JP5934582B2 - 切削装置及び鋸刃ブレードの破損検出方法 - Google Patents
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Description
14 アライメントマーク
20a、20b スピンドル
22a、22b ダイシングブレード(鋸刃ブレード)
24a、24b 発光部
25a、25b 受光部
26a、26b 光ファイバ
27a、27b 光電変換部
28 光電センサ
30 撮像装置
40 制御部
42 A/D変換器
44 波形判定部
46 上位制御部
50 記憶部
60 表示部
100 切削装置
Claims (10)
- ワークを切削する切削装置であって、
前記ワークを切削する鋸刃ブレードと、
前記鋸刃ブレードを回転させるモータを備えたスピンドルと、
前記鋸刃ブレードを間に挟むように配置された発光部および受光部を備え、前記鋸刃ブレードを回転させた状態で該発光部からの光を該受光部で受光した信号を光電変換部に導くことにより光電変換を行う光電センサと、
前記光電センサの出力信号の最大値と最小値との差である基準振幅に基づいて設定される破損閾値を用いて、前記鋸刃ブレードの破損を検出する第1のブレード破損判定部と、
前記光電センサの出力信号のうち前記鋸刃ブレードの歯に対応する信号と、前記基準振幅の中心に設定されるトリガレベルと、を用いて、前記鋸刃ブレードの破損を検出する第2のブレード破損判定部と、
前記基準振幅を用いて、前記鋸刃ブレードの形状を判定する形状判定部と、
前記第1のブレード破損判定部と、前記第2のブレード破損判定部と、前記形状判定部と、を用いて、前記鋸刃ブレードのエラーを検出する制御部と、
を有することを特徴とする切削装置。 - 前記第1のブレード破損判定部は、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記光電センサの出力信号の最小値と該出力信号の極小値との第1の差と、前記基準振幅に基づいて設定される第1の破損閾値とを比較し、
前記第1の差が前記第1の破損閾値よりも大きい場合、前記鋸刃ブレードの破損を検出することを特徴とする請求項1に記載の切削装置。 - 前記第1のブレード破損判定部は、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記光電センサの出力信号の最大値と該出力信号の極大値との第2の差と、前記基準振幅に基づいて設定される第2の破損閾値とを比較し、
前記第2の差が前記第2の破損閾値よりも大きい場合、前記鋸刃ブレードの破損を検出することを特徴とする請求項1に記載の切削装置。 - 前記第2のブレード破損判定部は、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記光電センサの出力信号のうち前記鋸刃ブレードの歯に対応する信号が前記トリガレベルを通過してから次の前記歯に対応する信号が前記トリガレベルを通過するまでの期間を計測し、
前記計測した複数の期間の平均値を算出し、
前記期間と、前記複数の期間の平均値に所定値を乗じて得られた比較値とを比較し、
前記期間が前記比較値よりも大きい場合、前記鋸刃ブレードの破損を検出することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の切削装置。 - 前記形状判定部は、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記基準振幅と、所定の閾値とを比較し、
前記基準振幅が前記所定の閾値よりも小さい場合、前記鋸刃ブレードの形状異常を検出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の切削装置。 - ワークを切削するための鋸刃ブレードの破損検出方法であって、
スピンドルに取り付けられた前記鋸刃ブレードを回転させた状態で、前記鋸刃ブレードを間に挟むように配置された光電センサの発光部からの光を受光部で受光することにより光電変換を行う光電変換工程と、
前記光電センサの出力信号の最大値と最小値との差である基準振幅に基づいて設定される破損閾値を用いて、前記鋸刃ブレードの破損を検出する第1のブレード破損判定工程と、
前記光電センサの出力信号のうち前記鋸刃ブレードの歯に対応する信号と、前記基準振幅の中心に設定されるトリガレベルと、を用いて、前記鋸刃ブレードの破損を検出する第2のブレード破損判定工程と、
前記基準振幅を用いて、前記鋸刃ブレードの形状を判定する形状判定工程と、
前記第1のブレード破損判定工程と、前記第2のブレード破損判定工程と、前記形状判定工程と、に基づいて、前記鋸刃ブレードのエラーを検出するエラー処理工程と、
を有することを特徴とする鋸刃ブレードの破損検出方法。 - 前記第1のブレード破損判定工程では、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記光電センサの出力信号の最小値と該出力信号の極小値との第1の差と、前記基準振幅に基づいて設定される第1の破損閾値とを比較し、
前記第1の差が前記第1の破損閾値よりも大きい場合、前記鋸刃ブレードの破損を検出することを特徴とする請求項6に記載の鋸刃ブレードの破損検出方法。 - 前記第1のブレード破損判定工程では、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記光電センサの出力信号の最大値と該出力信号の極大値との第2の差と、前記基準振幅に基づいて設定される第2の破損閾値とを比較し、
前記第2の差が前記第2の破損閾値よりも大きい場合、前記鋸刃ブレードの破損を検出することを特徴とする請求項6に記載の鋸刃ブレードの破損検出方法。 - 前記第2のブレード破損判定工程では、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記光電センサの出力信号のうち前記鋸刃ブレードの歯に対応する信号が前記トリガレベルを通過してから次の前記歯に対応する信号が前記トリガレベルを通過するまでの期間を計測し、
前記計測した複数の期間の平均値を算出し、
前記期間と、前記複数の期間の平均値に所定値を乗じて得られた比較値とを比較し、
前記期間が前記比較値よりも大きい場合、前記鋸刃ブレードの破損を検出することを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の鋸刃ブレードの破損検出方法。 - 前記形状判定工程では、
前記鋸刃ブレードを所定回数だけ回転させて、前記基準振幅と、所定の閾値とを比較し、
前記基準振幅が前記所定の閾値よりも小さい場合、前記鋸刃ブレードの形状異常を検出することを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項に記載の鋸刃ブレードの破損検出方法。
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