JP2011089055A - 仮固定用接着剤組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)重合性ビニルモノマー、(2)重合開始剤、(3)β−ジケトンキレート及び/又はβ−ケトエステル、(4)エラストマー成分、(5)粘土鉱物を含有してなる仮固定用接着剤組成物。(1)重合性ビニルモノマーが(メタ)アクリル系モノマーであり、成分(3)が、バナジウムアセチルアセトネート、ナフテン酸銅及びオクチル酸コバルトからなる群のうちの1種又は2種以上である仮固定用接着剤組成物。仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコンインゴットを基材に接着仮固定した後、シリコンインゴットを切断してシリコンウエハを作製し、シリコンウエハを水に浸漬し、シリコンウエハを基材から取り外すことを特徴とする、シリコンウエハの製造方法。水は温水が好ましい。
【選択図】なし
Description
アルキル(メタ)アクリレートとしては、一般式(A)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R1は炭素数1〜10のアルキル基を表す。)
ビスフェノール骨格を有する(メタ)アクリル酸モノマーとしては、一般式(B)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
Z−O−(R2O)p−C6H4−C(R3)(R‘3)−C6H4−O−(R2O)p
’−Z
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R2は−C2H4−、−C3H6−、−CH2CH(CH3) −、−C4H8−又は−C6H12−を示し、R3、R‘3は水素又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、p、p’は0〜8の整数を示す。)
ジシクロペンテニルオキシアルキレン(メタ)アクリレートとしては、一般式(C)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
芳香族基を有する(メタ)アクリレートとしては、一般式(D)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R5は−C2H4−、−C3H6−、−CH2CH(CH3) −、−C4H8−又は−C6H12−を示し、R6はフェニル基又は炭素数1〜3のアルキル基を有するフェニル基を示し、rは1〜10の整数を示す。)
ヒドロキシル基を有する(メタ)アクリル系モノマーとしては、一般式(E)で示される(メタ)アクリル系モノマー等が挙げられる。
(式中、Zは(メタ)アクリロイル基を示し、R7は−C2H4−、−C3H6−、−CH2CH(CH3) −、−C4H8−又は−C6H12−を示し、sは1〜10の整数を示す。)
成分(5)の使用量は、成分(1)100質量部に対して、0.1〜30質量部が好ましく、0.3〜10質量部がより好ましい。0.3質量部未満だと剥離を発現しない場合があり、30質量部を超えると、沈降する場合がある。
既に知られている物質を使用することもできる。
仮固定用接着剤組成物の硬化体と水との接触の方法については、水中に接合体ごと浸漬する方法が、簡便である点で、好ましい。温水の温度は、150℃以下が好ましく、100℃以下がより好ましく、75℃以下が最も好ましい。温水の温度は、30℃以上が好ましく、50℃以上がより好ましく、60℃以上が最も好ましい。50℃未満だと剥離性が短時間に達成できない場合があり、150℃を超えるとシリコン等の被着体が劣化する場合がある。
表1の組成で各使用材料を混合して、第一剤と第二剤からなる仮固定用接着剤組成物を調製した。結果を表4に示す。
表2の組成で各使用材料を混合して、第一剤と第二剤からなる仮固定用接着剤組成物を調製した。結果を表4に示す。
表3の組成で各使用材料を混合して、第一剤と第二剤からなる仮固定用接着剤組成物を調製した。結果を表4に示す。
仮固定用接着剤組成物として、エポキシ系二剤型接着剤―1を使用した。結果を表4に示す。
仮固定用接着剤組成物として、エポキシ系二剤型接着剤―2を使用した。結果を表4に示す。
メチルメタクリレート:市販品
2−ヒドロキシエチルメタクリレート:市販品
ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート:市販品
クメンハイドロパーオキサイド:市販品
メチルメタクリレート−ブタジエン−スチレン共重合体(MMA−BD−ST共重合体):市販品
アクリロニトリル−ブタジエンゴム(AN−BDゴム):市販品、高ニトリルNBR
パラフィン類:市販品、パラフィンワックス
重合禁止剤:ハイドロキノンモノメチルエーテル、市販品
バナジルアセチルアセトネート:市販品
リン酸塩:市販品、アシッドホスホオキシエチルメタクリレート
2−ヒドロキシプロピルメタクリレート:市販品
フェノキシエチルメタクリレート:市販品
ベントナイト:市販品、平均粒子径2μm
2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン:市販品、一般式(B)でp=5のもの
SPCC:市販品、SPCC−Dブラスト処理鋼板
シリコンウエハ(Siウエハ):市販品
シリコンインゴット(Siインゴット):市販品
エポキシ系二剤型接着剤―1:商品名「W−ボンド」(日化精工社製)
エポキシ系二剤型接着剤―2:商品名「Q−ボンド」(日化精工社製)
Claims (13)
- (1)重合性ビニルモノマー、(2)重合開始剤、(3)β−ジケトンキレート及び/又はβ−ケトエステル、(4)エラストマー成分、(5)粘土鉱物を含有してなる仮固定用接着剤組成物。
- (1)重合性ビニルモノマーが(メタ)アクリル系モノマーである請求項1記載の仮固定用接着剤組成物。
- (メタ)アクリル系モノマーが、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを含有してなる請求項2記載の仮固定用接着剤組成物。
- (3)β−ジケトンキレート及び/又はβ−ケトエステルが、バナジウムアセチルアセトネート、ナフテン酸銅及びオクチル酸コバルトからなる群のうちの1種又は2種以上からなる請求項1〜3記載のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 第一剤が成分(2)を含有してなり、第二剤が成分(3)を含有してなる請求項1〜4のいずれか1項記載の二剤型仮固定用接着剤組成物。
- 用途がシリコン接着用、樹脂接着用及びガラス接着用からなる群のうちの1種又は2種以上である請求項1〜5のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を用いて、部材を接着仮固定し、前記仮固定用接着剤組成物を硬化し、該仮固定された部材を加工し、加工された部材を水に浸漬し、前記仮固定用接着剤組成物の硬化体を取り外すことを特徴とする部材の仮固定方法。
- 水が温水であることを特徴とする請求項7記載の部材の仮固定方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の仮固定用接着剤組成物を用いて、シリコンインゴットを基材に接着仮固定した後、シリコンインゴットを切断してシリコンウエハを作製し、シリコンウエハを水に浸漬し、シリコンウエハを基材から取り外すことを特徴とするシリコンウエハの製造方法。
- 水が温水であることを特徴とする請求項9記載の部材の仮固定方法。
- 水が75℃以下の温水であることを特徴とする請求項10記載の部材の仮固定方法。
- 請求項1〜5記載の仮固定用接着剤組成物を使用して被着体を接着してなる接合体。
- 被着体がシリコン、樹脂及びガラスからなる群のうちの1種又は2種以上である請求項8記載の接合体。
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