JP5920117B2 - 高純度アルミニウム製スパッタリングターゲット用熱間圧材の製造方法 - Google Patents
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Description
<圧延条件>
圧延温度:室温、100、150、200、250、300および400℃、
圧下率:20%×3パス;25mm→20.0mm→16.0mm→12.5mm、
30%×2パス;25mm→17.5mm→12.5mm、
50%×1パス;25mm→12.5mm。
図1に各条件における熱処理前の圧延ままのアルミニウムの断面ミクロ観察結果を画像解析により求めた平均結晶粒径とともに示す。この図からわかるように、圧下率にかかわらず、圧延温度(=圧延前の加熱温度)が200℃の場合に最も細粒化する。また、同じ圧延温度においては圧下率が高くなるほど細粒化する傾向があるが、圧延温度が200℃以上では圧下率が30%のときに最も細粒となる。
図2に示す熱処理後のアルミニウムの断面ミクロ観察結果および平均結晶粒径では、概ね圧延温度に関しては、熱処理前と同様の結果を示した。すなわち、圧延温度が150℃〜200℃の場合に最も細粒化している。また、同じ圧延温度においては圧下率が高くなるほど細粒化する傾向がある。
Claims (1)
- 純度が5N以上のアルミニウム素材を、1パス当たりの圧下率をR(%)、加熱温度をT(℃)とした時に、Rが20%を超え50%以下、Tが再結晶温度以上300℃以下の条件で熱間圧延を行い、その後にT(℃)以上300℃以下の温度域で0.5〜10時間の焼鈍を行うことを特徴とする、高純度アルミニウム製スパッタリングターゲット用熱間圧延材の製造方法。
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