JP5941043B2 - 仮固定用接着剤組成物 - Google Patents
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Description
また、成分(1)が、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してもよく、成分(3)が、バナジウムアセチルアセトネート、ナフテン酸銅及びオクチル酸コバルトからなる群のうちの1種又は2種以上からなっていてもよい。
さらに、成分(1)が、アルキル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシアルキル(メタ)アクリレート及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してもよく、成分(1)が、アルキル(メタ)アクリレート、ビスフェノール骨格を有する(メタ)アクリル酸モノマー、芳香族基を有する(メタ)アクリレート及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してもよい。
また、本発明の仮固定用接着剤組成物は、更に、パラフィン類を含有してもよく、更に、酸化防止剤を含有してもよく、更に、リン酸塩を含有していてもよい。
また、本発明の仮固定用接着剤組成物は、第一剤が成分(2)を含有してなり、第二剤が成分(3)を含有してなる該二剤型の仮固定用接着剤組成物としてもよい。
本発明の仮固定用接着剤組成物は、成分(5)の使用量が、成分(1)100質量部に対して、1〜150質量部であることが好ましい。
本発明の仮固定用接着剤組成物は、成分(5)の使用量が、成分(1)100質量部に対して、1〜25質量部であることが好ましい。
本発明の仮固定用接着剤組成物は、その用途がシリコン接着用、樹脂接着用及びガラス接着用からなる群のうちの1種又は2種以上である該仮固定用接着剤組成物であってもよい。
また、本発明は、前記各仮固定用接着剤組成物を用いて、部材を接着仮固定し、前記仮固定用接着剤組成物を硬化し、該仮固定された部材を加工し、加工された部材を水に浸漬することにより、前記仮固定用接着剤組成物の硬化体を取り外すことを特徴とする部材の仮固定方法であり、水が温水であることが好ましい。
本発明の第2の部材の仮固定方法は、前記各仮固定用接着剤組成物を用いて、部材を接着仮固定し、前記仮固定用接着剤組成物を硬化し、該仮固定された部材を加工し、加工された部材を加熱処理することにより、前記仮固定用接着剤組成物の硬化体を取り外すことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記各仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコンインゴットを基材に接着仮固定した後、シリコンインゴットを切断してシリコンウエハを作製し、シリコンウエハを水に浸漬することにより、シリコンウエハを基材から取り外すことを特徴とするシリコンウエハの製造方法であり、水が温水であることが好ましい。
本発明の第2のシリコンウエハの製造方法は、前記各仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコンインゴットを基材に接着仮固定した後、シリコンインゴットを切断してシリコンウエハを作製し、基材を加熱処理することにより、シリコンウエハを基材から取り外すことを特徴とするシリコンウエハの製造方法である。
また、本発明は、前記各仮固定用接着剤組成物を使用して被着体を接着してなる接合体であり、前記被着体は例えばシリコン、樹脂及びガラスからなる群のうちの1種又は2種以上である。
本発明の仮固定用接着剤組成物は、二剤を混合することにより短時間で硬化する。このために、従来から広く用いられているエポキシ系接着剤に比べて、作業性及び作業時間短縮の面で著しく優れている。その硬化体は、加工時に用いる切削水などに影響されずに、高い接着強度を発現できるので、部材の加工時にずれを生じ難く、寸法精度面で優れた部材が容易に得られる。当該硬化体は水に接触することにより接着強度が低下し、部材間の接着力又は部材と治具との接着力が低下するので、容易に部材の回収ができる。
本発明の仮固定用接着剤組成物は、従来の接着剤の場合に比べ、高価で、発火性の強い、或いは人体に有毒なガスを発生させる有機溶剤を用いる必要がないという格段の効果が得られる。
また、本発明の仮固定用接着剤組成物は、硬化体が90℃以下の温水と接触して膨潤し、フィルム状に部材から回収できるので、作業性に優れるという効果が得られる。
以下に、本発明を詳細に説明する。
アルキル(メタ)アクリレートとしては、一般式(A)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
Z−O−R1
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R1は炭素数1〜20のアルキル基を表す。)
ビスフェノール骨格を有する(メタ)アクリル酸モノマーとしては、一般式(B)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
Z−O−(R2O)p−C6H4−C(R3)(R3’)−C6H4−O−(R2O)p'−Z
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R2は−C2H4−、−C3H6−、−CH2CH(CH3)−、−C4H8−又は−C6H12−を示し、R3、R3’は水素又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、p、p’は0〜8の整数を示す。)
ジシクロペンテニルオキシアルキレン(メタ)アクリレートとしては、一般式(C)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
芳香族基を有する(メタ)アクリレートとしては、一般式(D)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
Z−O−(R5O)r−R6
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R5は−C2H4−、−C3H6−、−CH2CH(CH3)−、−C4H8−又は−C6H12−を示し、R6はフェニル基又は炭素数1〜3のアルキル基を有するフェニル基を示し、rは1〜10の整数を示す。)
ヒドロキシルアルキル(メタ)アクリル系モノマーとしては、一般式(E)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
Z−O−(R7O)s−H
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R7は−C2H4−、−C3H6−、−CH2CH(CH3)−、−C4H8−又は−C6H12−を示し、sは1〜10の整数を示す。)
多価アルコールの(メタ)アクリル酸エステルとしては、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの中では、皮膚刺激性が低い点で、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレートが好ましい。
(メタ)アクリロイル基を有するオリゴマーとしては、1,2−ポリブタジエン末端ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、日本曹達社製、「TE−2000」、「TEA−1000」)、その水素添加物(例えば、日本曹達社製、「TEAI−1000」)、1,4−ポリブタジエン末端ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、大阪有機化学社製、「BAC−45」)、ポリイソプレン末端(メタ)アクリレート、ポリエステル系ウレタン(メタ)アクリレート(例えば、日本合成社製、「UV−3000B」)、ポリエーテル系ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート(例えば、大阪有機化学社製、「ビスコート#540」、昭和高分子社製、「ビスコートVR−77」)等が挙げられる。(メタ)アクリロイル基を有するオリゴマーは、(メタ)アクリロイルオキシ基を有するウレタンプレポリマーを含む。
そこで、別の観点から、本発明は、仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコン、樹脂、カーボン、金属、サファイア及びガラスからなる群、好ましくは、シリコン、樹脂及びガラスからなる群のうちの1種又は2種以上の被着体を接着して形成される接合体に関する。
表1〜2の組成で各使用材料を混合して、第一剤と第二剤とからなる仮固定用接着剤組成物を調製した。結果を表1〜2に示す。実験例1〜10は実施例であり、実験例11は比較例である。
メチルメタクリレート:市販品
2−ヒドロキシエチルメタクリレート:市販品
ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート:市販品
クメンハイドロパーオキサイド:市販品
メチルメタクリレート−ブタジエン−スチレン共重合体(MMA−BD−ST共重合体):市販品
アクリロニトリル−ブタジエンゴム(AN−BDゴム):市販品、高ニトリルNBR、ニトリル含量41質量%
有機系熱膨張性粒子F−36D:商品名「マツモトマイクロスフェアーF−36D」(松本油脂製薬社製、有機溶剤はブタンからなり、殻はアクリロニトリル系共重合体からなる有機系熱膨張性粒子、有機系熱膨張性粒子中のブタンの含有率は25質量%)
有機系熱膨張性粒子F−36LVD:商品名「マツモトマイクロスフェアーF−36LVD」(松本油脂製薬社製、有機溶剤はブタンからなり、殻はアクリロニトリル系共重合体からなる有機系熱膨張性粒子、有機系熱膨張性粒子中のブタンの含有率は13質量%)
パラフィン類:市販品、パラフィンワックス
重合禁止剤:ハイドロキノンモノメチルエーテル、市販品
バナジルアセチルアセトネート:市販品
オクチル酸コバルト:市販品
リン酸塩:市販品、アシッドホスホオキシエチルメタクリレート
2−ヒドロキシプロピルメタクリレート:市販品
フェノキシエチルメタクリレート:市販品
フェノキシジエチレングリコールメタクリレート:市販品
2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン:市販品、一般式(B)でp=5、p’=5のもの
2、2−ビス(4−メタクリロキシエトキシフェニル)プロパン:市販品
2−エチルヘキシルメタクリレート:市販品
ラウリルメタクリレート:市販品
SPCC:市販品、SPCC−Dブラスト処理鋼板
シリコンウエハ(Siウエハ):市販品
シリコンインゴット(Siインゴット):市販品
Claims (18)
- (1)(メタ)アクリロイル基を有するモノマー及び/又はオリゴマー、(2)重合開始剤、(3)バナジルアセチルアセトネート、コバルトアセチルアセトネート、銅アセチルアセトネート、バナジウムアセチルアセトネート、ナフテン酸バナジル、ステアリン酸バナジル、ナフテン酸銅、及びオクチル酸コバルトからなる群のうちの一種以上の成分、(4)エラストマー成分及び(5)有機系熱膨張性粒子を含有してなり、
前記(5)有機系熱膨張性粒子の量が、前記(1)(メタ)アクリロイル基を有するモノマー及び/又はオリゴマーの100質量部に対して、1質量部から25質量部の範囲であり、
前記(5)有機系熱膨張性粒子の有機溶剤の含有率が、5質量%から50質量%の範囲である
ことを特徴とする、仮固定用接着剤組成物。 - 成分(1)が、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してなる請求項1記載の仮固定用接着剤組成物。
- 成分(3)が、バナジルアセチルアセトネート、バナジウムアセチルアセトネート、ナフテン酸銅及びオクチル酸コバルトからなる群のうちの1種又は2種以上からなる請求項1又は2記載の仮固定用接着剤組成物。
- 成分(1)が、アルキル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシアルキル(メタ)アクリレート及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してなる請求項1〜3のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 成分(1)が、アルキル(メタ)アクリレート、ビスフェノール骨格を有する(メタ)アクリル酸モノマー、芳香族基を有する(メタ)アクリレート及びヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してなる請求項1〜3のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 更に、パラフィン類を含有してなる請求項1〜5のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 更に、酸化防止剤を含有してなる請求項1〜6のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 更に、リン酸塩を含有してなる請求項1〜7のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 第一剤が成分(2)を含有してなり、第二剤が成分(3)を含有してなる請求項1〜8のいずれか1項記載の二剤型の仮固定用接着剤組成物。
- 用途がシリコン接着用、樹脂接着用及びガラス接着用からなる群のうちの1種又は2種以上である請求項1〜9のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を用いて、部材を接着仮固定し、前記仮固定用接着剤組成物を硬化し、該仮固定された部材を加工し、加工された部材を水に浸漬することにより、前記仮固定用接着剤組成物の硬化体を取り外すことを特徴とする部材の仮固定方法。
- 水が温水であることを特徴とする請求項11記載の部材の仮固定方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を用いて、部材を接着仮固定し、前記仮固定用接着剤組成物を硬化し、該仮固定された部材を加工し、加工された部材を加熱処理することにより、前記仮固定用接着剤組成物の硬化体を取り外すことを特徴とする部材の仮固定方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコンインゴットを基材に接着仮固定した後、シリコンインゴットを切断してシリコンウエハを作製し、シリコンウエハを水に浸漬することにより、シリコンウエハを基材から取り外すことを特徴とするシリコンウエハの製造方法。
- 水が温水であることを特徴とする請求項14記載のシリコンウエハの製造方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコンインゴットを基材に接着仮固定した後、シリコンインゴットを切断してシリコンウエハを作製し、基材を加熱処理することにより、シリコンウエハを基材から取り外すことを特徴とするシリコンウエハの製造方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を使用して被着体を接着してなる接合体。
- 被着体がシリコン、樹脂及びガラスからなる群のうちの1種又は2種以上である請求項17記載の接合体。
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