CN103430134A - 触摸板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

公开了一种触摸板及其制造方法。根据一个实施例的触摸板包括：基板；第一透明电极，其包括在第一方向上形成在所述基板上的第一传感器部分和用于所述第一传感器部分的电连接的第一电极连接部分；以及第二透明电极，其与所述第一透明电极电绝缘，并且包括在与所述第一方向相交的第二方向上形成的第二传感器部分和用于所述第二传感器部分的电连接的第二电极连接部分。所述第二电极连接部分具有网格形状。根据另一个实施例的触摸板包括：基板；与所述基板分开的透明电极基座；以及在所述透明电极基座上的透明电极。所述透明电极包括：第一电极，包括在一个方向上形成的第一传感器部分和用于所述第一传感器部分的电连接的第一电极连接部分；以及第二电极，与所述第一电极电绝缘，并且包括在与所述第一方向相交的第二方向上形成的第二传感器部分和用于所述第二传感器部分的电连接的第二电极连接部分。所述第二电极连接部分具有网格形状。

Description

触摸板及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种触摸板及其制造方法。
背景技术
近来，触摸板通过由诸如手写笔或手的输入设备来触摸显示装置上显示的图像而执行输入功能，已经应用于各种电子设备。
触摸板可以主要分为电阻式触摸板和电容式触摸板。在电阻触摸板中，由于输入装置的压力而使玻璃与电极短路，从而检测到触摸点。在电容触摸板中，当用户的手指触摸在电容触摸板上时检测到在电极之间的电容变化，从而检测到触摸点。
采用电桥电极来减小厚度并且改善在触摸板中的光学特性的一层触摸板已经受到公众的注意。然而，可以根据有效区中连接电极的大小来识别连接电极的图案。
发明内容
技术问题
实施例提供了一种能够改善可靠性和特性的触摸板及其制造方法。
技术方案
根据实施例，提供了一种触摸板，包括：基板；第一透明电极，其包括在第一方向上形成在所述基板上的第一传感器部分和用于所述第一传感器部分的电连接的第一电极连接部分；以及第二透明电极，其与所述第一透明电极电绝缘，并且包括在与所述第一方向相交的第二方向上形成的第二传感器部分和用于所述第二传感器部分的电连接的第二电极连接部分。所述第二电极连接部分具有网格形状。
根据实施例，提供了一种触摸板，包括：基板；与所述基板分开的透明电极基座；以及在所述透明电极基座上的透明电极。所述透明电极包括：第一电极，包括在一个方向上形成的第一传感器部分和用于所述第一传感器部分的电连接的第一电极连接部分；以及第二电极，与所述第一电极电绝缘，并且包括在与所述第一方向相交的第二方向上形成的第二传感器部分和用于所述第二传感器部分的电连接的第二电极连接部分。所述第二电极连接部分具有网格形状。
根据实施例，提供了一种触摸板的制造方法，包括：制备基板；在所述基板上形成网格形状的第二电极连接部分；并且通过使用透明导电材料在所述第二电极连接部分上形成第一传感器部分、第二传感器部分和与所述第二电极连接部分电绝缘的第一电极连接部分。
有益效果
根据实施例的触摸板，连接电极形成为网格形状，使得在有效区中不会识别连接电极的图案。
同时，在根据实施例的触摸板中，在基板与透明电极之间插入使能折射率匹配的中间层，使得可以改善诸如透射率、反射率和色度（b*，黄色）的特性，并且可以在中间层上直接地形成透明电极。因此，可以改善透射率，并且可以降低制造成本。另外，包括透明导电材料的透明电极可以通过折射率匹配而处于不可见状态中。因此，可以改善使用所述触摸板的显示器的可见度。
根据实施例的触摸板的制造方法，可以制造具有上述的效果的触摸板。
附图说明
图1是示出根据第一实施例的触摸板的平面图；
图2是沿着图1的Ⅱ-Ⅱ线截取的截面图；
图3是示出根据第二实施例的触摸板的平面图；
图4是沿着图1的Ⅳ-Ⅳ线截取的截面图；
图5是示出根据第二实施例的触摸板的截面图；
图6是示出根据第三实施例的触摸板的截面图；
图7是示出根据第四实施例的触摸板的平面图；
图8是沿着图7的Ⅲ-Ⅲ线截取的截面图；以及
图9至11是示出触摸板的制造方法的平面图和截面图。
具体实施方式
在实施例的描述中，可以明白，当层（或膜）、区域、图案或结构被称为在另一基板、另一层（或膜）、另一区域、另一焊盘或另一图案“上”或“下”时，它可以“直接地”或“间接地”在另一基板、层（或膜）、区域、焊盘或图案上，或者也可以存在一个或多个介入层。已经参考附图描述了层的这种位置。
为了方便或清楚，可能夸大、省略或示意地示出在附图中所示的每层的厚度和大小。另外，元件的大小不完全反映实际大小。
以下，将参考附图来详细描述本发明的实施例。
以下，将参考图1至5来详细描述根据实施例的触摸板。图1是示出根据第一实施例的触摸板的平面图，并且图2是沿着图1的Ⅱ-Ⅱ线截取的截面图。图3是示出根据第二实施例的触摸板的平面图，并且图4是沿着图1的Ⅳ-Ⅳ线截取的截面图。图5是示出根据第二实施例的触摸板的截面图。
参见图1和图2，根据实施例的触摸板具有：有效区AA，在其中检测输入装置的位置；以及虚设区（dummy region）DA，其位于在其中所限定的有效区AA的外部。
在这种情况下，有效区AA可以在其中设置透明电极20以检测输入装置。另外，虚设区DA可以在其中设置：连接到透明电极20的互连部分40；以及印刷电路板（未示出），用于将互连部分40连接到外部电路（未示出）。以下，将更详细地描述触摸板。
参见图2，根据第一实施例的触摸板100包括：基板10，其包括彼此相对的第一表面10a和第二表面10b；在基板10的第一表面10a上形成的中间层60；透明电极（图1的20）；以及防反射层70。
基板10可以包括各种材料，用于支撑其上形成的中间层60和透明电极20。基板10可以包括玻璃基板或塑料基板。
基板10的第一表面（以下，顶面）10a上具有透明电极20。
透明电极20可以包括第一和第二电极22和24。第一电极22包括第一传感器部分22a和第一电极连接部分22b，并且第二电极24包括第二传感器部分24a和第二电极连接部分24b。
如果诸如手指的输入装置触摸在触摸板上，则通过该输入装置在被触摸部分中引起电容差，并且，具有电容差的被触摸部分被检测为触摸点。
详细的说，第一电极22包括：第一传感器部分22a，用于检测诸如手指的输入装置的触摸；以及第一电极连接部分22b，用于连接第一传感器部分22a。可以在第一方向（附图中的X轴方向，与以下说明相同）上形成第一传感器部分22a，并且第一电极连接部分22b在第一方向上将第一传感器部分22a彼此连接。第一电极连接部分22b可以与第一传感器部分22a形成为一体。
类似地，第二电极24包括：第二传感器部分24a，用于检测诸如手指的输入装置的触摸；以及第二电极连接部分24b，用于连接第二传感器部分24a。可以在与第一方向相交的第二方向（附图中的Y轴方向）上形成第二传感器部分24a，以检测诸如手指的输入装置的触摸，并且第二电极连接部分24b在第二方向上将第二传感器部分24a彼此连接。以下将详细描述第二电极连接部分24b的细节。
虽然附图示出了第一和第二传感器部分22a和24a具有菱形形状，但是实施例不限于此。因此，第一和第二传感器部分22a和24a可以具有各种形状，以检测诸如手指的输入装置的触摸。例如，第一和第二传感器部分22a和24a可以具有诸如矩形或五边形的多边形、圆形或椭圆形的形状。
第一传感器部分22a、第一电极连接部分22b和第二传感器部分24a可以包括透明导电材料，以允许光透射和电的流动。详细的说，第一传感器部分22a、第一电极连接部分22b和第二传感器部分24a可以包括诸如铟锡氧化物、铟锌氧化物、碳纳米管（CNT）、导电聚合物和Ag纳米线油墨的材料。
此后，第二电极连接部分24b可以具有网格形状，以将第二传感器部分24a彼此连接。
第二电极连接部分24b的线宽可以在约1nm至约5微米的范围内。因为加工特性，所以无法形成具有1nm或更小的线宽的第二电极连接部分24b。如果第二电极连接部分24b具有大于5微米的线宽，人眼就可以识别第二电极连接部分24b的网格形状。因此，如果第二电极连接部分24b具有在上述的范围内的线宽，则由于人眼无法识别第二电极连接部分24b，所以第二电极连接部分24b可以具有各种形状。
第二电极部分24b可以包括表现优越的导电性的金属。例如，第二电极部分24b可以包括铬（Cr）、镍（Ni）、铜（Cu）、铝（Al）、银（Ag）、钼（Mo）或它们的合金。
然而，实施例不限于此。第二电极连接部分24b可以包括透明导电材料。例如，第二电极连接部分24b可以包括铟锡氧化物、铟锌氧化物、碳纳米管（CNT）、导电聚合物和Ag纳米线油墨中之一种。
另外，可以以单层或多层来形成网格形状。柔性或粘性根据构成第二电极连接部分24b的材料的变化而改变。因此，如果网格形状形成为多层，则可以表现出更有益的特性。
可以在第二电极连接部分24b上形成具有接触孔60a的中间层60。
中间层60可以包括金属氧化物或金属氟化物。例如，中间层60可以包括氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。中间层60具有特定的折射率，使得可以实现折射率匹配。
中间层60可以形成为单层或多层，使得中间层60可以具有特定的折射率。例如，中间层60包括在基板10上顺序地形成的具有高折射率的第一层61和具有低折射率的第二层62，使得可以在有效区AA中改善触摸板的透光率。
例如，第一层61可以包括氧化钽、氧化钛、氧化铌、氧化锆或氧化铅，并且第二层62可以包括表现出高折射率的氧化硅，并且第二层62可以包括表现出低折射率的氧化硅。例如，氧化钛的折射率可以是2.2，氧化铌的折射率可以是2.4，并且，氧化硅的折射率可以是1.4。在这种情况下，触摸板的透射率可以提高到至少90%，优选地是至少92%。另外，触摸板的透射率可以提高到最多99%。另外，可以彼此交错地层叠多个第一层61和多个第二层62。
同时，在基板10的虚设区DA中形成连接到透明电极20的互连部分40和连接到互连部分40的印刷电路板。因为互连部分40位于虚设区DA中，所以互连部分40可以包括表现出优越的导电性的金属。印刷电路板可以包括各种印刷电路板。例如，该印刷电路板可以包括FPCB（柔性印刷电路板）。
参见图2和图4，防反射层70可以形成在基板10的第二表面（以下，底面）和第二透明电极20中的至少一者上。虽然附图示出了防反射层70形成在透明电极20上，但是实施例不限于此。因此，防反射层70可以仅形成在基板10的底面10b上，或者可以形成在基板10的底面10b和透明电极20两者上，以便使防反射层70的效果最大化。
防反射层70降低了可见光的反射率，从而避免由反射引起的闪耀或避免无法看到屏幕图像的现象。换句话说，防反射层70可以通过有效地减小由反射引起的不良影响而提供优越的分辨率，并且可以提高可见度。另外，触摸板的透射率可以提高到至少90%，优选地为至少92%。另外，触摸板的透射率可以提高到最多99%。
防反射层70可以包括具有约1.35至约2.7的折射率的氧化物或氟化物。适当地确定折射率范围以用于防反射。可以通过将表现出不同的折射率的材料堆叠为一层或多层来形成防反射层70。
氧化物或氟化物可以包括氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。
在这种情况下，可以通过溅镀工艺或辊对辊工艺来形成防反射层70。根据溅镀工艺，电离的原子被电场加速，并且与薄膜的源材料碰撞。薄膜的源材料的原子因为碰撞而沉积。根据辊对辊工艺，在绕着辊卷绕纸张或薄膜后，纸张或薄膜在绕着辊的卷绕状态中接受处理。
参见图3和图5，根据第二实施例的触摸板200可以包括在透明电极20上形成的保护层80。保护层80可以防止透明电极20受到损坏。
保护层80可以包括表现出高折射率的氧化钛、氧化铌、氧化钽、氧化锆或氧化铅。具有高折射率的保护层80具有多层的堆叠结构，使得可以进一步提高透射率。另外，保护层80可以包括硬涂层，使得可以防止保护层80被刮伤。
以下，将参考图6来描述根据第三实施例的触摸板300。图6是示出根据第三实施例的触摸板的截面图。
在根据第三实施例的触摸板300中，透明绝缘层90可以额外地形成在中间层60上，以使第一电极连接部分22b与第二电极连接部分24b绝缘。
在根据如上所述的第一和第二实施例的触摸板100和200中，第一电极连接部分22b可以通过中间层60与第二电极连接部分24b绝缘。然而，在根据第三实施例的触摸板300中，在中间层60上额外地形成透明绝缘层90，使得可以进一步改善防止电短路的特性。
透明绝缘层90可以包括氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽或氧化铌。
另外，虽然在附图中未示出，但是只有透明绝缘层90可以部分地形成在第二电极连接部分24b上。第一电极连接部分22b可以通过透明绝缘层90与第二电极连接部分24b电绝缘。
以下，将参考图7和图8来描述根据第四实施例的触摸板。
图7是示出根据第四实施例的触摸板的平面图，并且图8是沿着图7的Ⅲ-Ⅲ线截取的截面图。
根据第四实施例的触摸板400包括：基板10，包括对置的第一表面10a（以下，顶面）和第二表面10b（以下，底面）；透明电极基座30，与基板10的底面10b分开；以及在透明电极基座30上形成的透明电极20。另外，可以在透明电极基座30上形成防反射层70。
基板10可以包括玻璃基板或塑料基板。
可以在基板10上设置OCA（光学透明胶带），使得基板10结合到透明电极基座30，如下所述。
透明电极基座30与基板10分开。透明电极基座30可以包括玻璃或PET（聚对苯二甲酸乙二酯）。
在透明电极基座30上形成中间层60。详细的说，在面对基板10的透明电极基座30的第三表面30a上形成中间层60。可以在第三表面30a的整个表面上形成中间层60。
此后，在中间层60上形成透明电极20。透明电极20可以包括第一和第二电极22和24。第一电极22包括第一传感器部分22a和第一电极连接部分22b，并且第二电极24包括第二传感器部分24a和第二电极连接部分24b。
接下来，第二电极连接部分24b与第二传感器部分24a彼此连接。第二电极连接部分24b具有网格形状。第二电极连接部分24b的线宽可以在约1nm至约5微米的范围内。
形成透明绝缘层50以防止第一电极连接部分22b与第二电极连接部分24b短路。详细的说，透明绝缘层50可以包括透明绝缘材料，以使第一电极连接部分22b与第二电极连接部分24b绝缘。
同时，可以在基板10的顶面10a和透明电极基座30的第四表面30b中之至少一者上形成防反射层70。虽然图8示出了在透明电极基座30的第四表面30b上形成防反射层70，但是实施例不限于此。因此，防反射层70可以仅形成在基板10的顶面10a上，或者可以形成在基板10的顶面10a和透明电极基座30的第四表面30b两者上，以便使防反射层70的效果最大化。
以下，将参考图9至图11详细描述根据实施例的触摸板的制造方法。在以下的说明中，为了清楚和简单说明起见，将省略与如上所述的结构和部件相同或极其类似的结构和部件的细节，除了仅与如上所述的结构和部件存在差别的结构和部件之外。
图9至图11是示出了触摸板的制造方法的平面图和截面图。在这种情况下，图9（a）和图11（a）是基于图1的A区域的平面图，并且图9（b）和图11（b）分别是沿着图9（a）和图11（a）的B-B线截取的截面图。
首先，参见图9，在基板10上以网格形状来形成第二电极连接部分24b。
为了以网格形状来形成第二电极连接部分24b，在涂敷电极材料后，可以通过光刻处理来蚀刻产生的结构。因为实施例不限于此，所以可以使用用于形成网格形状的各种方法。
此后，参见图10，在第二电极连接部分24b上形成具有接触孔60a的中间层60。详细的说，接触孔60a可以暴露第二电极连接部分24b的一部分，并且允许其后形成第二传感器部分（图8的24a）的连接。
可以涂敷或沉积中间层60。例如，可以通过反应溅镀工艺来形成中间层60。换句话说，另外将氧气（O2）和/或氮气（N2）与惰性气体（Ar或Ne）一起施加到用于金属沉积源和沉积目标的溅镀装置内，使得在将金属沉积源正在被沉积在沉积目标上的同时氧化金属沉积源。
此后，参见图11，通过使用透明导电材料来在中间层60上形成第一传感器部分22a、第一电极连接部分22b和第二传感器部分24a。在这种情况下，第二传感器部分24a以以下方式对齐：第二传感器部分24a可以通过接触孔60a连接到第二电极连接部分24b。
可以通过诸如PVD（物理气相沉积）方案或CVD（化学气相沉积）方案的各种薄膜沉积方案来形成第一传感器部分22a、第一电极连接部分22b和第二传感器部分24a。
虽然在附图中未示出，但是在已经形成第一传感器部分22a、第一电极连接部分22b和第二传感器部分24a之后，可以额外地形成防反射层或保护层。
另外，虽然在附图中未示出，但是可以在形成中间层60的步骤与形成第一传感器部分22a、第二传感器部分24a和第一电极连接部分22b的步骤之间额外地执行形成透明绝缘层（图6的90）的步骤。
在本说明书中对于“一个实施例”、“实施例”、“实例实施例”等的任何引用的意思是结合实施例进行描述的特定特征、结构或特性都包括在本发明的至少一个实施例中。在本说明书中的各个位置出现的这样的短语的不一定全部指的是同一实施例。另外，当结合任何实施例描述特定特征、结构或特性时，认为它在本领域内的技术人员结合这些实施例的其他实施例来实施这些特征、结构或特性的范围内。
在本说明书中对于“一个实施例”、“实施例”、“实例实施例”等的任何引用的意思是结合实施例进行描述的特定特征、结构或特性都包括在本发明的至少一个实施例中。在本说明书中的各个位置出现的这样的短语的不一定全部指的是同一实施例。另外，当结合任何实施例描述特定特征、结构或特性时，认为它在本领域内的技术人员结合这些实施例的其他实施例来实施这些特征、结构或特性的范围内。

Claims (30)

1.一种触摸板，包括：
基板；
第一透明电极，其包括在第一方向上形成在所述基板上的第一传感器部分和用于所述第一传感器部分的电连接的第一电极连接部分；以及
第二透明电极，其与所述第一透明电极电绝缘，并且包括在与所述第一方向相交的第二方向上形成的第二传感器部分和用于所述第二传感器部分的电连接的第二电极连接部分，
其中，所述第二电极连接部分具有网格形状。
2.根据权利要求1所述的触摸板，进一步包括中间层，所述中间层被设置在所述第二电极连接部分上并且形成在所述基板的整个表面上。
3.根据权利要求2所述的触摸板，其中，所述中间层包括接触孔，以电连接所述第二传感器部分和所述第二电极连接部分。
4.根据权利要求1所述的触摸板，进一步包括在所述第二电极连接部分上部分地形成的透明绝缘层。
5.根据权利要求1所述的触摸板，进一步包括：中间层，所述中间层位于所述第二电极连接部分上并且形成在所述基板的整个表面上；以及在所述第二电极连接部分上部分地形成的透明绝缘层。
6.根据权利要求1所述的触摸板，其中，所述第一透明电极的至少一部分与所述第二透明电极的至少一部分在同一层上对齐。
7.根据权利要求5所述的触摸板，其中，所述中间层和所述透明电极层包括选自由以下各项组成的组的至少一种：氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。
8.根据权利要求2所述的触摸板，其中，所述中间层包括至少一层。
9.根据权利要求1所述的触摸板，其中，所述第二电极连接部分具有在1nm至5微米的范围内的线宽。
10.根据权利要求1所述的触摸板，其中，所述第二电极连接部分包括选自由以下各项组成的组的至少一种：铬（Cr）、镍（Ni）、铜（Cu）、铝（Al）、银（Ag）、钼（Mo）以及它们的合金。
11.根据权利要求1所述的触摸板，其中，所述第二电极连接部分包括选自由以下各项组成的组的至少一种：铟锡氧化物、铟锌氧化物、碳纳米管（CNT）、导电聚合物和Ag纳米线油墨。
12.根据权利要求9所述的触摸板，其中，所述网格形状形成在至少一层中。
13.根据权利要求1所述的触摸板，进一步包括在所述基板的第二表面和所述透明电极中的至少一者上形成的防反射层。
14.根据权利要求13所述的触摸板，其中，所述防反射层包括选自由以下各项组成的组的至少一种：氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。
15.根据权利要求1所述的触摸板，进一步包括在第一透明电极或第二透明电极上形成的保护层。
16.根据权利要求15所述的触摸板，其中，所述保护层包括选自由以下各项组成的组的至少一种：氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。
17.一种触摸板，包括：
基板；
与所述基板分开的透明电极基座；以及
在所述透明电极基座上的透明电极，
其中，所述透明电极包括：第一电极，包括在一个方向上形成的第一传感器部分和用于所述第一传感器部分的电连接的第一电极连接部分；以及第二电极，与所述第一电极电绝缘，并且包括在与所述第一方向相交的第二方向上形成的第二传感器部分和用于所述第二传感器部分的电连接的第二电极连接部分，并且
其中，所述第二电极连接部分具有网格形状。
18.根据权利要求17所述的触摸板，其中，所述第二电极连接部分具有在1nm至5微米的范围内的线宽。
19.根据权利要求17所述的触摸板，其中，所述第二电极连接部分包括选自由以下各项组成的组的至少一种：铬（Cr）、镍（Ni）、铜（Cu）、铝（Al）、银（Ag）、钼（Mo）以及它们的合金。
20.根据权利要求17所述的触摸板，其中，所述第二电极连接部分包括选自由以下各项组成的组的至少一种：铟锡氧化物、铟锌氧化物、碳纳米管（CNT）、导电聚合物和Ag纳米线油墨。
21.根据权利要求18所述的触摸板，其中，在至少一层中形成所述网格形状。
22.根据权利要求17所述的触摸板，进一步包括在所述透明电极基座与所述透明电极之间插入的中间层。
23.根据权利要求22所述的触摸板，其中，所述中间层包括选自由以下各项组成的组的至少一种：氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。
24.根据权利要求17所述的触摸板，进一步包括在所述第一电极连接部分与所述第二电极连接部分之间插入的透明绝缘层。
25.根据权利要求24所述的触摸板，其中，所述透明绝缘层包括选自由以下各项组成的组的至少一种：氟化镁、氧化硅、氧化铝、氟化铈、氧化铟、氧化铪、氧化锆、氧化铅、氧化钛、氧化钽和氧化铌。
26.一种触摸板的制造方法，所述方法包括：
制备基板；
在所述基板上形成网格形状的第二电极连接部分；以及
通过使用透明导电材料在所述第二电极连接部分上形成第一传感器部分、第二传感器部分和与所述第二电极连接部分电绝缘的第一电极连接部分。
27.根据权利要求26所述的方法，进一步包括：在已经形成所述第二电极连接部分之后形成中间层，所述中间层具有接触孔以暴露所述第二电极连接部分的一部分，其中，所述第二传感器部分通过所述接触孔与所述第二电极连接部分连接。
28.根据权利要求26所述的方法，进一步包括：在已经形成所述第二电极连接部分之后，在所述第二电极连接部分上部分地形成透明绝缘层。
29.根据权利要求26所述的方法，进一步包括在已经形成所述第二电极连接部分之后形成具有接触孔以暴露所述第二电极连接部分的一部分的中间层并且在所述第二电极连接部分上部分地形成透明绝缘层。
30.根据权利要求26所述的方法，其中，所述第二电极连接部分具有在约1nm至5微米的范围内的线宽。
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