JP2010106346A - 表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバ110と、チャンバ110内に窒素ガスを導入するガス供給部142と、チャンバ110内に配置され、被処理物Wを支持する支持台120と、支持台12の周囲に配置され、被処理物Wを加熱する誘導加熱コイル130と、誘導加熱コイル130に高周波電流を供給して被処理物Wを誘導加熱する高周波印加装置200と、支持台120に向けて窒素ガスと共に投射材を噴射させる噴射ノズル140とを具備していた。
【選択図】 図1
Description
Claims (2)
- 被処理物に投射材を噴射して表面処理する表面処理装置において、
チャンバと、
このチャンバ内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入部と、
前記チャンバ内に配置され、前記被処理物を支持する支持部と、
この支持部の周囲に配置され、前記被処理物を加熱する誘導加熱コイルと、
この誘導加熱コイルに高周波電流を供給して前記被処理物を誘導加熱する高周波印加部と、
前記支持部に向けて前記不活性ガスと共に前記投射材を噴射させる投射材噴射部とを具備したことを特徴とした表面処理装置。 - 前記投射材噴射部から不活性ガスのみを噴射させて前記チャンバ内を前記不活性ガスに置換させ、前記高周波印加部から前記誘導加熱コイルに高周波電流を供給させて前記被処理物を所定の温度まで加熱させ、前記被処理物が所定の温度に加熱された後に前記投射材噴射部から前記投射材及び前記不活性ガスを噴射させるとともに前記被処理物が前記所定の温度に維持される状態に前記誘導加熱コイルに高周波電流を供給させ、投射材噴射部から不活性ガスのみを噴射させて前記被処理物を冷却させる制御部を具備したことを特徴とした表面処理装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113088646A (zh) * | 2018-05-25 | 2021-07-09 | 光洋热系统股份有限公司 | 热处理装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003034003A (ja) * | 2001-04-12 | 2003-02-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 樹脂と脆性材料との複合構造物及びその作製方法 |
JP2007063582A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Fujifilm Corp | 成膜方法及び成膜装置 |
JP2008127647A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | High Frequency Heattreat Co Ltd | 表面処理装置およびその方法 |
-
2008
- 2008-10-31 JP JP2008281703A patent/JP2010106346A/ja active Pending
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