JP5930827B2 - 表面処理装置及び表面処理方法 - Google Patents
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Description
範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]鉄鋼材表面にこの鉄鋼材を形成する元素と原子半径の差が15%以内の金属粒子による投射処理及び窒化処理を施す表面処理装置において、
チャンバと、
このチャンバ内に不活性ガスを導入する不活性ガス供給部と、
前記チャンバ内に配置され、前記鉄鋼材を支持する支持部と、
この支持部の周囲に配置され、前記鉄鋼材を加熱する誘導加熱コイルと、
この誘導加熱コイルに高周波電流を供給して前記鉄鋼材を誘導加熱する高周波印加部と、
前記支持部に向けて金属粒子を噴射させる投射材噴射部と、
前記投射処理が完了した鉄鋼材に窒化処理を施す窒化処理部とを備えている表面処理装置。
[2]前記窒化処理部は、前記鉄鋼材を加熱する加熱部と、
前記チャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス供給部とを備えている[1]に記載の表面処理装置。
[3]前記窒化処理部は、プラズマチャンバと、
このプラズマチャンバ内に配置され、前記鉄鋼材を支持する第2支持部と、
前記プラズマチャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス供給部と、
前記第2支持部と前記第2チャンバ内に配置された電極との間に高圧を印加し、プラズマを発生させるプラズマ発生部とを備えていることを特徴とする表面処理装置。
[4]前記投射材噴射部により噴射された金属粒子は前記鉄鋼材表面に金属拡散層を形成する[1]に記載の表面処理装置。
[5]チャンバ内に収容された鉄鋼材表面にこの鉄鋼材を形成する元素と原子半径の差が15%以内の金属粒子による投射処理及び窒化処理を施す表面処理方法において、
前記チャンバ内を不活性ガスに置換する置換工程と、
前記鉄鋼材を所定の処理温度まで加熱する加熱工程と、
前記鉄鋼材表面に金属粒子を噴射する噴射工程と、
前記鉄鋼材表面に窒化処理を施す窒化処理工程とを備えている表面処理方法。
[6]前記窒化処理工程は、前記チャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス導入工程と、
前記鉄鋼材を所定の処理温度まで加熱して窒化する窒化工程とを備えている[5]に記載の表面処理方法。
[7]前記窒化処理工程は、第2チャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス導入工程と、
前記第2チャンバ内にプラズマを発生させて前記鉄鋼材を窒化するプラズマ窒化工程とを備えていることを特徴とする[5]に記載の表面処理方法。
[8]前記噴射工程は、前記鉄鋼材表面に前記金属粒子による金属拡散層を形成することを特徴とする[5]に記載の表面処理方法。
Claims (6)
- 鉄鋼材表面にこの鉄鋼材を形成する元素と原子半径の差が15%以内の金属粒子による投射処理及び窒化処理を施す表面処理装置において、
チャンバと、
このチャンバ内に不活性ガスを導入する不活性ガス供給部と、
前記チャンバ内に配置され、前記鉄鋼材を支持する支持部と、
この支持部の周囲に配置され、前記鉄鋼材を加熱する誘導加熱コイルと、
この誘導加熱コイルに高周波電流を供給して前記鉄鋼材を誘導加熱する高周波印加部と、
前記支持部に向けて金属粒子を噴射させる投射材噴射部と、
前記投射処理が完了した鉄鋼材に窒化処理を施す窒化処理部とを具備し、
前記窒化処理部は、プラズマチャンバと、
このプラズマチャンバ内に配置され、前記鉄鋼材を支持する第2支持部と、
前記プラズマチャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス供給部と、
前記第2支持部と前記プラズマチャンバ内に配置された電極との間に高圧を印加し、プラズマを発生させるプラズマ発生部とを備えていることを特徴とする表面処理装置。 - 前記窒化処理部は、前記鉄鋼材を加熱する加熱部と、
前記チャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス供給部とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。 - 前記投射材噴射部により噴射された金属粒子は前記鉄鋼材表面に金属拡散層を形成することを特徴とする請求項1に記載の表面処理装置。
- チャンバ内に収容された鉄鋼材表面にこの鉄鋼材を形成する元素と原子半径の差が15%以内の金属粒子による投射処理及び窒化処理を施す表面処理方法において、
前記チャンバ内を不活性ガスに置換する置換工程と、
前記鉄鋼材を所定の処理温度まで加熱する加熱工程と、
前記鉄鋼材表面に金属粒子を噴射する噴射工程と、
前記鉄鋼材表面に窒化処理を施す窒化処理工程とを具備し、
前記窒化処理工程は、第2チャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス導入工程と、
前記第2チャンバ内にプラズマを発生させて前記鉄鋼材を窒化するプラズマ窒化工程とを備えていることを特徴とする表面処理方法。 - 前記窒化処理工程は、前記チャンバ内に窒素ガスを導入する窒素ガス導入工程と、
前記鉄鋼材を所定の処理温度まで加熱して窒化する窒化工程とを備えていることを特徴とする請求項4に記載の表面処理方法。 - 前記噴射工程は、前記鉄鋼材表面に前記金属粒子による金属拡散層を形成することを特徴とする請求項4に記載の表面処理方法。
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