JP5943819B2 - 半導体素子、半導体装置 - Google Patents
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Description
<A−1.構成>
実施の形態1の半導体装置はSBDである。図1は、実施の形態1の半導体装置であるSBD1の上面図である。SBD1は、半導体素子2と、半導体素子2を封止する封止樹脂9を備えている。図2は、図1のA−B断面図であり、半導体素子2の外周部を含む部分断面を示している。なお、図1,図2においてリードフレーム、ワイヤボンド、封止樹脂外部への取出し電極などのアセンブリ用部材は省略している。
図1を用いて、SBD1の動作を説明する。カソード電極6を接地しアノード電極5に正電圧を印加すると、ダイオードの順方向接続となって順方向電流が流れる。一方、アノード電極5を接地しカソード電極6に正電圧を印加すると、ダイオードの逆方向接続となり、アノード電極5とドリフト層4の界面の障壁が増大し電流は流れない。このときドリフト層4の内部には、活性領域5aと耐圧終端領域7を囲むように空乏層が形成される。空乏層のアノード電極5に接する接地側とカソード電極6側とに挟まれる領域に発生する電界がSiCの絶縁破壊電界を超えない範囲で、SBD1は逆方向電圧に対して耐電圧を有することになる。
以下、SBD1の製造工程を説明する。まず、n+型のSiC基板3を準備する。SiC基板3は、電気的に低抵抗な基板の役割をする。基板材料は例えば(0001)面を主面とする4H−SiC単結晶などを用いることができ、その厚みは必要に応じて研削などにより薄くして任意に定める。次に、SiC基板3の片面上に、エピタキシャル成長によりn型のドリフト層4を形成する。ドリフト層4の不純物濃度および厚みは任意で、半導体装置の耐圧定格に応じて適宜設計する。
図3に、SBD1の耐圧終端領域7上のSiC表面電界と樹脂保護膜8表面電界の計算結果を示す。なお、リング状領域は32本とする。SiC表面電界は各リング間領域7b,7d,7f近傍に発生する局所電界を反映して複数の電界ピークが略周期的に現れている。一方、樹脂保護膜8表面電界は、各リング間領域7b,7d,7f近傍に発生する局所的な電界のピークが無視できるほど減衰している。これは、樹脂保護膜8の厚みを、活性領域5aに接しないリング状領域の幅とそれに離接するリング間領域の幅との和の最大値を樹脂保護膜8の誘電率の平方根で除した値よりも厚くしたことによる。
本実施の形態の半導体素子2は、活性領域5a及び平面視で活性領域を囲む耐圧終端領域7が形成された第1導電型のドリフト層4と、耐圧終端領域7上に形成された樹脂保護膜8と、を備え、耐圧終端領域7には、ドリフト層4の表面に平面視で活性領域5aを囲む第2導電型の半導体層からなる複数のリング状領域7a,7c,7e,7gが、隣り合うリング状領域7a,7c,7e,7gの間のドリフト層4であるリング間領域7b,7d,7fを介して同心状に設けられ、同心状の最内周のリング状領域7aは活性領域5aに接し、樹脂保護膜8の厚みは、活性領域5aに接さないリング状領域7c,7e,7gの幅と当該リング状領域7c,7e,7gに接するリング間領域7b,7d,7fの幅との和の最大値を、樹脂保護膜8の誘電率の平方根で除した値よりも大きい。樹脂保護膜8表面電界は、各リング間領域7b,7d,7f近傍に発生する局所的な電界のピークが無視できるほど減衰するので、半導体素子2を封止樹脂9で封止する場合に、封止樹脂9の絶縁破壊が抑制される。
<B−1.構成>
実施の形態2の半導体装置はMOSFETである。MOSFETの上面図は図1と同様である。図4は、MOSFET21の外周部近傍の部分断面図である。図4において、図2に示したものと同様の機能を有する要素には同一の参照符号を付し、ここではそれらの説明を省略する。なお、SBD1におけるアノード電極5及びカソード電極6は、MOSFET21においてそれぞれソース電極18及びドレイン電極19となる。
図4を用いて、MOSFET21の動作を説明する。まず、MOSFET21のオン動作では、各MOSFETセル10のゲート電極14に所定の正電圧を印加する。これにより、チャネル領域16にn型の反転層が形成される。ソース領域13の電子は、反転層を通ってドリフト層4に注入され、さらにSiC基板3を通ってドレイン電極19に流れる。これにより主電流がドレイン電極19からソース電極18に流れることになる。
実施の形態2のMOSFET21の製造工程で、実施の形態1のSBD1の製造工程と異なる工程を以下に説明する。
実施の形態1,2では、半導体素子2,22の内側から外側に向かって、リング状領域7a,7c,7e,7gの幅を徐々に狭くし、リング間領域7b,7d,7fの幅を徐々に広くした。
変形例に係る半導体素子によれば、活性領域5aに接しないリング状領域7c,7e,7gの幅と、同心状の内側又は外側のいずれかの方向で当該リング状領域7c,7e,7gに接するリング間領域7b,7d,7fの幅の和を、耐圧終端領域7の全域に亘り同一にすることにより、耐圧終端領域7の設計が容易になるとともに、樹脂保護膜8の膜厚を最小化することができる。これにより作成工程に使用する樹脂量を削減することができるとともに、樹脂保護膜8から発生する応力を低減し、半導体装置1の熱サイクル寿命やパワーサイクル寿命などの信頼性を向上することができる。
Claims (11)
- 活性領域及び平面視で前記活性領域を囲む耐圧終端領域が形成された第1導電型のドリフト層と、
前記耐圧終端領域上に形成された樹脂保護膜と、
を備え、
前記耐圧終端領域には、前記ドリフト層の表面に平面視で前記活性領域を囲む第2導電型の半導体層からなる複数のリング状領域が、隣り合う前記リング状領域の間の前記ドリフト層であるリング間領域を介して設けられ、
最内周の前記リング状領域は前記活性領域に接し、
前記樹脂保護膜の厚みは、前記活性領域に接さない前記リング状領域の幅と当該リング状領域に接する前記リング間領域の幅との和の最大値を、前記樹脂保護膜の誘電率の平方根で除した値よりも大きい、
半導体素子。 - 前記リング状領域の幅は、外側に向けて小さく、
前記リング間領域の幅は、外側に向けて大きい、
請求項1に記載の半導体素子。 - 前記樹脂保護膜はポリイミドを含む、
請求項1又は2に記載の半導体素子。 - 前記活性領域に接しない前記リング状領域の幅と、内側又は外側のいずれかの方向で当該リング状領域に接する前記リング間領域の幅の和は、前記耐圧終端領域の全域に亘り同一である、
請求項1〜3のいずれかに記載の半導体素子。 - 前記活性領域とショットキー接合した電極をさらに備える、
請求項1〜4のいずれかに記載の半導体素子。 - 前記活性領域はMOSFETセルを構成する、
請求項1〜5のいずれかに記載の半導体素子。 - 前記樹脂保護膜は、絶縁膜を介して前記耐圧終端領域上に形成される、
請求項5又は6に記載の半導体素子。 - 前記絶縁膜はシリコン酸化物を含む、
請求項7に記載の半導体素子。 - 前記ドリフト層はワイドバンドギャップ半導体層を含む、
請求項1〜8のいずれかに記載の半導体素子。 - 前記ワイドバンドギャップ半導体層は、炭化珪素、窒化ガリウム系材料又はダイヤモンドである、
請求項9に記載の半導体素子。 - 請求項1〜10のいずれかに記載の半導体素子と、
前記半導体素子を封止する封止樹脂とを備える、
半導体装置。
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