率を90%以上、好ましくは92%以上、最大99%まで向上する役割をすることができる。
このような反射防止層70は、屈折率が1.35乃至2.7の酸化物または弗化物を含むことができる。このような屈折率は反射防止に適合した範囲に決定されたものであり、このような反射防止層70は互いに異なる屈折率を有する物質を1層以上積層して形成できる。
前述した酸化物または弗化物には、マグネシウム弗化物、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、セリウム弗化物、インジウム酸化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、鉛酸化物、チタニウム酸化物、タンタリウム酸化物、及びニオビウム酸化物などが使用できる。
この際、反射防止層70は、スパッタリング(sputtering)やロールツーロール(roll to roll)工程により形成できる。スパッタリングはイオン化した原子を電気場により加速させて薄膜材料(source material)に衝突させ、この衝突により薄膜材料の原子が蒸着される方法である。ロールツーロール工程は紙やフィルムのような素材をロールに巻いてそのままに加工する工程をいう。
図3及び図5を参照すると、第2実施形態に従うタッチパネル200では、透明電極20に保護層80が形成できる。このような保護層80は透明電極20の損傷を防止する保護膜の役割をすることができる。
保護層80は高屈折率を有するチタニウム酸化物、ニオビウム酸化物、タンタリウム酸化物、ジルコニウム酸化物、鉛酸化物などを含むことができる。このような高屈折率の保護層80を多層に積層して透過率をより向上することができる。また、このような保護層80をハードコーティング(hard coating)層に形成してスクラッチを防止することができる。
以下、図6を参照して、第3実施形態に従うタッチパネルを説明する。図6は、本発明の第3実施形態に従うタッチパネルの断面図である。
第3実施形態に従うタッチパネル300では、中間層60の上に第1電極連結部22bと第2電極連結部24bとを絶縁することができる透明絶縁層90がさらに形成できる。
前述した第1実施形態及び第2実施形態に従うタッチパネル100、200では、中間層60を通じて第1電極連結部22bと第2電極連結部24bとの絶縁が可能である。しかしながら、第3実施形態に従うタッチパネル300では中間層60上に透明絶縁層90をさらに形成して、電気的短絡を防止するための特性をより向上することができる。
透明絶縁層90は、マグネシウム弗化物、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、セリウム弗化物、インジウム酸化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、鉛酸化物、チタニウム酸化物、タンタリウム酸化物、及びニオビウム酸化物などを含むことができる。
また、図面に図示してはいないが、第2電極連結部24bの上に部分的に透明絶縁層90のみ形成できる。このような透明絶縁層90を通じて第1電極連結部22bと第2電極連結部24bとを電気的に絶縁することができる。
以下、図7及び図8を参照して、第4実施形態に従うタッチパネルを説明する。
図7は本発明の第4実施形態に従うタッチパネルの平面図である。図8は図7のIII−III線による断面図である。
第4実施形態に従うタッチパネル400は、互いに反対になる第1面(以下、“上面”)10a及び第2面(以下、“下面”)10bを含む基板10、この基板10の下面10bと離隔して形成される透明電極用基材30、透明電極用基材30に形成される透明電極20などを含むことができる。そして、このような透明電極用基材30に反射防止層70が形成できる。
基板10はガラス基板またはプラスチック基板からなることができる。
この基板10に後述した透明電極用基材30を合着するために、光学用透明接着剤(optically clear adhesive;OCA)が形成できる。
基板10と離隔して透明電極用基材30が位置する。透明電極用基材30はガラスまたはポリエチレンテレフタレート(poly(ethylene terephthalate);PET)フィルムを含むことができる。
このような透明電極用基材30に中間層60が形成される。具体的に、透明電極用基材30の基板10と対向する第3面30aに中間層60が形成される。このような中間層60は第3面30aの全面に形成できる。
次に、中間層60に透明電極20が形成される。このような透明電極20は第1電極22及び第2電極24を含むことができる。そして、第1電極22は第1センサー部22a及び第1電極連結部22bを含み、第2電極24は第2センサー部24a及び第2電極連結部24bを含む。
次に、前記の第2センサー部24aを連結するために第2電極連結部24bが形成されるが、第2電極連結部24bはメッシュ(mesh)形状に形成される。このような第2電極連結部24bの線幅が1um乃至5umでありうる。
第1電極連結部22bと第2電極連結部24bとの電気的短絡を防止するために透明絶縁層50が形成される。具体的に、このような透明絶縁層50は第1電極連結部22bと第2電極連結部24bとを絶縁することができる透明絶縁性物質で形成できる。
一方、基板10の上面10a及び透明電極用基材30の第4面30bのうち、少なくともいずれか一面に反射防止層70が形成できる。図面では透明電極用基材30の第4面30bに反射防止層70が形成されることと図示したが、実施形態はこれに限定されるものではない。したがって、基板10の上面10aのみに反射防止層70が形成されることができ、反射防止層70の効果を極大化するために基板10の上面10a及び透明電極用基材30の第4面30bの両面に全て形成できる。
以下、図9乃至図11を参照して、実施形態に従うタッチパネルの製造方法を詳細に説明する。明確で、かつ簡略な説明のために、前述した内容と同一または極めて類似な部分に対しては詳細な説明を省略し、互いに異なる部分に対して詳細に説明する。
図9乃至図11は、タッチパネルの製造方法を説明するための平面図及び断面図である。ここで、(a)には図1のA領域を基準に図示した平面図を、(b)には(a)のB−B線を基準にした断面図を図示した。
まず、図9を参照すると、基板10にメッシュ形状の第2電極連結部24bを形成する。
第2電極連結部24bをメッシュ形状に形成するために、電極物質を塗布した後、フォトレジスト工程(photoresist)によりエッチングして形成することができる。しかしながら、実施形態はこれに限定されるものではないので、メッシュ形状を形成できる多様な工程を用いることができる。
次に、図10を参照すると、第2電極連結部24bにコンタクトホール60aを備える中間層60が形成される。具体的に、コンタクトホール60aは第2電極連結部24bの一部を露出するが、コンタクトホール60aは追って形成される第2センサー部(図8の参照符号24a)が連結されるようにする役割をすることができる。
このような中間層60はコーティングまたは蒸着などにより形成できる。一例に、中間層60は反応性スパッタリング(reactive sputtering)により形成できる。即ち、金属蒸着源と蒸着ターゲットのためのスパッタ装置の内に不活性気体(Ar、Ne)と共に酸素(O)及び/または窒素(N)を追加して、金属蒸着源が酸化されながら蒸着ターゲットに蒸着されるようにすることができる。
次に、図11を参照すると、中間層60に透明伝導性物質で第1センサー部22a、第1電極連結部22b、及び第2センサー部24aが形成される。この際、第2センサー部24aがコンタクトホール60aを通じて第2電極連結部24bと連結できるようにアライン(align)される。
このような第1センサー部22a、第1電極連結部22b、及び第2センサー部24aは、物理的蒸着法(Physical Vapor Deposition;PVD)、化学的蒸着法(Chemical Vapor Deposition;CVD)など、多様な薄膜蒸着技術により形成できる。
図面に図示してはいないが、第1センサー部22a、第1電極連結部22b、及び第2センサー部24aの形成後、反射防止層または保護膜などがさらに形成できる。
また、図面には図示してはいないが、中間層60を形成するステップと第1センサー部22a、第2センサー部24a、及び第1電極連結部22bを形成するステップの間に透明絶縁層(図6の参照符号90)を形成するステップをさらに含むことができる。
以上、実施形態に説明された特徴、構造、効果などは、本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれ、必ず1つの実施形態のみに限定されるものではない。延いては、各実施形態で例示された特徴、構造、効果などは、実施形態が属する分野の通常の知識を有する者により他の実施形態に対しても組合または変形されて実施可能である。したがって、このような組合と変形に関連した内容は本発明の範囲に含まれることと解釈されるべきである。
以上、本発明を好ましい実施形態をもとに説明したが、これは単なる例示であり、本発明を限定するのでない。本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲内で、多様な変形及び応用が可能であることが同業者にとって明らかである。例えば、実施形態に具体的に表れた各構成要素は変形して実施することができ、このような変形及び応用にかかわる差異点も、特許請求の範囲で規定する本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。

Claims (10)

  1. 基板と、
    前記基板の一面上に第1方向に形成される第1センサー部及び前記第1センサー部を電気的に連結する第1電極連結部を含む第1透明電極と、
    前記第1透明電極と電気的に絶縁され、前記基板の一面上で前記第1方向と交叉する第2方向に形成される第2センサー部及び前記第2センサー部を電気的に連結する第2電極連結部を含む第2透明電極と、
    前記基板に全面的に形成される中間層と、を含み、
    前記第2電極連結部はメッシュ(mesh)形状であり、
    前記中間層は、コンタクトホールを含み、前記第2センサー部及び前記第2電極連結部を電気的に連結し、
    前記中間層は、前記基板の一面上に接触する第1層及び前記第1層上に配置される第2層を含み、
    前記第1層は前記第2層より屈折率が大きいことを特徴とする、タッチパネル。
  2. 前記第2電極連結部の線幅が1nm乃至5μmであることを特徴とする、請求項1に記載のタッチパネル。
  3. 前記第2電極連結部は、インジウムチン酸化物(indium tin oxide)、インジウムジンク酸化物(indium zinc oxide)、炭素ナノチューブ(carbon nano tube;CNT)、伝導性ポリマー、及び銀ナノワイヤーインキ(Ag nano wire ink)からなる群から選択された物質を少なくとも1つ含むことを特徴とする、請求項1または2に記載のタッチパネル。
  4. 前記第2電極連結部は、インジウムチン酸化物(indium tin oxide)、インジウムジンク酸化物(indium zinc oxide)、炭素ナノチューブ(carbon nano tube;CNT)、伝導性ポリマー、及び銀ナノワイヤーインキ(Ag nano wire ink)からなる群から選択された物質を少なくとも1つ含むことを特徴とする、請求項1または2に記載のタッチパネル。
  5. 前記第1層は、タンタリウム酸化物、チタニウム酸化物、ニオビウム酸化物、ジルコニウム酸化物及び鉛酸化物のいずれか1つを含み、
    前記第2層はケイ素酸化物を含むことを特徴とする、請求項1に記載のタッチパネル。
  6. 前記第1透明電極と前記第2透明電極の少なくとも一部が同一な層に位置することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のタッチパネル。
  7. 基板と、
    前記基板と離隔して形成される透明電極用基材と、
    前記透明電極用基材の上面に全体的に形成される中間層と、
    前記中間層の上面に形成される透明電極と、を含み、
    前記透明電極は第1方向に形成される第1センサー部及び前記第1センサー部を電気的に連結する第1電極連結部を含む第1電極と、
    前記第1電極と電気的に絶縁され、前記第1方向と交叉する第2方向に形成される第2センサー部及び前記第2センサー部を電気的に連結する第2電極連結部を含む第2電極と、を含み、
    前記中間層は、金属酸化物または金属フッ化物を含み、
    前記第1センサー部及び前記第1電極連結部は、一体に形成され、
    前記第1電極連結部と前記第2電極連結部との間には、透明絶縁層が配置され、
    前記第2電極連結部はメッシュ(mesh)形状であり、
    前記基板の上面と前記透明電極用基材の下面の少なくとも1つの面上に反射防止層が配置されることを特徴とする、タッチパネル。
  8. 前記第2電極連結部の線幅が1nm乃至5umであることを特徴とする、請求項7に記載のタッチパネル。
  9. 前記第2電極連結部は、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、モリブデン(Mo)、及びこれを含む合金からなる群から少なくとも1つを含むことを特徴とする、請求項7または8に記載のタッチパネル。
  10. 前記第2電極連結部は、インジウムチン酸化物(indium tin oxide)、インジウムジンク酸化物(indium zinc oxide)、炭素ナノチューブ(carbon nano tube;CNT)、伝導性ポリマー、及び銀ナノワイヤーインキ(Ag nano wire ink)からなる群から少なくとも1つを含むことを特徴とする、請求項7または8に記載のタッチパネル。
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Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201340181A (zh) * 2012-03-30 2013-10-01 Chunghwa Picture Tubes Ltd 觸控面板及其觸碰感應層的製造方法
TWI514215B (zh) 2012-11-22 2015-12-21 Lg Innotek Co Ltd 觸控面板
US10248274B2 (en) 2012-11-27 2019-04-02 Guardian Glass, LLC Transparent conductive coating for capacitive touch panel and method of making same
US9733779B2 (en) 2012-11-27 2017-08-15 Guardian Industries Corp. Projected capacitive touch panel with silver-inclusive transparent conducting layer(s), and/or method of making the same
US10222921B2 (en) 2012-11-27 2019-03-05 Guardian Glass, LLC Transparent conductive coating for capacitive touch panel with silver having increased resistivity
US10444926B2 (en) 2012-11-27 2019-10-15 Guardian Glass, LLC Transparent conductive coating for capacitive touch panel with additional functional film(s)
US9557871B2 (en) 2015-04-08 2017-01-31 Guardian Industries Corp. Transparent conductive coating for capacitive touch panel or the like
US9354755B2 (en) 2012-11-27 2016-05-31 Guardian Industries Corp. Projected capacitive touch panel with a silver-inclusive transparent conducting layer(s)
US9921703B2 (en) * 2012-11-27 2018-03-20 Guardian Glass, LLC Transparent conductive coating for capacitive touch panel with additional functional film(s)
US10216347B2 (en) 2012-11-27 2019-02-26 Guardian Glass, LLC Transparent conductive coating for capacitive touch panel with silver having adjusted resistance
TWI472981B (zh) * 2012-11-30 2015-02-11 Hannstouch Solution Inc 觸控面板及其製作方法
TW201423544A (zh) * 2012-12-07 2014-06-16 Wintek Corp 電容式觸控面板及其製作方法
JP6121204B2 (ja) * 2013-03-15 2017-04-26 富士フイルム株式会社 タッチパネル用積層体およびタッチパネル用積層体の製造方法
CN103412688B (zh) * 2013-03-27 2014-09-17 深圳欧菲光科技股份有限公司 电容触摸屏及其制备方法
JP6084117B2 (ja) * 2013-05-23 2017-02-22 グンゼ株式会社 タッチパネル、表示装置及び電子機器
TWI552038B (zh) * 2013-05-08 2016-10-01 Gunze Kk Touch panels, display devices and electronic devices
JP6339780B2 (ja) * 2013-08-27 2018-06-06 エルジー イノテック カンパニー リミテッド タッチパネル及びディスプレイ
EP2843517A1 (en) * 2013-08-27 2015-03-04 LG Innotek Co., Ltd. Touch panel and display
TWI615758B (zh) * 2013-08-27 2018-02-21 Lg伊諾特股份有限公司 觸控面板及顯示裝置
CN104423667B (zh) * 2013-08-30 2018-01-12 Lg伊诺特有限公司 触摸板和显示器
US9477355B2 (en) 2013-09-04 2016-10-25 Lg Innotek Co., Ltd. Touch panel and display
JP6177072B2 (ja) * 2013-09-25 2017-08-09 グンゼ株式会社 タッチパネルの製造方法
KR101613773B1 (ko) * 2013-11-04 2016-04-19 주식회사 동부하이텍 터치 패널 및 그 제조 방법
TWM494960U (zh) * 2013-12-20 2015-02-01 Wintek Corp 元件基板與觸控顯示面板
US10804897B2 (en) * 2014-01-10 2020-10-13 Touchplus Information Corp. Touch-sensitive keypad control device
KR102183097B1 (ko) * 2014-03-10 2020-11-25 엘지전자 주식회사 전도성 필름 및 이를 포함하는 터치 패널
CN107533392B (zh) * 2014-03-13 2021-02-26 Lg伊诺特有限公司 触摸窗以及具有触摸窗的显示器
KR102336971B1 (ko) * 2014-04-29 2021-12-09 동우 화인켐 주식회사 정전용량방식 터치패널
CN105094470B (zh) * 2014-05-05 2019-01-22 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控传感器的跨接线、制造方法及电容式触控面板
US9430113B2 (en) * 2014-05-20 2016-08-30 Eastman Kodak Company Electrically-conductive article with improved bus region
US9405423B2 (en) * 2014-05-20 2016-08-02 Eastman Kodak Company Article with electrically-conductive silver connector wire pattern
CN104020902B (zh) * 2014-05-22 2016-03-02 京东方科技集团股份有限公司 一种触摸屏及显示装置
JP5813831B1 (ja) * 2014-07-02 2015-11-17 日本航空電子工業株式会社 タッチパネル
JP2016021170A (ja) * 2014-07-15 2016-02-04 日立化成株式会社 静電容量結合方式タッチパネル入力装置付き表示装置
KR102376977B1 (ko) * 2015-01-12 2022-03-21 삼성디스플레이 주식회사 터치 패널
KR102276210B1 (ko) * 2015-01-26 2021-07-12 동우 화인켐 주식회사 필름 터치 센서 및 그의 제조 방법
DE112016000678T5 (de) * 2015-02-10 2017-10-19 Mitsubishi Electric Corporation Touchscreen und Touchpanel-Vorrichtung
US10133108B2 (en) 2015-04-08 2018-11-20 Guardian Glass, LLC Vending machines with large area transparent touch electrode technology, and/or associated methods
CN104808404B (zh) * 2015-05-08 2018-03-02 上海中航光电子有限公司 阵列基板、显示面板和触控显示装置
TW201704979A (zh) * 2015-07-30 2017-02-01 達鴻先進科技股份有限公司 觸控面板
TW201701139A (zh) * 2015-06-25 2017-01-01 達鴻先進科技股份有限公司 觸控面板及其製造方法
US10564780B2 (en) 2015-08-21 2020-02-18 3M Innovative Properties Company Transparent conductors including metal traces and methods of making same
KR102555153B1 (ko) 2015-12-03 2023-07-14 삼성디스플레이 주식회사 터치 패널
JP6405298B2 (ja) * 2015-12-09 2018-10-17 アルプス電気株式会社 静電容量式センサ、タッチパネルおよび電子機器
KR102415044B1 (ko) * 2015-12-11 2022-07-01 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널, 이의 제조 방법 및 터치 스크린 패널을 포함하는 터치 표시 장치
CN106249979B (zh) * 2016-08-31 2019-05-31 京东方科技集团股份有限公司 触控电极结构以及触控显示装置
CN106502454B (zh) * 2016-10-21 2019-09-10 昆山龙腾光电有限公司 触控显示面板及其制造方法
DE202016106216U1 (de) 2016-11-07 2016-11-18 Detlef Brüggemann Traghallenanordnung
CN108062187A (zh) * 2016-11-07 2018-05-22 京东方科技集团股份有限公司 触控结构及其制作方法和触控装置
KR20180076689A (ko) * 2016-12-28 2018-07-06 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20180076688A (ko) * 2016-12-28 2018-07-06 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20180079055A (ko) * 2016-12-30 2018-07-10 엘지디스플레이 주식회사 스트레처블 터치 스크린, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 표시 장치
KR102324218B1 (ko) * 2017-04-14 2021-11-10 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 및 이를 구비하는 표시 장치
CN109407869B (zh) * 2017-08-15 2021-11-09 京东方科技集团股份有限公司 触控结构及其制备方法、显示装置
KR102430032B1 (ko) * 2017-08-16 2022-08-04 동우 화인켐 주식회사 투명 전극 적층체 및 이의 제조 방법
KR102374754B1 (ko) 2017-09-27 2022-03-15 엘지디스플레이 주식회사 터치 구조물을 포함하는 디스플레이 장치
JP6934950B2 (ja) * 2017-09-29 2021-09-15 富士フイルム株式会社 タッチセンサー及びタッチセンサーの製造方法、並びに画像表示装置
US10539864B2 (en) 2018-02-08 2020-01-21 Guardian Glass, LLC Capacitive touch panel having diffuser and patterned electrode
KR102402727B1 (ko) * 2018-03-23 2022-05-26 알프스 알파인 가부시키가이샤 입력 장치 및 입력 장치 부착 표시 장치
KR102435350B1 (ko) * 2018-06-19 2022-08-22 동우 화인켐 주식회사 터치 센서 모듈, 이를 포함하는 윈도우 적층체 및 이를 포함하는 화상 표시 장치
CN112860130A (zh) * 2019-11-26 2021-05-28 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 触控面板及其制作方法
US11656727B2 (en) 2019-11-28 2023-05-23 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Touch electrode structure and manufacture method thereof, touch panel, and electronic device

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8264466B2 (en) 2006-03-31 2012-09-11 3M Innovative Properties Company Touch screen having reduced visibility transparent conductor pattern
US7920129B2 (en) * 2007-01-03 2011-04-05 Apple Inc. Double-sided touch-sensitive panel with shield and drive combined layer
CN101349960B (zh) * 2007-07-16 2011-05-04 张玉辉 触控面板装置
TWM344544U (en) * 2007-12-25 2008-11-11 Cando Corp Sensory structure of touch panel
US20090194344A1 (en) 2008-01-31 2009-08-06 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Single Layer Mutual Capacitance Sensing Systems, Device, Components and Methods
KR101822350B1 (ko) * 2008-02-28 2018-01-25 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 터치 스크린 센서
US8284332B2 (en) * 2008-08-01 2012-10-09 3M Innovative Properties Company Touch screen sensor with low visibility conductors
TWI361996B (en) 2008-03-21 2012-04-11 Elan Microelectronics Corp Touch panel device
JP2009259203A (ja) * 2008-03-25 2009-11-05 Epson Imaging Devices Corp 静電容量型入力装置、入力機能付き表示装置および電子機器
JP4582169B2 (ja) 2008-03-26 2010-11-17 ソニー株式会社 静電容量型入力装置、入力機能付き表示装置および電子機器
US8717332B2 (en) 2008-07-31 2014-05-06 Gunze Limited Planar element, and touch switch
US20100045625A1 (en) * 2008-08-21 2010-02-25 Tpo Displays Corp. Touch panel and system for displaying images utilizing the same
WO2010029979A1 (ja) 2008-09-12 2010-03-18 オプトレックス株式会社 静電容量型タッチパネル、表示装置および静電容量型タッチパネルの製造方法
CN101713834B (zh) * 2008-10-07 2011-12-14 甘国工 高透光导电膜系
TWI471789B (zh) * 2008-11-14 2015-02-01 Wintek Corp 觸控面板
CN101441538B (zh) * 2008-12-19 2010-11-10 友达光电股份有限公司 触控式装置的结构与触控式显示面板
JP2010160670A (ja) 2009-01-08 2010-07-22 Seiko Epson Corp タッチパネルの製造方法、タッチパネル、表示装置、及び電子機器
KR101022155B1 (ko) * 2009-01-16 2011-03-17 삼성모바일디스플레이주식회사 터치 스크린 패널
KR101219242B1 (ko) * 2009-01-16 2013-01-07 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널 및 그 제조방법
CN201343500Y (zh) 2009-02-13 2009-11-11 江苏津通先锋光电显示技术有限公司 触摸屏用高透过率导电玻璃
KR101025023B1 (ko) * 2009-02-23 2011-03-25 (주)이엔에이치 정전용량 방식의 터치스크린 패널
JP5182164B2 (ja) 2009-03-12 2013-04-10 セイコーエプソン株式会社 タッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法
JP2010231533A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Citizen Electronics Co Ltd 透明電極基板及びそれを備えたタッチパネル
TWI442292B (zh) * 2009-04-21 2014-06-21 Ind Tech Res Inst 觸控式顯示裝置及其製造方法
TW201040818A (en) 2009-05-08 2010-11-16 Sintek Photronic Corp Capacitive touch panel structure with high optical uniformity
JP5278759B2 (ja) 2009-05-28 2013-09-04 凸版印刷株式会社 静電容量型入力装置
JP5396335B2 (ja) * 2009-05-28 2014-01-22 株式会社半導体エネルギー研究所 タッチパネル
US9075484B2 (en) * 2009-06-02 2015-07-07 Pixart Imaging Inc. Sensor patterns for mutual capacitance touchscreens
TWI390281B (zh) * 2009-06-05 2013-03-21 Higgstec Inc 微電極矩陣與具有微電極矩陣之觸控面板
US20110007011A1 (en) * 2009-07-13 2011-01-13 Ocular Lcd Inc. Capacitive touch screen with a mesh electrode
US8593413B2 (en) * 2010-03-01 2013-11-26 Cando Corporation Sensory structure of capacitive touch panel and capacitive touch panel having the same
KR101073215B1 (ko) * 2010-03-05 2011-10-12 삼성모바일디스플레이주식회사 터치 스크린 패널 일체형 평판표시장치
TWI435292B (zh) * 2010-06-17 2014-04-21 Au Optronics Corp 感測式顯示裝置

Also Published As

Publication number Publication date
EP3521986B1 (en) 2020-05-20
CN103430134B (zh) 2017-03-29
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EP2666077A2 (en) 2013-11-27
CN103430134A (zh) 2013-12-04
EP2666077B1 (en) 2019-04-17

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