JP5933060B2 - インプリント装置および方法ならびに物品製造方法 - Google Patents
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Description
110A−C 樹脂供給部
120A−C モールド
140 制御部
141 メモリ
142a、142b データ処理部
143a−d2 撮像部
Wa−c 基板
R、Ra、Rb 樹脂
Claims (6)
- インプリント材と型とを用いてパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を基板上に供給する供給部と、
前記供給部が前記基板上に供給して該基板上に互いに分離して存在する前記インプリント材の複数の液滴の状態を検出する検出部と、
前記検出部による検出の結果に基づいて前記基板上に存在する前記複数の液滴の状態が正常であるか判断を行う制御部と、を有し、
前記制御部は、前記供給部から前記インプリント材の供給動作を行って前記供給部を安定させる場合において、当該供給動作ごとに前記検出部による検出の結果に基づいて前記判断を行い、当該判断の結果に基づいて前記場合における前記供給動作の繰り返しを行わないようにする、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記状態が正常であると判断した場合、前記繰り返しを行わないようにする、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記検出部は、前記液滴を撮像する撮像部を含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント装置。
- 前記供給動作に合わせて計時を開始するタイマを更に有し、
前記制御部は、前記タイマが設定時間を計時したときの前記検出の結果に基づいて前記判断を行うことを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか一項に記載のインプリント装置。 - 請求項1ないし4のうちいずれか一項に記載のインプリント装置を使用して基板上にパターンを形成するステップと、
前記ステップで前記パターンを形成された前記基板を加工するステップと、
を有することを特徴とする物品製造方法。 - インプリント材と型とを用いてパターンを形成する前に、供給部から前記インプリント材の供給動作を行って前記供給部を安定させる方法であって、
前記供給動作ごとに、当該供給により前記基板上に互いに分離して存在する前記インプリント材の複数の液滴の状態を検出し、当該検出の結果に基づいて、前記複数の液滴の状態が正常であるか判断を行い、
前記判断の結果に基づいて、前記供給部を安定させるための前記供給動作の繰り返しを行わないようにする、
ことを特徴とする方法。
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